CN102785415A - 二氧化钒基复合薄膜、包括其的透光结构及其应用 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种透射率可调的二氧化钒基复合薄膜，其包括二氧化钒薄膜和位于二氧化钒薄膜两侧面上或同一侧面上的第一无机透明薄膜和第二无机透明薄膜。本发明还涉及利用该二氧化钒基复合薄膜的透射率可调的透光结构及其用作智能节能玻璃的应用。本发明解决了现有二氧化钒智能节能玻璃的可见光透过率低、红外调控力弱导致的智能节能效果差等问题。

Description

二氧化钒基复合薄膜、包括其的透光结构及其应用

技术领域

本发明涉及节能环保材料领域，更具体地涉及一种环保节能的无机材料复合薄膜及其应用。

背景技术

我国是一个能源短缺的国家，以煤炭为主的非可再生资源利用效率低，可再生资源开发利用程度低，环境污染状况严重，优质能源供应不足，且形式日益紧张，因而节能和环保已成为时代主题。在各类能耗中，我国的建筑能耗已经占到社会总能耗的三分之一以上，其中采暖和空调的能耗占建筑总能耗的55％左右，并且我国建筑单位面积能耗是发达国家的2至3倍，并呈逐年上升趋势，能源浪费极其严重。

在现代建筑物中，最严重的能耗来自作为外墙或窗户的玻璃，且玻璃占外墙的面积比例越来越大，据测算通过普通玻璃窗进行的热交换损耗在冬夏季节分别占58％和73％。这是由于太阳光能量约99％分布在波长为0.2～2.5μm的范围内，其中0.2～0.38μm的紫外光区占总能量的约8％，0.38～0.78μm的可见光占约43％，0.78～2.5μm的近红外区占约48％。而普通玻璃对不同波长的太阳光不具有调控能力，夏天不能有效截止近红外太阳光，增加了空调的制冷负荷，而在冬天，室内热量又以热辐射的形式通过玻璃表面散失，增加了空调的保温负荷。在采用空调调节室内温度的情况下，据测量，制冷温度提高2℃，制冷负荷减少约20％；制热温度调低2℃，制热负荷减少约30％。目前已经投入商业应用的被动调热型的低辐射率(Low-E)镀膜玻璃，可有效减少玻璃表面的辐射率，进而减少相应的辐射散热，但是，该Low-E镀膜玻璃一旦在结构形成之后，其光学性能就不随环境变化进行可逆的双向调节以获得冬暖夏凉的效果，这难以适应我国大部分四季分明地区的需求。

为了克服Low-E镀膜玻璃的缺点，将阳光控制性和低辐射性结合在一起，提出了智能节能玻璃，其光学性能可以随环境变化进行可逆的双向调节，主要包括气致变色(气敏)、电致变色(电敏)、热致变色(热敏)等类型。通过外界条件的激励，这样的节能玻璃可实现对太阳光透光性的调节，起到节能的效果。在以上三种节能玻璃的实现方式中，气致变色和电致变色玻璃在调节太阳光的同时，对可见光的透过率有消极影响，影响节能玻璃的视觉透明性，因而应用范围受到限制。

热致变色玻璃主要集中在利用二氧化钒的可逆相变特性，即二氧化钒具有的半导体-金属转变(SMT)特性。随温度升高，达到相变温度(T_c)以后，二氧化钒的晶相发生由单斜相向四方相的转变，相应地其光学性质发生变化，红外光由比较高的透过性转变为比较低的透过性，但可见光区的透过性基本不变，不会造成明显的视觉变化，同时相变前后紫外线几乎全部被吸收。而且，二氧化钒基热致变色玻璃与其他智能节能玻璃相比，结构简单，成本低，相变温度可以通过适当的工艺和组成控制进行调节，应用前景广阔。

