CN102759327A - 一种用于检测二维光点位置的传感器 - Google Patents
一种用于检测二维光点位置的传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102759327A CN102759327A CN2012102270612A CN201210227061A CN102759327A CN 102759327 A CN102759327 A CN 102759327A CN 2012102270612 A CN2012102270612 A CN 2012102270612A CN 201210227061 A CN201210227061 A CN 201210227061A CN 102759327 A CN102759327 A CN 102759327A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- layer
- film layer
- sensor
- spot position
- photoresistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims abstract description 42
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 26
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 26
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 22
- 229910052980 cadmium sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- WUPHOULIZUERAE-UHFFFAOYSA-N 3-(oxolan-2-yl)propanoic acid Chemical compound OC(=O)CCC1CCCO1 WUPHOULIZUERAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 abstract 9
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 43
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N indium;tin;hydrate Chemical compound O.[In].[Sn] MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- COOGPNLGKIHLSK-UHFFFAOYSA-N aluminium sulfide Chemical compound [Al+3].[Al+3].[S-2].[S-2].[S-2] COOGPNLGKIHLSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNLOHLDVJGPUFR-UHFFFAOYSA-L calcium;3,4,5,6-tetrahydroxy-2-oxohexanoate Chemical compound [Ca+2].OCC(O)C(O)C(O)C(=O)C([O-])=O.OCC(O)C(O)C(O)C(=O)C([O-])=O NNLOHLDVJGPUFR-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000023077 detection of light stimulus Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/02016—Circuit arrangements of general character for the devices
- H01L31/02019—Circuit arrangements of general character for the devices for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02024—Position sensitive and lateral effect photodetectors; Quadrant photodiodes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
Abstract
本发明公开了一种用于检测二维光点位置的传感器,该传感器包括半导体层、绝缘薄膜层、金属导电薄膜层、光敏电阻薄膜层、电阻薄膜层和四个大小相同的引出电极,半导体层位于最下方,绝缘薄膜层、金属导电薄膜层、光敏电阻薄膜层和电阻薄膜层从下向上依次贴合布设在半导体层的顶面,并且光敏电阻薄膜层的顶面面积和电阻薄膜层的顶面面积分别小于金属导电薄膜层的顶面面积,引出电极连接在电阻薄膜层的顶面,引出电极之间有间隙,且四个引出电极位于正方形的四条边上,且相对的两个引出电极围绕正方形的中心点相互对称。该结构的传感器可以用于检测二维光点位置,并且制造成本低廉、测量灵敏度高。
