CN103088299A - 镀膜修正板及其组装方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种镀膜修正板,其包括一个基片、至少一个长度不同的翼片及一个铝箔纸,该至少一个翼片可拆卸地、可转动地组装于该基片。该铝箔纸沿该基片及该至少一个翼片的外轮廓包裹该基片及该至少一个翼片。如此,可以避免人工剪裁对该镀膜修正板的形状的影响,提高镀膜质量及效率,且可改变该修正镀膜板的形状,以适用不同的需求。另外,本发明还提供一种镀膜修正板的组装方法。

Description

镀膜修正板及其组装方法
技术领域
本发明涉及镀膜技术,特别涉及一种镀膜修正板及其组装方法。
背景技术
镀膜机包括坩埚及相对于坩埚设置的伞架。伞架形成有从中心到边缘的多圈收容孔,每个收容孔收容一个或多个待镀膜工件。镀膜时,坩埚内的材料蒸发后被电子束轰击并与反应气体反应后附着于待镀膜工件形成膜层,而伞架转动以使同一圈收容孔内的待镀膜工件获得的膜层气体基本相同,从而使同一圈收容孔内的待镀膜工件的膜层厚度基本相同。然而,一般地,正对坩埚的几圈收容孔内的膜层气体浓度大于偏离坩埚的几圈收容孔内的膜层气体浓度,导致不同圈的收容孔内的待镀膜工件上的膜层厚度不均,影响镀膜质量。为此,可采用镀膜修正板进行修正。镀膜修正板设置于坩埚与伞架之间,且正板正对坩埚的部分宽度较大而偏离坩埚的部分宽度较小,如此,到达正对镀膜源的几圈收容孔的膜层气体虽然浓度较大但较大部分被遮挡而到达偏离镀膜源的几圈收容孔的镀膜气体虽然浓度较小但较小部分被遮挡,使得不同圈的收容孔内的待镀膜工件获得的膜层气体基本相同,从而从而使不同圈的收容孔内的待镀膜工件的膜层厚度基本相同。镀膜修正板一般包括基板及铝箔纸。目前,镀膜修正板的形状可以取决于基板或铝箔纸的形状,前者的箔纸沿基板的轮廓包裹基板,如此,镀膜修正板的形状确定,当需要其他形状的镀膜修正板时,需重新制作,通用性差。后者的铝箔纸大于基板并展开粘贴在基板上,然而,目前铝箔纸主要通过人工剪裁获得,难以遵循统一标准,经常需经过多次剪裁、试验镀膜确认镀膜修正板的效果,不但镀膜质量难以保证,且效率低。
发明内容
有鉴于此,有必要提供一种通用性佳且可提高镀膜质量及效率的镀膜修正板。
一种镀膜修正板,其包括一个基片、至少一个长度不同的翼片及一个铝箔纸,该至少一个翼片可拆卸地、可转动地组装于该基片。该铝箔纸沿该基片及该至少一个翼片的外轮廓包裹该基片及该至少一个翼片。
另外,本发明还提供一种镀膜修正板的组装方法
一种镀膜修正板的组装方法,其包括:
提供一个基片、多个长度不同的翼片及一个铝箔纸;
按镀膜需求从该多个翼片中选择至少一个翼片;
按镀膜需求为每个被选择的翼片从该基片上选择一个组装位置;
将每个被选择的翼片可拆卸、可转动地组装于对应的组装位置;及
将该铝箔纸沿该基片及组装于该基片的翼片的外轮廓包括该基片及组装于该基片的翼片。
采用该铝箔纸沿该基片及组装于该基片的翼片的外轮廓包裹该基片及组装于该基片的翼片,如此,该镀膜修正板的形状取决于该基片及组装于该基片地的翼片的外轮廓而非该铝箔纸,如此,可以避免人工剪裁对该镀膜修正板的形状的影响,提高镀膜质量及效率。而通过在该多个翼片中选择不同的翼片,并按不同的转动角度组装于不同的组装位置,可以改变该基片及组装于该基片的翼片的外轮廓,即改变该修正镀膜板的形状,以适用不同的需求。
附图说明
图1为本发明较佳实施方式的镀膜修正板的立体分解示意图。
图2为图1的镀膜修正板的部分组装示意图。
图3为图1的镀膜修正板的组装示意图。
图4为图1的镀膜修正板的部分组装平面示意图。
图5-7为本发明其他实施方式的镀膜修正板的部分组装平面示意图。
主要元件符号说明
镀膜修正板 10
基片 100
固定柱 102
翼片 200
固定孔 202
铝箔纸 300
外轮廓 400
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
