CN102969216A - 蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室 - Google Patents

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吴敏
王旭东
周雷
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Abstract

本发明提供了一种蚀刻终点检测窗口，包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。本发明还公开了一种蚀刻终点检测仪及蚀刻腔体。本发明提供的蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室，通过在所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽，可以使得透光板卡在窗口板的卡槽中，防止透光板在拆卸过程中掉离窗口板，保护了易碎的透光板，从而，提高了蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室的维护安全性和效率，降低了配件成本。

Description

蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室。
背景技术
在半导体制造中，蚀刻(Etch)是指将形成在晶圆表面上的薄膜全部，或特定处所去除至必要厚度的制程。为了获知，所述薄膜是否被蚀刻至必要的厚度，需要采用蚀刻终点检测仪（EPD,全称：End point detector）进行检测。蚀刻终点检测仪利用波长侦测蚀刻终点。通俗而言，就是通过监测蚀刻腔（chamber）里光线的变化来进行检测。由于蚀刻腔室的墙壁一般是金属制作而成，检测光线无法穿透，因此，需要在腔壁的内壁保护层上开设用于安装蚀刻终点检测窗口（EPD window）的开口。
请参阅图1至图4，其中，图1为现有的蚀刻终点检测窗口的结构俯视示意图；图2为图1的侧视图；图3为现有的蚀刻终点检测窗口的窗口板的结构俯视示意图；图4为图3的侧视图。由图1至图4可见，蚀刻终点检测窗口包括透光板（EPD glass）1’和窗口板(EPD window plate)2’，所述窗口板2’上开设有若干通光孔22’，所述窗口板2’上设有用于安装透光板1’的凹槽21’，所述透光板至少覆盖于所述窗口板2’上具有通光孔22’的区域，所述检测光线经蚀刻终点检测窗口上的通光孔22’到达光谱仪，光谱仪再把信号转换成数字信号，传送给机台ECC（中央控制单元），从而来控制蚀刻是不是到终点了。
现有的机台中，请继续参阅图1至图3，透光板1’通过螺纹组件3’（也可以采用胶带等其他方式）安装于窗口板2’的凹槽21’中。由于内壁保护层使用一段时间后要进行更换，因此，不得不需要拆卸内壁保护层上的蚀刻终点检测窗口。在拆卸的过程中，松开螺纹组件3’或者撕开胶带后，一旦没有同时握紧透光板1’和窗口板2’，会发生透光板1’和窗口板2’坠落损坏事件，尤其透光板是十分容易破碎的，因此，不但影响的内壁保护层的维护、更换效率，而且也增大了透光板1’的使用量，提高了生产成本。
因此，如何提供一种可以防止透光板在拆卸过程中掉落的蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室实是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室，可以防止透光板在拆卸过程中掉落，提高维护的安全性和效率，降低了成本。
为了达到上述的目的，本发明采用如下技术方案：
一种蚀刻终点检测窗口，包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。
优选的，在上述的蚀刻终点检测窗口中，所述卡槽的截面呈矩形。
优选的，在上述的蚀刻终点检测窗口中，所述透光板是玻璃。
优选的，所述透光板通过螺栓组件或者胶带安装于所述凹槽中。
本发明还公开了一种蚀刻终点检测仪，包括蚀刻终点检测窗口和光谱仪，用于检测蚀刻终点的光线经蚀刻终点检测窗口传输至所述光谱仪，所述蚀刻终点检测窗口包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。
优选的，在上述的蚀刻终点检测仪中，所述卡槽的截面呈矩形。
优选的，在上述的蚀刻终点检测仪中，所述透光板是玻璃。
本发明还公开了一种蚀刻腔室，包括腔体、内壁保护层和蚀刻终点检测窗口，所述内壁保护层设置于所述腔体的内侧，所述内壁保护层上开设有用于安装所述蚀刻终点检测窗口的开口，所述蚀刻终点检测窗口，包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。
优选的，在上述的蚀刻腔室中，所述卡槽的截面呈矩形。
优选的，在上述的蚀刻腔室中，所述透光板是玻璃。
本发明提供的蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室，通过在所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽，可以使得透光板卡在窗口板的卡槽中，防止透光板在拆卸过程中掉离窗口板，保护了易碎的透光板，从而，提高了蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室的维护安全性和效率，降低了配件成本。
