CN103134814A - 玻璃基板检查装置及玻璃基板制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种玻璃基板检查装置及玻璃基板制造方法，可以以简单的结构进行包含原材料、板厚、端面的状态等的玻璃基板等的状态的检查。在拍摄照射有来自光源的光的玻璃基板的图像，并基于上述图像的图像数据进行上述玻璃基板的检查的玻璃基板检查装置中，具有：以对玻璃基板拍摄多个图像的拍摄单元；基于由上述拍摄单元拍摄到的上述图像的图像数据算出上述玻璃基板的板厚的板厚计算单元。

Description

玻璃基板检查装置及玻璃基板制造方法

技术领域

本发明涉及基于向玻璃基板照射来自光源的光而拍摄的图像数据进行上述玻璃基板的检查的玻璃基板检查装置及利用该玻璃基板检查装置检查的玻璃基板的制造方法。

背景技术

目前，例如专利文献1～专利文献5所记载，已知有向透光性物体照射光进行拍摄并从拍摄的图像信息识别透光性物体的颜色等的方法。根据该方法，能够基于识别出的颜色判别透光性物体的原材料等。

专利文献1：日本特开2000-162045号公报

专利文献2：日本特开2001-133328号公报

专利文献3：日本特开平3-200025号公报

专利文献4：日本特开2002-207994号公报

专利文献5：日本特开2000-28435号公报

在上述现有的技术中，难以得到例如与玻璃基板等透光物体的板厚及玻璃基板的端面状态等相关的信息，作为检查玻璃基板等的状态的方法是不充分的。另外，检查玻璃基板时，也可能在玻璃基板表面附着异物，而该异物成为玻璃基板产品的表面异物缺陷。

发明内容

本发明是鉴于上述情况并为了将其解决而研发的，其目的在于，提供一种以简单的结构检查玻璃基板等的状态的玻璃基板检查装置及包括使用该检查装置检查玻璃基板的检查工序的玻璃基板的制造方法。

为了实现所述目的，本发明采用如下结构。

本发明提供一种玻璃基板检查装置，其拍摄照射有来自光源的光的玻璃基板的图像，基于所述图像的图像数据进行所述玻璃基板的检查，具有：拍摄单元，对玻璃基板拍摄多个图像；及板厚计算单元，基于由所述拍摄单元拍摄到的所述图像的图像数据算出所述玻璃基板的板厚。

根据本发明，能够以简单的结构进行玻璃基板等的状态的检查。

附图说明

图1是表示第一实施方式的玻璃基板检查装置的硬件结构的一个例子的图；

图2是用于说明第一实施方式的拍摄装置的图；

图3是用于说明盒和盒所收纳的玻璃基板的图；

图4是说明第一实施方式的解析装置具有的功能的图；

图5是表示由第一实施方式的拍摄装置拍摄的图像的例子的图；

图6是表示玻璃基板原材料和特定颜色的表的一个例子的图；

图7是对端面状态的检测进行说明的第一图；

图8是说明第一实施方式的玻璃基板检查装置的动作的流程图；

图9是说明第二实施方式的解析装置具有的功能的图；

图10是说明第二实施方式的玻璃基板检查装置的动作的流程图；

图11是说明第三实施方式的解析装置具有的功能的图；

图12是表示由第三实施方式的拍摄装置拍摄到的图像的例子的图；

图13是说明第三实施方式的板厚计算部的图；

图14是说明基于第三实施方式的板厚计算部进行的玻璃基板的板厚计算的流程图；

图15是说明第三实施方式的成对边缘检测的图；

图16是说明基于第三实施方式的区域设定部进行的区域设定的图；

图17是说明第四实施方式的拍摄装置的图；

图18是表示第四实施方式的摄像机和盒的位置关系的例子的图；

图19是说明第五实施方式的拍摄装置的图。

标号说明

100玻璃基板检查装置

200、200A、200B解析装置

210运算处理装置

211驱动控制部

212拍摄控制部

213图像数据取得部

214位置校正部

215步长处理部

216颜色提取部

217原材料判定部

218、231板厚计算部

219端面状态检测部

221盒判别部

300拍摄装置

301照明装置用底座

305支柱固定用底座

310照明装置

320驱动装置

330、330A、330B摄像机

340盒用底座

341缝隙

500（500A～500C）玻璃基板

具体实施方式

（第一实施方式）

下面，参照附图对本发明的第一实施方式进行说明。图1是表示第一实施方式的玻璃基板检查装置的硬件结构的一个例子的图。

本实施方式的玻璃基板检查装置100具有解析装置200和拍摄装置300。本实施方式的玻璃基板检查装置100通过使用利用解析装置200解析由拍摄装置300拍摄到的图像数据后的结果，不与后述的玻璃基板500接触而进行玻璃基板500的检查。利用本实施方式的玻璃基板检查装置100检查的玻璃基板500是例如磁记录介质用的玻璃基板等。

本实施方式的解析装置200经由总线B连接有运算处理装置210、存储装置220、辅助存储装置230、接口装置240、输入装置250、输出装置260、驱动装置270。

输入装置250由键盘、鼠标、操作开关等构成，用于输入各种信号。输出装置260由显示装置等构成，用于显示各种窗口及数据等。接口装置240由调制解调器、网卡等构成，用于例如将玻璃基板检查装置100与网络连接。

本发明的玻璃基板检查程序是控制玻璃基板检查装置100的各种程序的至少一部分。玻璃基板检查程序例如通过记录介质280的分配或来自网络的下载等提供。记录了玻璃基板检查程序的记录介质280可以使用像CD-ROM、软磁盘、光盘等那样以光学、电气或磁性方式记录信息的记录介质；像ROM、闪存存储器等那样以电气方式记录信息的半导体存储器等各种各样的类型的记录介质。

另外，当记录有玻璃基板检查程序的记录介质280置于驱动装置270中时，玻璃基板检查程序从记录介质280经由驱动装置270安装于辅助存储装置230中。从网络下载的玻璃基板检查程序经由接口装置240安装于辅助存储装置230中。

辅助存储装置230存储安装的玻璃基板检查程序，并且存储需要的文件、数据等。存储装置220在计算机启动时从辅助存储装置230读出玻璃基板检查程序进行存储。而且，运算处理装置210根据存储于存储装置220的玻璃基板检查程序，实现后述那样的各种处理。

本实施方式的拍摄装置300具有照明装置310、驱动装置320、摄像机330，在从照明装置310对玻璃基板照射光的状态下进行拍摄。驱动装置320在将收纳有作为检查对象的玻璃基板的盒400（图2参照）固定于照明装置310的状态下，使照明装置310和盒移动。

下面，参照图2对本实施方式的拍摄装置300进行说明。也可以分离拍摄装置300和解析装置200，在该情况下，也可以利用LAN（LocalArea Network）等连接。另外，也可以在解析装置200连接多个拍摄装置300使用。