请参阅图1-4,本发明较佳实施方式的镀膜修正板10包括一个基片100、至少一个长度不同的翼片200及一个铝箔纸300。该至少一个翼片200可拆卸地、可转动地组装于该基片100。该铝箔纸300沿该基片100及组装于该基片100的翼片200的外轮廓400包裹该基片100及组装于该基片100的翼片200。
具体地,可通过本发明较佳实施方式的镀膜修正板的组装方法获得该镀膜修正板10,其包括:
提供该基片100、多个长度不同的翼片200及该铝箔纸300;
按镀膜需求从该多个翼片200中选择至少一个翼片200;
按镀膜需求为每个被选择的翼片200从该基片上选择一个组装位置;
将每个被选择的翼片200可拆卸、可转动地组装于对应的组装位置;及
将该铝箔纸300沿该基片100及组装于该基片100的翼片200的外轮廓包括该基片100及组装于该基片100的翼片200。
也即是说,该多个翼片200系可选择地组装于该基片100的。
具体地,“可选择地”是指可以视镀膜需求从该多个翼片200中选择全部的或者部分合适的翼片200。在本实施方式中,该多个翼片200的数目为十四,并全部被选择并组装于该基片100。当然,该多个翼片200的数目也可以超过十四(图1-4仅显示其中十四个),根据需求图1-4显示的其中十四个翼片200被选择并组装于该基片100。在其他实施方式中,可以是其它十四个翼片200被选择并组装于该基片100(请参图6)或者其中六个翼片200被选择并组装于该基片100。
“可选择地”还指被选择的翼片200固定到该基片100的位置(即组装位置)是可以选择的。例如,同样是图1-5显示的十四个翼片200被选择,可以按图1-4显示的方式将该十四个翼片200组装于该基片100,也可以按图5显示的方式将该十四个翼片200组装于该基片100。
“可拆卸地”是指被选择的翼片200固定到该基片100后容易拆卸。
“可转动地”是指被选择的翼片200固定到该基片100后可以相对于该基片100转动。例如,每个翼片200可以相对于该基片100转动至如图1-4所示的角度,或者转动至如图5所示的角度,又或者转动至如图6-7所示的角度。
具体地,该基片100呈矩形,其两个长边缘各自形成有多个固定柱102,每个长边缘上的固定柱102沿该长边缘线性等距分布。该多个固定柱102及被选择的翼片200成对组装,被选择的同一对翼片200形状及大小相同。每对被选择的翼片200组装于对应一对固定柱。每个翼片200呈长片状,沿其长度方向的一端形成有一个与该固定柱102匹配的固定孔202。“匹配”是指该固定孔202与该固定柱102的形状及尺寸组装使得每个翼片200可以通过该固定孔202固定到该固定柱102后不易脱落以保证后续包裹该铝箔纸300与镀膜过程中该翼片200保持组装于该基片100上。“匹配”还指该固定孔202与该固定柱102的形状及尺寸组装使得每个翼片200在施加一定的作用力后容易从对应的固定柱102拆卸及相对于该基片100转动,以满足“可拆卸地”及“可转动地”的要求。可以理解,每个固定柱102即一个组装位置。
如此,采用该铝箔纸300沿该基片100及组装于该基片100的翼片200的外轮廓400包裹该基片100与组装于该基片100的翼片200,即是说该镀膜修正板10的形状取决于该基片100及组装于该基片100的翼片200的外轮廓400而非该铝箔纸300,如此,可以避免人工剪裁对该镀膜修正板10的形状的影响,提高镀膜质量及效率。而通过在该多个翼片200中选择不同的翼片200,并按相对于该基片100的不同的转动角度组装于该基片100不同的位置,可以改变该基片100及组装于该基片100的翼片200的外轮廓400,即改变该镀膜修正板10的形状,以适用不同的需求。
总之,本技术领域的普通技术人员应当认识到,以上的实施方式仅是用来说明本发明,而并非用作为对本发明的限定,只要在本发明的实质精神范围之内,对以上实施例所作的适当改变和变化都落在本发明要求保护的范围之内。

