CN102874513A - 硅片清洗设备以及储液罐 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种储液罐，包括主罐体和显液管，显液管一端开口，另一端与主罐体相连通，显液管与主罐体之间还设置有可全部或部分展开并将上述二者分隔开来的胶囊体。上述储液罐中在主罐体和显液管之间设置有可展开的胶囊体，胶囊体将主罐体和显液管分隔成两部分。当需要观察主罐体上化学药剂的高度时，在显液管的开口处注入测量液，当主罐体内化学药剂高度发生变化时，胶囊体展开或者闭合，显液管中的测量液高度随即发生变化。由于上述储液罐中主罐体和显液管可注入不同的液体，且显液管可注入易分辨、清洗的测量液，因此可以避免由于显液管和主罐体采用同一液体容易产生沾污物的现象发生。本发明实施例还提供了一种硅片清洗设备。

Description

硅片清洗设备以及储液罐

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，更具体地说，涉及硅片清洗设备及储液罐。

背景技术

由于硅片关键尺寸的持续缩小，硅片表面在经受工艺之前必须是洁净的。控制沾污最有效途径是防止沾污硅片，其中占统治地位的硅片表面清洗方法是湿化学法，湿化学法是用化学药剂与硅片表面需要去除的沾污物进行反应，使得沾污物从硅片表面剥离从而达到清洗的目的。

传统的湿化学法在清洗槽中进行，由一系列安装在烟雾罩中的酸槽和清洗槽组成，其中酸槽和清洗槽统称为储液罐。为了方便观察储液罐中化学药剂的高度，如图1所示，储液罐11上设置有显液管12，该显液管12的一端开口，另一端与储液罐11的底部相连通，操作人员通过肉眼观察显液管12内的液位高度来判断储液罐11内化学药剂14的高度，或者通过设置在显液管12中的液位传感器13来判断储液罐11内化学药剂14的高度，从而保证储液罐11中的化学药剂14处于最为理想的液位高度。但是，由于储液罐11中的化学药剂14和显液管12通常为透明状态，通过肉眼观察不易分辨出化学药剂14的实际高度。而且显液管12中的液体与储液罐11中液体相同，经常会有沉淀物等沾污物产生，这些沾污物很容易附着在显液管12上，一方面由于沾污物遮挡视线，肉眼无法观察到显液管12中的实际液位高度，另一方面由于沉淀物附着在显液管12的管壁上液位传感器13会出现误报现象。

因此，如何研究出一种其显液管中不易产生污染物的硅片清洗设备及其储液罐，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种硅片清洗设备及其储液罐，以实现减少显液管中沾污物产生的目的。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种储液罐，包括主罐体和显液管，所述显液管一端开口，另一端与所述主罐体相连通，所述显液管与所述主罐体之间还设置有可全部或部分展开并将上述二者分隔开来的胶囊体。

优选的，在上述储液罐中，所述主罐体和所述显液管之间还设置有与二者相连通的储液囊，所述胶囊体设置在所述储液囊内。

优选的，在上述储液罐中，所述胶囊体末端通过中间呈中空状态的盖板设置在所述储液囊上。

优选的，在上述储液罐中，所述盖板的数量为两个，其中，第二盖板设置在第一盖板的中空部位并将所述胶囊体设置在所述第一盖板和第二盖板的中间。

优选的，在上述储液罐中，所述储液囊为圆筒状结构。

优选的，在上述储液罐中，所述胶囊体的最大展开体积大于或等于所述储液囊体积。

优选的，在上述储液罐中，所述胶囊体上还设置有出气管。

优选的，在上述储液罐中，所述出气管设置在胶囊体的顶端。

优选的，在上述储液罐中，所述胶囊体的顶端还设置有隔板。

一种硅片清洗设备，包括烟雾罩和具有上述结构的储液罐，所述储液罐设置在所述烟雾罩内部。

从上述技术方案可以看出，本发明实施例中的储液罐在主罐体和显液管之间设置有可展开的胶囊体，胶囊体将主罐体和显液管分隔成两部分。当需要观察主罐体上化学药剂的高度时，在显液管的开口处注入测量液，当主罐体内化学药剂高度发生变化时，胶囊体展开或者闭合，显液管中的测量液高度随即发生变化。由于上述储液罐中主罐体和显液管可注入不同的液体，且显液管可注入易分辨、清洗的测量液，因此可以避免由于显液管和主罐体采用同一液体容易产生沾污物的现象发生，从而减小肉眼的观察结果和液位传感器测量结果的误差。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中储液罐的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的储液罐结构示意图；