Description
技术领域
本发明涉及一种传感器结构,具体来说,涉及一种用于检测二维光点位置的传感器。
背景技术
光点位置传感器在光学位置和角度的测量与控制、远程光学控制系统、位移和振动监测、激光光束校准、自动范围探测系统以及人体运动及分析系统等领域有广泛的应用。传统的光点位置检测传感器是制作在硅材料上的,由大面积PIN光电二极管构成,它与分立单元探测器阵列相比,具有位置分辨率高、响应电流简单、快速等优点。近年也有SOI衬底硅上制造PIN型光点位置检测传感器的报道。采用PIN结构实现光点位置检测虽然有检测灵敏度高等前述优点,但由于涉及到使用近本征的I层材料层,使制造成本大大增加。因此如何改进现有光点位置传感器结构,降低制造成本为目前光点位置传感器设计的一个重要问题。
发明内容
技术问题:本发明所要解决的技术问题是:提供一种用于检测二维光点位置的传感器,该结构的传感器可以用于检测二维光点位置,并且制造成本低廉、测量灵敏度高。
技术方案:为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:
一种用于检测二维光点位置的传感器,该传感器包括半导体层、绝缘薄膜层、金属导电薄膜层、光敏电阻薄膜层、电阻薄膜层和四个大小相同的引出电极,半导体层位于最下方,绝缘薄膜层、金属导电薄膜层、光敏电阻薄膜层和电阻薄膜层从下向上依次贴合布设在半导体层的顶面,并且光敏电阻薄膜层的顶面面积和电阻薄膜层的顶面面积分别小于金属导电薄膜层的顶面面积,引出电极连接在电阻薄膜层的顶面,引出电极之间有间隙,且四个引出电极位于正方形的四条边上,且相对的两个引出电极围绕正方形的中心点相互对称。
进一步,所述的电阻薄膜层由透明引出电极材料制成。
进一步,所述的光敏电阻薄膜层由硫化镉制成。
有益效果:与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:
1.制造成本低廉。现有技术中的光点位置检测传感器采用PIN型结构,制造成本高。而本发明的传感器包括半导体层、绝缘薄膜层、金属导电薄膜层、光敏电阻薄膜层、电阻薄膜层和引出电极六个部件,在普通半导体硅材料上采用标准半导体制造工艺加工,可以完成本传感器的制作,由于薄膜材料价格低廉,且可采用溅射方法实现薄膜,因此材料价格和加工成本都比较低。该器件可采用普通硅片进行制造,因此显著降低了器件制造成本。
2.测量简单,且灵敏度高。现有的光点位置检测传感器的工作原理是,在近本征的高阻材料上制造PN结并使其工作在反偏状态,当光照时将在扩展到本征材料一侧的反偏耗尽区中产生光生载流子,该光生载流子构成的电流在表面低阻扩散层中进行再分配,通过测量这些再分配得电流就可计算光照位置。本发明的传感器是基于光敏电阻受光照急剧变化的原理实现光点位置的检测,当没有光照时,电阻薄膜层和金属导电薄膜层被电阻很大的光敏电阻薄膜层分隔。工作时,引出电极和金属导电层之间施加电压,利用光照会使照射点下局部短路产生可观的漏电流。该电流在电阻薄膜层中横向流动并根据正面四个引出电极位置分配电流大小。通过测量这四个引出电极上的电流大小就可获得光点位置信息。因此,本发明的传感器的测量简单。同时本发明的传感器检测范围大,且无死区,测量灵敏度高。光照点没有光照区域的限制,只要照在电阻薄膜层上即可,检测范围大,且无死区。
3.输出电流可控,有利于提高测量灵敏度。在本发明中,电阻薄膜层的电阻是固定的,通过控制相对的两个电极上的加载电压,即可控制输出电流的大小。输出电流大时,测量的电流也较大,不容易受周围环境噪声的影响,有利于提高测量灵敏度。
4.加工工艺简单。本发明的传感器制备时,首先选取半导体材料,然后通过氧化在半导体层的上表面生长一层绝缘薄膜层,再通过溅射或蒸发原理依次在表面沉积金属导电薄膜层、光敏电阻薄膜层、电阻薄膜层和金属铝,接下来通过光刻及腐蚀形成引出电极,最后在通过光刻、腐蚀电阻薄膜层和光敏电阻薄膜层露出金属导电薄膜层。整个工艺都是薄膜工艺。相对于传统的传感器的制备,本发明的传感器加工工艺简单,对环境要求低。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图中有:半导体层1、绝缘薄膜层2、金属导电薄膜层3、光敏电阻薄膜层4、电阻薄膜层5、引出电极6。
具体实施方式
下面结合附图,对本发明的技术方案进行详细的说明。
如图1所示,本发明的一种用于检测二维光点位置的传感器,包括半导体层1、绝缘薄膜层2、金属导电薄膜层3、光敏电阻薄膜层4、电阻薄膜层5和四个引出电极6。半导体层1可以采用硅材料制成。半导体层1位于最下方,绝缘薄膜层2、金属导电薄膜层3、光敏电阻薄膜层4和电阻薄膜层5从下向上依次贴合布设在半导体层1的顶面,并且光敏电阻薄膜层4的顶面面积和电阻薄膜层5的顶面面积分别小于金属导电薄膜层3的顶面面积,引出电极6连接在电阻薄膜层5的顶面,引出电极6之间有间隙,且四个引出电极6位于正方形的四条边上,且相对的两个引出电极6围绕正方形的中心点相互对称。