图2是用于说明第一实施方式的拍摄装置的图。图2（A）是表示将收纳有作为拍摄对象的玻璃基板的盒400配置于拍摄装置300的状态的图，图2（B）是说明拍摄装置300的盒用底座340的图。

本实施方式的拍摄装置300在照明装置用底座301上配置有照明装置310，且以覆盖照明装置310的方式配置有盒用底座340。盒用底座340也可以设置使从照明装置310照射的光透射的缝隙341（参照图2（B））。本实施方式的照明装置310通过例如LED等实现。在盒用底座340上配置收纳有作为检查对象物的玻璃基板的盒400。盒用底座340和盒400的详情如后所述。

在支柱固定用底座305上安装用于设置摄像机330的支柱302，摄像机330固定于该支柱302上。本实施方式的摄像机是例如CCD（Charge Coupled Device）摄像机等。另外，在支柱固定用底座305上，以覆盖照明装置310、盒400、摄像机330的方式覆盖有罩303。本实施方式的罩303具有使拍摄装置300外部的光不能透射到罩303内部的遮光性。

在本实施方式中，在照明装置用底座301上配置照明装置310，并配置覆盖照明装置310的盒用底座340后，配置盒400，在该状态下，固定照明装置用底座301、照明装置310、盒用底座340、盒400。在下面的本实施方式中，将在各底座上固定有照明装置310和盒400的状态的结构称为固定体350。

本实施方式的驱动装置320是例如单轴滑块自动装置等。固定体350以照明装置用底座301和照明装置310沿驱动装置320的轴进行水平移动的方式搭载于驱动装置320上。在该情况下，固定体350在摄像机330的视场内由轴引导进行水平移动。

另外，在本实施方式中，固定体350的移动方向是与摄像机330的拍摄面331朝向的方向正交的方向。在图2（A）中，在将摄像机330的拍摄面331朝向的方向设为Y2方向的情况下，固定体350的移动方向为X1方向或X2方向。

当固定体350在驱动装置320上移动时，本实施方式的摄像机330连续拍摄多张透射盒400的光的图像。拍摄到的图像的详情如后所述。

图2（B）是盒用底座340的俯视图。在盒用底座340上也可以设置缝隙341。从照明装置310照射的光通过缝隙341照射至盒400中。利用通过缝隙341的光照射盒400，由此，能够拍摄可以提高解析装置200的解析精度的图像。缝隙341的宽度W没有特别限定，根据照明装置310及摄像机330的性能而确定。例如，在使用LED作为照明装置310的情况下，也可以将缝隙341的宽度W设定为3mm～7mm程度，在使用激光等直线性高的光源作为照明装置310的情况下，也可以将缝隙341的宽度W设定为3mm以下的或格子状的缝隙。

本实施方式的拍摄装置300也可以基于来自解析装置200的拍摄指示进行拍摄。由拍摄装置300拍摄的图像的图像数据存储于解析装置200的存储装置220等中。解析装置200基于从拍摄装置300取得的图像数据，进行下面说明的各种解析，进行收纳于盒400的玻璃基板500的检查。

下面，参照图3对盒400和收纳于盒400的玻璃基板500（500A～500C）进行说明。图3是用于说明盒和收纳于盒的玻璃基板的图。

在本实施方式中，盒400具有壳体410、盖420、底板421。本实施方式的盖420是用于覆盖在盒400内将透过玻璃基板500的光导向摄像机330的开口部的透光性的结构。底板421是覆盖用于使从照明装置310照射的光入射至盒400的开口部的透光性的结构。在本实施方式的壳体410和盖420上形成有多个将玻璃基板500逐张分离而支撑的槽部430。玻璃基板500插入该槽部430，在逐张分离的状态下保管于盒400中。另外，玻璃基板500在被形成于盖420的槽部逐张分离的状态下保持于盒400中，在使盒400移动时，被保管的玻璃基板500不活动。

通过上述结构，本实施方式的盒400可以利用摄像机330拍摄透过底板421、玻璃基板500、盖420的光的图像。另外，本实施方式的玻璃基板500设为中心部形成有圆孔的圆盘形状。

接着，对本实施方式的解析装置200的功能进行说明。图4是说明第一实施方式的解析装置具有的功能的图。

本实施方式的解析装置200具有：驱动控制部211、拍摄控制部212、图像数据取得部213、位置校正部214、步长处理部215、颜色提取部216、原材料判别部217、板厚计算部218、端面状态检测部219。

本实施方式的解析装置200利用驱动控制部211控制驱动装置320而控制固定体350的动作。具体而言，例如，驱动控制部211收到图像的拍摄指示，使固定体350在驱动装置320的轴上以一定速度滑动。

拍摄控制部212控制摄像机330。具体而言，当拍摄控制部212收到图像的拍摄指示而固定体350开始滑动动作时，每隔规定间隔使摄像机330拍摄图像。在本实施方式中，利用驱动控制部211和拍摄控制部212可以连续拍摄透过盒400的多张光的图像。

在本实施方式的解析装置200中，图像数据取得部213取得由拍摄装置300拍摄到的图像的图像数据。颜色提取部216从图像数据提取特定颜色的图像。原材料判别部217基于提取到的图像颜色判别玻璃基板500的原材料。板厚计算部218基于图像数据算出玻璃基板500的板厚。端面状态检测部219进行玻璃基板500的端面状态的检查等。下面，对各部的处理进行说明。

图像数据取得部213取得由拍摄装置300拍摄到的图像的图像数据。另外，由拍摄装置300拍摄到的多个图像的图像数据也可以存储于解析装置200的存储装置220中。

位置校正部214进行校正以使取得的图像数据在输出装置260中总是显示于相同位置。由拍摄装置300拍摄到的图像数据有时由于例如将盒400配置于盒用底座340时的错位、或盒400的偏差，而在作为检查对象的玻璃基板500的图像的位置产生错位。因此，位置校正部214通过进行相对于预先确定的基准图像的模式匹配，来进行图像数据的位置校正。在本实施方式中，通过该位置校正，校正后的图像总是映在相同位置，因此，能够在规定区域内进行颜色提取。

步长处理部215进行从图像数据的颜色提取的前处理。步长处理部215例如消除图像数据的噪声，指定进行如后所述的颜色提取的规定区域。

颜色提取部216、原材料判别部217、板厚计算部218、端面状态检测部219的处理的详情如后所述。

在此，参照图5对用本实施方式的摄像机330拍摄到的图像进行说明。

在本实施方式的拍摄装置300中，例如将收纳有25张玻璃基板的盒400以在一个图像中照5张玻璃基板的方式分开拍摄5次。在本实施方式中，通过像这样将收纳于盒400的玻璃基板作为每隔规定张数的多个图像进行拍摄，与将收纳于盒400的所有的玻璃基板以进入摄像机330的1个视场的方式进行拍摄相比，可取得更高分辨率的图像。在本实施方式中，在固定体350与摄像机330的距离设置成收纳于盒400的所有的玻璃基板进入1个视场的距离的情况下，也可以作为基于摄像机330的变焦功能的放大图像取得高分辨率的图像。另外，也可以通过使固定体350与摄像机220的距离接近盒400，来取得高分辨率的图像。

