CN103065988A - 分立式压爪机构 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种压爪机构,尤其是一种分立式压爪机构,具体地说是用于半导体封装铝线键合工艺中的压爪机构,属于半导体封装的技术领域。按照本发明提供的技术方案,所述分立式压爪机构,包括基座固定座,所述基座固定座的上部通过第二连接件与基座连接,基座及基座固定座能绕第二连接件移动;基座上通过第一连接件与压爪体连接,压爪体及基座能绕第一连接件移动。压爪体通过第一连接件与基座连接,基座通过第二连接件与基座固定座连接,压爪体通过第一连接件及第二连接件能实现需要的调整,以适应不同型号框架,确保对框架上每一个引脚压实,避免在键合过程中对铝跟铜的金相结合造成破坏,提高产品的合格率,结构简单紧凑,安全可靠。
Description
技术领域
本发明涉及一种压爪机构,尤其是一种分立式压爪机构,具体地说是用于半导体封装铝线键合工艺中的压爪机构,属于半导体封装的技术领域。
背景技术
在半导体封装众多工序中,压爪系统是键合工艺过程中非常重要的一个硬件配置。压爪系统的可靠与合理,特别是在粗铝线(¢100um-500um)键合工序中,对半导体产品的可靠性、稳定性、电性有着敏感、直接的影响。
传统的压爪系统是整体式的,每一个爪子都不能独立调整,当某一个压爪受力大时,其他的压爪必然受力偏小,且在铝线键合调试过程中,不能根据产品特点进行相应的调整,导致不能将框架的每一单元的各个引脚压结实,从而在键合过程中对铝跟铜的金相结合造成破坏,产品失效几率增加。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种分立式压爪机构,其结构简单紧凑,能对单个压爪进行调整,调整方便,适应范围广,安全可靠。
按照本发明提供的技术方案,所述分立式压爪机构,包括基座固定座,所述基座固定座的上部通过第二连接件与基座连接,基座及基座固定座能绕第二连接件移动;基座上通过第一连接件与压爪体连接,压爪体及基座能绕第一连接件移动。
所述第一连接件为螺钉。所述第二连接件为螺钉。所述基座固定座的下部设有贯通基座固定座的固定座连接孔。
所述基座固定座的上部设有若干第一连接孔,基座上设有第二长腰孔,所述第一连接孔及第二长腰孔与第二连接件匹配,第二连接件穿入第二长腰孔及第一连接孔内,以将基座与基座固定座连接。
所述压爪体上设有第一长腰孔,所述第一长腰孔与基座上的第二连接孔匹配,第一连接件穿入第一长腰孔及第二连接孔内,以将压爪体与基座连接。
本发明的优点:压爪体通过第一连接件与基座连接,基座通过第二连接件与基座固定座连接,压爪体通过第一连接件及第二连接件能实现需要的调整,以适应不同型号框架,确保对框架上每一个引脚压实,避免在键合过程中对铝跟铜的金相结合造成破坏,提高产品的合格率,结构简单紧凑,安全可靠。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明基座固定座的结构示意图。
图3为图2的左视图。
图4为本发明压爪体的结构示意图。
图5为图4的俯视图。
图6为本发明基座的俯视图。
图7为图8的左视图。
图8为本发明基座的结构示意图。
附图标记说明:1-压爪体、2-第一连接件、3-基座、4-第二连接件、5-基座固定座、6-固定座连接孔、7-第一连接孔、8-第一长腰孔、9-压爪端、10-第二长腰孔、11-第二连接孔、12-第一板体及13-第二板体。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本发明作进一步说明。
如图1所示:为了能够在半导体封装铝线键合中对框架有效地压固,并能进行单独的调整,本发明包括基座固定座5,所述基座固定座5的上部通过第二连接件4与基座3连接,基座3及基座固定座5能绕第二连接件4移动;基座3上通过第一连接件2与压爪体1连接,压爪体1及基座3能绕第一连接件2移动。
具体地,所述第一连接件2采用螺钉,第二连接件4也采用螺钉。压爪体1绕第一连接件2相对基座3移动,基座3绕第二连接件4相对基座固定座5移动,从而实现对本发明压爪机构的单独调整。