然而，单层的二氧化钒薄膜虽然可以调控红外光透过率，但其可见光透过率低，红外调控力(半导体相与金属相之间红外光透过率的差值)弱，智能节能效果差。因此，在确保二氧化钒热致变色性能的前提下，提高可见光的透过率、增强太阳光的红外调控能力是提高二氧化钒智能节能性能的关键。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的是在确保二氧化钒热致变色性能的前提下，提供一种能够提高可见光的透过率并增强太阳光的红外调控能力的透射率可调的二氧化钒基复合薄膜。

因此，在一方面，本发明提供了一种透射率可调的二氧化钒基复合薄膜(基于二氧化钒的复合薄膜)，包括：第一无机透明薄膜；设置在所述第一无机透明薄膜上的二氧化钒薄膜；和设置在所述二氧化钒薄膜上的第二无机透明薄膜。可替换地，本发明提供一种透射率可调的二氧化钒基复合薄膜，包括：二氧化钒薄膜；设置在所述二氧化钒薄膜上的第一无机透明薄膜；和设置在所述第一无机透明薄膜上的第二无机透明薄膜。

在一个优选实施方式中，所述第一无机透明薄膜和所述第二无机透明薄膜是相同或者不同的，并且用于所述第一无机透明薄膜和所述第二无机透明薄膜的无机材料独立地选自氧化锌(ZnO)、硫化锌(ZnS)、掺铝氧化锌(AZO)、掺铟氧化锡(ITO)、掺铟氧化锌(IZO)、二氧化钛(TiO₂)、三氧化二钛(Ti₂O₃)和掺氟氧化锡(FTO)中的一种或多种。

在一个优选实施方式中，所述第一无机透明薄膜和所述第二无机透明薄膜的厚度分别为20-500nm。

在一个优选实施方式中，二氧化钒薄膜的厚度为10-150nm。

在另一方面，本发明提供了一种透射率可调的透光结构，包括：透明衬底；和设置在该透明衬底上的上述二氧化钒基复合薄膜。

在一个优选实施方式中，透明衬底的材质包括玻璃、尖晶石、氧化铝、氧化硅、氧化锆或塑料。在一个进一步优选的实施方式中，所述玻璃选自石英玻璃、高硅氧玻璃、高铝玻璃、微晶玻璃或浮法玻璃；所述塑料选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯乙烯或聚氯乙烯。

在又一个方面，本发明提供了上述透光结构被用作智能节能玻璃的应用。

由于本发明的透射率可调的二氧化钒基复合薄膜能够提高可见光的透过率并增强太阳光的红外调控能力，所以通过利用本发明的二氧化钒基复合薄膜，能够在保持热致变色性能的前提下(温度变化导致薄膜近红外光透过率发生变化)，有效提高可见光的透过率，增强太阳光的红外调控能力，当应用于二氧化钒基热致变色智能节能玻璃时，能够扩大其应用范围，具有良好的经济效益。

附图说明

图1为示出了具有根据本发明实施方式的二氧化钒基复合薄膜的透光结构的构造示意图。具体地，其中图1(a)所示的透光结构通过先在透明衬底上沉积第一无机透明薄膜，然后沉积二氧化钒薄膜，最后沉积第二无机透明薄膜获得，即其中二氧化钒薄膜位于第一无机透明薄膜和第二无机透明薄膜之间；图1(b)所示的透光结构通过先在透明衬底上沉积二氧化钒薄膜，然后沉积第一无机透明薄膜，最后沉积第二无机透明薄膜获得，即其中二氧化钒薄膜位于透明衬底和两层无机透明薄膜之间。

图2为图1(a)所示的透光结构在二氧化钒基复合薄膜相变前后(T＜T_c和T＞T_c)的电磁场有限元模拟的紫外-可见-近红外透射光谱图，其中二氧化钒基复合薄膜是通过在156nm的硫化锌薄膜上沉积厚度为40nm的二氧化钒薄膜，然后再沉积厚度为160nm的三氧化二钛薄膜而获得的硫化锌/二氧化钒/三氧化二钛复合薄膜。

