CN103076659B - 多芯光纤光互联结构 - Google Patents

多芯光纤光互联结构 Download PDF

Info

Publication number
CN103076659B
CN103076659B CN201310011214.4A CN201310011214A CN103076659B CN 103076659 B CN103076659 B CN 103076659B CN 201310011214 A CN201310011214 A CN 201310011214A CN 103076659 B CN103076659 B CN 103076659B
Authority
CN
China
Prior art keywords
fiber
core
core fiber
vertical coupler
fiber waveguide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201310011214.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103076659A (zh
Inventor
王磊
刘�文
赵建宜
陈鑫
周鹏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuhan Research Institute of Posts and Telecommunications Co Ltd
Original Assignee
Wuhan Research Institute of Posts and Telecommunications Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuhan Research Institute of Posts and Telecommunications Co Ltd filed Critical Wuhan Research Institute of Posts and Telecommunications Co Ltd
Priority to CN201310011214.4A priority Critical patent/CN103076659B/zh
Publication of CN103076659A publication Critical patent/CN103076659A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103076659B publication Critical patent/CN103076659B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

本发明公开了一种多芯光纤光互联结构,涉及光通信领域,该多芯光纤光互联结构包括阵列端、光波导、垂直耦合器、多芯光纤,光波导一端与阵列端相连,另一端与垂直耦合器相连,多芯光纤垂直于光波导放置在垂直耦合器上方;从阵列端入射的光信号沿光波导传播至垂直耦合器,传播方向改变90°,变为垂直于光波导的方向,耦合进多芯光纤相对应的纤芯中;从多芯光纤入射的光信号,经由垂直耦合器,传播方向改变90°,变为沿光波导方向传播的光束,经由光波导导引,耦合进入阵列端的光电探测器阵列。本发明工艺简单,成本较低,适合大规模生产,集成度较高,体积较小,提高了与多芯光纤互联的阵列器件摆放的自由度,使电路版设计变得更加简单。<!--1-->