图5是表示由第一实施方式的拍摄装置拍摄到的图像的例子的图。在图5中，表示了将收纳有与图3所示的原材料不同的玻璃基板500A～500C的盒400配置到盒用底座340进行拍摄的情况。在本实施方式中，拍摄到的图像显示于解析装置200的输出装置260中。

由本实施方式的拍摄装置300拍摄的各图像成为从上表面局部地拍摄盒400得到的图像。

本实施方式的盒400的盖420使从照明装置310照射的光透射。因此，在不进行颜色提取的情况下，图像51～53分别含有透过玻璃基板500A～500C的3种光的图像。即，在图像51中含有透过收纳于盒400的玻璃基板500A的与玻璃基板500A的原材料相应的颜色的光的图像。在图像52中含有透过收纳于盒400的玻璃基板500B的与玻璃基板500B的原材料相应的颜色的光的图像。在图像53中含有透过收纳于盒400的玻璃基板500C的与玻璃基板500C的原材料相应的颜色的光的图像。

在本实施方式中，通过进行颜色提取，能够只提取规定颜色的图像使之显示。另外，在下面的实施方式的说明中，将透过玻璃基板的光的图像称为玻璃基板的图像。

接着，对基于颜色提取部216的规定颜色的图像的提取进行说明。另外，图5所示的图像是盒用底座340上设有缝隙341时的图像。

图像51～53是在收纳有玻璃基板500A～500C的盒400中照射有通过缝隙341的光S的状态下利用摄像机330拍摄到的图像的例子，是盒400的俯视图。在图像51～53中含有透过玻璃基板500A～500C的光的图像S1和照射有光的状态的玻璃基板500A～500C的图像500GA～500GC。

下面，说明对图像51进行了颜色提取部216的处理的例子。

在本实施方式中，由步长处理部215指定图像400G的区域511作为用于进行颜色提取的区域。区域511以包含例如供玻璃基板500A插入的槽部430的方式设定。颜色提取部216解析区域511的图像，利用该结果确定图像500GA的颜色是否为提取对象的颜色。另外，在本实施方式的解析装置200中预先设定有作为提取对象的颜色。在本实施方式的解析装置200中，通过设定后述的HSV值的范围，能够任意设定作为提取对象的颜色。另外，区域512是在后述的端面状态检测部516的处理中指定的区域。区域511、512可以根据由解析装置200的输入装置250输入的坐标任意进行设定。

本实施方式的颜色提取部216从基于由拍摄装置300取得的R、G、B系成分表现的图像数据算出以HSV（色调、饱和度、亮度）表示的HSV值。而且，在HSV值为设定值范围内的区域存在规定面积以上的情况下，颜色提取部216将该区域作为设定的颜色区域进行确定、提取。

例如在本实施方式中，在提取蓝色图像的情况下，解析装置200中设定有与蓝色对应的HSV值的范围。颜色提取部216在区域511中算出设定有HSV值的范围内的区域面积，如果该面积为设定值以上，则将图像500GA的颜色确定为蓝色。而且，颜色提取部216提取蓝色的图像500GA，并如图像51那样显示于输出装置260。

接着，对原材料判别部217进行说明。原材料判别部217基于由颜色提取部216提取的图像数据的颜色判别玻璃基板500A的原材料。在本实施方式的解析装置200中，例如在辅助存储装置230等中存储有将玻璃基板的原材料和图像数据的颜色建立对应后的玻璃基板原材料和特定颜色的表60。图6是表示玻璃基板原材料和特定颜色的表的一个例子的图。

在玻璃基板原材料和特定颜色的表60中，例如将表示a颜色的特定颜色A与透射光时成为a颜色的原材料1建立对应。另外，例如将表示b颜色的特定颜色B与透射光时成为b颜色的原材料2建立对应。原材料判别部217基于由颜色提取部216提取的图像数据的HSV值，判别玻璃基板500A的原材料。

板厚计算部218根据由颜色提取部216提取的图像数据算出玻璃基板500A的板厚。参照图5，对基于本实施方式的板厚计算部218的板厚的计算进行说明。

板厚计算部218解析区域511，检测两个HSV值的变化成为设定值以上的部位。本实施方式的板厚计算部218检测两个例如图像数据的HSV值从表示背景图像即黑色的值变化至表示图像500GA的颜色的值的点，将该两点之间的距离作为玻璃基板500A的板厚进行检测。

板厚计算部218从X1向X2方向检索（扫描）区域511，检测HSV值变化的点P1和点P2。点P1、P2是图像500GA和背景之间的边界上的点。板厚计算部218将从点P1到点P2的宽度t1设为玻璃基板500A的板厚。另外，宽度t1基于从点P1到点P2的像素数和摄像机330的分辨率算出。另外，区域511的扫描方向也可以是从X1到X2方向和从X2到Xl方向这两方向。

另外，本实施方式的板厚计算部218也可以将区域511中的扫描线沿Y1-Y2方向错开而在多个部位算出宽度t1，并将其平均值设为玻璃基板500A的板厚。

端面状态检测部219检测玻璃基板500A的端面的状态。下面，参照图7对端面状态的检测进行说明。图7是对端面状态的检测进行说明的第一图。图7（A）是说明对玻璃基板500A实施端面处理的状态的图，图7（B）是说明未对玻璃基板500A实施端面处理的状态的图。本实施方式的端面处理表示对玻璃基板500A的端面实施研磨加工或蚀刻加工等处理，除去端面的瑕疵及凹凸而形成镜面的加工处理。玻璃基板500的端面表示作为玻璃基板500外周面的外周端面500H和作为玻璃基板500的内周面的内周端面500I。

在对玻璃基板500实施端面处理的情况下，外周端面500H、内周端面500I成为镜面。当以通过玻璃基板500内周的中心O的方式照射光S时，光S透过玻璃基板500，并如图7（A）所示形成透射光的图像70。

与此相对，在例如不对玻璃基板500A的内周端面500I实施端面处理的情况下，在内周端面500I存在凹凸。因此，光S在内周端面500I的凹凸散射，透过玻璃基板500A的量少。在不对玻璃基板500A的内周端面500I实施端面处理的情况下，如图7（B）所示，光S透射外周端面500H，但在内周端面500I散射，因此，透射光的图像70未形成。或者即使形成透射光的图像70，也成为辉度弱而图像70部以淡线或细线连接的图像。