图3为图1(a)所示的透光结构在二氧化钒基复合薄膜相变前后(T＜T_c和T＞T_c)的电磁场有限元模拟的紫外-可见-近红外透射光谱图，其中二氧化钒基复合薄膜是通过在165nm的二氧化钛薄膜上沉积厚度为37nm的二氧化钒薄膜，然后再沉积厚度为165nm的二氧化钛薄膜而获得的二氧化钛/二氧化钒/二氧化钛复合薄膜。

图4为图1(a)所示的透光结构在二氧化钒基复合薄膜相变前后(T＜T_c和T＞T_c)的电磁场有限元模拟的紫外-可见-近红外透射光谱图，其中二氧化钒基复合薄膜是通过在165nm的二氧化钛薄膜上沉积厚度为36nm的二氧化钒薄膜，然后再沉积厚度为190nm的氧化锌薄膜而获得的二氧化钛/二氧化钒/氧化锌复合薄膜。

图5为图1(a)所示的透光结构在二氧化钒基复合薄膜相变前后(T＜T_c和T＞T_c)的电磁场有限元模拟的紫外-可见-近红外透射光谱图，其中二氧化钒基复合薄膜是通过在160nm的硫化锌薄膜上沉积厚度为42nm的二氧化钒薄膜，然后再沉积厚度为192nm的氧化锌薄膜而获得的硫化锌/二氧化钒/氧化锌复合薄膜。

图6为图1(a)所示的透光结构在二氧化钒基复合薄膜相变前后(T＜T_c和T＞T_c)的电磁场有限元模拟的紫外-可见-近红外透射光谱图，其中二氧化钒基复合薄膜是通过在155nm的硫化锌薄膜上沉积厚度为40nm的二氧化钒薄膜，然后再沉积厚度为155nm的硫化锌薄膜而获得的硫化锌/二氧化钒/硫化锌复合薄膜。

图7为图1(b)所示的透光结构在二氧化钒基复合薄膜相变前后(T＜T_c和T＞T_c)的电磁场有限元模拟的紫外-可见-近红外透射光谱图，其中二氧化钒基复合薄膜是通过在42nm的二氧化钒薄膜上沉积厚度为105nm的硫化锌薄膜，然后再沉积厚度为64nm的氧化锌薄膜而获得的二氧化钒/硫化锌/氧化锌复合薄膜。

具体实施方式

为了提高用于透光结构如智能节能玻璃的二氧化钒基复合薄膜的可见光透过率并增强其太阳光的红外调控能力，本发明提供了一种透射率可调的二氧化钒基复合薄膜，以克服现有设计中的不足。

本发明提供的透射率可调的二氧化钒基复合薄膜包括二氧化钒薄膜和设置在该二氧化钒薄膜两侧面上或同一侧面上的两个无机透明薄膜(为了方便说明书，本文中称为第一无机透明薄膜和第二无机透明薄膜)。本发明的二氧化钒基复合薄膜可以例如如下制备：在衬底上首先通过例如溅射法沉积一层第一无机透明薄膜，其次在所形成的无机透明薄膜上通过例如溅射法沉积二氧化钒薄膜，再次在二氧化钒薄膜上通过例如溅射法沉积另一层第二无机透明薄膜，最后将由该第一无机透明薄膜、二氧化钒薄膜和第二无机透明薄膜构成的二氧化钒基复合薄膜从透明衬底上分离，而获得本发明的二氧化钒基复合薄膜。替代地，在衬底上首先通过例如溅射法沉积二氧化钒薄膜，其次在所形成的二氧化钒薄膜上通过例如溅射法沉积一层第一无机透明薄膜，再次在该第一无机透明薄膜上通过例如溅射法沉积第二无机透明薄膜，最后将由该二氧化钒薄膜和两层(第一和第二)无机透明薄膜构成的二氧化钒基复合薄膜从透明衬底上分离，而获得本发明的二氧化钒基复合薄膜。