Description

多芯光纤光互联结构
技术领域
本发明涉及光通信领域,特别是涉及一种多芯光纤光互联结构。
背景技术
随着通信容量需求的逐步提升,在单位路径中传输的光信号越来越多,波分复用等技术已无法满足要求,多芯光纤技术因而得到重视。多芯光纤是在共同的包层区中存在多个纤芯的光纤,能够减少光纤的数量,对于体积要求很高的数据通信,有很好的应用前景。一般来说,光通信器件的阵列端在一条直线上,而多芯光纤的纤芯分布不在一条直线上,目前,将光信号从光通信器件的阵列端耦合进多芯光纤的常规方法是:采用自由空间光耦合器,将光通信器件阵列端的光信号耦合进入多芯光纤,采用熔融拉锥工艺制作,工艺非常复杂,体积较大,集成度较低,成本较高,不适合大规模生产,而且阵列端的端口分布必须与多芯光纤纤芯分布相似,在一定程度上限制了器件设计的自由度。
发明内容
本发明的目的是为了克服上述背景技术的不足,提供一种多芯光纤光互联结构,工艺简单,成本较低,非常适合大规模生产,集成度较高,体积较小,提高了与多芯光纤互联的阵列器件摆放的自由度,使电路版设计变得更加简单。
本发明提供的多芯光纤光互联结构包括阵列端和多芯光纤,阵列端的端口分布入射的光通信器件阵列分布一致,呈一条直线,还包括光波导和用于将射入的光的方向改变90°的垂直耦合器,垂直耦合器的端口分布与多芯光纤的纤芯分布一致,光波导的一端与阵列端相连,另一端与垂直耦合器相连,多芯光纤垂直于光波导放置在垂直耦合器的上方;从阵列端入射的光信号沿光波导传播至垂直耦合器,垂直耦合器将光波导中光的传播方向改变90°,变为垂直于光波导的方向,耦合进垂直于光波导放置的多芯光纤相对应的纤芯中;从多芯光纤入射的光信号,经由垂直耦合器,传播方向改变90°,变为沿光波导方向传播的光束,并耦合进入光波导,光信号经由光波导导引,耦合进入阵列端的光电探测器阵列。
在上述技术方案中,所述垂直耦合器为反射斜面,从阵列端入射的光信号沿光波导传播到反射斜面,经过反射斜面的全反射,变为沿垂直于光波导的方向传播的光,进入垂直于光波导放置的多芯光纤相对应的纤芯中。
在上述技术方案中,所述反射斜面的倾斜角为40~60度。
在上述技术方案中,所述反射斜面采用聚焦离子束刻蚀、灰度掩膜或压印工艺制成。
在上述技术方案中,所述垂直耦合器的出射端口的长度≤多芯光纤的纤芯直径,宽度≤多芯光纤的纤芯直径,具体尺寸根据实际应用时的器件损耗要求设计:器件损耗包括光波导的传输损耗和垂直耦合器与多芯光纤纤芯之间的耦合损耗,通过波束传播法计算光波导的传输损耗,通过计算模场的重叠因子,得到垂直耦合器与多芯光纤纤芯之间的耦合损耗。
在上述技术方案中,所述垂直耦合器为垂直耦合光栅,从多芯光纤入射的光信号,经由垂直耦合光栅,在垂直耦合光栅的衍射作用下,变为沿光波导方向传播的光束,并耦合进入光波导,光信号经由光波导导引,耦合进入阵列端的光电探测器阵列。
在上述技术方案中,所述垂直耦合器的出射端口的长度≥多芯光纤的纤芯直径,宽度≥多芯光纤的纤芯直径,具体尺寸根据实际应用时的器件损耗要求设计:器件损耗包括光波导的传输损耗和垂直耦合器与多芯光纤纤芯之间的耦合损耗,通过波束传播法计算光波导的传输损耗,通过计算模场的重叠因子,得到垂直耦合器与多芯光纤纤芯之间的耦合损耗。
在上述技术方案中,所述垂直耦合器与多芯光纤纤芯之间放置有聚焦透镜或准直透镜和聚焦透镜组成的准直聚焦透镜系统。
在上述技术方案中,所述光波导连接阵列端的一端宽度与阵列端端口宽度相等,光波导的宽度沿着光波导逐渐变化,光波导连接垂直耦合器的一端宽度与垂直耦合器端口宽度相等。
