CN102932723A - 一种两端mems麦克风 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种两端MEMS麦克风,包括电连接的微电容传感器MEMS、偏置电压供电电路VBAIS和专用集成电路ASIC,偏置电压供电电路VBAIS的电压输入端电连接有供电与信号输出端VDD&VOUT,将现有技术中三端MEMS麦克风的信号输出端VOUT与电源端VDD合并为一个端口,使得原来的三端器件变换为二端器件,增加了MEMS麦克风的集成度,使用方便;所述专用集成电路ASIC的信号输出端与专用集成电路ASIC接地端之间连接有RC电路,可用于调节静态工作电流和灵敏度,通过合理选定RC电路中R DC 和R AC 值即可实现对MEMS麦克风静态电流和灵敏度的控制,调节方便。
Description
技术领域
本发明涉及一种麦克风,具体的说,涉及一种电流、灵敏度可调的两端MEMS麦克风,属于麦克风技术领域。
背景技术
麦克风即传声器,是将声音信号转换为电信号的能量转换器件,也称话筒、麦克风或微音器,分类有动圈式、电容式、驻极体和新兴的MEMS麦克风,此外还有液体传声器和激光传声器。
目前,市面上的MEMS麦克风为三端器件,所述三端分别为电源端VDD、接地端GND和信号输出端VOUT,如图1和图2所示,三端MEMS麦克风包括电连接的微电容传感器MEMS、偏置电压供电电路VBAIS和专用集成电路ASIC,微电容传感器MEMS用于将外界的声音信号转换为交流电信号,偏置电压供电电路VBAIS用于为MEMS提供基准电压,专用集成电路ASIC用于将微电容传感器MEMS输入的交流电信号进行放大,微电容传感器MEMS的电压输入端与偏置电压供电电路VBAIS的电压输出端连接,偏置电压供电电路VBAIS的电压输入端经电容C1接地,偏置电压供电电路VBAIS的电压输入端与专用集成电路ASIC的电压输入端连接后经电阻R1接电源端VDD,电源供电电路通过电源端VDD为MEMS麦克风供电,偏置电压供电电路VBAIS的接地端与专用集成电路ASIC的接地端连接后接接地端GND,接地端GND与接地端GND的外围电路共地,微电容传感器MEMS的信号输出端与专用集成电路ASIC的信号输入端连接,专用集成电路ASIC的信号输出端接信号输出端VOUT,信号输出端VOUT将信号输出至外围电路,专用集成电路ASIC的信号输出端与专用集成电路ASIC的接地端之间连接有电容C2。
在实现本发明过程中,发明人发现现有技术中至少存在以下问题,电源端VDD与信号输出端VOUT分立,使用不方便,并且MEMS麦克风的静态工作电流及灵敏度的调节功能需要在MEMS麦克风外部电路中实现。
发明内容
本发明要解决的技术问题是针对以上不足,提供一种两端MEMS麦克风,克服了现有技术中使用不方便、电流及灵敏度调节不便的缺陷,采用本发明的麦克风后,具有使用方便、电流及灵敏度调节方便的优点。
为解决以上技术问题,本发明采用以下技术方案:一种两端MEMS麦克风,包括电连接的微电容传感器MEMS、偏置电压供电电路VBAIS和专用集成电路ASIC,偏置电压供电电路VBAIS的接地端与专用集成电路ASIC的接地端连接后接接地端GND,其特征在于:所述偏置电压供电电路VBAIS的电压输入端电连接有供电与信号输出端VDD&VOUT,用于供电和信号输出;
所述专用集成电路ASIC的信号输出端与专用集成电路ASIC接地端之间连接有RC电路,用于提供静态工作点。
一种优化方案,所述RC电路包括并联的可调电阻RDC和可调电阻RAC;
所述可调电阻RAC串联有电容C0。
另一种优化方案,所述电阻RDC和电阻RAC分别为可调电阻,用于调节静态工作电流和灵敏度。
本发明采用以上技术方案后,与现有技术相比,具有以下优点:将现有技术中三端MEMS麦克风的信号输出端VOUT与电源端VDD合并构成供电与信号输出端VDD&VOUT,使得原来的三端器件变换为二端器件,增加了MEMS麦克风的集成度,使用方便;所述专用集成电路ASIC的信号输出端与专用集成电路ASIC接地端之间连接有RC电路,通过合理选定RC电路中R DC 和R AC 值即可实现对MEMS麦克风静态电流和灵敏度的控制,调节方便。
下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明。
附图说明
附图1是现有技术中MEMS麦克风的工作原理图;
附图2是现有技术中MEMS麦克风的封装引脚示意图;
附图3是本发明实施例中MEMS麦克风的工作原理图;
附图4是本发明实施例中MEMS麦克风的封装引脚示意图;
附图5是本发明实施例中MEMS麦克风供电与信号输出端的外围电路;
附图6是本发明实施例中RC电路的工作原理图。
具体实施方式
