CN102828241B - 一种单晶硅生产用石墨加热器的低成本加工方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种单晶硅生产用石墨加热器的低成本加工方法，属于单晶硅生产设备加工技术领域。本发明是利用一块柱状石墨坯料同时加工两种规格的加热器，其中，第一加热器的直径大于第二加热器的直径，其加工步骤是：（一）将石墨坯料的一端同轴精车出第一加热器的外径和第二加热器的内径；（二）加工第二加热器的外径，使第一加热器和第二加热器的容器壁分离；（三）在石墨坯料的另一端面内两个加热器的电极腿错位设置，利用数控机床将第一加热器和第二加热器的电极腿分别加工出来，然后将第一加热器的电极腿底部与第二加热器分离开；（四）分别对第一加热器和第二加热器进行精加工。本发明可以大大提高材料的利用率，减少材料的损耗及浪费。<!--1-->

Description

一种单晶硅生产用石墨加热器的低成本加工方法
技术领域
本发明涉及单晶硅生产中用的石墨加热器的加工方法，属于单晶硅生产设备加工技术领域。
背景技术
在单晶硅生产中，需要用到石墨加热器。石墨加热器为直筒型，四周开瓣，其底部有两条或者四条电极腿，石墨加热器的电极腿通过螺栓与电极连接。目前石墨加热器的生产工艺过程主要为：粗车——精车——钻铣电极腿——开槽。在粗加工的过程中有一步工序为掏料，即原材料在规格尺寸大于目标产品的情况下需要将目标加热器的毛坯掏出，目前这种掏料方法在材料高度方向造成不小于电极腿厚度的材料损耗，浪费了昂贵的材料，增加了生产成本，且切削下来的大量石墨粉只能作为废物处理，还会造成环境污染。
发明内容
针对现有技术中存在的上述缺陷，本发明提供了一种石墨加热器的低成本加工方法，利用其能大大提高材料利用率，降低生产成本。
本发明是通过如下技术方案来实现的：一种单晶硅生产用石墨加热器的低成本加工方法，所述石墨加热器的底部具有均匀设置的两条或四条电极腿，其特征是：利用一块柱状石墨坯料同时加工两种规格的加热器，其中，第一加热器的直径大于第二加热器的直径，其加工步骤是：（一）将石墨坯料的一端同轴精车出第一加热器的外径和第二加热器的内径；（二）加工第二加热器的外径，使第一加热器和第二加热器的容器壁分离；（三）在石墨坯料的另一端面内两个加热器的电极腿错位设置，利用数控机床将第一加热器和第二加热器的电极腿分别加工出来，然后将第一加热器的电极腿底部与第二加热器分离开；（四）分别对第一加热器和第二加热器进行精加工。
本发明的有益效果是：本发明在加工过程中，可以同时套出两种规格的石墨加热器，且加热器的电极腿在同一高度层面，大大提高了材料的利用率，减少了材料的损耗及浪费，大大降低了生产成本。
附图说明
图1是本发明具体实施方式中的俯视示意图；
图2是本发明具体实施方式中的剖视示意图；
图中，1、第一加热器，2、第二加热器，3、第一加热器的电极腿，4、第二加热器的电极腿。
具体实施方式
下面结合附图通过非限定性的实施例对本发明作进一步的说明：
如附图所示，本发明所要加工的石墨加热器为圆筒状，在加热器的底部具有均匀设置的两条或四条电极腿，所述电极腿的安装面位于同一平面内。本发明是利用一块柱状石墨坯料同时加工两种规格的加热器，其中，第一加热器1的直径大于第二加热器2的直径，其加工步骤是：（一）将石墨坯料的一端同轴精车出第一加热器1的外径和第二加热器2的内径；（二）加工第二加热器2的外径，使第一加热器1和第二加热器2的容器壁分离；（三）在石墨坯料的另一端面内两个加热器的电极腿错位设置，先利用数控机床利用数控机床将第一加热器和第二加热器的电极腿分别加工出来，然后利用切割工具将第一加热器的电极腿3底部与第二加热器2相连的部分分离开；（四）分别对分离后的第一加热器1和第二加热器2进行精加工，分别制得两种规格的加热器。
本实施例的其他部分采用现有技术，在此不再赘述。

Claims (1)

1.一种单晶硅生产用石墨加热器的低成本加工方法，所述石墨加热器的底部具有均匀设置的两条或四条电极腿，所述电极腿与加热器的容器壁为一体结构，其特征是：利用一块柱状石墨坯料同时加工两种规格的加热器，其中，第一加热器的直径大于第二加热器的直径，其加工步骤是：(一)将石墨坯料的一端同轴精车出第一加热器的外径和第二加热器的内径；(二)加工第二加热器的外径，使第一加热器和第二加热器的容器壁分离；(三)在石墨坯料的另一端面内两个加热器的电极腿错位设置，利用数控机床将第一加热器和第二加热器的电极腿分别加工出来，然后将第一加热器的电极腿底部与第二加热器分离开；(四)分别对第一加热器和第二加热器进行精加工。
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