附图说明
本发明的蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室由以下的实施例及附图给出。
图1为现有的蚀刻终点检测窗口的结构俯视示意图。
图2为图1的侧视图。
图3为现有的蚀刻终点检测窗口的窗口板的结构俯视示意图。
图4为图3的侧视图。
图5为本发明的蚀刻终点检测窗口的结构俯视示意图。
图6为图5的侧视图。
图7为本发明的蚀刻终点检测窗口的窗口板的结构侧视示意图。
图8为本发明的蚀刻腔室的结构示意图。
图中，1、1’-透光板、2、2’-窗口板、21、21’-凹槽、22、22’-通光孔、211-卡槽、3、3’-螺栓组件、4-内壁保护层。
具体实施方式
下面将参照附图对本发明进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
为使本发明的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
请参阅图5至图7，其中，图5为本发明的蚀刻终点检测窗口的结构俯视示意图；图6为图5的侧视图；图7为本发明的蚀刻终点检测窗口的窗口板的结构侧视示意图。本实施例公开了一种蚀刻终点检测窗口，包括透光板1和窗口板2，所述窗口板2上设有用于安装透光板1的凹槽21，所述透光板1通过螺栓组件4固定安装于所述凹槽21中，当然，所述透光板1也可以通过胶带固定安装于所述凹槽21中，所述凹槽21的底部开设若干通光孔22，所述凹槽21的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板1的卡槽211。通过在所述窗口板2上设有用于安装透光板1的凹槽21的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板1的卡槽211，可以使得透光板1卡在窗口板2的卡槽211中，防止透光板1在拆卸过程中掉离窗口板2，保护了易碎的透光板1，从而，提高了蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室的维护安全性和效率，降低了配件成本。
优选的，在上述的蚀刻终点检测窗口中，所述卡槽211的截面呈矩形。
优选的，在上述的蚀刻终点检测窗口中，所述透光板1是玻璃。
请继续参阅图5至图7，本实施例还公开了一种蚀刻终点检测仪，包括蚀刻终点检测窗口和光谱仪（未图示），用于检测蚀刻终点的光线所述经蚀刻终点检测窗口传输至所述光谱仪，所述蚀刻终点检测窗口包括透光板1和窗口板2，所述窗口板2上设有用于安装透光板1的凹槽21，所述透光板1通过螺栓组件4固定安装于所述凹槽21中，当然，所述透光板1也可以通过胶带固定安装于所述凹槽21中，所述凹槽21的底部开设若干通光孔22，所述凹槽21的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板1的卡槽211。其中，由于光谱仪的结构为本领域技术人员知晓，因此，再次不进行赘述。
优选的，在上述的蚀刻终点检测仪中，所述卡槽211的截面呈矩形。
优选的，在上述的蚀刻终点检测仪中，所述透光板1是玻璃。
请参阅图8，并请结合图5至图7，本实施例还公开了一种蚀刻腔室，包括腔体、内壁保护层4和蚀刻终点检测窗口，所述内壁保护层4设置于所述腔体(未图示)的内侧，所述内壁保护层4上开设有用于安装所述蚀刻终点检测窗口的开口，所述蚀刻终点检测窗口，包括透光板1和窗口板2，所述窗口板2上设有用于安装透光板1的凹槽21，所述透光板1通过螺栓组件4固定安装于所述凹槽21中，当然，所述透光板1也可以通过胶带固定安装于所述凹槽21中，所述凹槽21的底部开设若干通光孔22，所述凹槽21的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽211。
优选的，在上述的蚀刻腔室中，所述卡槽21的截面呈矩形。
优选的，在上述的蚀刻腔室中，所述透光板1是玻璃。
综上所述，本发明提供的蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室，通过在所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽，可以使得透光板卡在窗口板的卡槽中，防止透光板在拆卸过程中掉离窗口板，保护了易碎的透光板，从而，提高了蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室的维护安全性和效率，降低了配件成本。显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等
同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种蚀刻终点检测窗口，其特征在于，包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。
2.根据权利要求1所述的蚀刻终点检测窗口，其特征在于，所述卡槽的截面呈矩形。
3.根据权利要求1所述的蚀刻终点检测窗口，其特征在于，所述透光板是玻璃。
4.根据权利要求1所述的蚀刻终点检测窗口，其特征在于，所述透光板通过螺栓组件或者胶带安装于所述凹槽中。