如图2和图3所示:为本发明基座固定座5的结构示意图,基座固定座5的下部设有固定座连接孔6,所述固定座连接孔6贯通基座固定座5,以通过固定座连接孔6将基座固定座5安装固定在相应的封装设备上。基座固定座5的上部设有若干第一连接孔7,所述第一连接孔7均匀分布在基座固定座5的上部,通过第一连接孔7与第二连接件4的配合,能够实现基座3与基座固定座5的连接,本发明实施例中,基座固定座5上设置16个均匀分布的第一连接孔7。
如图6、图7和图8所示:为本发明基座3的结构示意图,所述基座3包括第一板体12及位于第一板体12端部的第二板体13,第一板体12与第二板体13垂直分布,使得基座3呈L型。第二板体13上设有第二长腰孔10,第一板体12上设置第二连接孔11。连接时,基座13的第二长腰孔10与第一连接孔7匹配,将第二连接件4插入第二长腰孔10后在穿入需要的第一连接孔7内,以将基座3与基座固定座5连接。第二连接件4与第二长腰孔10及第一连接孔7匹配,从而使得基座3与基座固定座5之间能调整位置,操作方便。
如图3和图4所示:为压爪体1的结构示意图。压爪体1上设有第一长腰孔8,所述第一长腰孔8与基座3上的第二连接孔11匹配,压爪体1通过第一连接件2插入第一长腰孔8及第二连接孔11内,以能将基座3与压爪体1连接。同时,由于第一连接件2与第一长腰孔8及第二连接孔11的匹配,能够使压爪体1与基座3之间进行位置调整。压爪体1一端设置第一长腰孔8,另一端形成压爪端9,所述压爪端9与现有整体式压爪的端部形状相同,呈楔状,以便能更好地压住框架。
如图1~图8所示:使用时,将压爪体1通过第一连接件2连接在基座3上,基座3上通过第二连接件4连接在基座固定座5上,基座固定座5通过螺钉固定在半导体封装设备上。安装好后,通过调节第一连接件2及第二连接件4实现对压爪体1的上下、左右及前后的三维调整,从而可以适应不同型号框架。在半导体铝线键合时,可以通过一个或多个本发明的分立式压爪机构,每个压爪机构均能够单独调节,确保对框架上每一个引脚压实,避免在键合过程中对铝跟铜的金相结合造成破坏,提高产品的合格率。
本发明压爪体1通过第一连接件2与基座3连接,基座3通过第二连接件4与基座固定座5连接,压爪体1通过第一连接件2及第二连接件4能实现需要的调整,结构简单紧凑,安全可靠。
Claims (6)
1.一种分立式压爪机构,其特征是:包括基座固定座(5),所述基座固定座(5)的上部通过第二连接件(4)与基座(3)连接,基座(3)及基座固定座(5)能绕第二连接件(4)移动;基座(3)上通过第一连接件(2)与压爪体(1)连接,压爪体(1)及基座(3)能绕第一连接件(2)移动。
2.根据权利要求1所述的分立式压爪机构,其特征是:所述第一连接件(2)为螺钉。
3.根据权利要求1所述的分立式压爪机构,其特征是:所述第二连接件(4)为螺钉。
4.根据权利要求1所述的分立式压爪机构,其特征是:所述基座固定座(5)的下部设有贯通基座固定座(5)的固定座连接孔(6)。
5.根据权利要求1所述的分立式压爪机构,其特征是:所述基座固定座(5)的上部设有若干第一连接孔(7),基座(3)上设有第二长腰孔(10),所述第一连接孔(7)及第二长腰孔(10)与第二连接件(4)匹配,第二连接件(4)穿入第二长腰孔(10)及第一连接孔(7)内,以将基座(3)与基座固定座(5)连接。
6.根据权利要求1所述的分立式压爪机构,其特征是:所述压爪体(1)上设有第一长腰孔(8),所述第一长腰孔(8)与基座(3)上的第二连接孔(11)匹配,第一连接件(2)穿入第一长腰孔(8)及第二连接孔(11)内,以将压爪体(1)与基座(3)连接。
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CN115301858A (zh) * | 2022-09-06 | 2022-11-08 | 上海创贤半导体有限公司 | 一种功率半导体超声波铝线键合机的压爪装置 |
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CN102136437A (zh) * | 2011-02-12 | 2011-07-27 | 南通富士通微电子股份有限公司 | 键合机防沉锁紧装置 |
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