CN102803987A - 坐标测量设备 - Google Patents

Abstract

一种坐标测量设备具有可自动围绕两个轴旋转并且可被对准到测量辅助装置（5）的载体（6）。在载体（6）上可共同移动地设置：-光学测距装置（4），用于测量与测量辅助装置（5）的距离；-用于发射红外目标射线（24）的红外光源（23），该目标射线在被测量辅助装置（5）反射时作为红外目标点（25）可见；-精细目标获取单元（2），用于确定红外目标点（25）在第一位置获取传感器（21）上的精细位置，其中精细目标获取单元（2）和测距装置（4）具有共同的出射光学器件（63）；-第二光源（33），其光在被测量辅助装置（5）反射时作为第二目标点（35）可见；-粗略目标获取单元（3），用于确定第二目标点（35）在第二位置获取传感器（31）上的粗略位置（32），其中粗略目标获取单元（3）仅对红外范围中的光灵敏。调节装置（7）被设计为，根据精细位置（22）和粗略位置（32）来将载体（6）对准到测量辅助装置（5）。

Description

坐标测量设备

技术领域

本发明涉及根据相应独立权利要求的前序部分的一种坐标测量设备和一种用于运行坐标测量设备的方法。

背景技术

为了测量移动的目标点的位置而采用坐标测量设备，即多次提到的激光跟踪器。激光跟踪器这一概念应当理解为具有至少一个用聚焦的激光射线（在下面的描述中称为测量射线）工作的测距仪的设备。例如借助可围绕两个轴旋转的反射镜将所述测量射线的方向对准到目标点并且用与旋转轴相应的角位转换器来获取该方向。待测量的目标点具有后向反射器（尤其是立方角棱镜或者三个相互垂直设置的反射镜的布置），其中所述后向反射器将激光跟踪器的落在该后向反射器上的测量射线反射回该激光跟踪器。在此，如果所述测量射线恰好落在反射器的中心，则所反射的测量射线与所发射的测量射线共轴地分布，如果所述测量射线未落在反射器的中心，则所反射的测量射线与所发射的测量射线之间存在平行的位移。根据跟踪器（绝对距离测量仪或干涉仪）的实施方式，由所发射的激光与所反射的激光的比较推断出激光跟踪器与目标点之间的绝对距离和/或推断出该距离的变化。从角位转换器所获取的角度以及测距仪所检测的距离来计算反射器或目标点相对于跟踪器的位置。

所反射的测量射线的一部分通常被引导至PSD（位置敏感设备）。从所反射的测量射线落在PSD的光灵敏面上的位置，推断出所反射的测量射线相对于所发射的测量射线的平行位移。由此确定的测量数据定义了所反射的测量射线的平行位移并且用于控制测量射线方向，使得测量射线在目标点移动时跟随（跟踪）该目标点。也就是说，通过测量射线方向的相应变化或对准测量射线的反射镜的对准的相应变化来负责使所发射的测量射线与所反射的测量射线之间的平行位移减小或尽可能保持得很小。

在WO2007/079600 A1中描述了光学测距仪和图像获取传感器的不同布置。在一种布置（图4）中，平面位置摄像机（104）、在可见光谱范围中工作的位置灵敏的二极管（109）和缩放摄像机（106）全都耦合到测距装置（200,300）的测量光路中。位置灵敏的二极管（109）必须在可见范围中工作，以便能一起使用干涉仪的He-Ne激光的精确的测量光射线。为了获取反射目标，在测量光路之外设置反射器照明装置（110），该反射器照明装置与平面位置摄像机协调一致地在可见范围中工作。平面位置摄像机必须在可见范围中工作，以便能提供质量良好的图像，尤其是彩色图像。

US6,504,602 B1描述了一种具有测距设备的经纬仪。自动的目标识别使用在可见范围中或在近红外范围中所发射的光。

EP 2 071 283 A2描述了使用两个分离的、具有宽的和窄的视角的摄像机，分别具有自己的、耦合到摄像机光学器件中的光源。这些摄像机彼此分离地设置，其中一个摄像机的视轴与测距仪共线并且用可见光工作。目标识别分别通过接通/断开相应的光源和接着形成相应的图像之差来完成。

