CN103094033A - 一种双灯丝离子源弧流平衡调节方法 - Google Patents
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Abstract
一种双灯丝离子源弧流平衡调节方法,它包括:灯丝电源1(1)、灯丝电源2(2)、偏置电源1(3)、偏置电源2(4)、弧压电源(5)、比较器1(6)、比较器2(7)、两个霍尔传感器(8)。灯丝电源1(1)和2(2)用来给离子源的灯丝加热,当灯丝加热温度达到一定程度时,灯丝就会发射电子,偏置电源1(3)和2(4)加在阴极与灯丝之间,使得电子以一定能量打到阴极上,形成偏流。同样阴极在持续的轰击下,阴极表面发射电子,弧压电源(5)连接在弧室与阴极之间,电子在弧压电场作用下,向弧室运动,最终吸附到弧室上形成弧流。首先,调节灯丝电源1(1),直至偏流达到设定值,在调节偏置电源1(3),电子在弧压电场作用下,使其形成的弧流值与设定值相等。然后以灯丝电源1(1)和偏置电源1(3)为基准,分别调节灯丝电源2(2)和偏置电源2(4)。通过检测的电流反馈值,不断调节电源的输入值,直到偏流和弧流均与设定值相等。这样的双闭环控制,能达到双灯丝离子源平衡弧流的方法。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造工艺的设备离子注入机,离子注入机的一种双灯丝离子源调节弧流平衡方法。
背景技术
在半导体制造工艺设备离子注入机中,离子源部件是离子注入机的关键部分起到决定性的作用,直接影响到离子注入晶片的剂量大小以及离子束流的纯度。
间接加热式离子源由放电室(阳极)、灯丝、阴极、反射极构成、离子源的灯丝座以及外壳、水冷。在高真空条件下,加上一定的电流使灯丝加热,当加热温度达到电子的溢出功,灯丝发射电子,在灯丝与阴极之间加一偏压,电子在偏压加速下,以一定的能量打到阴极上,使阴极发热,同样当温度达到电子的溢出功时,阴极表面发射电子,在阴极与阳极(放电室)之间加上弧压(约-100V),阴极表面溢出的电子在弧压电场电场作用下,由阴极飞向阳极;在放电室中送入了一定的工艺气体,放电室由高真空变为低真空,阴极发射的电子与放电室中的气体发生碰撞而产生电离,形成等离子体。
在离子源部件中,为了增加电子在放电室中的飞行路程,以便提高电子与气体的碰撞几率从而提高离子源的电离效率,在放电室中加上磁场B(几十~几百GS)(所说的源磁场),在磁场中电子作螺旋运动有效地提高了电子的运动路程。同时在阴极的对面加了一个反射电极,其电位与阴极相同,当电子运动到反射极时会被排斥回来,提高电子的寿命。离子源放电形成的等离子体密度与阴极发射的电子量、送气量(放电室中的气压)、弧压、磁场的大小密切相关。
发明内容
本发明是针对双灯丝离子源弧流平衡稳定的一种方法。两个灯丝在在各个电源的调节下,在相同的弧室中最终达到了弧流平衡。如图1双灯丝离子源示意图。
本发明通过以下技术方案实现:
1.一种双灯丝离子源弧流平衡调节方法,包括:灯丝电源1(1)、灯丝电源2(2)、偏置电源1(3)、偏置电源2(4)、弧压电源(5)、比较器1(6)、比较器2(7)、两个霍尔传感器(8)。其特征在于:
其中所述的双灯丝电源形成的弧流,首先调节灯丝电源1(1)和偏置电源1(3),使其输出的偏流值和弧流值达到设定值。
2.一种双灯丝离子源弧流平衡调节方法,包括:灯丝电源1(1)、灯丝电源2(2)、偏置电源1(3)、偏置电源2(4)、弧压电源(5)、比较器1(6)、比较器2(7)、两个霍尔传感器(8)、两个反向器(9)。其特征在于:
