CN102934342A - 用于化学气象沉积装置的电源装置及其控制方法 - Google Patents

用于化学气象沉积装置的电源装置及其控制方法 Download PDF

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Abstract

本发明的实施例涉及用于化学气象沉积（Chemical Vapor Deposition，CVD）装置的电源装置，包括：绝缘变压器，对输入电压进行绝缘变压并分级输出；接头切换开关，各切换上述分级输出；辅助变压器，具有与上述绝缘变压器的二次侧线圈的点方向不同的点方向的二次侧线圈；第一开关，其一端连接于上述辅助变压器的上述二次侧线圈的一端；第二开关，连接于上述绝缘变压器的上述二次侧线圈的一端和上述第一开关的另一端之间；及第三开关，连接于上述第一及第二开关的共同连接点和负载之间的共同连接点之间；另外，还可以包括控制上述第一至第三开关及上述接头切换开关的切换的切换控制部，而且，即使使用具有比现有技术低的额定电压的接头切换开关，也能在满足硅晶体生长所需的CVD工艺的负载特性的同时，维持开关的可靠性。

Description

用于化学气象沉积装置的电源装置及其控制方法
技术领域
本发明涉及用于化学气象沉积装置（Chemical Vapor Deposition，CVD）的电源装置，尤其涉及适用于用于硅晶体生长的CVD装置的电源装置及其切换控制方法。
背景技术
一般而言，用于硅晶体生长的CVD装置反应器中的负载特性如下：
用于硅晶体生长的CVD工艺中，一个工艺的时间为72小时左右，首先将钨线投入反应器，通电并维持1000~1200度的温度，以使氯硅烷气体或三氯硅烷气体中的硅分子附着于钨表面生长。因此，圆柱形硅的直径随时间的推移变厚，最终形成硅锭。在此，负载为纯电阻负载，而如图1所示，其负载特性为随直径的增加，电流变大，电压减少。即，随时间的推移等价电阻变得较大的负载，起初需要高电压及低电流，但随着时间的推移需要低电压的大电流。
图2为现有技术的用于CVD装置的电源装置框图，如图所示，包括对输入电压进行绝缘变压并分级输出的绝缘变压器210，及各切换上述分级输出传递至负载R1~R4的接头切换开关220。值得注意的是，在图2中为了避免重复说明，只图示各相的结构相同的三相变压器中的一相。
为满足图1的负载条件，起初导通第一开关S221以通过Tap1向负载R1~R4供应电力。随着时间的推移，所需的电压变低，电流变高。若负载所需的电压达到Tap2，则断开第一开关S221并导通第二开关S222，以实用Tap2。利用相同的方式依次导通至Tap5。
但是，如图2所示的装置为供应起初负载R1~R4所需的电压3500V，具有第一开关S221的电压配置高的缺点。即，如图3所示，如图2所示的接头切换开关220的各开关S221~S225由双向SCR开关构成，而各开关的额定电压通常设定为所使用电压的2.5倍左右，但为了第一开关S221而构成具有约7000[V]级以上的高额定电压的双向SCR开关并非易事。因此，因高负载所需电压，有可能产生降低开关绝缘可靠性等问题，继而影响电源装置的可靠性。
发明内容
技术问题
本发明的目的在于克服现有技术之不足而提供一种用于化学气象沉积装置的电源装置及其控制方法，其即使使用具有比现有技术低的额定电压的接头切换开关，也能在满足硅晶体生长所需的CVD工艺的负载特性的同时，维持开关的可靠性。
技术方案
为达到上述目的，根据本发明的一方面，用于化学气象沉积装置的电源装置，包括：绝缘变压器，对输入电压进行绝缘变压并分级输出；接头切换开关，各切换上述分级输出；辅助变压器，具有与上述绝缘变压器的二次侧线圈的点方向不同的点方向的二次侧线圈；第一开关，其一端连接于上述辅助变压器的上述二次侧线圈的一端；第二开关，连接于上述绝缘变压器的上述二次侧线圈的一端和上述第一开关的另一端之间；及第三开关，连接于上述第一及第二开关的共同连接点和负载之间的共同连接点之间；另外，还可以包括控制上述第一至第三开关及上述接头切换开关的切换的切换控制部。
上述第一开关、第二开关及接头切换开关可由双向SCR（Silicon-Controlled Rectifier Thyristor）构成，而上述第三开关可由机械开关构成，另外，上述负载可连接于上述辅助变压器的上述二次侧线圈的另一端和上述绝缘变压器的二次侧线圈的另一端之间。
为达到上述目的，根据本发明的另一方面，用于化学气象沉积装置的电源装置的切换控制方法，在上述结构的用于化学气象沉积装置的电源装置中，控制上述开关的切换的方法包括：第一切换步骤，导通上述第一至第三开关并切断其余开关；及第二切换步骤，在上述接头切换开关中，从切换最高输出的开关到切换最低输出的开关为止依次导通并切断其余开关。
有益效果
如上所述，根据本发明的各方面，即使使用具有比现有技术低的额定电压的接头切换开关，也能在满足硅晶体生长所需的CVD工艺的负载特性的同时，维持开关的可靠性，并由此在降低电源装置的生产费用的同时，提高可靠性。
附图说明
图1为CVD装置反应器的负载特性；
图2为现有技术的用于CVD装置的电源装置结构图；
图3为图2的接头切换开关的各开关结构图；
图4为本发明一实施例的用于CVD装置的电源装置结构图；以及
图5至图9为图4的各开关的切换控制等价电路图。
具体实施方式
下文中，将参考附图详细描述本公开的实施方式。在以下描述中，相同的元素将由相同的参考标号来表示，即使它们是在不同的附图中示出的。此外，在本公开的以下描述中，对并入本文的已知功能和结构的详细描述在其可能使得本公开的主题有些不清楚时将被省略。
另外，在描述本公开的组件时，可以使用诸如第一、第二、A、B、（a）和（b）之类的术语。这些术语仅仅是为了将一个组件与另外的组件相区分的目的，而不是暗示或建议组件的实质、顺序或序列。如果一个组件被描述为“连接”、“耦接”或“链接”到另一组件，则这可能表示这些组件不仅是直接“连接”、“耦接”或“链接”的，而且还经由第三组件间接“连接”、“耦接”或“链接”。