该传感器包括金属导电薄膜层3、光敏电阻薄膜层4和电阻薄膜层5。当没有光照时,电阻薄膜层5和金属导电薄膜层3被电阻很大的光敏电阻薄膜层4分隔。工作时,光照在该传感器表面时,并且引出电极6和金属导电层3之间施加电压,利用光照会使照射点下局部短路产生可观的漏电流。该电流在电阻薄膜层5中横向流动并根据正面四个引出电极6位置分配电流大小。通过测量这四个引出电极6上的电流大小就可获得光点位置信息。该器件可采用普通硅片进行制造,因此显著降低了器件制造成本。
上述结构的传感器的工作原理是:光敏电阻薄膜层4在没有光照射时电阻很大,近似为绝缘材料。当光斑照射在传感器上表面某点时,将透过电阻薄膜层5,被光敏电阻薄膜层4吸收,则与该点对应的光敏电阻薄膜层4上的电阻急剧下降,使该点位置的电阻薄膜层5和下方的金属导电薄膜层3近似短路。如果在四个引出电极6和金属导电薄膜层3之间加一电压,则光照处将有电流流过。该电流在电阻薄膜层5开始横向流动,且由于有四个引出电极6,引出电极6离光照距离不同,从而造成电流在电阻薄膜层5再分配,通过电流的比例分配可计算出光点在表面的二维位置。具体来说,通过测量四个引出电极6上的四个电流大小,以及建立传感器正中心位置为原点,且横向为x方向,纵向为y方向的坐标系,利用以下公式确定光点位置在坐标系中的坐标(x,y):
式中,L为相对的两个引出电极6之间的距离,单位:米;IL为位于左侧的引出电极上流过的电流,单位:安培;IR为位于右侧的引出电极上流过的电流,单位:安培;IT为位于前侧的引出电极上流过的电流,单位:安培;IB为位于后侧的引出电极上流过的电流,单位:安培。
该结构的传感器的制作过程为:首先选取半导体材料,如硅片,制成半导体层1,然后通过氧化在半导体层1的上表面生长一层绝缘薄膜层2,再通过溅射或蒸发原理依次在表面沉积金属导电薄膜层3(比如金属铝)、光敏电阻薄膜层4(比如CdS)、电阻薄膜层5(比如ITO)和金属铝,接下来通过光刻及腐蚀形成引出电极6,最后在通过光刻、腐蚀电阻薄膜层5和光敏电阻薄膜层4露出金属导电薄膜层3。整个工艺都是薄膜工艺,因此不仅可以在硅圆片上作,甚至可以在陶瓷,玻璃等其他基材上完成上述传感器的制作。
进一步,所述的电阻薄膜层5由透明引出电极材料制成,例如氧化铟锡(ITO)。采用ITO的优点是导电且透明,由于是金属氧化物,因此电阻比纯金属更大,更适合作为电阻。
进一步,所述的光敏电阻薄膜层4由硫化镉制成。当然光敏电阻薄膜层4还可以是其他光敏材料制成,例如硫化铝、硫化铅或者硫化铋。
Claims (3)
1.一种用于检测二维光点位置的传感器,其特征在于,该传感器包括半导体层(1)、绝缘薄膜层(2)、金属导电薄膜层(3)、光敏电阻薄膜层(4)、电阻薄膜层(5)和四个大小相同的引出电极(6),半导体层(1)位于最下方,绝缘薄膜层(2)、金属导电薄膜层(3)、光敏电阻薄膜层(4)和电阻薄膜层(5)从下向上依次贴合布设在半导体层(1)的顶面,并且光敏电阻薄膜层(4)的顶面面积和电阻薄膜层(5)的顶面面积分别小于金属导电薄膜层(3)的顶面面积,引出电极(6)连接在电阻薄膜层(5)的顶面,引出电极(6)之间有间隙,且四个引出电极(6)位于正方形的四条边上,且相对的两个引出电极(6)围绕正方形的中心点相互对称。
2.按照权利要求1所述的用于检测二维光点位置的传感器,其特征在于,所述的电阻薄膜层(5)由透明引出电极材料制成。
3.按照权利要求1所述的用于检测二维光点位置的传感器,其特征在于,所述的光敏电阻薄膜层(4)由硫化镉制成。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2012102270612A CN102759327A (zh) | 2012-06-30 | 2012-06-30 | 一种用于检测二维光点位置的传感器 |
PCT/CN2012/083421 WO2014000352A1 (zh) | 2012-06-30 | 2012-10-24 | 一种用于检测二维光点位置的传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2012102270612A CN102759327A (zh) | 2012-06-30 | 2012-06-30 | 一种用于检测二维光点位置的传感器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102759327A true CN102759327A (zh) | 2012-10-31 |
Family
ID=47053873
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2012102270612A Pending CN102759327A (zh) | 2012-06-30 | 2012-06-30 | 一种用于检测二维光点位置的传感器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102759327A (zh) |
WO (1) | WO2014000352A1 (zh) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104819686A (zh) * | 2015-05-04 | 2015-08-05 | 陈超 | 一种高精度位移定位装置 |
CN104932539A (zh) * | 2015-05-04 | 2015-09-23 | 陈超 | 一种高精度角度定位装置 |