本实施方式的端面状态检测部219利用该原理检测是否对玻璃基板500A实施端面处理。端面状态检测部219从X1向X2方向扫描图5所示的区域512的图像数据。而且，端面状态检测部219在区域512中检测玻璃基板500的图像500GA是否中断。

具体而言，端面状态检测部219在例如区域512的从X1向X2方向的扫描中检测出两个图像数据的HSV值的变化成为设定值以上的部位时，检测为图像500GA不中断。另外，在端面状态检测部219在区域512的从Xl向X2方向的扫描中未检测出图像数据的HSV值的变化成为设定值以上的部位时，检测为图像500GA中断。

在图像500GA不中断的情况下，表示未形成透过玻璃基板500A的中心O的透射光的图像（与图7的图像70对应）。因此，端面状态检测部219检测为未实施端面处理。

另外，在图像500GA中断的情况下，表示形成有透过玻璃基板500A的中心O的透射光的图像（与图7的图像70对应）。因此，端面状态检测部219检测为实施了端面处理。

另外，端面状态检测部219也可以根据透射光图像的辉度的强度检测是否实施了端面处理。例如在透射光图像的辉度的强度为设定值以下的情况下，本实施方式的端面状态检测部219也可以检测为图像500GA不中断。辉度的强度是例如预先设定于解析装置200中的值。

另外，本实施方式的端面状态检测部219也可以使区域512的从X1向X2方向的扫描从Y1向Y2方向或从Y2向Y1方向转换并进行多次。而且，在多次从X1向X2方向的扫描中检测为图像500GA中断预先设定的次数以上的情况下，端面状态检测部219也可以检测为实施了端面处理。另外，区域512的扫描方向也可以是从X1向X2方向和从X2向X1方向这两方向。

在图5的图像51中，在多个玻璃基板500A的图像500GA中的图像500GA1中，在区域512未形成透射玻璃基板500的透射光的图像S1（与图7的图像70对应）。因此可知，在图像51中，与图像GA1对应的玻璃基板500A未实施端面处理或端面处理不充分。

另外，在图像500GA2、500GA3中，在区域512形成有透射玻璃基板500A的透射光的图像S1。因此可知，作为图像500G2、500G3拍摄的玻璃基板500A充分实施了端面处理。

另外，在本实施方式的端面状态检测部219中，也可以在区域512中从Y1向Y2方向错开扫描线，而在多个部位进行检测。另外，本实施方式中，在多个部位的检测中，也可以在检测为未实施端面处理的部位为规定数以上的情况下，认为未实施玻璃基板500A的端面处理。

另外，在本实施方式中，颜色提取部216、原材料判别部217、板厚计算部218、端面状态检测部219的各处理根据基于R、G、B系成分表现的图像数据算出HSV值，并使用HSV值进行图像的提取，但不限定于此。例如可以代替HSV值而使用RGB值同样地进行颜色提取部216、原材料判别部217、板厚计算部218、端面状态检测部219的处理。另外，在本实施方式中，以图像51为例子进行了说明，但颜色提取部216、原材料判别部217、板厚计算部218、端面状态检测部219对由拍摄装置300拍摄到的所有的图像进行各部的处理。

接着，参照图8对本实施方式的玻璃基板检查装置100的动作进行说明。图8是说明第一实施方式的玻璃基板检查装置的动作的流程图。

在本实施方式的玻璃基板检查装置100中，拍摄装置300将盒400设置于盒用底座340（步骤S801），当进行摄像机330的焦距及照明装置310的光量等的设定时（步骤S802），进行拍摄（步骤S803）。在本实施方式中，使搭载有盒400的固定体350沿着驱动装置320的轴滑动，利用摄像机330在每个规定时刻拍摄盒400。

拍摄的图像发送至解析装置200，利用解析装置200的图像数据取得部213，作为图像数据被解析装置200取得。

解析装置200利用位置校正部214进行图像数据的位置校正，利用步长处理部215，指定用于进行颜色提取的区域（步骤S804）。接着，解析装置200利用颜色提取部216算出区域内的图像数据的色调的差量（步骤S805）。接着，颜色提取部216根据基于R、G、B系成分表现的图像数据算出由HSV（色调、饱和度、亮度）表示的HSV值（步骤S806）。接着，颜色提取部216检索算出的HSV值设定于解析装置200的设定值范围的区域，并提取符合的区域（步骤S807）。接着，颜色提取部216算出提取的区域的面积（步骤S808）。接着，解析装置200利用原材料判别部217判定提取的区域的颜色（步骤S809），参照玻璃基板原材料和特定颜色的表60判别玻璃基板500A～C的原材料（步骤S810）。

接着，解析装置200利用板厚计算部218根据算出的区域的面积算出玻璃基板500A～C的板厚（步骤S811）。接着，解析装置200利用端面状态检测部219检测玻璃基板500A～C的端面状态（步骤S812）。而且，玻璃基板检查装置100将步骤S810～步骤S812的结果作为检查结果进行输出（步骤S813）。

另外，本实施方式的基于原材料判别部217的处理、基于板厚计算部218的处理和基于端面状态检测部219的处理也可以先实施任一处理，也可以并列执行两个以上的处理。

通过上述处理，本实施方式的玻璃基板检查装置100可以检查例如在盒400内是否混杂有不同的原材料的玻璃基板500。另外，本实施方式的玻璃基板检查装置100可以检查例如在盒400内是否混杂有板厚不同的玻璃基板500。另外，本实施方式的玻璃基板检查装置100可以检查例如在盒400内是否混杂有板厚为允许值以外的玻璃基板500，或是否混杂有未实施端面处理的玻璃基板500。此外，能够对盒400所保管的玻璃基板的张数进行计数，检查是否保管有规定张数的玻璃基板。

在本实施方式中，不与收纳于盒400的玻璃基板接触，就能够进行玻璃基板500的检查，因此，不会在检查中对玻璃基板5造成瑕疵。

另外，在本实施方式中，即使在盒400上安置有盖420及底板421的状态下，也能够检查包含玻璃基板500的原材料、板厚、端面状态等的玻璃基板500的状态，因此，不会在检查中使异物附着于玻璃基板500。

另外，在本实施方式中，玻璃基板500设为在中心形成有圆孔的圆盘形状（环形状），但不限定于此。只要检查对象物是透光性且板状的物体，就可以适用本实施方式的玻璃基板检查装置100。另外，在本实施方式中，设为在盒400内收纳有多个玻璃基板500，但收纳于盒400内的玻璃基板500也可以是一张。另外，本实施方式设为作为检查对象物的玻璃基板500收纳于盒400内，但不限定于此。在本实施方式中，检查对象物也可以不收纳于盒400内部。

