CN102899674B - 一种高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法 - Google Patents
一种高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102899674B CN102899674B CN201210404044.1A CN201210404044A CN102899674B CN 102899674 B CN102899674 B CN 102899674B CN 201210404044 A CN201210404044 A CN 201210404044A CN 102899674 B CN102899674 B CN 102899674B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- stainless steel
- clean
- steel components
- high vacuum
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 18
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 30
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 claims description 20
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 claims description 20
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 15
- 238000005554 pickling Methods 0.000 claims description 10
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 10
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 230000002000 scavenging effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 5
- 238000007603 infrared drying Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 5
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 abstract description 4
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 abstract description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 abstract 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000009991 scouring Methods 0.000 abstract 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 abstract 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 7
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 229960000935 dehydrated alcohol Drugs 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- 241000249820 Lipotes vexillifer Species 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Abstract
一种高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法,属于不锈钢零件的清洗领域。本发明解决了现有传统不锈钢零件清洗方法无法满足终端光学组件中不锈钢零件的洁净要求的技术问题。方法:一、粗处理;二、酸洗,清洗剂超声清洗,高纯水超声处理,洁净水喷淋清洗,然后洁净空气吹干,烘干;三、置于洁净间内,用高纯水超声清洗,洁净空气吹干,烘干,即完成了精密铝合金零件的清洗。本发明清洗过程对不锈钢零件的精度无损害;无有机物及颗粒残留,实现超洁净;有效去除材料高真空下易挥发污染物。
Description
技术领域
本发明属于不锈钢零件的清洗领域。
背景技术
终端光学组件位于惯性约束核聚变装置一神光III中的最后一环,整个组件处于高真空、强辐射环境中,若其内部的相关元件表面存在如灰尘、油脂等污染物时,这些污染物受强激光照射就有可能转变成组件环境内部的气溶胶,破坏组件内部的洁净环境,影响组件的通光质量和强度,甚至当气溶胶附着在光学元件上时,会因激光照射而发生爆炸性挥发,对昂贵的光学元件的表面产生损伤,导致其损伤阈值降低。为避免这些情况的发生,对终端光学组件内部的相关元件的表面洁净度提出了很高的要求。
终端光学组件的零件以不锈钢材料为主,该材料在存放或机械加工中不可避免地会形成一层氧化皮,零件表面也易沾染灰尘、油脂等污染物,故需要对其进行清洗。由于零件要应用于高真空、强辐射的极端环境中,使其对洁净度要求比普通不锈钢零件要高,而传统的不锈钢零件清洗方法无法满足终端光学组件中不锈钢零件的洁净要求。
发明内容