CN105811731A (zh) * | 2015-05-04 | 2016-07-27 | 陈超 | 一种高精度直线电机 |
CN106643498A (zh) * | 2016-12-27 | 2017-05-10 | 陕西科技大学 | 一种精确检测物体平面投影的装置和方法 |
CN106643831A (zh) * | 2016-12-27 | 2017-05-10 | 陕西科技大学 | 一种精确测量二维面内位置与位置变化的装置和方法 |
CN106767361A (zh) * | 2016-12-27 | 2017-05-31 | 陕西科技大学 | 一种精确测量位置与位置变化的装置和方法 |
CN111509084A (zh) * | 2020-03-25 | 2020-08-07 | 深圳第三代半导体研究院 | 一种基于AlGaN/GaN异质结的二维紫外光电位置传感器及其制备方法 |
CN113871405A (zh) * | 2020-06-30 | 2021-12-31 | 北京师范大学 | 位置灵敏硅光电倍增探测器 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3605018A1 (de) * | 1986-02-18 | 1987-08-20 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Verfahren und vorrichtungen zur beruehrungslosen zweidimensionalen ortbestimmung eines messpunktes auf einer messflaeche |
JPS63278284A (ja) * | 1987-05-09 | 1988-11-15 | Fujitsu Ltd | 二次元光位置検出装置 |
CN1031779A (zh) * | 1987-08-12 | 1989-03-15 | 中山大学 | 非晶硅光位置敏感器件 |
JPH04363607A (ja) * | 1991-06-10 | 1992-12-16 | Mitsubishi Electric Corp | 2次元光位置検出器 |
US5455415A (en) * | 1992-08-25 | 1995-10-03 | Nippondenso Co., Ltd. | Insolation sensor |
CN101706258A (zh) * | 2009-11-23 | 2010-05-12 | 卢能晓 | 电阻式光点位置传感器 |
-
2012
- 2012-06-30 CN CN2012102270612A patent/CN102759327A/zh active Pending
- 2012-10-24 WO PCT/CN2012/083421 patent/WO2014000352A1/zh active Application Filing
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3605018A1 (de) * | 1986-02-18 | 1987-08-20 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Verfahren und vorrichtungen zur beruehrungslosen zweidimensionalen ortbestimmung eines messpunktes auf einer messflaeche |
JPS63278284A (ja) * | 1987-05-09 | 1988-11-15 | Fujitsu Ltd | 二次元光位置検出装置 |
CN1031779A (zh) * | 1987-08-12 | 1989-03-15 | 中山大学 | 非晶硅光位置敏感器件 |
JPH04363607A (ja) * | 1991-06-10 | 1992-12-16 | Mitsubishi Electric Corp | 2次元光位置検出器 |
US5455415A (en) * | 1992-08-25 | 1995-10-03 | Nippondenso Co., Ltd. | Insolation sensor |
CN101706258A (zh) * | 2009-11-23 | 2010-05-12 | 卢能晓 | 电阻式光点位置传感器 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
陈冬严: "PSD特性研究及阵列器件研制", 《中国优秀博硕士学位论文全文数据库(硕士) 信息科技辑》 * |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104819686A (zh) * | 2015-05-04 | 2015-08-05 | 陈超 | 一种高精度位移定位装置 |
CN104932539A (zh) * | 2015-05-04 | 2015-09-23 | 陈超 | 一种高精度角度定位装置 |