基于这样的透射率可调的二氧化钒基复合薄膜，本发明还提供了一种透射率可调的透光结构，其包括：透明衬底；和上述二氧化钒基复合薄膜。更具体地，该透光结构包括：透明衬底；设置在透明衬底上的第一无机透明薄膜、设置在第一无机透明薄膜上的二氧化钒薄膜和设置在二氧化钒薄膜上的第二无机透明薄膜。可替换地，该透光结构包括：透明衬底；设置在透明衬底上的二氧化钒薄膜和设置在二氧化钒薄膜上的两层(第一和第二)无机透明薄膜。

优选地，用于本发明中的第一无机透明薄膜和第二无机透明薄膜可以相同或不同，并且可以独立地选自氧化锌(ZnO)、硫化锌(ZnS)、掺铝氧化锌(AZO)、掺铟氧化锡(ITO)、掺铟氧化锌(IZO)、二氧化钛(TiO₂)和掺氟氧化锡(FTO)中的一种或多种，并且所形成的第一和第二无机透明薄膜的厚度分别为20-500nm。

优选地，二氧化钒薄膜的厚度为10-150nm。

优选地，本发明的二氧化钒薄膜中掺杂有一种或多种其他元素，包括但不限于选自钨、钼、铬、镍、铌、钛、铝、锰、氟、氮和氢中的一种或多种，这些元素的掺杂量为常规量，这对于本来技术人员来说可以容易地确定。掺杂后可以有效降低半导体-金属相转变温度(T_c)，提高包含二氧化钒薄膜的透光结构被用作智能节能玻璃的实际应用可能性。

可以用于本发明的透明衬底的材质包括但不限于玻璃、尖晶石、氧化铝、氧化硅、氧化锆或塑料，其中的玻璃例如可以选自石英玻璃、高硅氧玻璃、高铝玻璃、微晶或浮法玻璃；其中的塑料例如可以选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯乙烯或聚氯乙烯等。

本发明的透射率可调的二氧化钒基复合薄膜提高了可见光的透过率，增强了太阳光的红外调控能力。通过利用本发明的二氧化钒基复合薄膜，例如用于智能节能玻璃，能够在保持热致变色性能(温度变化导致薄膜近红外光透过率发生变化)的前提下，有效提高可见光的透过率，并且增强太阳光的红外调控能力，达到冬暖夏凉的效果。另外，通过利用本发明的透射率可调的二氧化钒基复合薄膜，扩大了二氧化钒基热致变色智能节能玻璃的应用范围，具有良好的经济效益。

下面将结合附图，通过实施例的方式进一步详细描述具有本发明的透射率可调的二氧化钒基复合薄膜的透光结构的制造过程及应用性能。应当理解，这样的描述仅用于举例说明的目的以便于充分理解和实施，本发明并不局限于此。

实施例

实施例1

首先，在玻璃衬底1上通过溅射法沉积硫化锌薄膜(即第一无机透明薄膜)2：在石英玻璃衬底1上通过常规的射频磁控溅射法沉积厚度d₃为156nm的硫化锌薄膜2。

然后，在所形成的硫化锌薄膜2上溅射沉积二氧化钒薄膜3：在硫化锌薄膜2上通过射频磁控溅射法沉积厚度d₂为40nm的二氧化钒薄膜3。

最后，在所形成的二氧化钒薄膜3上溅射沉积三氧化二钛薄膜(即第二无机透明薄膜)4：在二氧化钒薄膜3上通过射频磁控溅射法沉积厚度d₁为160nm的三氧化二钛薄膜4。

由此获得一种具有本发明的二氧化钒基复合薄膜(其由硫化锌薄膜2、二氧化钒薄膜3和三氧化二钛薄膜4构成)的透光结构，图1(a)示出了这样的透光结构的示意图。如图1(a)所示，该透光结构包括玻璃衬底1和二氧化钒基复合薄膜，其中硫化锌薄膜2设置在玻璃衬底1上，二氧化钒薄膜3设置在该硫化锌薄膜2上，三氧化二钛薄膜4设置在该二氧化钒薄膜3上。