本发明要解决现有传统不锈钢零件清洗方法无法满足终端光学组件中不锈钢零件的洁净要求的技术问题;而提供了一种高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法。
高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法是通过下述步骤实现的:
步骤一、将机械加工后的精密不锈钢零件置于准备间内,对该零件抛光,然后用洁净水清洗2~3遍,洁净空气吹干,再酸洗,用洁净水喷淋清洗,洁净空气吹干,然后用清洗液进行人工干预,抛光,用洁净水清洗2~3遍,再用洁净氮气或洁净空气吹干;
步骤二、然后酸洗,再用质量浓度为5%、温度为50~63℃的1990GD清洗剂在20~40KHz频率下超声清洗15~20min,然后高纯水超声清洗,再用高纯水喷淋漂洗,洁净空气吹干,再置于远红外烘干箱内130~150℃烘干30min;
步骤三,将经步骤二处理后的精密不锈钢零件置于洁净间内,用高纯水超声清洗,洁净氮气或洁净空气吹干,再置于远红外洁净烘干设备内烘烤30min,然后放置在干燥密封箱内,即完成了精密不锈钢零件的清洗。
步骤一中人工干预是用50~63℃的5%1990GD清洗液(美国Brulin公司制造的)对零件表面反复擦洗及用蘸上述清洗液的长纤维布套棉签清除孔内油污及颗粒污染物。
所述的准备间为千级洁净室,所述的洁净间为百级洁净室。
注:精密薄壁类零件如晶体框等需在这个清洗工艺方法中采用不锈钢挂钩或长丝吊带竖直放置,防止影响精密零件面型精度。
本发明的有益效果在于:清洗过程在不损伤零件精度前提下,实现超洁净,无有机物及颗粒残留,有效去除材料高真空下易挥发污染物。
具体实施方式
具体实施方式一:高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法是通过下述步骤实现的:
步骤一、将机械加工后的精密不锈钢零件置于准备间内,对该零件抛光,然后用洁净水清洗2~3遍,洁净空气吹干,再酸洗,用洁净水喷淋清洗,洁净空气吹干,然后用清洗液进行人工干预,抛光,用洁净水清洗2~3遍,再用洁净氮气或洁净空气吹干;
步骤二、然后酸洗,再用质量浓度为5%、温度为52~58℃的1990GD清洗剂在20~40KHz频率下超声清洗15~20min,然后高纯水超声清洗,再用高纯水喷淋漂洗,洁净空气吹干,再置于远红外烘干箱内130~150℃烘干30min;
步骤三,将经步骤二处理后的精密不锈钢零件置于洁净间内,用高纯水超声清洗,洁净氮气或洁净空气吹干,再置于远红外洁净烘干设备内烘烤30min,然后放置在干燥密封箱内,即完成了精密不锈钢零件的清洗。
具体实施方式二:本实施方式与具体实施方式一不同的是:步骤一所述抛光是将零件的外表面去除100~200nm的厚度。其它步骤和参数与具体实施方式一相同。
具体实施方式三:本实施方式与具体实施方式一或二不同的是:步骤一所述酸洗是用质量百分比浓度为8%~12%硝酸溶液浸泡0.5~4分钟。其它步骤和参数与具体实施方式一或二相同。
具体实施方式四:本实施方式与具体实施方式一至三之一不同的是:步骤一洁净水喷淋漂洗的喷淋速度控制在0.1~0.2m2/min,喷淋角度30~45℃,喷淋距离200mm~400mm。其它步骤和参数与具体实施方式一至三之一相同。
具体实施方式五:本实施方式与具体实施方式一至四之一不同的是:步骤二所述酸洗是用质量百分比浓度为8%~12%硝酸溶液浸泡0.5~1分钟。其它步骤和参数与具体实施方式一至四之一相同。
具体实施方式六:本实施方式与具体实施方式一至五之一不同的是:步骤二高纯水超声清洗的水电阻率为15~18MΩ·cm,超声频率为20~40KHz,超声清洗时间为15min~20min。其它步骤和参数与具体实施方式一至五之一相同。
具体实施方式七:本实施方式与具体实施方式一至六之一不同的是:步骤二高纯水喷淋漂洗的水电阻率为15~18MΩ·cm,喷淋速度控制在0.1~0.2m2/min,喷淋角度30~45℃,喷淋距离200mm~400mm。其它步骤和参数与具体实施方式一至六之一相同。
具体实施方式八:本实施方式与具体实施方式一至七之一不同的是:步骤三所述高纯水的水电阻率为15~18MΩ·cm。其它步骤和参数与具体实施方式一至七之一相同。
具体实施方式九:本实施方式与具体实施方式一至八之一不同的是:步骤三用高纯水超声清洗的超声频率为70~80KHz,超声清洗时间为15min~20min。其它步骤和参数与具体实施方式一至八之一相同。
具体实施方式十:本实施方式与具体实施方式一至九之一不同的是:步骤三所述烘烤温度为130~150℃。其它步骤和参数与具体实施方式一至九之一相同。
具体实施方式十一:高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法是通过下述步骤实现的:
步骤一、将机械加工后的精密不锈钢零件置于准备间(千级洁净室)内,对该零件抛光,然后用洁净水清洗2遍,洁净空气吹干,再用质量百分比浓度为10%硝酸溶液浸泡2分钟,用洁净水在喷淋速度0.1m2/min,喷淋角度40℃,喷淋距离300mm条件下喷淋清洗,洁净空气吹干,然后用清洗液进行人工干预,抛光,用洁净水清洗2遍,再用洁净氮气吹干;
步骤二、然后用质量百分比浓度为10%硝酸溶液浸泡2分钟,再用质量浓度为5%、温度为60℃的1990GD清洗剂在40KHz频率下超声清洗15min,然后高纯水在超声频率为20KHz条件下超声清洗0.1min,再用高纯水在喷淋速度0.1m2/min,喷淋角度40℃,喷淋距离300mm条件下喷淋漂洗,洁净空气吹干,再置于远红外烘干箱内150℃下烘干30min,用丙酮擦拭法测试,即用白色洁净纤维布在无水乙醇液体中沾湿后擦拭零件表面,洁净布不变色;
步骤三,将经步骤二处理后的精密不锈钢零件置于洁净间(百级洁净室)内,用高纯水在超声频率为20KHz条件下超声清洗0.1min,洁净氮气吹干,再置于远红外洁净烘干设备内150℃下烘烤30min,用酒精擦拭法测试,即用白色洁净纤维布在无水乙醇液体中沾湿后擦拭零件表面,洁净布不变色将零件然后放置在干燥密封箱内,即完成了精密不锈钢零件的清洗。