发明内容

本发明的任务是提供开头所述类型的坐标测量设备和用于运行坐标测量设备的方法，它们允许成本有利的实现和仍然精确的测量。

该任务由具有相应独立权利要求的特征的坐标测量设备和用于运行坐标测量设备的方法解决。

因此，坐标测量设备具有载体，该载体能相对于基座而围绕至少两个轴旋转，其中载体可通过借助调节装置围绕所述至少两个轴的旋转而自动对准到可在空间中移动的测量辅助装置。以下单元的分别至少一个出射光学器件和/或入射光学器件可共同移动地设置在载体上：

■ 至少一个光学测距装置，用于测量与可在空间中移动的测量辅助装置的距离（沿着测量线路）；

■ 用于发射红外目标射线的红外光源和光学器件（或光学元件），其中目标射线在被测量辅助装置反射时作为红外目标点可见；

■ 精细目标获取单元，用于确定精细位置作为红外目标点在第一位置获取传感器上的成像的位置，其中精细目标获取单元和测距装置具有共同的出射光学器件；

■ 发射至少在红外范围中的光的第二光源，其中该光在被测量辅助装置反射时作为第二目标点可见；

■ 粗略目标获取单元，用于确定粗略位置作为第二目标点在第二位置获取传感器上的成像的位置，其中粗略目标获取单元仅对红外范围中的光灵敏。

在此，所述调节装置被设计为根据精细位置和粗略位置来通过围绕载体的所述至少两个轴旋转而将载体对准到测量辅助装置。

该调节可以交替地考虑精细位置和粗略位置，其方式是例如在靠近目标点时从借助粗略位置的调节切换到精细位置。但是还可以设置同时首先处理两个值并在此过程中仅选择一个或两个值并用于调节的调节。

通过所有单元的出射光学器件和/或入射光学器件的布置，提供能够实现很多功能并且仍然具有简单的机械结构（仅两个被驱动的轴）的紧凑的单元。所有单元都相互对准到测量辅助装置或目标。利用这两个目标获取单元可以在更大的区域中检测、接近和跟踪还未获取的测量辅助装置。

优选的，精细目标获取单元的光学轴在坐标测量设备之外与测距装置的光学轴共轴地分布在共同的测量轴上。其前提是，精细目标获取单元和测距装置具有共同的出射光学器件。两个光路的共同的出射光学器件（或入射光学器件）意味着，这两个光路通过相同的光学元件如透镜或圆盘从设备出射到该设备的环境中或者从该设备的环境入射到设备中。在此，这些光路一般至少近似地共轴。

在本发明的另一个优选实施方式中，精细目标获取单元的光学轴和粗略目标获取单元的光学轴在载体之外非共轴地分布。由此这些光学轴穿过同一个出射光学器件但是不共轴地分布，或者穿过分离的出射光学器件地分布。

典型地，精细目标获取单元具有小于1o或小于2o或小于3o的孔径角或视角。优选的，粗略目标获取单元具有大于3o或大于10o或大于15o以及优选直到大约30o（即±15o）的孔径角。

在本发明的优选实施方式中，精细目标获取单元和粗略目标获取单元在相互分离的红外光谱范围中是灵敏的（因此分别是相应的传感器或该传感器与滤波器的组合）。在此，精细目标获取单元对红外光源的光是灵敏的，粗略目标获取单元对第二光源的光是灵敏的。因此精细目标获取单元不辨认第二光源的光，而粗略目标获取单元不辨认红外光源的光。

优选的，不同单元的所有光学的和电气的元件都位于所述载体上。但是也可以将一个或多个单元的各个元件位于一个基座上或者位于一个连接组件中，并且利用光纤导体与所述载体连接。这样的元件例如是激光源或者分束器和检测器。

优选的，在本发明的另一实施方式中设置至少在可见范围中灵敏的平面位置摄像机以用于借助可见范围中的光来对测量辅助装置进行粗略定位。该平面位置摄像机优选具有比粗略目标获取单元更大的视角。由此可以通过以下方式实现用于定位和跟踪测量辅助装置的三级方法，即首先通过平面位置摄像机搜索测量辅助装置，然后将载体对准到测量辅助装置，接着用粗略目标获取单元接近测量辅助装置并接着用精细目标获取单元接近测量辅助装置。

在用于运行坐标测量设备的方法中，通过根据精细位置、粗略位置和可选的还根据平面位置摄像机的测量值围绕载体的至少两个轴旋转来将载体对准到测量辅助装置。

在本发明的可以与迄今描述的元件独立地或与迄今描述的元件组合地实现的另一种扩展中，坐标测量设备具有载体，该载体可以相对于基座围绕至少两个轴旋转，其中所述载体通过借助调节装置围绕至少两个轴旋转而可以自动对准到可在空间中移动的测量辅助装置。以下单元的分别至少一个出射光学器件和/或入射光学器件可共同移动地设置在载体上：