（第二实施方式）

下面，参照附图对本发明的第二实施方式进行说明。本发明的第二实施方式在判别配置于照明底座的盒的种类并基于盒的种类提取特定的颜色的图像的方面与第一实施方式不同。在下面的第二实施方式的说明中，只对与第一实施方式不同的方面进行说明，对具有与第一实施方式相同的功能结构的部分标注与第一实施方式的说明中使用的标号相同的标号，并省略其说明。

图9是说明第二实施方式的解析装置具有的功能的图。本实施方式的解析装置200A除了第一实施方式的解析装置200具有的各部以外，还具有盒判别部221。本实施方式的盒判别部221基于图像数据的盒400的盖420的颜色判别盒400的种类。在本实施方式的解析装置200A中，存储有例如将盒400的颜色和盒400的种类建立对应后的盒判别表，盒判别部221参照该盒判别表判别盒400的种类。

另外，本实施方式的颜色提取部216基于盒判别部221的判别结果设定从图像数据提取的图像的颜色。在本实施方式的解析装置200A中存储有例如盒400的类别和图像的颜色建立对应后的对应表。颜色提取部216参照对应表将与盒400的种类对应的颜色作为提取的颜色进行设定。

图10是说明第二实施方式的玻璃基板检查装置的动作的流程图。

从图10的步骤S1001到步骤S1003的处理与从图8的步骤S801到步骤S803的处理相同，因此，省略说明。解析装置200A通过盒判别部221根据利用步骤S1003拍摄到的图像数据判别盒400的种类（步骤S1004）。接着，解析装置200A利用颜色提取部216基于判别的盒400的种类设定提取的颜色，并提取设定的颜色的图像（步骤S1005）。

从步骤Sl006到步骤S1014的处理与从图8的步骤S805到步骤S813的处理相同，因此，省略说明。

通过以上结构，在本实施方式中，能够基于盒400的种类进行玻璃基板500的检查。

（第三实施方式）

下面，参照附图对本发明的第三实施方式进行说明。本发明的第三实施方式在为了提高板厚计算的精度而更详细地进行板厚计算部的处理的方面与第一实施方式不同。在下面的第三实施方式的说明中，只对与第一实施方式不同的方面进行说明，对具有与第一实施方式相同的功能结构的部分标注与第一实施方式的说明中使用的标号相同的标号，并省略其说明。

图11是说明第三实施方式的解析装置具有的功能的图。本实施方式的解析装置200B具有拍摄控制部212A、板厚计算部231。

本实施方式的拍摄控制部212A以按照规定张数包含收纳于盒400的玻璃基板500的图像的方式，使摄像机330拍摄多个图像。另外，本实施方式的拍摄控制部212A使摄像机330拍摄收纳于盒400端部的玻璃基板500位于图像中央的图像。

例如在图12（A）中，在固定体350从X2向X1方向滑动移动的情况下，拍摄控制部212A使拍摄装置300拍摄盒400左端的玻璃基板500的图像出现于中央的图像（与图12的图像54相当）。接着，拍摄控制部212A使拍摄装置300拍摄收纳有规定张数的玻璃基板500的图像的图像（与图5的图像51～53相当）。然后，拍摄控制部212A使拍摄装置300拍摄盒400右端的玻璃基板500的图像出现于中央的图像（与图12的图像55相当）。因此，在本实施方式中，最初拍摄与图像54相当的图像，最后拍摄与图像55相当的图像。

另外，本实施方式的拍摄控制部212A例如也可以控制摄像机330以根据预先设定的时刻拍摄图像。另外，本实施方式的拍摄控制部212A也可以在将例如拍摄到的图像的图像数据存储于存储装置220时，对图像数据赋予表示拍摄的顺序的标识符进行存储。

本实施方式的板厚计算部231判定盒400中是否存储有规定张数的玻璃基板500，并进行玻璃基板500板厚的计算。板厚计算部231的详情如后所述。

在此，参照图12对本实施方式的拍摄控制部212A使摄像机330拍摄的图像进行说明。图12是表示利用第三实施方式的拍摄装置拍摄到的图像的例子的图。图12（A）是含有规定张数的玻璃基板500的图像的图像的例子，图12（B）是以收纳于盒400两端的玻璃基板500的图像出现于中央的方式拍摄到的图像。

图12（A）所示的图像51、52、53与第一实施方式相同，因此，省略说明。

图12（B）所示的图像54是以收纳于盒400左端的玻璃基板500的图像500GA1位于中央的方式拍摄到的图像。图12（B）所示的图像55是以收纳于盒400右端的玻璃基板500的图像500GA4位于中央的方式拍摄到的图像。另外，在下面的说明中，将以收纳于盒400左右两端的玻璃基板500的图像位于图像的宽度方向的中央的方式拍摄到的图像称为中央配置图像。

中央配置图像54例如在将中央配置图像54的宽度设为W10的情况下，以图像500GA1的中央出现于宽度W10的中点的方式拍摄。中央配置图像55例如在将中央配置图像55的宽度设为W20的情况下，以图像500GA4的中央出现于宽度W20的中点的方式拍摄。

在本实施方式中，在算出收纳于盒400的左右两端的玻璃基板500的板厚时，使用中央配置图像54、55。在本实施方式中，通过该结构，在算出收纳于盒400的左右两端的玻璃基板500的板厚时，可抑制摄像机330的透镜产生的像差的影响。另外，在本实施方式中，通过该结构，降低例如盒400的盖420等成型时的偏差等引起的图像变形的影响。

下面，参照图13对本实施方式的板厚计算部231进行说明。图13是说明第三实施方式的板厚计算部的图。

本实施方式的板厚计算部231具有：图像判断部232、区域设定部233、灰度处理部234、成对边缘检测部235、边缘间计算部236、判定部237。

本实施方式的图像判断部232判断在存储装置220等中存储的图像数据的图像是否为中央配置图像。例如在本实施方式的盒400中可以收纳25张玻璃基板500，设在与图像51～53相当的5个图像中含有5张玻璃基板500的图像和与图像54及图像55相当的2个图像（中央配置图像）。在该情况下，图像判断部232将最初拍摄到的第一张图像和最后拍摄到的第七张图像判断为中央配置图像。

在进行中央配置图像的板厚计算时，区域设定部233在中央配置图像内设定规定区域。由区域设定部233设定的区域的详情如后所述。

灰度处理部234进行将RGB系图像数据变换为灰度的图像数据的处理。

成对边缘检测部235根据由灰度处理部234变换后的灰度图像数据，检测由亮度上升的上边缘和亮度下降的下边缘构成的成对边缘。

边缘间计算部236算出由成对边缘检测部235检测出的上边缘和下边缘的边缘间的距离。

判定部237判断由边缘间计算部236算出的边缘间的距离是否在规定的范围内。在本实施方式中，在边缘间的距离不在规定的范围内的情况下，判定为在盒400中未收纳有适当的玻璃基板500。