本实施方式精密不锈钢零件清洗前,经酒精擦拭法和水膜破裂法检测,洁净布上有炭黑、钢屑等颗粒污染物及油污,不能形成稳定水膜;清洗后,经酒精擦拭法和水膜破裂法检测,洁净布上无炭黑、钢屑等颗粒污染物及油污,能形成稳定水膜,且放置在百级洁净内50~60天仍然能形成稳定水膜。清洗前,工件表面有轻微加工刀痕;清洗后,表面加工刀痕减轻,表面平整、光亮。保证精密不锈钢零件精度条件下,有效去除精密不锈钢件在高真空条件下挥发物如材料本身含有在真空条件下易挥发元素如锡等及零件在加工中沾染的有机物如切削液、润滑油等,降低出气率,气溶胶。
Claims (7)
1.一种高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法,其特征在于高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法是通过下述步骤实现的:
步骤一、将机械加工后的精密不锈钢零件置于准备间内,对该零件抛光,然后用洁净水清洗2~3遍,洁净空气吹干,再酸洗,用洁净水喷淋清洗,洁净空气吹干,然后用清洗液进行人工干预,抛光,用洁净水清洗2~3遍,再用洁净氮气或洁净空气吹干;
步骤二、然后酸洗,再用质量浓度为5%、温度为50~63℃的1990GD清洗剂在20~40KHz频率下超声清洗15~20min,然后高纯水超声清洗,再用高纯水喷淋漂洗,洁净空气吹干,再置于远红外烘干箱内130~150℃烘干30mmin;
步骤三,将经步骤二处理后的精密不锈钢零件置于洁净间内,用高纯水超声清洗,洁净氮气或洁净空气吹干,再置于远红外洁净烘干设备内烘烤30min,然后放置在干燥密封箱内,即完成了精密不锈钢零件的清洗;
步骤一所述抛光是将零件的外表面去除100~200nm的厚度;
步骤一所述酸洗是用质量百分比浓度为8%~12%硝酸溶液浸泡0.5~4分钟;
步骤二所述酸洗是用质量百分比浓度为8%~12%硝酸溶液浸泡0.5~1分钟。
2.根据权利要求1所述一种高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法,其特征在于步骤一洁净水喷淋漂洗的喷淋速度控制在0.1~0.2m2/min,喷淋角度30~45℃,喷淋距离200mm~400mm。
3.根据权利要求2所述一种高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法,其特征在于步骤二高纯水超声清洗的水电阻率为15~18MΩ·cm,超声频率为20~40KHz,超声清洗时间为15min~20min。
4.根据权利要求3所述一种高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法,其特征在于步骤二高纯水喷淋漂洗的水电阻率为15~18MΩ·cm,喷淋速度控制在0.1~0.2m2/min,喷淋角度30~45℃,喷淋距离200mm~400mm。
5.根据权利要求4所述一种高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法,其特征在于步骤三所述高纯水的水电阻率为15~18MΩ·cm。
6.根据权利要求5所述一种高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法,其特征在于步骤三用高纯水超声清洗的超声频率为70~80KHz,超声清洗时间为15min~20min。
7.根据权利要求1-6中任一项所述一种高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的
清洗方法,其特征在于步骤三所述烘烤温度为130~150℃。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210404044.1A CN102899674B (zh) | 2012-10-22 | 2012-10-22 | 一种高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210404044.1A CN102899674B (zh) | 2012-10-22 | 2012-10-22 | 一种高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102899674A CN102899674A (zh) | 2013-01-30 |
CN102899674B true CN102899674B (zh) | 2014-12-10 |
Family
ID=47572154
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201210404044.1A Expired - Fee Related CN102899674B (zh) | 2012-10-22 | 2012-10-22 | 一种高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102899674B (zh) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104264165A (zh) * | 2014-09-26 | 2015-01-07 | 四川汉能光伏有限公司 | 铝掺杂氧化锌附着层的清洗方法 |
CN105903710B (zh) * | 2016-05-11 | 2018-07-03 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种高功率激光装置的铜、铝元件表面的洁净处理方法 |
CN105921453B (zh) * | 2016-05-11 | 2018-10-09 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种高功率激光装置的大型箱体表面的洁净处理方法 |