Claims (10)

1.一种镀膜修正板,其包括一个基片、至少一个长度不同的翼片及一个铝箔纸,该至少一个翼片可拆卸地、可转动地组装于该基片,该铝箔纸沿该基片及组装于该基片的翼片的外轮廓包裹该基片及组装于该基片的翼片。
2.如权利要求1所述的镀膜修正板,其特征在于,该基片包括多个固定柱,每个翼片形成有一个与该固定柱匹配的固定孔,每个翼片通过对应的固定孔与对应的固定柱配合组装于该基片。
3.如权利要求2所述的镀膜修正板,其特征在于,该多个翼片组装于部分或者全部固定柱。
4.如权利要求2所述的镀膜修正板,其特征在于,该基片呈矩形状,该多个固定柱线性等距分布于该基片的两个长边缘。
5.如权利要求4所述的镀膜修正板,其特征在于,该多个固定柱及该至少一个翼片成对组装,每对固定柱分布于该基片两个长边缘的相对位置,每对翼片的大小及形状相同并组装于对应一对固定柱。
6.一种镀膜修正板的组装方法,其包括:
提供一个基片、多个长度不同的翼片及一个铝箔纸;
按镀膜需求从该多个翼片中选择至少一个翼片;
按镀膜需求为每个被选择的翼片从该基片上选择一个组装位置;
将每个被选择的翼片可拆卸、可转动地组装于对应的组装位置;及
将该铝箔纸沿该基片及组装于该基片的翼片的外轮廓包括该基片及组装于该基片的翼片。
7.如权利要求6所述的镀膜修正板的组装方法,其特征在于,该多个翼片全部或部分被选择。
8.如权利要求6所述的镀膜修正板的组装方法,其特征在于,该基片包括多个固定柱,每个固定柱即一个组装位置,每个翼片形成有一个与该固定柱匹配的固定孔,每个翼片通过对应的固定孔与对应的固定柱配合组装于该基片。
9.如权利要求8所述的镀膜修正板的组装方法,其特征在于,被选择的翼片组装于部分或者全部固定柱。
10.如权利要求8所述的镀膜修正板的组装方法,其特征在于,该多个固定柱及被选择的翼片成对组装,每对固定柱分布于该基片两个长边缘的相对位置,每对翼片的大小及形状相同并组装于对应一对固定柱。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107630188A (zh) * 2017-10-31 2018-01-26 安徽富芯微电子有限公司 一种用于提高金属层镀膜均匀性的镀膜机构及其使用方法
CN117488248A (zh) * 2024-01-02 2024-02-02 上海米蜂激光科技有限公司 修正板的设计方法、修正板、镀膜装置以及镀膜方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5660220A (en) * 1995-11-20 1997-08-26 Ruan; Ying Chao Pleated fan type sun shade for motor vehicles
CN1498284A (zh) * 2001-03-16 2004-05-19 4波公司 使用阶梯形型面的掩膜来制造薄膜结构的系统和方法
CN102086505A (zh) * 2009-12-03 2011-06-08 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 镀膜修正板

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5660220A (en) * 1995-11-20 1997-08-26 Ruan; Ying Chao Pleated fan type sun shade for motor vehicles
CN1498284A (zh) * 2001-03-16 2004-05-19 4波公司 使用阶梯形型面的掩膜来制造薄膜结构的系统和方法
CN102086505A (zh) * 2009-12-03 2011-06-08 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 镀膜修正板

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107630188A (zh) * 2017-10-31 2018-01-26 安徽富芯微电子有限公司 一种用于提高金属层镀膜均匀性的镀膜机构及其使用方法
CN117488248A (zh) * 2024-01-02 2024-02-02 上海米蜂激光科技有限公司 修正板的设计方法、修正板、镀膜装置以及镀膜方法
CN117488248B (zh) * 2024-01-02 2024-03-12 上海米蜂激光科技有限公司 修正板的设计方法、修正板、镀膜装置以及镀膜方法

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