对于本实施例1所获得的透光结构，对其用作智能节能玻璃的性能进行了电磁场有限元模拟检测，其中我们假定平面电磁场是时谐的，采用二维有限元方法进行模拟，计算子域是一个由周期性边界条件或完美匹配层环绕的结构单元，光垂直入射到结构表面，透过率通过对得到的电磁场分布计算得到。图2示出了图1(a)所示的透光结构在二氧化钒基复合薄膜相变前后(T＜T_c和T＞T_c)的电磁场有限元模拟的紫外-可见-近红外透射光谱图，其中二氧化钒基复合薄膜是通过在156nm的硫化锌薄膜上沉积厚度为40nm的二氧化钒薄膜，然后再沉积厚度为160nm的三氧化二钛薄膜而获得的硫化锌/二氧化钒/三氧化二钛复合薄膜。

智能节能玻璃的性能可以用ASTM/E1084-86标准来评定，即可见光的透射率的计算公式为T_lum＝∫φ_lum(λ)T(λ)dλ/∫φ_lum(λ)dλ，其中T(λ)为波长为λ时的透射率，φ_lum(λ)为标准光视效率函数；太阳光和红外光的透射率的计算公式为T_sol＝∫φ_sol(λ)T(λ)dλ/∫φ_sol(λ)dλ和T_NIR，sol＝∫φ_NIR，sol(λ)T(λ)dλ/∫φ_NIR，sol(λ)dλ，其中φ_sol(λ)和φ_NIR，sol(λ)分别为空气质量为1.5时的太阳辐射和红外太阳辐射；红外光调节性能的计算公式为ΔT_NIR，sol＝T_{NIR，sol，s}-T_{NIR，sol，m}，其中s和m分别代表半导体相二氧化钒和金属相二氧化钒。

通过计算，由实施例1获得的具有本发明的二氧化钒基复合薄膜的透光结构在相变温度之前(T＜T_c)和相变温度之后(T＞T_c)的可见光的透射率分别为57.48％、54.09％，太阳光的透射率分别为55.62％、44.68％，红外光的透过率分别为68.66％、42.89％，红外光调节性能为25.77％。

为了比较，对现有采用仅采用纯二氧化钒薄膜的智能节能玻璃的透光性能进行测试，根据ASTM/E1084-86标准计算的结果如下：在T＜T_c和T＞T_c的可见光的透射率分别为33.24％、35.98％，太阳光的透射率分别为40.69％、37.86％，红外光的透过率分别为52.66％、41.96％，红外光调节性能为10.7％。

从以上获得结果可以看出，通过实施例1获得的具有本发明的二氧化钒基复合薄膜的透光结构在保持热致变色性能(温度变化导致薄膜近红外光透过率发生变化)的前提下，能够有效提高可见光的透过率，并且增强太阳光的红外调控能力。