图4为本发明一实施例的用于CVD装置的电源装置结构图，如图所示，包括绝缘变压器410、接头切换开关420、辅助变压器430、第一至第三开关440、450、460、负载470及切换控制部480。
上述绝缘变压器410对一次侧输入电压进行绝缘变压并在二次侧分级输出，例如，具备于二次侧的分级输出接头包括1750V/557A的输出接头Tap2、870V/1307A的输出接头Tap3、480V/2297A的输出接头Tap4及270V/3047A的输出接头Tap5。
上述接头切换开关420各切换上述绝缘变压器410的二次侧的分级输出，例如，包括切换第一个输出接头Tap2的输出的开关S4、切换第二个输出接头Tap3的输出的开关S5、切换第三个输出接头Tap4的输出的开关S6及切换第四个输出接头Tap5的输出的开关S7，而这些开关S4~S7可由双向SCR构成。
上述辅助变压器430具有与上述绝缘变压器410的二次侧线圈的点方向不同的点方向的二次侧线圈，而上述二次侧线圈包括1750V/557A的输出接头Tap1。
上述第一开关（S1）440的一端（例如，输入端）连接于上述辅助变压器430的上述二次侧线圈的输出接头Tap1，而另一端（例如，输出端）连接于上述第二开关(S2）450的输出端，例如，可由双向SCR构成。
上述第二开关（S2）450的一端（例如，输入端）连接于上述绝缘变压器410的二次侧线圈的输出接头Tap2的一端，而另一端（例如，输出端）连接于上述第一开关(S1）440的输出端，例如，可由双向SCR构成。
上述第三开关（S3）460的一端连接于上述第一开关（S1）440和上述第二开关（S2）450的共同输出端，另一端连接于负载（R1~R4）470之间的共同连接点，例如，可由VCB（Vacuum Circuit Break）等机械开关构成。
上述负载470，例如，连接于上述辅助变压器430的二次侧线圈的另一端和上述绝缘变压器410的二次侧线圈的另一端之间，可包括相互串联的R1~R4的四个负载，而在本实施例中，上述各负载R1~R4可形成硅柱。
上述切换控制部480控制上述第一开关（S1）440、第二开关（S2）450、第三开关（S3）460及接头切换开关（S4~S7）420的切换。
下面，将说明本发明一实施例的用于化学气象沉积装置的电源装置的切换控制方法，即，结合图5至图9说明图4的电源装置的运行和并行。
图5至图9为图4的各开关的切换控制等价电路图。
在图1的step1等起初，根据切换控制部480的控制导通S1、S2及S3的开关并切断其余开关，则如图5所示，R1R2的两端施加作为Tap1的输出电压的1750V，而R3R4的两端施加作为Tap2的输出电压的1750V，最终，在负载R1R2R3R4的两端施加3500V。
接着，在图1的step2的时刻，根据切换控制部480的控制导通接头切换开关420中切换最高输出的S4的开关并切断其余开关，则如图6所示，在负载R1R2R3R4的两端施加作为Tap2的输出电压的1750V。
接着，在图1的step3的时刻，根据切换控制部480的控制导通接头切换开关420中切换第二高输出的S5的开关并切断其余开关，则如图7所示，在负载R1R2R3R4的两端施加作为Tap3的输出电压的870V。
接着，在图1的step4的时刻，根据切换控制部480的控制导通接头切换开关420中切换第三高输出的S6的开关并切断其余开关，则如图8所示，在负载R1R2R3R4的两端施加作为Tap4的输出电压的480V。
最后，在图1的step5的时刻，根据切换控制部480的控制导通接头切换开关420中切换最低输出的S7的开关并切断其余开关，则如图9所示，在负载R1R2R3R4的两端施加作为Tap5的输出电压的270V。
如上所述，在图1的step1等起初时刻，需向负载R1R2R3R4提供3500V的高电压，但较之图2的现有技术的电源装置中，癌初始开关S221施加全部最高电压3500V，在图4的本发明的电源装置中，在初始开关S1、S2只施加最高电压的一半的1750V，因此，与现有技术相比，可在提供相同电压的同时，降低开关的配置。
因此，根据本发明的一个方面的用于化学气象沉积装置的电源装置及其切换控制方法，可适用于用于硅晶体生长的CVD装置，且即使使用具有比现有技术低的额定电压的接头切换开关，也能在满足硅晶体生长所需的CVD工艺的负载特性的同时，维持开关的可靠性，并由此在降低电源装置的生产费用的同时，提高可靠性。
在以上描述中，虽然本公开的实施方式的全部组件都已经被解释为组装或可操作地连接成单元，但是本公开并不旨在将自身限于这样的实施方式。相反，在本公开的客观范围内，各组件可以以任意的数量选择性地并可操作地组合。这些组件中的每一个还可以独立地以硬件实现，同时各个组件可以选择性地部分地或作为整体地组合起来，并且可以以具有用于执行硬件等同物的功能的程序模块的计算机程序实现。本领域技术人员可以容易地推导出构成这种程序的代码或代码段。计算机程序可以存储在计算机可读介质中，其在操作中可以实现本公开的方面。作为计算机可读介质，候选包括磁记录介质、光记录介质和载波介质。
此外，像“包括”、“包含”和“具有”之类的术语在默认情况下应当被解释成包括性的或开放的，而不是排他性的或封闭的，除非明确地进行了相反的定义。所有的技术的、科学的或其它术语都与本领域技术人员所理解的意思相一致，除非进行了相反的定义。对字典中发现的通用术语应当在相关技术著作的上下文中进行解释，而不是过于理想或不切实际，除非本公开明确地这样定义了这些术语。
虽然出于例示性的目的对本公开的示例性实施方式进行了描述，但是本领域技术人员将意识到，在不脱离本公开的实质特性的情况下，各种修改、增加和替代都是可能的。因此，本公开的示例性方面并不是为了限制的目的进行描述的。相应地，本公开的范围并不受以上方面的限制，而是由权利要求及其等同形式来限制。
相关申请的交叉引用
如果可应用，那么本申请基于35U.S.C§119(a)要求于2010年3月8日在韩国提交的专利申请No.10-2010-0020377的优先权，该韩国申请的整个内容通过引用并入本文。此外，由于相同的理由，该非临时申请基于该韩国专利申请在除了美国以外的国家要求优先权，该韩国申请的整个内容通过引用并入本文。