CN105811731A (zh) * | 2015-05-04 | 2016-07-27 | 陈超 | 一种高精度直线电机 |
CN106643498A (zh) * | 2016-12-27 | 2017-05-10 | 陕西科技大学 | 一种精确检测物体平面投影的装置和方法 |
CN106643831A (zh) * | 2016-12-27 | 2017-05-10 | 陕西科技大学 | 一种精确测量二维面内位置与位置变化的装置和方法 |
CN106767361A (zh) * | 2016-12-27 | 2017-05-31 | 陕西科技大学 | 一种精确测量位置与位置变化的装置和方法 |
CN106643831B (zh) * | 2016-12-27 | 2019-05-17 | 陕西科技大学 | 一种精确测量二维面内位置与位置变化的装置和方法 |
CN106643498B (zh) * | 2016-12-27 | 2019-05-24 | 陕西科技大学 | 一种精确检测物体平面投影的装置和方法 |
CN111509084A (zh) * | 2020-03-25 | 2020-08-07 | 深圳第三代半导体研究院 | 一种基于AlGaN/GaN异质结的二维紫外光电位置传感器及其制备方法 |
CN113871405A (zh) * | 2020-06-30 | 2021-12-31 | 北京师范大学 | 位置灵敏硅光电倍增探测器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2014000352A1 (zh) | 2014-01-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102759327A (zh) | 一种用于检测二维光点位置的传感器 | |
CN104393024B (zh) | Oled像素结构及其制备方法、紫外光检测方法和装置 | |
CN206400202U (zh) | 光学模块 | |
KR101353886B1 (ko) | 데이터 처리 시스템을 위한 표시면 및 상기 표시면과 결합된 제어 장치 | |
CN102141630B (zh) | 放射线检测器 | |
CN109768114A (zh) | 一种基于石墨烯-半导体异质结的位敏感光电探测器 | |
CN103155150B (zh) | 距离传感器以及距离图像传感器 | |
US9702690B2 (en) | Lens-less optical position measuring sensor | |
CN104637970A (zh) | 阵列基板及其制作方法、x射线平板探测器、摄像系统 | |
DE102014103525B4 (de) | Vorrichtung und verfahren zur bestimmung einer richtung von einer oberfläche eines oder mehrerer fotodetektorelemente eines integrierten schaltkreises zu einer elektromagnetische wellen erzeugenden quelle und zur herstellung einer vorrichtung | |
CN102664184A (zh) | 一种x射线检测装置的阵列基板及其制造方法 | |
JP2011138969A (ja) | 薄膜太陽電池モジュールの検査方法及び薄膜太陽電池モジュールの製造方法 | |
CN105115599A (zh) | 一种基于MEMS微结构硅的Si-PIN四象限光电探测器及其制备方法 | |
CN107240611B (zh) | 一种光电探测器件及其制备方法、触控基板及显示面板 | |
CN102544185A (zh) | 一种光点位置检测传感器 | |
US20230178675A1 (en) | Detection substrate and manufacturing method therefor, and ray detection apparatus | |
TW201225312A (en) | Method and apparatus for evaluating photovoltaic module | |
CN101922927A (zh) | 二座标高精度太阳跟踪传感器 | |
CN103064427B (zh) | 基于psd的高精度太阳方位跟踪装置 | |
CN202434554U (zh) | 一种光点位置检测传感器 | |
CN108682717A (zh) | 一种金刚石位置灵敏探测器的制备方法 | |
CN109001791A (zh) | 金刚石位置灵敏探测器的束流位置定位方法 | |
CN111561905B (zh) | 一种用于太阳光角度检测方法 | |
CN109633731A (zh) | 一种探测器及其制作方法 | |
US10088357B2 (en) | Photovoltaic sensor arrays |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20121031 |