实施例2

以与实施例1类似的方式制备图1(a)所示的具有本发明的二氧化钒基复合薄膜的透光结构，只是其中使用二氧化钛作为第一和第二无机透明薄膜。更具体地为如下：

首先，在玻璃衬底1上通过溅射法沉积二氧化钛薄膜(即第一无机透明薄膜)2：在石英玻璃衬底1上通过常规的射频磁控溅射法沉积厚度d₃为165nm的二氧化钛薄膜2。

然后，在所形成的二氧化钛薄膜2上溅射沉积二氧化钒薄膜3：在二氧化钛薄膜2上通过射频磁控溅射法沉积厚度d₂为37nm的二氧化钒薄膜3。

最后，在所形成的二氧化钒薄膜3上溅射沉积二氧化钛薄膜(即第二无机透明薄膜)4：在二氧化钒薄膜3上通过射频磁控溅射法沉积厚度d₁为165nm的二氧化钛薄膜4。

同样，对于本实施例2所获得的透光结构，本发明对其性能进行了电磁场有限元模拟检测。图3示出了通过本实施例2获得的图1(a)所示的透光结构在二氧化钒基复合薄膜相变前后的电磁场有限元模拟的紫外-可见-近红外透射光谱图，其中二氧化钒基复合薄膜是通过在165nm的二氧化钛薄膜上沉积厚度为37nm的二氧化钒薄膜，然后再沉积另一层厚度为165nm的二氧化钛薄膜而获得的二氧化钛/二氧化钒/二氧化钛复合薄膜。

根据ASTM/E1084-86标准进行计算，通过实施例2获得的具有本发明的二氧化钒基复合薄膜的透光结构在T＜T_c和T＞T_c的可见光的透射率分别为58.62％、54.81％，太阳光的透射率分别为57.89％、47.47％，红外光的透过率分别为72.58％、47.54％，红外光调节性能为25.04％。

由此可知，实施例2获得了与实施例1类似的效果。

实施例3

以与实施例1类似的方式制备图1(a)所示的具有本发明的二氧化钒基复合薄膜的透光结构，只是其中使用二氧化钛作为第一无机透明薄膜，氧化锌作为第二无机透明薄膜。更具体地为如下：

首先，在玻璃衬底1上通过溅射法沉积二氧化钛薄膜(即第一无机透明薄膜)2：在浮法玻璃衬底1上通过常规的射频磁控溅射法沉积厚度d₃为165nm的二氧化钛薄膜2。

然后，在所形成的二氧化钛薄膜2上溅射沉积二氧化钒薄膜3：在二氧化钛薄膜2上通过射频磁控溅射法沉积厚度d₂为36nm的二氧化钒薄膜3。

最后，在所形成的二氧化钒薄膜3上溅射沉积氧化锌薄膜(即第二无机透明薄膜)4：在二氧化钒薄膜3上通过射频磁控溅射法沉积厚度d₁为190nm的氧化锌薄膜4。

同样，对于本实施例3所获得的透光结构，本发明对其性能进行了电磁场有限元模拟检测。图4示出了通过本实施例3获得的图1(a)所示的透光结构在二氧化钒基复合薄膜相变前后的电磁场有限元模拟的紫外-可见-近红外透射光谱图，其中二氧化钒基复合薄膜是通过在165nm的二氧化钛薄膜上沉积厚度为36nm的二氧化钒薄膜，然后再沉积厚度为190nm的氧化锌薄膜而获得的二氧化钛/二氧化钒/氧化锌复合薄膜。

根据ASTM/E1084-86标准进行计算，通过实施例3获得的具有本发明的二氧化钒基复合薄膜的透光结构在T＜T_c和T＞T_c的可见光的透射率分别为59.05％、56.61％，太阳光的透射率分别为57.12％、47.53％，红外光的透过率分别为71.04％、46.97％，红外光调节性能为24.07％。

由此可知，实施例3获得了与实施例2类似的效果。

实施例4

以与实施例1类似的方式制备图1(a)所示的具有本发明的二氧化钒基复合薄膜的透光结构，只是其中使用硫化锌作为第一无机透明薄膜，氧化锌作为第二无机透明薄膜。更具体地为如下：