■ 至少一个光学测距装置，用于测量与可在空间中移动的测量辅助装置的距离（沿着测量线路）；

■ 用于发射红外目标射线的红外光源和光学器件，其中目标射线在被测量辅助装置反射时作为红外目标点可见；

■ 精细目标获取单元，用于确定精细位置作为红外目标点在第一位置获取传感器上的成像的位置，其中精细目标获取单元和测距装置具有共同的出射光学器件。

在此，精细目标获取单元的光学轴在坐标测量设备之外与测距装置的光学轴共轴地分布在共同的测量轴上，并且载体可围绕在坐标测量设备的运行中至少近似水平分布的翻转轴旋转，以及可以围绕至少近似垂直分布的旋转轴旋转。在此，测量轴不与所述翻转轴相交和/或测量轴不与所述旋转轴相交。

由此可以更简单地制成用于将测距装置的光路和精细目标获取单元的光路分离的分束器：根据现有技术，分束器沿着测量轴被构成为，使得测量射线中的未被偏转的光部分的光路笔直地分布，也就是没有相对于测量轴的位移。这通常是由于以下原因引起的，即

a)一方面测量轴应当与所述旋转轴和所述翻转轴相交，以便将测量的几何特征保持得尽可能简单和精确并且由此将测量辅助装置的位置的计算保持得尽可能简单和精确，

b)另一方面出于制造技术的原因，在高精度的设备中在该设备内部的光路应当精确地分布在管状部件的中心。

相应于本发明的该扩展，放弃遵守条件a)。由此计算更为复杂，但是作为分束器可以使用半透明的平板来代替棱镜。由此又可以实现在重量和成本方面改善的、测距装置的光路和精细目标获取单元的光路的分离。

在本发明的可以与迄今描述的元件独立地或与迄今描述的元件组合地实现的另一种扩展中，测距装置具有用于产生测量光射线的测量光源，以及输出耦合所产生的测量光射线的一部分的分束器，和扩展输出耦合的测量光并由此引导至两个分离的检测器上的射线扩径器。

由此可以在没有（更为复杂的）分束器的情况下将测量光源的光引导至两个独立的检测器上，其中一个检测器用于调节测量光源的强度，另一个出于安全原因用于在测量光源的输出强度太高的情况下触发紧急断开。与传感器的双重实施相应的冗余出于安全原因是必需的。

其它优选实施方式由从属权利要求给出。在此方法权利要求的特征有意义地可与装置权利要求的特征组合，反之亦然。

附图说明

下面借助在附图中示出的优选实施例详细解释本发明的主题。分别示意性示出：

图1是在根据本发明的坐标测量设备中的主要部件和光路；

图2是具有分束器的传感器布置；

图3是坐标测量设备的外部结构；以及

图4是测量轴与机械视准轴之间的位移。

在附图中使用的附图标记及其含义在附图标记列表中总结地列出。原则上在附图中相同的部件具有相同的附图标记。

具体实施方式

图1示意性示出在本发明一种优选实施方式中的坐标测量设备1中的光路。坐标测量设备1的主要元件设置在载体6中或载体6上，优选设置在共同的外壳中。精细目标获取单元2产生红外目标射线24，测距装置4产生测量光射线44。这两个射线都通过共同的出射光学器件63射出并且优选沿着测量轴60共轴地分布。此外在所述载体上还设置具有第二光源33的粗略目标获取单元3以及设置平面位置摄像机9。调节和控制装置7获取并处理不同传感器的测量值，并且控制轴承电动机以使载体6对准。显示装置8显示关于测量和设备状态的信息，并且也可以显示现有图像传感器之一的、尤其是平面位置摄像机9的图像。

在测量模式或跟踪模式中，坐标测量设备1或载体6被对准到测量辅助装置5，例如诸如三重反射镜或立方角棱镜的后向反射器。这两个射线都在该测量辅助装置上被反射并且作为红外目标点或者第一目标点25对坐标测量设备1来说可见或作为第二目标点35对测距装置4来说可见。第二目标点35在几何特征方面以及从测量设备1来看至少近似地或者精确地在与第一目标点25相同的空间位置上可见。但是在概念上以及从波长范围来说，两个点25,35被认为是相互不同的。