实施例,如图3所示,一种两端MEMS麦克风,包括电连接的微电容传感器MEMS、偏置电压供电电路VBAIS和专用集成电路ASIC,微电容传感器MEMS用于将外界的声音信号转换为交流电信号,偏置电压供电电路VBAIS用于为MEMS提供基准电压,专用集成电路ASIC用于将微电容传感器MEMS输入的交流电信号进行放大;
微电容传感器MEMS的电压输入端与偏置电压供电电路VBAIS的电压输出端连接,偏置电压供电电路VBAIS的电压输入端经电容C1接地,偏置电压供电电路VBAIS的电压输入端与专用集成电路ASIC的电压输入端连接后经电阻R1接供电与信号输出端VDD&VOUT,供电与信号输出端VDD&VOUT接外围电路,用于为两端MEMS麦克风供电及输出信号;
偏置电压供电电路VBAIS的接地端与专用集成电路ASIC的接地端连接;
微电容传感器MEMS的信号输出端与专用集成电路ASIC的信号输入端连接后接接地端GND,接地端GND与接地端GND的外围电路共地,所述接地端GND的外围电路为本领域技术人员的公知技术,本实施例中不再详细阐述;
专用集成电路ASIC的信号输出端与专用集成电路ASIC的接地端之间连接有电容C2;
电容C2的两端并联有RC电路,用于为两端MEMS麦克风提供静态工作点;
所述RC电路包括并联的电阻RDC和电阻RAC,电阻RAC串联有电容C0;
为了便于调节静态工作电流和灵敏度,电阻RDC和电阻RAC分别为可调电阻。
所述两端MEMS麦克风的内部集成了RC电路,使得原来的三端器件变换为二端器件,增加了MEMS麦克风的集成度,使用更加方便。
所述两端MEMS麦克风的封装引脚如图4所示,包括两个引脚,一个为供电与信号输出端VDD&VOUT,一个为接地端GND。
为了便于理解,本实施例中给出供电与信号输出端VDD&VOUT的外围电路,如图5所示,所述供电与信号输出端VDD&VOUT的外围电路为信号输出、供电电路,所述两端MEMS麦克风的供电与信号输出端VDD&VOUT经电阻RL接电源端VDD,所述电阻RL起到限流作用,同时作为信号输出的负载电阻;所述两端MEMS麦克风的供电与信号输出端VDD&VOUT经电容C3接信号输出端VOUT,所述电容C3为耦合电容,负责将所述两端MEMS麦克风的交流输出信号耦合输出。
假设电阻RDC的阻值为R DC ,电阻RAC的阻值为R AC ,电阻RL的阻值为R L ,根据MEMS麦克风的指标要求,通过合理选定R DC 和R AC 值即可实现对MEMS麦克风静态电流和灵敏度的控制,如图6所示,为了进一步了解RC电路控制MEMS麦克风调整静态工作电流和灵敏度的工作原理,对其工作原理进行分析,下文中所述二端网络为两端MEMS麦克风的内部电路网络,所述三端网络为三端MEMS麦克风的内部电路网络。
(1)静态电流调节:
根据图6中的电流流向,二端网络满足电流关系:
三端网络不包含RC电路,存在电流关系:
根据(1)式二端网络的电流关系式可知,MEMS麦克风的静态工作电流与电阻RDC的阻值有关,通过调整R DC 即可实现对MEMS麦克风静态工作电流的控制。
(2)灵敏度调节:
二端网络MEMS麦克风输出信号为交流信号,依据图6所示,流经电容C0的动态电流为:
输出信号电压为:
以上所述为本发明最佳实施方式的举例,其中未详细述及的部分均为本领域普通技术人员的公知常识。本发明的保护范围以权利要求的内容为准,任何基于本发明的技术启示而进行的等效变换,也在本发明的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种两端MEMS麦克风,包括电连接的微电容传感器MEMS、偏置电压供电电路VBAIS和专用集成电路ASIC,偏置电压供电电路VBAIS的接地端与专用集成电路ASIC的接地端连接后接接地端GND,其特征在于:所述偏置电压供电电路VBAIS的电压输入端电连接有供电与信号输出端VDD&VOUT,用于供电和信号输出;
所述专用集成电路ASIC的信号输出端与专用集成电路ASIC接地端之间连接有RC电路,用于提供静态工作点。
2.如权利要求1所述的一种两端MEMS麦克风,其特征在于:所述RC电路包括并联的电阻RDC和电阻RAC;
所述电阻RAC串联有电容C0。
3.如权利要求2所述的一种两端MEMS麦克风,其特征在于:所述电阻RDC和电阻RAC分别为可调电阻,用于调节静态工作电流和灵敏度。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104010260A (zh) * | 2014-06-17 | 2014-08-27 | 山东共达电声股份有限公司 | 一种两线mems麦克风 |
CN104640023A (zh) * | 2013-11-07 | 2015-05-20 | 因文森斯公司 | 可编程声传感器的多功能引脚 |