另外，除了基于上述的各部的处理以外，本实施方式的板厚计算部231还可以执行与第一实施方式中说明的板厚计算部218一样的处理。

下面，参照图14说明基于本实施方式的板厚计算部231的板厚计算。图14是说明基于第三实施方式的板厚计算部的玻璃基板的板厚计算的流程图。

本实施方式的板厚计算部231接收板厚的计算指示后，从存储装置220取得图像数据（步骤S1401）。接着，板厚计算部231利用图像判断部232判断取得的图像数据是否为中央配置图像的图像数据（步骤S1402）。

在步骤S1402中，在图像数据不是中央配置图像的图像数据的情况下，板厚计算部231利用灰度处理部234将取得的图像数据变换成灰度图像数据（步骤S1403）。接着，板厚计算部231利用成对边缘检测部235在设定了灰度图像数据的区域中检测由亮度上升的上边缘和亮度下降的下边缘构成的成对边缘（步骤S1404）。另外，在本实施方式中，在灰度图像数据中，预先设定进行成对边缘的检测的区域。

接着，板厚计算部231利用边缘间计算部236算出上边缘和下边缘之间的距离（下面，称为边缘间距离）（步骤S1405）。接着，判定部237判定边缘间距离是否在设定值范围内（步骤S1406）。另外，预先设定设定值范围。

在步骤S1406中，在边缘间距离在设定值范围内的情况下，板厚计算部231将边缘间距离作为板厚输出（步骤S1407），并结束处理。另外，输出的方式也可以显示于例如解析装置200的输出装置260等，也可以存储于存储装置220中。在步骤S1406中边缘间距离不在设定值范围内的情况下，板厚检测部231认为在盒400中未收纳有适当的玻璃基板500，将这一内容输出至输出装置260等（步骤S1408），并结束处理。

下面，参照图15，对本实施方式的成对边缘检测进行说明。图15是说明第三实施方式的成对边缘检测的图

在图15中，以图像52为例进行表示。在图像52中，含有5张玻璃基板500的图像500GB。在图15中，对图像52的图像数据中预先设定的区域S10上的成对边缘的检测进行说明。

成对边缘检测部235向X1-X2方向扫描图像数据，检测亮度上升的上边缘和亮度下降的下边缘。在图15中，点PA为上边缘，点PB为下边缘。而且，点PA和点PB之间的距离t10成为玻璃基板500的板厚。

另外，在图15中，只对区域S10进行了说明，但在本实施方式中，对图像52所包含的所有的玻璃基板500的图像进行同样的处理。

在本实施方式中，通过这样将图像数据变换成灰度图像数据，利用成对边缘检测算出板厚，能够减少图像解析处理的负荷且提高板厚计算的精度。

返回图14，对在步骤S1402中取得的图像数据为中央位置图像的图像数据的情况进行说明。

在是中央位置图像的图像数据的情况下，板厚计算部231判断是否反复进行了规定次数的后述的步骤S1410～步骤S1416的处理（步骤S1409）。

在步骤S1409中不反复进行规定次数的情况下，板厚计算部231利用区域设定部233进行图像数据内的区域的设定（步骤S1410）。本实施方式的区域设定部233按照指定的顺序设定预先设定的多个区域。基于区域设定部233的区域的设定的详情如后所述。

接着，板厚计算部231利用灰度处理部234将取得的图像数据设为灰度图像数据（步骤S1411）。接着，板厚计算部231判断利用成对边缘检测部235是否在灰度图像数据中的设定于区域设定部233的区域内检测到亮度上升的上边缘和亮度下降的下边缘（步骤S1412）。

在步骤S1412中未检测到上边缘和下边缘两者的情况下，板厚计算部231进入后述的步骤S1415。在步骤S1412中检测到上边缘和下边缘的情况下，边缘间计算部236算出边缘间距离（步骤S1413）。接着，判定部237判定边缘间距离是否在设定值范围内（步骤S1414）。

在步骤S1414中边缘间距离在设定值范围内的情况下，板厚计算部231将边缘间距离作为板厚，进入步骤S1407。

在步骤S1414中边缘间距离不在设定值范围内的情况下，板厚计算部231判断在步骤S1410中设定的区域内特定颜色的图像的面积是否为设定值以上（步骤S1415）。另外，在此的特定颜色的图像的面积利用预先设定的设定值范围的RGB值及HSV值的像素数求得。另外，设定值是预先设定的值。

在步骤S1415中特定颜色的图像的面积为设定值以上的情况下，板厚计算部231利用该像素的面积算出板厚（步骤S1416）。步骤S1415、步骤S1416中的板厚计算部231的处理与第一实施方式中说明的板厚计算的处理相同。

接着，板厚计算部231进入步骤S1407，输出算出的板厚，并结束处理。在步骤S1416中特定颜色的图像的面积不足设定值的情况下，板厚计算部231返回步骤S1409。

下面，参照图16对基于本实施方式的区域设定部233的区域设定进行说明。图16是说明基于第三实施方式的区域设定部的区域设定的图。

图16（A）是表示收纳于盒400右端的玻璃基板500的图像500GA1中未产生变形等的例子的图，图16（B）是表示收纳于盒400右端的玻璃基板500的图像500GA1中产生了变形等的例子的图。另外，在图16中，只对收纳于盒400右端的玻璃基板的图像500GA1进行说明，但可以说对于收纳于盒400左端的玻璃基板的图像也一样。

收纳于盒400右端的玻璃基板500的图像500GA1易于受到盒400的盖420的成型的塌边及偏差等影响。例如在图16（A）中拍摄有图像500GA1，与此相对，图16（B）的图像500GA1′缺少图像的一部分。这是由于将盖420成型时的塌边及瑕疵、磨损等引起盖420的形状中产生的偏差。

在本实施方式中，为了利用中央位置图像54所包含的图像500GA1高精度地算出收纳于盒400右端的玻璃基板500的板厚，只对图像500GA1进行设定成任意次数的多次的不同的板厚计算处理。

图16（A）、（B）的区域R1、R2、R3是由区域设定部233设定的区域。在本实施方式中，按照区域R1、R2、R3的顺序进行设定。

下面，参照图16（A）对从图14的步骤S1409到步骤S1416的处理进行具体说明。

当板厚计算部231取得中央位置图像的图像数据时，区域设定部233在步骤S1410中首先将区域R1设定为图像数据。接着，在步骤S1411中，将图像数据设为灰度图像数据，在步骤S1412中，判断在区域R1内是否检测出上边缘和下边缘这两方。在图16（A）的图像54A中，在区域R1内含有成为上边缘的点P11和成为下边缘的点P12。因此，在步骤S1413中，利用边缘间计算部236算出边缘间距离，在步骤S1414中，判断为边缘间距离在设定值范围内。