Claims (6)

1.一种用于化学气象沉积装置的电源装置，包括：
绝缘变压器，对输入电压进行绝缘变压并分级输出；
接头切换开关，各切换上述分级输出；
辅助变压器，具有与上述绝缘变压器的二次侧线圈的点方向不同的点方向的二次侧线圈；
第一开关，其一端连接于上述辅助变压器的上述二次侧线圈的一端；
第二开关，连接于上述绝缘变压器的上述二次侧线圈的一端和上述第一开关的另一端之间；以及
第三开关，连接于上述第一及第二开关的共同连接点和负载之间的共同连接点之间；另外，还可以包括控制上述第一至第三开关及上述接头切换开关的切换的切换控制部。
2.根据权利要求1所述的用于化学气象沉积装置的电源装置，其特征在于：上述第一开关、第二开关及接头切换开关由双向SCR（Silicon-Controlled Rectifier Thyristor）构成。
3.根据权利要求1所述的用于化学气象沉积装置的电源装置，其特征在于：上述第三开关由机械开关构成。
4.根据权利要求1所述的用于化学气象沉积装置的电源装置，其特征在于：上述负载连接于上述辅助变压器的上述二次侧线圈的另一端和上述绝缘变压器的二次侧线圈的另一端之间。
5.根据权利要求1所述的用于化学气象沉积装置的电源装置，其特征在于：包括控制上述第一至第三开关及上述接头切换开关的切换的切换控制部。
6.一种用于化学气象沉积装置的电源装置的切换控制方法，在用于化学气象沉积装置的电源装置，包括：绝缘变压器，对输入电压进行绝缘变压并分级输出；接头切换开关，各切换上述分级输出；辅助变压器，具有与上述绝缘变压器的二次侧线圈的点方向不同的点方向的二次侧线圈；第一开关，其一端连接于上述辅助变压器的上述二次侧线圈的一端；第二开关，连接于上述绝缘变压器的上述二次侧线圈的一端和上述第一开关的另一端之间；及第三开关，连接于上述第一及第二开关的共同连接点和负载之间的共同连接点之间；
其中，控制上述开关的切换的方法包括：
第一切换步骤，导通上述第一至第三开关并切断其余开关；以及
第二切换步骤，在上述接头切换开关中，从切换最高输出的开关到切换最低输出的开关为止依次导通并切断其余开关。
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