图3为本发明实施例提供的储液罐另一结构示意图；

图4为本发明实施例提供的储液罐第三结构示意图；

图5为本发明实施例提供的储液囊一种结构示意图；

图6为本发明实施例提供的储液囊另一结构示意图；

图7为本发明实施例提供的储液囊第三结构示意图；

图8为本发明实施例提供的储液囊第四结构示意图；

图9为本发明实施例提供的注液过程中储液罐的状态示意图；

图10为本发明实施例提供的注液后储液罐的状态示意图；

图11为本发明实施例提供的清洗过程中储液罐的状态示意图；

图12为本发明实施例提供的清洗过程后储液罐的状态示意图；

其中，图1至图12：

11为主罐体，12为显液管，13为液位传感器，14为化学药剂，21为主罐体，22为显液管，23为液位传感器，24为化学药剂，25为测量液，26为胶囊体，27储液囊，28为隔板，291为第一盖板，292为第二盖板，30为出气管。

具体实施方式

本发明实施例公开了一种硅片清洗设备及其储液罐，以实现减少显液管中沾污物产生的目的。

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图2所示的储液罐，该储液罐包括主罐体21和显液管22，显液管22一端开口，另一端与主罐体21相连通，显液管22与主罐体21之间还设置有可全部或部分展开并将上述二者分隔开来的胶囊体26。

本发明实施例中的储液罐在主罐体21和显液管22之间设置有可展开的胶囊体26，胶囊体26将主罐体21和显液管22分隔成两部分。当需要观察主罐体21上化学药剂24的高度时，在显液管22的开口处注入测量液25，当主罐体21内化学药剂24高度发生变化时，胶囊体26展开或者闭合，显液管22中的测量液25高度随即发生变化。由于上述储液罐中主罐体21和显液管22可注入不同的液体，且显液管22可注入易分辨、清洗的测量液25，因此可以避免由于显液管22和主罐体21采用同一液体容易产生沾污物的现象发生，从而减小肉眼的观察结果和液位传感器23测量结果的误差。

本发明实施例中的胶囊体26采用软性材料，当主罐体21中液体发生变化时，胶囊体26展开并将这种变化反应到测量液25中。其中为了保证胶囊体26传递上述压力，显液管22的尺寸可以设置的足够大，另外，显液管22和主罐体21之间部位尺寸较大，如图3所示，在本发明实施例中在显液管22和主罐体21之间还设置有储液囊27，该储液囊27连通显液管22和主罐体21，且胶囊体26设置在储液囊27内。当主罐体21中化学药剂24高度发生变化时，胶囊体26就会在储液囊27中展开或者闭合，以传递压力的变化。

另外，在主罐体21中注射液体时，为了排除上述储液囊27中多余的气体，储液囊27上还设置有出气管30，如图4所示。优选的，该出气管30设置在储液囊27的顶部，且出气管30的开口位于化学药剂24的高度之上。

本发明实施例中的胶囊体26由软质材料制作而成，例如氯丁胶等，胶囊体26可以直接通过胶体粘在储液囊27上，其中胶囊体26的末端粘在储液囊27的囊壁上，胶囊体26可以设置在靠近显液管22的一端还可以设置在靠近主罐体21的一端。

胶囊体26末端通过中间呈中空状态的盖板设置在储液囊27上，其中，盖板的数量为一个或两个。当盖板的数量为一个时，如图5和图6所示，胶囊体26的末端置于第一盖板291和储液囊27的囊壁之间，通过第一盖板291与储液囊27配合实现胶囊体26的定位；当盖板的数量为两个时，如图7和图8所示，其中，第一盖板291与胶囊体26的囊壁配合，第二盖板292与第一盖板291的中空部位配合，胶囊体26的末端设置在第一盖板291和第二盖板292之间，通过第一盖板291和第二盖板292的配合实现胶囊体26的定位。