接着，参照图16（B）对从图14的步骤S1409到步骤S1416的处理进行具体说明。

当板厚计算部231取得中央位置图像的图像数据时，区域设定部233在步骤S1410中首先将区域R1设定为图像数据。接着，在步骤S1411中，将图像数据设为灰度图像数据，在步骤S1412中，判断在区域R1内是否检测出上边缘和下边缘这两方。在图16（B）的图像54B中，在区域R1内既不存在成为上边缘的点，也不存在成为下边缘的点。因此，板厚计算部231在步骤S1415中判断特定颜色的图像的面积是否为设定值以上。但是，在区域R1内不含有玻璃基板500的图像500GA1′。因此，接着，板厚计算部231判断在步骤S1409中预先设定的中央位置图像的板厚检测次数的处理是否结束。

在此，板厚检测次数设为3次，因此，板厚计算部231再次反复进行从步骤S1410起的处理。

在步骤S1410中，区域设定部233接着在图像54B中设定区域R2。接着，将图像数据设为灰度图像数据，判断在区域R2内是否检测出上边缘和下边缘。在区域R2中，可以检测出上边缘和下边缘，但边缘间距离在设定值范围外。

因此，板厚计算部231判断在步骤S1415中区域R2的特定颜色的图像的面积是否为设定值以上。在区域R2内，图像500GA1′为缺少的状态，因此，特定颜色的图像的面积不会成为设定值以上。

因此，板厚检测部231再次在步骤S1410中利用区域设定部233设定区域R3。在区域R3中，可以检测上边缘和下边缘，且边缘间距离在设定值范围内，因此，将在区域R3中算出的边缘间距离作为与图像500GAl′对应的玻璃基板500的板厚进行输出。

在本实施方式中，通过如上进行收纳于盒400的左右两端的玻璃基板500的板厚计算，能够降低板厚计算中的盒400的盖420的成型的偏差等造成的影响，可提高板厚计算的精度。

另外，在本实施方式中，板厚计算处理的次数设为3次，但板厚计算处理次数可以任意设定。

另外，在本实施方式中，在由区域设定部233设定的每个区域中设定有步骤S1415的判断所使用的设定值（阈值）。在步骤S1415的判断中使用的设定值是用于判断在区域内是否存在特定颜色的图像的阈值。

例如区域R1的面积比区域R2的面积大。因此，在区域R1中，成为判断为存在特定颜色的图像的基准的设定值成为比区域R2中的设定值小的值。

另外，区域R1、R2、R3也可以根据例如盒400的成型的偏差的趋势设定。另外，在本实施方式中，区域R1、R2、R3中至少任一个区域以含有图像500GA1的一部分的方式设定。

另外，在本实施方式中，也可以学习区域R1、R2、R3中可算出板厚的可能性最高的区域，变更基于区域设定部233的区域的设定顺序。例如在区域R1中图像缺少的情况多，而在区域R3中含有良好的图像的情况多时，区域设定部233也可以最初设定区域R3的方式变更区域的设定顺序。

（第四实施方式）

下面，参照附图对本发明的第四实施方式进行说明。在本发明的第四实施方式中，分别设有拍摄用于进行板厚计算的图像的摄像机和拍摄用于检测端面状态的图像的摄像机的方面与第三实施方式不同。因此，在下面本发明的第四实施方式中，只对与第三实施方式不同的方面进行说明，对具有与第三实施方式相同的功能结构的部分赋予第三实施方式的说明中使用的标号，且省略其说明。

图17是说明第四实施方式的拍摄装置的图。

本实施方式的拍摄装置300A具有用于拍摄板厚计算处理和原材料判别处理中所使用的图像的摄像机330A。摄像机330A以使拍摄面331A相对于通过盒400的开口部假想形成的开口面倾斜的方式配置。

在本实施方式中，通过这样使用由相对于开口部倾斜的摄像机330A拍摄的图像，可降低摄像机330A相对于板厚计算和原材料判别所使用的图像的像差的影响。

在本实施方式中，由摄像机330拍摄的图像的图像数据和由摄像机330A拍摄的图像的图像数据分别可识别地存储于存储装置220。板厚计算部231和原材料判别部217取得由摄像机330A拍摄的图像的图像数据并进行板厚的计算。端面状态检测部219取得摄像机330拍摄到的图像的图像数据并进行端面状态的检测。

图18是表示第四实施方式的摄像机和盒的位置关系的例子的图。在本实施方式中，将通过盒400的开口部401假想形成的开口面402的法线和摄像机330A的拍摄面331A朝向的方向之间的角度设为θ时，优选θ为30度以上且不足90度。进一步优选角度θ为60度左右。另外，进一步优选θ为40度以上且80度以下，更进一步优选θ为50度以上且70度以下。

（第五实施方式）

下面，参照附图对本发明的第五实施方式进行说明。在本发明的第五实施方式中，具有使摄像机的拍摄面倾斜的结构的方面与第三实施方式不同。因此，在下面本发明的第五实施方式中，只对与第三实施方式不同方面进行说明，对具有与第三实施方式相同的功能结构的部分赋予第三实施方式的说明中使用的标号，并省略其说明。

图19是说明第五实施方式的拍摄装置的图。本实施方式的拍摄装置300B具有摄像机330B。摄像机330B利用以使拍摄面相对于开口面402的角度成为规定角度的方式使摄像机330B动作（转动）的动作控制部332安装于支柱302上。动作控制部332对照固定体350的移动方向，使摄像机330B转动。

在本实施方式中，例如固定体350向A方向移动时，摄像机330B的拍摄面331B以与盒400的开口面402平行的方式，拍摄基于端面状态检测部219的端面状态的检测所使用的图像。而且，固定体350向B方向移动时，以摄像机330B的拍摄面331B和盒400的开口面402之间的角度成为大致60度的方式，动作控制部332使摄像机330B转动。然后，拍摄基于板厚计算部231的板厚计算和基于原材料判别部217的原材料判别所使用的图像。

在本实施方式中，通过这样对照固定体350的动作使摄像机330B转动，即使不设置两部摄像机，也能够得到与第四实施方式相同的效果。另外，在本实施方式中，也可以在固定体350向A方向移动时，使摄像机330B倾斜，在向B方向移动时，使摄像机330B返回到与开口面402垂直的位置。

另外，在上述的实施方式中，固定摄像机330，且固定有照明装置310和盒400的固定体350向与摄像机330的拍摄面331正交的方向移动，但不限定于此。例如摄像机330也可以向与拍摄面331正交的方向在设置于盒用底座340上的盒400上方移动。

另外，在本实施方式中，例如也可以只固定有盒400，摄像机330和照明装置310向与拍摄面331正交的方向移动。即，在本实施方式中，摄像机330和照明装置310的位置关系只要总是相同即可。

作为成为本发明的测定对象的玻璃基板500没有特别制限，但作为具体的玻璃基板，可列举：磁记录介质用、光掩模用、液晶及有机EL等显示器用、光拾取元件及光学滤波器等光学零件用等的玻璃基板。