首先，在玻璃衬底1上通过溅射法沉积硫化锌薄膜(即第一无机透明薄膜)2：在石英玻璃衬底1上通过常规的射频磁控溅射法沉积厚度d₃为160nm的硫化锌薄膜2。

然后，在所形成的硫化锌薄膜2上溅射沉积二氧化钒薄膜3：在硫化锌薄膜2上通过射频磁控溅射法沉积厚度d₂为42nm的二氧化钒薄膜3。

最后，在所形成的二氧化钒薄膜3上溅射沉积氧化锌薄膜(即第二无机透明薄膜)4：在二氧化钒薄膜3上通过射频磁控溅射法沉积厚度d₁为192nm的氧化锌薄膜4。

同样，对于本实施例4所获得的透光结构，本发明对其性能进行了电磁场有限元模拟检测。图5示出了通过本实施例4获得的图1(a)所示的透光结构在二氧化钒基复合薄膜相变前后的电磁场有限元模拟的紫外-可见-近红外透射光谱图，其中二氧化钒基复合薄膜是通过在160nm的硫化锌薄膜上沉积厚度为42nm的二氧化钒薄膜，然后再沉积厚度为192nm的氧化锌薄膜而获得的硫化锌/二氧化钒/氧化锌复合薄膜。

根据ASTM/E1084-86标准进行计算，通过实施例4获得的具有本发明的二氧化钒基复合薄膜的透光结构在T＜T_c和T＞T_c的可见光的透射率分别为63.24％、57.39％，太阳光的透射率分别为56.67％、43.66％，红外光的透过率分别为68.59％、42.04％，红外光调节性能为26.55％。

由此可知，实施例4获得了与实施例1相同甚至更好的效果，可见光的透射率有了进一步的提高，红外光调节能力进一步增强。

实施例5

以与实施例1类似的方式制备图1(a)所示的具有本发明的二氧化钒基复合薄膜的透光结构，只是其中使用硫化锌作为第一和第二无机透明薄膜。更具体地为如下：

首先，在玻璃衬底1上通过溅射法沉积硫化锌薄膜(即第一无机透明薄膜)2：在浮法玻璃衬底1上通过常规的射频磁控溅射法沉积厚度d₃为155nm的硫化锌薄膜2。

然后，在所形成的硫化锌薄膜2上溅射沉积二氧化钒薄膜3：在硫化锌薄膜2上通过射频磁控溅射法沉积厚度d₂为40nm的二氧化钒薄膜3。

最后，在所形成的二氧化钒薄膜3上溅射沉积硫化锌薄膜(即第二无机透明薄膜)4：在二氧化钒薄膜3上通过射频磁控溅射法沉积厚度d₁为155nm的硫化锌薄膜4。

同样，对于本实施例5所获得的透光结构，本发明对其性能进行了电磁场有限元模拟检测。图6示出了通过本实施例5获得的图1(a)所示的透光结构在二氧化钒基复合薄膜相变前后的电磁场有限元模拟的紫外-可见-近红外透射光谱图，其中二氧化钒基复合薄膜是通过在155nm的硫化锌薄膜上沉积厚度为40nm的二氧化钒薄膜，然后再沉积厚度为155nm的硫化锌薄膜而获得的硫化锌/二氧化钒/硫化锌复合薄膜。

根据ASTM/E1084-86标准进行计算，通过实施例5获得的具有本发明的二氧化钒基复合薄膜的透光结构在T＜T_c和T＞T_c的可见光的透射率分别为60.24％、56.91％，太阳光的透射率分别为54.02％、42.98％，红外光的透过率分别为66.71％、40.50％，红外光调节性能为26.21％。

由此可知，实施例5获得了与实施例4类似的效果。

实施例6

以与实施例1类似的方式制备图1(b)所示的具有本发明的二氧化钒基复合薄膜的透光结构，只是其中首先在玻璃衬底上沉积二氧化钒薄膜，然后在二氧化钒薄膜上沉积硫化锌薄膜(第一无机透明薄膜)，最后在硫化锌薄膜上沉积氧化锌薄膜(第二无机透明薄膜)。更具体地为如下：