在上述技术方案中,所述多芯光纤光互联结构还包括晶圆衬底,所述阵列端、光波导、垂直耦合器均制作在晶圆衬底上。
与现有技术相比,本发明的优点如下:
(1)本发明采用光波导器件,将光信号从阵列端耦合进多芯光纤,工艺简单,成本较低,非常适合大规模生产,克服了采用自由空间的光耦合器带来的工艺复杂、成本较高、不适合大规模生产的缺陷。
(2)光波导器件采用微纳工艺在半导体或聚合物材料上制作,可与其他器件(例如阵列端光源)集成,与使用自由空间光渐变耦合器相比,具有集成度较高、体积较小的优点。
(3)本发明降低了对阵列端光源位置分布的要求,阵列端的分布不需要与多芯光纤纤芯分布一致,只需在一条直线上即可,与使用自由空间光渐变耦合器相比,本发明提高了器件设计的自由度,电路版设计变得更加简单。
附图说明
图1是本发明实施例中多芯光纤光互联结构的示意图。
图2是垂直耦合器为反射斜面时将光波导中的光耦合进多芯光纤对应纤芯的示意图。
图3是垂直耦合器为垂直耦合光栅时将光波导中的光耦合进多芯光纤对应纤芯的示意图。
图中:1-阵列端,2-光波导,3-垂直耦合器,4-多芯光纤,5-晶圆衬底,6-反射斜面,7-垂直耦合光栅,8-光信号。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施例对本发明作进一步的详细描述。
参见图1所示,本发明实施例提供一种多芯光纤光互联结构,包括阵列端1、光波导2、用于将射入的光的方向改变90°的垂直耦合器3、多芯光纤4、晶圆衬底5,阵列端1、光波导2、垂直耦合器3均制作在晶圆衬底5上,光波导2的一端与阵列端1相连,另一端与垂直耦合器3相连,多芯光纤4垂直于光波导2放置在垂直耦合器3的上方。阵列端1的端口分布入射的光通信器件阵列分布一致,呈一条直线,垂直耦合器3的端口分布与多芯光纤4的纤芯分布一致。垂直耦合器3为垂直耦合光栅或反射斜面。参见图2所示,从阵列端1入射的光信号8沿光波导2传播至垂直耦合器3,垂直耦合器3将光波导2中光的传播方向改变90°,变为垂直于光波导2的方向,耦合进垂直于光波导2放置的多芯光纤4相对应的纤芯中;参见图3所示,从多芯光纤4入射的光信号8,经由垂直耦合器3,传播方向改变90°,变为沿光波导2方向传播的光束,并耦合进入光波导2,光信号8经由光波导2导引,耦合进入阵列端1的光电探测器阵列。
下面以阵列端入射的光信号耦合进多芯光纤为例进行说明。
参见图1所示,射入阵列端1的信号来自垂直腔面发射激光器阵列,7个端口垂直腔面发射激光器在一条直线上,间隔为250μm,每个端口的宽度为50um,阵列端1发射的光信号进入光波导2,参见图2所示,阵列端1的端口分布与入射的光通信器件阵列分布一致,在一条直线上,光波导2的宽度沿着光波导从50μm渐变到6μm,光波导2将阵列端1射出的光信号8导引至垂直耦合器3,垂直耦合器3的端口长度和宽度均为6μm,垂直耦合器3的端口分布与多芯光纤4的纤芯分布一致,呈二维分布(不在一条直线上),多芯光纤4的纤芯端口直径为8μm,端口间隔38μm,多芯光纤垂直于光波导2放置在垂直耦合器3的上方。
参见图2所示,阵列端1、光波导2、垂直耦合器3均固定在晶圆衬底5上,垂直耦合器为反射斜面6,反射斜面6的倾斜角为40~60度,优选为45度,反射斜面6采用聚焦离子束刻蚀、灰度掩膜或压印工艺制成。参见图3所示,沿光波导2传播到反射斜面6的光信号8,经过反射斜面6的全反射,变为沿垂直于光波导2的方向传播的光,进入垂直于光波导2放置的多芯光纤4相对应的纤芯中。