测距装置4在所示示例中是绝对距离测量设备，但是也可以是干涉仪，或者这两者的组合。在测距装置4中测量光源43发射测量光射线44。该测量光射线穿过用于分开所发射的光的第一分束器451并且穿过用于对反向光进行偏转的分束器455。这两个分束器451,455是传感器单元45的一部分。所发射的光的被偏转的部分被射线扩径器452扩展并且被引导至两个强度传感器453,454。这些强度传感器中的一个453以公知方式用于对测量光源43进行幅度调节，而另一个454作为附加的安全元件用于检测不容许的高强度。射线扩径器452优选具有一个圆柱体棱镜或者一系列并排设置并且例如整体成型的圆柱体棱镜。传感器单元45的主要元件的透视图在图2中示出。

被第二分束器455偏转的反向光被引导至检测器456上。在检测器456上所检测的强度以公知方式用于例如根据Fizeau原理确定绝对距离。为此，引出的和反向的测量光44穿过电光调制器46、四分之一波长平板47、射线扩径器48、偏转镜49和分束器41，分束器41将测量光射线44与精细目标获取单元2的红外目标射线24组合或将它们在返回路径上重新分离。

精细目标获取单元2具有产生红外目标射线24的红外光源23。红外目标射线24通过第二输入耦合装置28耦合，并且通过可选的另一个射线扩径器29以及分束器41而到达测量轴60。由红外光源23发射的红外光由此作为目标射线24耦合到测距装置4和精细目标获取单元2的共同的光路中。在第二输入耦合装置28中，反向光相应于红外目标点25又被输出耦合并且通过第一输入耦合装置26和第一带通滤波器20而到达第一位置获取传感器21。在该位置获取传感器上产生红外目标点25在第一位置获取传感器21上的成像的精细位置22。

在第一输入耦合装置26中，可选地还耦合进来自指针光源27的光并且作为射线进入测距装置4和精细目标获取单元2的共同的光路中。指针光源27的光在可见范围中，从而测量轴60在落在对象上时对操作者来说也是可见的。作为可见范围，在此考察大约380-750nm的波长。向IR范围的过渡位于700nm与800nm之间。

粗略目标获取单元3具有第二位置获取传感器31。来自可以具有唯一的或多个独立光源的第二光源33的光以相对大的发射角发射。该发射角稍微大于粗略目标获取单元3的可视角范围，该可视角范围大于3o或大于10o或大于15o或直到大约30o（即±15o）。由此当测量辅助装置5未在精细目标获取单元2中获取时，该测量辅助装置5对粗略目标获取单元3来说也是可见的。第二光源33的光的反射可以作为在粗略目标获取单元3的第二位置获取传感器31上的粗略位置32看见并且测量。借助该测量，载体6被对准到测量辅助装置5，直到精细目标获取单元2检测到自己的红外目标射线24为止。接着使用精细位置22来跟踪（“Tracking”跟踪）测量辅助装置5。

如果测量辅助装置5利用例如三重反射镜精确反射回所接收的光，则第二光源33必须设置在粗略目标获取单元3的入射光学器件附近。

为了避免精细目标获取单元2和粗略目标获取单元3的相互干扰，精细目标获取单元2和粗略目标获取单元3优选在红外光谱的不同波长范围中工作。例如，在此精细目标获取单元2包括具有第一透射范围的第一带通滤波器20，粗略目标获取单元3包括具有第二透射范围的第二带通滤波器30，其中这两个透射范围不相交。例如，这两个波长范围对精细目标获取单元2是890-920nm，而对粗略目标获取单元3是835-865nm。此外，第一带通滤波器20滤除测距装置4的测量光（从测量光源43中），该测量光穿过分束器41到达精细目标获取单元2并且可能干扰精细目标获取单元2。

第二光源33除了在IR范围中的光之外还发射在可见范围中的光，并且由此也用做平面位置摄像机9的照明装置。平面位置摄像机9也可以具有自己的照明装置91以用于发射至少在可见范围中的光。

图3示意性示出坐标测量设备1的外部结构，该坐标测量设备具有已经描述过的元件—出射光学器件63、粗略目标获取单元3以及平面位置摄像机9，该粗略目标获取单元3在此具有两个分别位于粗略目标获取单元30的入射光学器件的两侧的第二光源33，所述平面位置摄像机9具有其照明装置91，在此同样具有两个分别在平面位置摄像机9的入射光学器件的两侧上的独立的光源。此外示出：测量轴60、翻转轴62以及旋转轴61，其中载体6相对于接合载体64可围绕翻转轴62倾斜，而接合载体64相对于基座65可围绕旋转轴61旋转。