CN105921454B (zh) * | 2016-05-11 | 2018-10-09 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种高功率激光装置的不锈钢元件表面的洁净处理方法 |
CN106493108A (zh) * | 2016-09-28 | 2017-03-15 | 湖北大禹汉光真空电器有限公司 | 一种真空灭弧室的无酸清洗工艺 |
CN106835160A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-06-13 | 芜湖乐普汽车科技有限公司 | 不锈钢管件的清洗方法 |
CN111570445A (zh) * | 2020-05-18 | 2020-08-25 | 上海焕星新能源科技有限公司 | 一种不锈钢罐清洗方法 |
CN115826227B (zh) * | 2022-11-21 | 2024-08-13 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种光学系统非金属密封材料的洁净处理方法和评价方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101381877A (zh) * | 2007-09-04 | 2009-03-11 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 精密零件的清洗方法 |
CN101906655A (zh) * | 2010-07-08 | 2010-12-08 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 不锈钢表面处理方法 |
-
2012
- 2012-10-22 CN CN201210404044.1A patent/CN102899674B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101381877A (zh) * | 2007-09-04 | 2009-03-11 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 精密零件的清洗方法 |
CN101906655A (zh) * | 2010-07-08 | 2010-12-08 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 不锈钢表面处理方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
"浅谈光学元件的几种清洗技术";许将明 等;《物理与工程》;20080901;第18卷(第3期);第30-33,35页 * |
许将明 等."浅谈光学元件的几种清洗技术".《物理与工程》.2008,第18卷(第3期),第30-33,35页. * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102899674A (zh) | 2013-01-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102899674B (zh) | 一种高真空、强辐射环境下的精密不锈钢零件的清洗方法 | |
CN102886367B (zh) | 一种精密铝合金零件的清洗方法 | |
CN110449398B (zh) | 一种掩膜版精密再生工艺及其系统 | |
CN103909079B (zh) | 通过式清洗机及其清洗方法 | |
CN102649625A (zh) | 一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法 | |
CN103934234A (zh) | 一种抛光片载片盒的清洗工艺 | |
CN103878142A (zh) | 轴承零件碳氢清洗设备 | |
CN104479913A (zh) | 一种用于除去单晶硅片表面有机物的漂洗液及清洗方法 | |
TW201407709A (zh) | 加強清潔腔室的電漿噴塗塗層而不損傷塗層之方法 | |
CN113231950B (zh) | 一种环保型CuCr触头表面处理方法 | |
CN114472341B (zh) | 一种铌酸锂单面抛光片的清洗方法 | |
CN102087954A (zh) | 晶圆清洗方法 | |
CN208643532U (zh) | 一种铝合金阳极氧化膜激光干式清洗设备 | |
CN105671541A (zh) | 一种不锈钢钝化工艺 | |
CN203695538U (zh) | 通过式清洗机 | |
CN106011866A (zh) | 一种紫铜管工件的化学抛光表面处理方法 | |
CN109755106B (zh) | 一种晶圆清洗方法 | |
CN107790431A (zh) | 一种轴承清洗工艺 | |
CN208050512U (zh) | 一种自动激光清洗设备 | |
CN105537207B (zh) | 一种高温用石英管的清洗方法 | |
CN101092011A (zh) | 铝及铝合金光亮焊丝的生产工艺 | |
CN103752539A (zh) | 一种熟碳块自动清理机 | |
CN103639141A (zh) | 一种蓝宝石触摸面板的清洗方法 | |
CN105368587A (zh) | 触摸屏水基清洗剂组合物及其使用方法 | |
CN109423659A (zh) | 不锈钢工件的清洗方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20141210 |