为了提高垂直耦合器3与多芯光纤4的纤芯的耦合效率,垂直耦合器3的出射端口的长度≤多芯光纤4的纤芯直径,宽度≤多芯光纤4的纤芯直径,具体尺寸可根据实际应用时的器件损耗要求设计,器件损耗包括光波导2的传输损耗和垂直耦合器3与多芯光纤4纤芯之间的耦合损耗,可以通过BPM(BeamPropagationMethod,波束传播法)计算光波导2的传输损耗,通过计算模场的重叠因子,得到垂直耦合器3与多芯光纤4纤芯之间的耦合损耗。
为了进一步减少垂直耦合器3与多芯光纤4纤芯之间的耦合损耗,可以在垂直耦合器3与多芯光纤4纤芯之间放置聚焦透镜,也可在垂直耦合器3与多芯光纤4纤芯之间放置准直透镜和聚焦透镜组成的准直聚焦透镜系统,先通过准直透镜将出射的光束准直,再利用聚焦透镜将准直后的光束聚焦到多芯光纤4的纤芯,准直透镜和聚焦透镜组成的准直聚焦透镜系统可利用ZEMAX(一种常用的光学设计软件)软件辅助设计,其他减少耦合损耗的方法也同样适用,并不限于准直聚焦透镜系统。
下面以多芯光纤入射的光信号耦合进阵列端为例进行说明。
参见图1所示,阵列端1为光电探测器阵列,7个端口在一条直线上,间隔为250μm,每个端口的宽度为50um,多芯光纤4的纤芯直径为8μm,多芯光纤4垂直于光波导2放置在垂直耦合器3的上方,多芯光纤4发射的光信号入射到垂直耦合器3上,垂直耦合器3端口的长度和宽度均为20um,参见图2所示,垂直耦合器3的端口分布分布与多芯光纤4的纤芯分布一致。
参见图3所示,阵列端1、光波导2、垂直耦合器3均固定在晶圆衬底5上,垂直耦合器3为垂直耦合光栅7,垂直耦合光栅7的优化设计可以采用严格耦合波分析方法,利用camfer或有限时域差分FDTD计算软件实现。多芯光纤4入射的光信号耦合进阵列端1的过程,与阵列端1入射的光信号耦合进多芯光纤4的过程相似:从多芯光纤4入射的光信号8,经由垂直耦合光栅7,在垂直耦合光栅7的衍射作用下,变为沿光波导2方向传播的光束,并耦合进入光波导2,光波导2的宽度由20um渐变到50um,光信号8经由光波导2导引,耦合进入阵列端1的光电探测器阵列。
为了提高垂直耦合器3与多芯光纤4的纤芯的耦合效率,垂直耦合器3的端口的长度≥多芯光纤4的纤芯直径,宽度≥多芯光纤4的纤芯直径,具体尺寸可根据实际应用时的器件损耗要求设计。器件损耗包括光波导2的传输损耗和垂直耦合器3与多芯光纤4纤芯之间的耦合损耗,可以通过BPM计算光波导2的传输损耗,通过计算模场的重叠因子,得到垂直耦合器3与多芯光纤4纤芯之间的耦合损耗。
为了进一步减少垂直耦合器3与多芯光纤4纤芯之间的耦合损耗,可以在垂直耦合器3与多芯光纤4纤芯之间放置聚焦透镜,也可在垂直耦合器3与多芯光纤4纤芯之间放置准直透镜和聚焦透镜组成的准直聚焦透镜系统,先通过准直透镜将出射的光束准直,再利用聚焦透镜将准直后的光束聚焦到多芯光纤4的纤芯,准直透镜和聚焦透镜组成的准直聚焦透镜系统可利用ZEMAX软件辅助设计,其他减少耦合损耗的方法也同样适用,并不限于准直聚焦透镜系统。
如果阵列端1端口的宽度与垂直耦合器3端口的宽度不一致,可以采用渐变光波导2宽度的方式实现,光波导2连接阵列端1的一端宽度与阵列端1端口宽度相等,光波导2的宽度沿着光波导2逐渐变化,最后光波导2连接垂直耦合器3的一端宽度与垂直耦合器3端口宽度相等。
本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种修改和变型,倘若这些修改和变型属在本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则这些修改和变型也在本发明的保护范围之内。
说明书中未详细描述的内容为本领域技术人员公知的现有技术。