CN105872904A (zh) * | 2016-04-20 | 2016-08-17 | 乐视控股(北京)有限公司 | 麦克风电路、系统以及耳机 |
CN108028629A (zh) * | 2015-07-27 | 2018-05-11 | Tdk株式会社 | 用于麦克风的电子电路和麦克风 |
CN108737947A (zh) * | 2018-08-27 | 2018-11-02 | 湖南声仪测控科技有限责任公司 | 一种应用mems麦克风的声校准器 |
CN110290447A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-09-27 | 深圳市中科蓝讯科技有限公司 | 直流偏置单元、麦克风工作电路和麦克风控制芯片 |
CN110324770A (zh) * | 2019-08-01 | 2019-10-11 | 迈感微电子(上海)有限公司 | 一种麦克风及其集成电路、电子设备 |
CN110324770B (zh) * | 2019-08-01 | 2024-04-26 | 迈感微电子(上海)有限公司 | 一种麦克风及其集成电路、电子设备 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201594811U (zh) * | 2010-01-13 | 2010-09-29 | 歌尔声学股份有限公司 | 一种mems麦克风 |
CN202197398U (zh) * | 2011-08-19 | 2012-04-18 | 歌尔声学股份有限公司 | 电容式麦克风装置 |
CN202940962U (zh) * | 2012-11-13 | 2013-05-15 | 山东共达电声股份有限公司 | 一种两端mems麦克风 |
-
2012
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201594811U (zh) * | 2010-01-13 | 2010-09-29 | 歌尔声学股份有限公司 | 一种mems麦克风 |
CN202197398U (zh) * | 2011-08-19 | 2012-04-18 | 歌尔声学股份有限公司 | 电容式麦克风装置 |
CN202940962U (zh) * | 2012-11-13 | 2013-05-15 | 山东共达电声股份有限公司 | 一种两端mems麦克风 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104640023A (zh) * | 2013-11-07 | 2015-05-20 | 因文森斯公司 | 可编程声传感器的多功能引脚 |
CN104640023B (zh) * | 2013-11-07 | 2020-01-10 | 应美盛公司 | 一种可编程声传感器 |
CN104010260A (zh) * | 2014-06-17 | 2014-08-27 | 山东共达电声股份有限公司 | 一种两线mems麦克风 |
CN108028629A (zh) * | 2015-07-27 | 2018-05-11 | Tdk株式会社 | 用于麦克风的电子电路和麦克风 |
CN108028629B (zh) * | 2015-07-27 | 2021-07-09 | Tdk株式会社 | 用于麦克风的电子电路和麦克风 |
CN105872904A (zh) * | 2016-04-20 | 2016-08-17 | 乐视控股(北京)有限公司 | 麦克风电路、系统以及耳机 |
CN108737947A (zh) * | 2018-08-27 | 2018-11-02 | 湖南声仪测控科技有限责任公司 | 一种应用mems麦克风的声校准器 |
CN110290447A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-09-27 | 深圳市中科蓝讯科技有限公司 | 直流偏置单元、麦克风工作电路和麦克风控制芯片 |
CN110324770A (zh) * | 2019-08-01 | 2019-10-11 | 迈感微电子(上海)有限公司 | 一种麦克风及其集成电路、电子设备 |
CN110324770B (zh) * | 2019-08-01 | 2024-04-26 | 迈感微电子(上海)有限公司 | 一种麦克风及其集成电路、电子设备 |
Also Published As
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