5.一种蚀刻终点检测仪，其特征在于，包括蚀刻终点检测窗口和光谱仪，用于检测蚀刻终点的光线经蚀刻终点检测窗口传输至所述光谱仪，所述蚀刻终点检测窗口包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。
6.根据权利要求5所述的蚀刻终点检测仪，其特征在于，所述卡槽的截面呈矩形。
7.根据权利要求5所述的蚀刻终点检测仪，其特征在于，所述透光板是玻璃。
8.一种蚀刻腔室，其特征在于，包括腔体、内壁保护层和蚀刻终点检测窗口，所述内壁保护层设置于所述腔体的内侧，所述内壁保护层上开设有用于安装所述蚀刻终点检测窗口的开口，所述蚀刻终点检测窗口包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。
9.根据权利要求8所述的蚀刻腔室，其特征在于，所述卡槽的截面呈矩形。
10.根据权利要求8所述的蚀刻腔室，其特征在于，所述透光板是玻璃。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109148316A (zh) * 2018-09-07 2019-01-04 北京智芯微电子科技有限公司 用于精确判定等离子体刻蚀机刻蚀芯片终点的监测方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0375389A (ja) * 1989-08-16 1991-03-29 Hitachi Ltd ドライエッチング装置
US6184687B1 (en) * 1997-10-20 2001-02-06 Kabushiki Kaisha Toshiba Plasma process end point determination method and apparatus, and plasma evaluation method and apparatus
KR20040110174A (ko) * 2003-06-18 2004-12-31 삼성전자주식회사 반도체 식각장치
KR20060090097A (ko) * 2005-02-07 2006-08-10 삼성전자주식회사 포토마스크 식각 장비
US7217371B2 (en) * 2003-07-25 2007-05-15 Lightwind Corporation Optical control interface between controller and process chamber
CN101221891A (zh) * 2007-01-12 2008-07-16 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种等离子刻蚀设备的刻蚀终点检测装置与方法
CN201188414Y (zh) * 2008-03-25 2009-01-28 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 气体反应室监测窗
CN102142384A (zh) * 2010-12-02 2011-08-03 深圳市华星光电技术有限公司 金属蚀刻终点侦测方法及金属蚀刻终点侦测机

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0375389A (ja) * 1989-08-16 1991-03-29 Hitachi Ltd ドライエッチング装置
US6184687B1 (en) * 1997-10-20 2001-02-06 Kabushiki Kaisha Toshiba Plasma process end point determination method and apparatus, and plasma evaluation method and apparatus
KR20040110174A (ko) * 2003-06-18 2004-12-31 삼성전자주식회사 반도체 식각장치
US7217371B2 (en) * 2003-07-25 2007-05-15 Lightwind Corporation Optical control interface between controller and process chamber
KR20060090097A (ko) * 2005-02-07 2006-08-10 삼성전자주식회사 포토마스크 식각 장비
CN101221891A (zh) * 2007-01-12 2008-07-16 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种等离子刻蚀设备的刻蚀终点检测装置与方法
CN201188414Y (zh) * 2008-03-25 2009-01-28 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 气体反应室监测窗
CN102142384A (zh) * 2010-12-02 2011-08-03 深圳市华星光电技术有限公司 金属蚀刻终点侦测方法及金属蚀刻终点侦测机

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109148316A (zh) * 2018-09-07 2019-01-04 北京智芯微电子科技有限公司 用于精确判定等离子体刻蚀机刻蚀芯片终点的监测方法

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