Claims (8)

1.一种多芯光纤光互联结构,包括阵列端(1)和多芯光纤(4),多芯光纤(4)包括多个纤芯,多个纤芯的分布不在一条直线上,阵列端(1)的端口分布与入射的光通信器件阵列分布一致,呈一条直线,其特征在于:还包括光波导(2)、晶圆衬底(5)和用于将射入的光的方向改变90°的垂直耦合器(3),阵列端(1)、光波导(2)、垂直耦合器(3)均制作在晶圆衬底(5)上,垂直耦合器(3)的端口分布与多芯光纤(4)的纤芯分布一致,光波导(2)的一端与阵列端(1)相连,另一端与垂直耦合器(3)相连,多芯光纤(4)垂直于光波导(2)放置在垂直耦合器(3)的上方;从阵列端(1)入射的光信号(8)沿光波导(2)传播至垂直耦合器(3),垂直耦合器(3)将光波导(2)中光的传播方向改变90°,变为垂直于光波导(2)的方向,耦合进垂直于光波导(2)放置的多芯光纤(4)相对应的纤芯中;从多芯光纤(4)入射的光信号(8),经由垂直耦合器(3),传播方向改变90°,变为沿光波导(2)方向传播的光束,并耦合进入光波导(2),光信号(8)经由光波导(2)导引,耦合进入阵列端(1)的光电探测器阵列;
所述光波导(2)连接阵列端(1)的一端宽度与阵列端(1)端口宽度相等,光波导(2)的宽度沿着光波导(2)逐渐变化,光波导(2)连接垂直耦合器(3)的一端宽度与垂直耦合器(3)端口宽度相等。
2.如权利要求1所述的多芯光纤光互联结构,其特征在于:所述垂直耦合器(3)为反射斜面(6),从阵列端(1)入射的光信号(8)沿光波导(2)传播到反射斜面(6),经过反射斜面(6)的全反射,变为沿垂直于光波导(2)的方向传播的光,进入垂直于光波导(2)放置的多芯光纤(4)相对应的纤芯中。
3.如权利要求2所述的多芯光纤光互联结构,其特征在于:所述反射斜面(6)的倾斜角为40~60度。
4.如权利要求2所述的多芯光纤光互联结构,其特征在于:所述反射斜面(6)采用聚焦离子束刻蚀、灰度掩膜或压印工艺制成。
5.如权利要求2所述的多芯光纤光互联结构,其特征在于:所述垂直耦合器(3)的出射端口的长度≤多芯光纤(4)的纤芯直径,宽度≤多芯光纤(4)的纤芯直径,具体尺寸根据实际应用时的器件损耗要求设计:器件损耗包括光波导(2)的传输损耗和垂直耦合器(3)与多芯光纤(4)纤芯之间的耦合损耗,通过波束传播法计算光波导(2)的传输损耗,通过计算模场的重叠因子,得到垂直耦合器(3)与多芯光纤(4)纤芯之间的耦合损耗。
6.如权利要求1所述的多芯光纤光互联结构,其特征在于:所述垂直耦合器(3)为垂直耦合光栅(7),从多芯光纤(4)入射的光信号(8),经由垂直耦合光栅(7),在垂直耦合光栅(7)的衍射作用下,变为沿光波导(2)方向传播的光束,并耦合进入光波导(2),光信号(8)经由光波导(2)导引,耦合进入阵列端(1)的光电探测器阵列。
7.如权利要求6所述的多芯光纤光互联结构,其特征在于:所述垂直耦合器(3)的出射端口的长度≥多芯光纤(4)的纤芯直径,宽度≥多芯光纤(4)的纤芯直径,具体尺寸根据实际应用时的器件损耗要求设计:器件损耗包括光波导(2)的传输损耗和垂直耦合器(3)与多芯光纤(4)纤芯之间的耦合损耗,通过波束传播法计算光波导(2)的传输损耗,通过计算模场的重叠因子,得到垂直耦合器(3)与多芯光纤(4)纤芯之间的耦合损耗。
8.如权利要求1至7中任一项所述的多芯光纤光互联结构,其特征在于:所述垂直耦合器(3)与多芯光纤(4)纤芯之间放置有聚焦透镜或准直聚焦透镜系统,其中该准直聚焦透镜系统由准直透镜和聚焦透镜组成。
CN201310011214.4A 2013-01-11 2013-01-11 多芯光纤光互联结构 Active CN103076659B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310011214.4A CN103076659B (zh) 2013-01-11 2013-01-11 多芯光纤光互联结构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310011214.4A CN103076659B (zh) 2013-01-11 2013-01-11 多芯光纤光互联结构

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103076659A CN103076659A (zh) 2013-05-01
CN103076659B true CN103076659B (zh) 2016-05-25

