CN102880892A - 无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法，包括生成条形码的图像信息矩阵，在曝光中根据矩阵内容实时添加矩形到待曝光的图形文件中。本发明中的方法满足了在曝光中在指定位置添加指定大小和码制的条形码的需求。

Description

无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法
技术领域
本发明涉及无掩膜直写光刻机的数据处理领域，具体为一种无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法。
背景技术
实时光刻数据处理，是以GDSII、OASIS、GERBER格式的文件为输入数据，通过高速的数据处理，输出光刻机可以直接用于曝光的数据的过程。
扫描式光刻设备，是一种在连续的匀速运动中将各种图形转移到感光媒介上的设备。
本发明中所述的条形码图像信息矩阵是将整个条形码看成一个由多个大小相同的黑白矩形块组成的矩阵，每个矩形块的大小由人工输入指定，所以该信息矩阵中每个元素就代表条码图形中的一个矩形，元素的内容表示该矩形是黑色还是白色。
发明内容
本发明的目的是提供一种无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法，能够满足在曝光图形中添加各种码制的条形码的需求。
为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为：
一种无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法，其特征在于：包括以下步骤：
（1）将待曝光的数据文件加载到计算机内存中，如GDSII、OASIS，所述待曝光的数据文件中保存有曝光图形的矢量信息；
（2）计算机根据外界输入的条形码码制和内容信息，按相应条形码码制规则生成该条形码的图像信息矩阵；所生成的信息矩阵中每个元素代表条码图像中的一个矩形块，元素的值表示该矩形块是黑色还是白色；
（3）遍历步骤（2）中生成的条码图像信息矩阵，如果当前遍历到的元素表示黑色矩形块，则根据外界输入的条形码起始位置和大小信息，计算出该矩形块在步骤（1）中的曝光图形中的位置和大小，并将该矩形块以失量数据的形式添加到步骤（1）中的曝光图形中；在整个条码图像信息矩阵遍历完之后，在计算机的内存中就有了一张包含指定条形码和曝光图形信息的失量图形；
（4）将步骤（3）中最终生成的包含指定条形码和曝光图形信息的失量图形数据作为新的曝光图形文件进行后续的曝光，光刻机就会在光敏感的介质上曝光出相应码制的条形码。
本发明的优点是：
本发明解决了在扫描式无掩膜光刻机曝光过程中如何实时添加条形码的问题，满足了在光敏感媒介上生成各种条码的需求。
附图说明
图1为条形码图片和条码信息矩阵对应关系示意图。
图2为添加字符串并曝光的流程示意图。
具体实施方式
如图2所示，一种无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法，包括以下步骤：首先计算机读入待曝光的图形文件，然后根据外界输入的条形码码制、内容、添加位置和大小信息，计算机根据相应码制的条码生成规则，生成一个m×n的信息矩阵，矩阵的大小由生成的条码图像中黑白矩形块的行列数决定，矩阵中每个元素表示条形码图像中的一个矩形块，如果相应位置为黑色，该元素值设为1，否则设置该元素值为0，最后遍历该信息矩阵，对于值为1的元素，就在已读入的图形文件的失量数据中添加一个矩形，添加的矩形大小由前面的设置值指定，在此同时根据需要进行位置的平移和尺寸的缩放。
当再次曝光时，检测新条形码的码制、位置、大小、内容是否发生变化，如果发生变化则将新的条形码数据加入，并删除上一次的条形码数据，如果没有发生变化则无需重新加入。
完成上述过程后，计算机就可以按正常图形一样来进行其他的处理过程，并实时的将数据传输到曝光的终端设备。

Claims (4)

1.一种无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法，其特征在于：包括以下步骤：
（1）将待曝光的数据文件加载到计算机内存中，如GDSII、OASIS，所述待曝光的数据文件中保存有曝光图形的矢量信息；
（2）计算机根据外界输入的条形码码制和内容信息，按相应条形码码制规则生成该条形码的图像信息矩阵；所生成的信息矩阵中每个元素代表条码图像中的一个矩形块，元素的值表示该矩形块是黑色还是白色；
（3）遍历步骤（2）中生成的条码图像信息矩阵，如果当前遍历到的元素表示黑色矩形块，则根据外界输入的条形码起始位置和大小信息，计算出该矩形块在步骤（1）中的曝光图形中的位置和大小，并将该矩形块以失量数据的形式添加到步骤（1）中的曝光图形中；在整个条码图像信息矩阵遍历完之后，在计算机的内存中就有了一张包含指定条形码和曝光图形信息的失量图形；
（4）将步骤（3）中最终生成的包含指定条形码和曝光图形信息的失量图形数据作为新的曝光图形文件进行后续的曝光，光刻机就会在光敏感的介质上曝光出相应码制的条形码。
2. 根据权利要求1所述的一种无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法，其特征在于：所述步骤（1）中，待曝光的数据文件首先是加载到计算机内存中，便于其后的修改。
3.根据权利要求1所述的一种无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法，其特征在于：所述步骤（2）和（3）中，条形码的内容可以来自多方面，如人工输入、 系统自动生成序列号、系统日期；条形码的码制、位置和大小一般是人工输入确定。
4.根据权利要求3所述的一种无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法，其特征在于：指定条形码码制、内容、大小和位置后，光刻机会在光敏感的介质上曝光出相应的条形码图像。
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