其中所述的调节灯丝电源1(1)和偏置电源1(3)后,以此为基准。双灯丝弧流平衡调节方法的流程图如图2所示,步骤(9)开始,步骤(10)调节灯丝电源2(2),步骤(11)检测偏流1与偏流2,步骤(12)比较他们的差值,若差值在允许误差范围内,则接着步骤(14),若不在允许的误差范围,通过步骤(13)的计算反馈给灯丝电源2(2),再次调节电源输出直至两个偏流差值在允许范围内,因此偏流2也就达到设定值。然后执行步骤(14)调节偏置电源2(4),步骤(15)通过霍尔传感器检测弧流1和弧流2。步骤(16)比较两个的差值,若差值在允许的范围内,调节过程就结束。相反,则通过步骤(17)反馈给偏置电源2(4),调节它的输出值,直到达到我们设定的弧流值。
本发明解决了双灯丝离子源弧流不平衡的问题,实现了双灯丝在不同的状态最终达到弧流平衡的过程。
附图说明
图1是本发明的双灯丝离子源框图
图2是本发明的流程图
具体实施方式
下面结合附图的具体实施例对本发明作进一步介绍,应该理解,这些描述都是说明性的,本发明不限于此。本发明的范围仅由所附权利要求的范围所限定。
图1示意一种双灯丝离子源弧流平衡调节方法,包括:灯丝电源1(1)、灯丝电源2(2)、偏置电源1(3)、偏置电源2(4)、弧压电源(5)、比较器1(6)、比较器2(7)、两个霍尔传感器(8)。灯丝电源1(1)和2(2)用来给离子源的灯丝加热,当灯丝加热温度达到一定程度时,灯丝就会发射电子,偏置电源1(3)和2(4)加在阴极与灯丝之间,使得电子以一定能量打到阴极上,形成偏流。同样阴极在持续的轰击下,阴极表面发射电子,弧压电源(5)连接在弧室与阴极之间,电子在弧压电场作用下,向弧室运动,最终吸附到弧室上形成弧流。
首先调节灯丝电源1(1)和偏置电源1(3),使其输出的偏流值和弧流值达到设定值。调节完灯丝电源1(1)和偏置电源1(3)后,以此为基准。双灯丝弧流平衡调节方法的流程图如图2所示,步骤(9)开始,步骤(10)调节灯丝电源2(2),步骤(11)检测偏流1与偏流2,步骤(12)比较他们的差值,若差值在允许误差范围内,则接着步骤(14),若不在允许的误差范围,通过步骤(13)的计算反馈给灯丝电源2(2),再次调节电源输出直至两个偏流差值在允许范围内,因此偏流2也就达到设定值。然后执行步骤(14)调节偏置电源2(4),步骤(15)通过霍尔传感器检测弧流1和弧流2。步骤(16)比较两个的差值,若差值在允许的范围内,调节过程就结束。相反,则通过步骤(17)反馈给偏置电源2(4),调节它的输出值,直到达到我们设定的弧流值。
本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言,在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动,或者惯用手段的直接替换,都构成对本发明专利的侵犯,将承担相应的法律责任。
Claims (3)
1.一种双灯丝离子源平衡调节方法,包括:灯丝电源1(1)、灯丝电源2(2)、偏置电源1(3)、偏置电源2(4)、弧压电源(5)、比较器1(6)、比较器2(7)、两个霍尔传感器(8)。其特征在于:
其中所述双灯丝离子源包括:灯丝电源1(1)、灯丝电源2(2)、偏置电源1(3)、偏置电源2(4)、弧压电源(5)、比较器1(6)、比较器2(7)、两个霍尔传感器(8)、两个反向器(9)。灯丝电源1(1)和2(2)用来给离子源的灯丝加热,当灯丝加热温度达到一定程度时,灯丝就会发射电子,偏置电源1(3)和2(4)加在阴极与灯丝之间,使得电子以一定能量打到阴极上,形成偏流。同样阴极在持续的轰击下,阴极表面发射电子,弧压电源(5)连接在弧室与阴极之间,电子在弧压电场作用下,向弧室运动,最终吸附到弧室上形成弧流。
2.权利要求1的一种双灯丝离子源平衡调节方法,其中所述的调节方法:首先是设定偏流值和相应的弧流值,然后调节灯丝电源1(1)和偏置电源1(3),直到调出设定的偏流值和弧流值即可。
3.权利要求2的一种双灯丝离子源平衡调节方法,权利要求1所述的灯丝电源1(1)和偏置电源1(3)调节完毕后,以他们的输出值为基准,调节灯丝电源2(2)和偏置电源2(4)。直至偏流和弧流分别与设定值相等。
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