CN103107394A - 一种基于MEMS工艺THz波段EMXT腔体滤波器 - Google Patents
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Abstract
Description
金属柱材料 | 硅柱溅射金 |
金属柱直径d | 48μm |
晶格常数a | 120μm |
腔体半径R | 357μm |
径向间距al | 120μm |
PBG波导的宽度w | 483μm |
整体结构高度h | 241μm |
频率(GHz) | 0.484THz | 0.499THz | 0.509THz |
增益(dB) | -1.44 | -1.04 | -1.57 |
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