首先，在玻璃衬底1上通过溅射法沉积二氧化钒薄膜3：在石英玻璃衬底1上通过常规的射频磁控溅射法沉积厚度d₂为42nm的二氧化钒薄膜3。

然后，在所形成的二氧化钒薄膜3上溅射沉积硫化锌薄膜2(即第一无机透明薄膜)：在二氧化钒薄膜3上通过射频磁控溅射法沉积厚度d₃为105nm的硫化锌薄膜2。

最后，在所形成的硫化锌薄膜2上溅射沉积氧化锌薄膜(即第二无机透明薄膜)4：在硫化锌薄膜2上通过射频磁控溅射法沉积厚度d₁为64nm的氧化锌薄膜4。

同样，对于本实施例6所获得的透光结构，本发明对其性能进行了电磁场有限元模拟检测。图7示出了通过本实施例6获得的图1(b)所示的透光结构在二氧化钒基复合薄膜相变前后的电磁场有限元模拟的紫外-可见-近红外透射光谱图，其中二氧化钒基复合薄膜是通过在42nm的二氧化钒薄膜上沉积厚度为105nm的硫化锌薄膜，然后再沉积厚度为64nm的氧化锌薄膜而获得的二氧化钒/硫化锌/氧化锌复合薄膜。

根据ASTM/E1084-86标准进行计算，通过实施例6获得的具有本发明的二氧化钒基复合薄膜的透光结构在T＜T_c和T＞T_c的可见光的透射率分别为56.73％、52.52％，太阳光的透射率分别为54.18％、42.92％，红外光的透过率分别为66.52％、42.37％，红外光调节性能为24.15％。

由此可知，实施例6获得了与实施例1类似的效果。

以上已对本发明进行了详细描述，但本发明并不局限于本文所描述具体实施方式。本领域技术人员理解，在不背离本发明范围的情况下，可以作出其他更改和变形。本发明的范围由所附权利要求限定。

Claims (8)

1.一种透射率可调的二氧化钒基复合薄膜，包括：

第一无机透明薄膜；

设置在所述第一无机透明薄膜上的二氧化钒薄膜；和

设置在所述二氧化钒薄膜上的第二无机透明薄膜。

2.一种透射率可调的二氧化钒基复合薄膜，包括：

二氧化钒薄膜；

设置在所述二氧化钒薄膜上的第一无机透明薄膜；和

设置在所述第一无机透明薄膜上的第二无机透明薄膜。

3.根据权利要求1或2所述的透射率可调的二氧化钒基复合薄膜，其中，所述第一无机透明薄膜和所述第二无机透明薄膜是相同或者不同的，并且用于所述第一无机透明薄膜和所述第二无机透明薄膜的无机材料独立地选自氧化锌(ZnO)、硫化锌(ZnS)、掺铝氧化锌(AZO)、掺铟氧化锡(ITO)、掺铟氧化锌(IZO)、二氧化钛(TiO₂)、三氧化二钛(Ti₂O₃)和掺氟氧化锡(FTO)中的一种或多种。

4.根据权利要求1或2所述的透射率可调的二氧化钒基复合薄膜，其中，所述第一无机透明薄膜和所述第二无机透明薄膜的厚度分别为20-500nm，并且所述二氧化钒薄膜的厚度为10-150nm。

5.一种透射率可调的透光结构，包括：

透明衬底；和

设置在所述透明衬底上的根据权利要求1-4中任一项所述的二氧化钒基复合薄膜。

6.根据权利要求5所述的透射率可调的透光结构，其中，所述透明衬底的材质选自玻璃、尖晶石、氧化铝、氧化硅、氧化锆或塑料。

7.根据权利要求6所述的透射率可调的透光结构，其中，所述玻璃选自石英玻璃、高硅氧玻璃、高铝玻璃、微晶玻璃或浮法玻璃；所述塑料选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯乙烯或聚氯乙烯。

8.根据权利要求5-7中任一项所述的透射率可调的透光结构用作智能节能玻璃的应用。

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