CN102689253A - 一种复合轻质反射镜的精密抛光方法 - Google Patents

一种复合轻质反射镜的精密抛光方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种复合轻质反射镜的精密抛光方法包括如下步骤：一种复合轻质反射镜的精密抛光方法，在抛光过程中采用直径为1m的环抛机进行抛光，控制抛光台转速为2r/min～3r/min，抛光液流量为0.8l/h～1.0l/h，对复合轻质反射镜表面连续抛光10h～12h，抛光结束后进行清洗，然后定温6～10h。采取上述技术方案以后，复合轻质反射镜抛光效率提高3～5倍，零件面形一致性好。复合轻质反射镜抛光指标达到：N=1，△N=0.2，α<2″，f′≥2.4km，B=Ⅵ，解决了复合轻质反射镜普通抛光工艺抛光效率低及工艺不稳定的问题，以及复合轻质反射镜批生产的瓶颈问题。

Description

一种复合轻质反射镜的精密抛光方法
技术领域
本发明涉及一种复合轻质反射镜的无应力精密抛光方法，属于光学加工领域。
背景技术
以钛合金和玻璃经烧结而成的复合式结构轻质反射镜，热稳定性好、密度相对小，传统的纯玻璃反射镜相比，重量大大减轻，从而减小力矩电机的转动惯量，提高稳像精度，同时具有环境适应性强，易于装夹等特点。复合轻质反射镜不但应用于火控系统、光电雷达系统、自动跟踪系统，也可应用到卫星、稳像观瞄望远镜等民用领域。
复合轻质反射镜为减轻重量，往往将钛合金基底背面做成蜂窝、六方形等形状，而与之结合的玻璃加工后只有0.3—0.6mm。复合轻质反射镜径厚比一般都远大于20：1，而且两种材料的强度和热膨胀系数不同，加上背面结构复杂、玻璃层特别薄，是光学抛光难度最大的一类零件。采用传统抛光方法加工，加工效率非常低，质量也难以保证，是制约批生产的重大瓶颈问题。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供一种复合轻质反射镜的无应力精密抛光方法，能有效提高复合轻质反射镜的抛光效率和合格率，解决复合轻质反射镜批生产的瓶颈问题。
为了实现上述的目的，本发明的技术方案是：一种复合轻质反射镜的精密抛光方法，其特征是：在抛光过程中采用直径为1m的环抛机进行抛光，控制抛光台转速为2r/min～3r/min，抛光液流量为0.8l/h～1.0l/h，对复合轻质反射镜表面连续抛光10h～12h，抛光结束后进行清洗，然后定温6～10h。
进一步，所述的抛光机抛光模面形要求为△N≤0.2。
进一步，所述的抛光液中抛光粉的浓度为0.3%～0.5%，抛光粉是粒度为300目的氧化铈抛光粉。
进一步，所述的抛光过程中，温度控制为22℃～26℃，温度梯度＜1℃/h，相对湿度为60%～80%。
本发明的有益效果是：本发明采取上述技术方案以后，复合轻质反射镜抛光效率提高3～5倍，零件面形一致性好。经检测，复合轻质反射镜抛光指标达到：N=1，△N=0.2，α<2″，f′≥2.4km，B=Ⅵ。从而解决了复合轻质反射镜普通抛光工艺抛光效率低及工艺不稳定的问题，以及复合轻质反射镜批生产的瓶颈问题。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明做进一步的说明：
实施例1：
一种复合轻质反射镜的精密抛光方法，具体过程如下：
采用粒度为300目的氧化铈抛光粉配制抛光液，其中抛光粉的浓度为0.4%。然后将复合轻质反射镜使用夹具安放到直径为1m的环抛机上，控制抛光台转速为2.5r/min，抛光液流量为0.9l/h，抛光过程中，温度控制为24℃,湿度为65%,对复合轻质反射镜表面连续抛光12h，抛光结束后进行清洗，然后定温8h，最后检测面形参数，采用平面激光干涉仪进行光圈检验。
实施例2：
一种复合轻质反射镜的精密抛光方法，具体过程如下：
采用粒度为300目的氧化铈抛光粉配制抛光液，其中抛光粉的浓度为0.3%。然后将复合轻质反射镜使用夹具安放到直径为1m的环抛机上，控制抛光台转速为2r/min，抛光液流量为0.8l/h，抛光过程中，温度控制为22℃,湿度为60%,对复合轻质反射镜表面连续抛光10h，抛光结束后进行清洗，然后定温6h，最后检测面形参数，采用平面激光干涉仪进行光圈检验。
实施例3：
一种复合轻质反射镜的精密抛光方法，具体过程如下：
采用粒度为300目的氧化铈抛光粉配制抛光液，其中抛光粉的浓度为0.5%。然后将复合轻质反射镜使用夹具安放到直径为1m的环抛机上，控制抛光台转速为3r/min，抛光液流量为1.0l/h，抛光过程中，温度控制为26℃,湿度为80%,对复合轻质反射镜表面连续抛光12h，抛光结束后进行清洗，然后定温10h，最后检测面形参数，采用平面激光干涉仪进行光圈检验。
上述实施例经检验后，指标达到：N=1，△N=0.2，α=1.8″，f′=2.6km，B=Ⅵ，符合要求。
    凡在不脱离本发明核心的情况下做出的简单的变形或修改均落入本发明的保护范围。 

Claims (4)

1.一种复合轻质反射镜的精密抛光方法，其特征是：在抛光过程中采用直径为1m的环抛机进行抛光，控制抛光台转速为2r/min～3r/min，抛光液流量为0.8l/h～1.0l/h，对复合轻质反射镜表面连续抛光10h～12h，抛光结束后进行清洗，然后定温6～10h。
2.根据权利要求1所述的复合轻质反射镜的精密抛光方法，其特征是：所述的抛光机抛光模面形要求为△N≤0.2。
3.根据权利要求1所述的复合轻质反射镜的精密抛光方法，其特征是：所述的抛光液中抛光粉的浓度为0.3%～0.5%，抛光粉是粒度为300目的氧化铈抛光粉。
4.根据权利要求1所述的复合轻质反射镜的精密抛光方法，其特征是：所述的抛光过程中，温度控制为22℃～26℃，温度梯度＜1℃/h，相对湿度为60%～80%。
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