图4示意性示出在载体6或载体6的外壳之内和之外的红外目标射线24之间的位移dZ。在外壳的内部，红外目标射线24出于机械原因优选既与载体6的垂直的旋转轴61（或垂直轴）相交又与载体6的水平的翻转轴62（或倾斜轴）相交。垂直轴61垂直于翻转轴62，而翻转轴62又与目标轴和测量轴60垂直。目标轴（或机械视准轴）与红外目标射线24在载体内部（直到分束器41）的分布相应。目标轴、旋转轴61和翻转轴62相交于一点。但是测量轴61在此仅与旋转轴61相交，而不与翻转轴62相交。在本发明的未示出的实施方式中，测量轴60仅与翻转轴62相交而不与旋转轴61相交。在本发明的另一个未示出的实施方式中，测量轴60既不与旋转轴61相交又不与翻转轴62相交。

测量轴60和翻转轴62（或旋转轴61）在此相互间隔至少半毫米或至少一毫米的距离，优选在1.4mm与2.5mm之间。精细目标获取单元2的红外目标射线24的移动通过分束器41进行，分束器41作为平板位于红外目标射线24的光路中并且对于测量光射线44作为反射镜发挥作用。

附图标记列表

1        坐标测量设备                               44          测量光射线

2        精细目标获取单元                       45          传感器单元

20       第一带通滤波器                          451         分束器

21       第一位置获取传感器                  452         射线扩径器

                                                                  453,454     强度传感器

22       精细位置                                      455         分束器

23       红外光源                                      456         检测器

24       红外目标射线                              46          光电调制器

25       红外目标点                                  47          四分之一波长平板

26       第一输入耦合装置                      48          射线扩径器

27       指针光源                                      49          偏转镜

28       第二输入耦合装置                      5           测量辅助装置

29       射线扩径器                                  6           载体

3        粗略目标获取单元                      60          测量轴

30       第二带通滤波器                         61          旋转轴

31       第二位置获取传感器                 62          翻转轴

                                                                 63          出射光学器件，盖片

32       粗略位置                                     64          接合载体

33       第二光源                                     65          基座

35       第二目标点                                 7           调节，控制装置

4        测距装置                                      8           显示装置

41       分束器，半透明反射镜             9           平面位置摄像机

                                                                 91          平面位置摄像机的照明装置

43  测量光源

Claims (17)

1. 一种坐标测量设备（1），具有

载体（6），该载体能相对于基座围绕至少两个轴（61,62）旋转，其中载体（6）能通过借助调节装置(7)围绕所述至少两个轴（61,62）的旋转而自动对准到能在空间中移动的测量辅助装置（5），

其中以下单元的分别至少一个出射光学器件和/或入射光学器件能共同移动地设置在载体（6）上：

■ 至少一个光学测距装置（4），用于测量与能在空间中移动的测量辅助装置（5）的距离；

■ 用于发射红外目标射线（24）的红外光源（23）和光学元件（28,29,41,63），其中目标射线（24）在被测量辅助装置（5）反射时作为红外目标点（25）可见；

■ 精细目标获取单元（2），用于确定精细位置（22）作为红外目标点（25）在第一位置获取传感器（21）上的成像的位置，其中精细目标获取单元（2）和测距装置（4）具有共同的出射光学器件（63）；

■ 发射至少在红外范围中的光的第二光源（33），其中所述光在被测量辅助装置（5）反射时作为第二目标点（35）可见；

■ 粗略目标获取单元（3），用于确定粗略位置（32）作为第二目标点（35）在第二位置获取传感器（31）上的成像的位置，其中粗略目标获取单元（3）仅对红外范围中的光灵敏；

■ 以及其中所述调节装置（7）被设计为，根据精细位置（22）和粗略位置（32）来通过围绕载体的所述至少两个轴（61,62）旋转而将载体（6）对准到测量辅助装置（5）。