为了排净主罐体21中废液，胶囊体26的最大展开体积大于或等于储液囊27的体积，由于胶囊体26可以在测量液25和化学药剂24的作用下进行展开和闭合，因此，当需要排除废液时，在测量液25压力作用下胶囊体26向靠近主罐体21的方向运动，由于胶囊体26的最大展开体积大于或等于储液囊27的体积，当主罐体21内的化学药剂24远远小于显液管22中测量液25压力时，测量液25迫使胶囊体26全部或部分展开，并将储液囊27内部填充完全，因此储液囊27中的化学药剂24在胶囊体26的作用下全部或大部分排出胶囊体26。

此外，当胶囊体26最大展开体积大于储液囊27的体积时，为了防止胶囊体26堵塞排液孔，胶囊体26的顶端还设置有隔板28，如图6和图8所示，隔板28可以与化学药剂24相接触，也可以与测量液25相接触，优选的，隔板28与测量液25相接触。

显液管22内加入测量液25与主罐体21中化学药剂24密度可以相同也可以不同，优选的密度相同，采用密度相同的测量液25其测量过程中转换方便，通过人眼观察可以得到较直观的测量值。测量液25的颜色最好便于人眼识别。这样观测出的误差较小。

下面结合附图具体介绍上述储液罐的工作过程，如图9至图12所示。

如图9所示，当向储液罐内加入化学药剂24时，主罐体21中的化学药剂24的液位高于显液管22中测量液25的液位高度，隔板28受到化学药剂24向下的压力大于显液管22内测量液25给隔板28的向上的压力，此时隔板28将向下移动，并把储液囊27中的测量液25压入显液管22中，显液管22液位上升，直至显液管22内的液位与主罐体21内化学药剂24液位相持平，如图10所示。

同理，如图11所示，当主罐体21内化学药剂24液位下降时，显液管22中测量液25的液位高度高于主罐体21中的化学药剂24的液位，隔板28受到测量液25向上的压力大于化学药剂24向下的压力，此时隔板28将向上运动，并将储液囊27中的化学药剂24压入主罐体21中，显液管22液位下降，直至显液管22内的液位与主罐体21内化学药剂24液位相持平，如图12所示。

本发明实施例还公开了一种硅片清洗设备，包括烟雾罩和具有上述结构的储液罐，该储液罐设置在所述烟雾罩内部。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种储液罐，包括主罐体(21)和显液管(22)，所述显液管(22)一端开口，另一端与所述主罐体(21)相连通，其特征在于，所述显液管(22)与所述主罐体(21)之间还设置有可全部或部分展开并将上述二者分隔开来的胶囊体(26)。

2.根据权利要求1所述的储液罐，其特征在于，所述主罐体(21)和所述显液管(22)之间还设置有与二者相连通的储液囊(27)，所述胶囊体(26)设置在所述储液囊(27)内。

3.根据权利要求2所述的储液罐，其特征在于，所述胶囊体(26)末端通过中间呈中空状态的盖板设置在所述储液囊(27)上。

4.根据权利要求3所述的储液罐，其特征在于，所述盖板的数量为两个，其中，第二盖板(292)设置在第一盖板(291)的中空部位并将所述胶囊体(26)设置在所述第一盖板(291)和第二盖板(292)的中间。

5.根据权利要求1所述的储液罐，其特征在于，所述储液囊(27)为圆筒状结构。

6.根据权利要求5所述的储液罐，其特征在于，所述胶囊体(26)的最大展开体积大于或等于所述储液囊(27)体积。

7.根据权利要求6所述的储液罐，其特征在于，所述胶囊体(26)上还设置有出气管(30)。

8.根据权利要求7所述的储液罐，其特征在于，所述出气管(30)设置在胶囊体(26)的顶端。

9.根据权利要求8所述的储液罐，其特征在于，所述胶囊体(26)的顶端还设置有隔板(28)。

10.一种硅片清洗设备，其特征在于，包括烟雾罩和权利要求1-9任意一项所述的储液罐，所述储液罐设置在所述烟雾罩内部。

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