Family

ID=48153246

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310011214.4A Active CN103076659B (zh) 2013-01-11 2013-01-11 多芯光纤光互联结构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103076659B (zh)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017187719A (ja) * 2016-04-08 2017-10-12 シャープ株式会社 光源モジュール
JP6820671B2 (ja) * 2016-06-02 2021-01-27 富士通株式会社 光回路デバイスとこれを用いた光トランシーバ
CN106597612B (zh) * 2016-10-24 2019-02-12 华为机器有限公司 光模板和通信设备
CN108231803B (zh) * 2017-12-26 2020-08-11 中国电子科技集团公司第五十五研究所 氮化硅光波导器件和石墨烯探测器集成芯片及其制作方法
CN108168712A (zh) * 2018-03-26 2018-06-15 朱清 一种光纤互联阵列温度场平板探测装置
CN108490546B (zh) * 2018-05-15 2020-01-17 上海大学 一种提高光波导传输特性的光波导模式转换器
KR102570603B1 (ko) * 2019-01-28 2023-08-24 아크소프트 코포레이션 리미티드 광센서 조립체
CN110542962A (zh) * 2019-09-24 2019-12-06 武汉光迅科技股份有限公司 一种光耦合组件及光发射组件
CN111025474B (zh) * 2019-11-05 2020-12-08 浙江大学 一种基于折射率调控的覆盖su-8包层的硅波导模式耦合器
CN113835165B (zh) * 2020-06-24 2022-11-25 华为技术有限公司 一种光发射组件、芯片、光模块及光通信设备
CN117242382A (zh) * 2021-05-24 2023-12-15 住友电气工业株式会社 光连接部件以及光布线
CN113267847A (zh) * 2021-06-03 2021-08-17 中山大学 一种用于耦合多芯光纤与集成光芯片的光耦合器件及其制备方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6049646A (en) * 1997-03-05 2000-04-11 France Telecom Integrated burster multiplexer duplexer device for multicore fibers
CN101782669A (zh) * 2009-01-20 2010-07-21 住友电气工业株式会社 光通信系统和排列变换器
CN102741721A (zh) * 2009-11-24 2012-10-17 康宁股份有限公司 平面光波导与光纤的耦合

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6049646A (en) * 1997-03-05 2000-04-11 France Telecom Integrated burster multiplexer duplexer device for multicore fibers
CN101782669A (zh) * 2009-01-20 2010-07-21 住友电气工业株式会社 光通信系统和排列变换器
CN102741721A (zh) * 2009-11-24 2012-10-17 康宁股份有限公司 平面光波导与光纤的耦合

Also Published As

Publication number Publication date
CN103076659A (zh) 2013-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103076659B (zh) 多芯光纤光互联结构
US10197734B2 (en) Spot-size converter for optical mode conversion and coupling between two waveguides
US9322987B2 (en) Multicore fiber coupler between multicore fibers and optical waveguides
CN102844695B (zh) 多模光耦合器接口
CN102902024B (zh) 实现多芯光纤和光电子芯片阵列光耦合的方法
US10156679B2 (en) Photonic chips based on multimode fiber-to-waveguide coupling
CN103345022B (zh) 一种基于少模光纤的非对称平面光波导模式复用/解复用器
CN106461864A (zh) 用于光子集成电路系统的具有小模场直径的光栅耦合器组件
CN104459890B (zh) 基于聚合物波导的光纤与硅波导耦合结构及其制作方法
CN104350403A (zh) 光学中介件
CN103392120A (zh) 用于从多芯光纤输出的光的光接收方法以及分离装置
JP2014178628A (ja) マルチコアファイバ接続用ファンイン・ファンアウトデバイス及び光接続装置、並びに光接続方式
CN105372770A (zh) 一种光纤耦合模块
Kopp et al. Pitch reducing optical fiber array for dense optical interconnect
Zhu et al. Efficient silicon integrated four-mode edge coupler for few-mode fiber coupling
US10422967B2 (en) Optical coupling apparatus and method
François et al. Multicore fiber optimization for application to chip-to-chip optical interconnects
Tottori et al. Integrated optical connection module for 7-core multi-core fiber and 7 single mode fibers
CN108279461A (zh) 偏振无关的三维集成双层光栅耦合器
Lindenmann et al. Photonic waveguide bonds–a novel concept for chip-to-chip interconnects
CN103777280A (zh) 一种具有倾斜角度的光纤装配体及其装配方法
Yu et al. Highly reliable optical interconnection network on printed circuit board for distributed computer systems
CN107436462B (zh) 一种用于模式复用中的可选择模式激发的能量转换器件
CN102495448B (zh) 一种硅基三维叠加型光纤耦合结构
KR101189848B1 (ko) 광도파로를 형성하는 방법

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: 430074, No. 88, postal academy road, Hongshan District, Hubei, Wuhan

Patentee after: Wuhan post and Telecommunications Science Research Institute Co., Ltd.

Address before: 430074, No. 88, postal academy road, Hongshan District, Hubei, Wuhan

Patentee before: Wuhan Inst. of Post & Telecom Science

CP01 Change in the name or title of a patent holder