2. 根据权利要求1的坐标测量设备（1），其中光学测距装置（4）是绝对距离测量设备或干涉仪，或者是这两者的组合。

3. 根据权利要求1或2的坐标测量设备（1），其中由红外光源（23）发射的光作为目标射线（24）耦合到测距装置（4）与精细目标获取单元（2）的共同的光路中。

4. 根据权利要求3的坐标测量设备（1），其中精细目标获取单元（2）的光学轴在坐标测量设备（1）之外与测距装置（4）的光学轴共轴地分布在共同的测量轴（60）上。

5. 根据权利要求3的坐标测量设备（1），其中精细目标获取单元（2）的光学轴和粗略目标获取单元（3）的光学轴在载体（6）之外非共轴地分布。

6. 根据上述权利要求之一的坐标测量设备（1），其中精细目标获取单元（2）具有小于1o或小于2o或小于3o的孔径角。

7. 根据上述权利要求之一的坐标测量设备（1），其中粗略目标获取单元（3）具有大于3o或大于10o或大于15o的孔径角。

8. 根据上述权利要求之一的坐标测量设备（1），其中精细目标获取单元（2）和粗略目标获取单元（3）在相互分离的红外光谱范围中是灵敏的，并且精细目标获取单元（2）对红外光源（23）的光是灵敏的，粗略目标获取单元（3）对第二光源（33）的光是灵敏的。

9. 根据权利要求8的坐标测量设备（1），其中精细目标获取单元（2）包括具有第一透射范围的第一带通滤波器(20)，粗略目标获取单元（3）包括具有第二透射范围的第二带通滤波器（30），这两个透射范围不相交，并且第一带通滤波器（20）滤除测距装置（4）的测量光。

10. 根据上述权利要求之一的坐标测量设备（1），具有用于产生可见范围中的光的指针光源（27），以及用于将该光作为射线耦合到测距装置（4）与精细目标获取单元（2）的共同的光路中的输入耦合装置（26）。

11. 根据上述权利要求之一的坐标测量设备（1），此外具有至少在可见范围中灵敏的平面位置摄像机（9），用于借助可见范围中的光来对测量辅助装置（5）进行粗略定位。

12. 一种用于运行坐标测量设备的方法，其中坐标测量设备具有

载体（6），该载体能够相对于基座围绕至少两个轴（61,62）旋转，

其中以下单元的分别至少一个出射光学器件和/或入射光学器件能共同移动地设置在载体（6）上：

■ 至少一个光学测距装置（4）；

■ 红外光源(23)；

■ 精细目标获取单元(2)，其中精细目标获取单元(2)和测距装置(4)具有共同的出射光学器件(63);

■ 第二光源（33）；

■ 粗略目标获取单元（3），其中粗略目标获取单元（3）仅对红外范围中的光灵敏；

具有以下步骤:

■ 借助光学测距装置（4）测量与能在空间中移动的测量辅助装置（5）的距离；

■ 借助红外光源（23）和光学元件（28,29,41,63）发射红外目标射线（24），其中目标射线（24）在被测量辅助装置（5）反射时作为红外目标点（25）可见；

■ 确定精细位置（22）作为红外目标点（25）在精细目标获取单元（2）的第一位置获取传感器（21）上的成像的位置；

■ 借助第二光源（33）发射至少在红外范围中的光，其中所述光在被测量辅助装置（5）反射时作为第二目标点（35）可见；

■ 确定粗略位置（32）作为第二目标点（35）在粗略目标获取单元（3）的第二位置获取传感器（31）上的成像的位置；

借助所述调节装置（7）根据精细位置（22）和粗略位置（32）来通过围绕载体的所述至少两个轴（61,62）旋转而将载体（6）自动对准到测量辅助装置（5）。

13. 一种坐标测量设备（1），优选根据权利要求1至11之一，其中载体（6）能围绕在坐标测量设备（1）的运行中至少近似水平分布的翻转轴（62）旋转，并且能围绕至少近似垂直分布的旋转轴（61）旋转，以及测量轴（60）不与所述翻转轴相交和/或测量轴（60）不与所述旋转轴（61）相交。

14. 根据权利要求13的坐标测量设备（1），其中测量轴（60）和翻转轴（62）相互间隔至少半毫米或至少一毫米的距离，优选在1.4mm与2.5mm之间。

15. 根据权利要求13或14的坐标测量设备（1），其中测距装置（4）的光射线借助半透明的反射镜（41）耦合到精细目标获取单元（2）的光路中，并且精细目标获取单元的光路（24）的轴通过该半透明的反射镜（41）平行移动。

16. 一种坐标测量设备（1），优选根据权利要求1至11之一，其中测距装置（1）具有用于产生测量光射线（44）的测量光源（43），以及输出耦合所产生的测量光射线（44）的一部分的分束器（451），和扩展输出耦合的测量光并由此引导至两个分离的检测器（453,454）上的射线扩径器（452）。

17. 根据权利要求13的坐标测量设备（1），其中射线扩径器（452）具有一个圆柱体棱镜或者一系列并排设置并且整体成型的圆柱体棱镜。

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