另外，玻璃基板500的玻璃种类适宜选择适用于各种用途的玻璃，可以是非晶玻璃，也可以是结晶玻璃，也可以是在玻璃基板的表层具有强化层的强化玻璃（例如，化学强化玻璃）。

另外，作为加工前的玻璃基板500（下面，也称为玻璃素基板）的制造方法没有特别制限，可以用浮法制造，也可以用熔融法制造，也可以用下拉法制造，也可以用冲压成型法制造。

在上述中，磁记录介质用玻璃基板要求比其它玻璃基板产品所要求的形状特性（板厚偏差、端面处理状态等）严格的等级，最适合应用使用了本发明的玻璃基板检查装置100的检查方法及包含具有使用了玻璃基板检查装置100的检查方法的检查工序的玻璃基板的制造方法。

通常，磁记录介质用玻璃基板及磁盘的制造工序包含下面的工序。

（1）将以浮法、熔融法、下拉法或冲压成型法成型后的玻璃素基板加工成圆盘形状之后，对内周侧面和外周侧面进行倒角加工。（2）对玻璃基板的上下主平面进行磨削加工。（3）对玻璃基板的侧面部和倒角部进行端面研磨。（4）对玻璃基板的上下主平面进行研磨。研磨工序可以只进行1次研磨，也可以进行1次研磨和两次研磨，也可以在两次研磨后进行3次研磨。（5）进行玻璃基板的精密清洗，制造磁记录介质用玻璃基板。（6）在磁记录介质用玻璃基板上形成磁性层等薄膜，制造磁盘。

另外，在上述磁记录介质用玻璃基板及磁盘的制造工序中，也可以在各工序间实施玻璃基板清洗（工序间清洗）及玻璃基板表面的蚀刻（工序间蚀刻）。另外，在对磁记录介质用玻璃基板要求高机械强度的情况下，也可以在研磨工序前或研磨工序后、或研磨工序间实施在玻璃基板的表层形成强化层的强化工序（例如，化学强化工序）。

在本发明中，磁记录介质用玻璃基板可以是非晶玻璃，也可以是结晶玻璃，也可以是在玻璃基板的表层具有强化层的强化玻璃（例如，化学强化玻璃）。另外，本发明的玻璃基板500的玻璃素基板可以用浮法制造，也可以用熔融法制造，也可以用冲压成型法制造。

本发明的玻璃基板检查装置100能够在磁记录介质用玻璃基板及磁盘的制造工序的端面研磨工序（3）中使用于加工中途的磁记录介质用玻璃基板的检查。另外，在磁记录介质用玻璃基板及磁盘的制造工序中，可使用于将玻璃基板精密清洗而制造的磁记录介质用玻璃基板（5）的检查（磁记录介质用玻璃基板的最终检查）及在磁记录介质用玻璃基板上形成磁性层等薄膜而制造的磁盘（6）的形状检查中。

本发明的玻璃基板检查装置100特别适合用于磁记录介质用玻璃基板的形状检查（磁记录介质用玻璃基板的最终检查）。

以上，基于各实施方式进行了本发明的说明，但本发明不限定于上述实施方式所示的必要的条件。关于这些方面，可以在不损坏本发明宗旨的范围内进行变更，根据其应用方式，可以适当制定。

Claims (15)

1.一种玻璃基板检查装置，拍摄照射有来自光源的光的玻璃基板的图像，基于所述图像的图像数据进行所述玻璃基板的检查，具有：

拍摄单元，对玻璃基板拍摄多个图像；及

板厚计算单元，基于由所述拍摄单元拍摄到的所述图像的图像数据算出所述玻璃基板的板厚。

2.如权利要求1所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述玻璃基板收纳于盒中，该盒具有：

光源用开口部，用于使来自所述光源的光入射；及

拍摄用开口部，用于供所述拍摄单元拍摄所述玻璃基板的图像，

所述玻璃基板检查装置具有：

驱动控制单元，使所述盒在所述拍摄单元的拍摄视场内移动；及

拍摄控制单元，使所述拍摄单元从移动的所述盒的所述拍摄用开口部侧拍摄所述多个图像。

3.如权利要求2所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述盒在盒的上表面具有所述拍摄用开口部。

4.如权利要求2或3所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述盒配置于所述光源的上方，

所述驱动控制单元使所述光源和所述盒一起移动。

5.如权利要求2～4中任一项所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述板厚计算单元使用使所述拍摄单元的拍摄面形成为相对于由所述拍摄用开口部形成的平面的法线具有角度的状态而拍摄到的图像的图像数据。

6.如权利要求2～5中任一项所述的玻璃基板检查装置，其中，

具有动作控制单元，该动作控制单元使所述拍摄单元的拍摄面以相对于由所述拍摄用开口部形成的平面的法线具有角度的方式动作。

7.如权利要求2～6中任一项所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述拍摄单元具有倾斜拍摄单元，该倾斜拍摄单元以使拍摄面相对于由所述拍摄用开口部形成的平面的法线具有角度的方式配置。

8.如权利要求1～7中任一项所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述板厚计算单元具有：

灰度处理单元，将所述图像数据形成为灰度数据；及

成对边缘检测单元，在所述灰度数据的规定区域检测由亮度上升的上边缘和亮度下降的下边缘构成的成对边缘，

将所述上边缘和所述下边缘之间的距离设为所述玻璃基板的板厚。

9.如权利要求8所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述板厚计算单元在通过所述成对边缘检测单元未检测出所述上边缘及所述下边缘时或所述上边缘和所述下边缘之间的距离不在第一设定值范围内时，

基于检测出所述规定区域内的所述图像数据的色阶的变化后的结果算出所述玻璃基板的板厚。

10.如权利要求9所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述板厚计算单元在所述规定区域内检测两个所述色阶变化的点，并算出所述两点之间的宽度作为所述玻璃基板的板厚。

11.如权利要求10所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述板厚计算单元在所述两点之间的宽度不在第二设定值范围内时，设定与所述规定区域不同的规定区域，判断在所述不同的规定区域内通过所述成对边缘检测单元是否检测出所述上边缘及所述下边缘。

12.如权利要求1～11中任一项所述的玻璃基板检查装置，其中，

具有原材料判别单元，该原材料判别单元基于所述图像数据判别所述玻璃基板的原材料。

13.如权利要求1～12中任一项所述的玻璃基板检查装置，其中，

具有端面状态检测单元，该端面状态检测单元基于所述图像数据检测是否对玻璃基板的端面进行了加工。

14.如权利要求1～13中任一项所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述玻璃基板是在中心具有圆孔的圆盘形状的磁记录介质用玻璃基板。

15.一种磁记录介质用玻璃基板的制造方法，其中，

包括利用权利要求1～13中任一项所述的玻璃基板检查装置进行的检查工序。

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