CN102681126A

CN102681126A - 镜片固定装置及固定镜片的方法

Info

Publication number: CN102681126A
Application number: CN2011100609942A
Authority: CN
Inventors: 王健
Original assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Current assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Priority date: 2011-03-15
Filing date: 2011-03-15
Publication date: 2012-09-19

Abstract

本发明提供了一种镜片固定装置，该装置包括镜框、多个第一元件、多个第二元件，所述第一元件与镜片的边缘粘连，所述第二元件固定在所述镜框内并与所述第一元件活动连接。本发明还提供了一种固定镜片的方法，该方法包括将多个第二元件固定在镜框内；将多个第一元件与镜片的边缘粘连；将粘连有多个第一元件的镜片放入镜框，使所述第一元件与所述第二元件活动连接。本发明提供的镜片固定装置，通过第一元件和第二元件的设置，使镜片与镜框不直接接触，在测试镜片面型的时候，镜框对镜片没有作用力，使镜片能够在只受到重力的作用下进行面型的测量，使镜片面型测量的准确度高。

Description

镜片固定装置及固定镜片的方法

技术领域

本发明涉及半导体集成电路设备中的光刻机，特别涉及应用于光刻机中的镜片固定装置及固定镜片的方法。

背景技术

在大规模半导体集成电路的前端制造设备中，光刻机是最复杂、要求最高的设备，集光机电技术于一身，尤其是对机械系统的精密性与稳定性的要求几乎达到了极限。为了达到精密性与稳定性的要求，在光刻机的设计和生产过程中，需要重视很多方面的问题。

在光刻设备中，投影物镜是一种高精密的光学成像系统，要求实现细微图形的像的转移，对投影光学系统的波相差或畸变提出了严格的要求，为了减少波相差或畸变，需要预先测量投影物镜的面型，使其符合要求。

在测量投影物镜的镜片面型时，最好在实时使用投影物镜前进行测量，使其更加符合实际使用时的条件需要。在实时使用投影物镜时需要将镜片固定，因此需要将投影物镜固定后对镜片的面型进行测量。一般要求镜片只受到重力的作用下对镜片的面型进行测量。现有测量系统中，将镜片固定在镜框内，有时镜框会直接接触镜片的镜面，使镜片不仅仅只受到重力的作用，从而引入一定的误差，给镜片测量带来影响。

发明内容

本发明的目的在于提供一种镜片固定装置及固定镜片的方法，以解决现有技术中镜框对投影物镜面型测量产生不利影响的问题。

本发明提供一种镜片固定装置，该装置包括镜框、多个第一元件、多个第二元件，所述第一元件与镜片的边缘连接，所述第二元件固定在所述镜框内并与所述第一元件活动连接。

优选地，在所述镜片固定装置中，所述第一元件与镜片的边缘粘连。

优选地，在所述镜片固定装置中，所述一个第一元件与两个第二元件匹配。

优选地，在所述镜片固定装置中，所述第一元件的数量为三个，且均匀分布在所述镜片的边缘。。

优选地，在所述镜片固定装置中，所述第一元件包括底座和簧片，所述簧片通过螺钉固定在所述底座上。

优选地，在所述镜片固定装置中，所述第一元件还包括连接元件，所述连接元件固定在所述簧片上，所述螺钉依次穿过连接元件和簧片。

优选地，在所述镜片固定装置中，所述第二元件包括基座、弹簧以及平片，所述弹簧的一端固定在所述基座上，所述弹簧的另一端固定在所述平片上，所述基座固定在所述镜框内。

本发明还提供了一种固定镜片的方法，该方法包括：将多个第二元件固定在镜框内；将多个第一元件与镜片的边缘连接；将粘连有第一元件的镜片放入镜框，使所述第一元件与所述第二元件活动连接。

优选地，在所述固定镜片的方法中，每一个第一元件与两个第二元件匹配设置。

优选地，在所述固定镜片的方法中，所述第一元件包括底座、簧片以及连接元件，所述连接元件固定在所述簧片上，所述簧片固定在连接元件上，所述第二元件包括基座、弹簧以及平片，所述弹簧的一端固定在所述基座上，所述弹簧的另一端固定在所述平片上，所述基座固定在所述镜框内。

优选地，在所述固定镜片的方法中，将所述第一元件的底座与镜片的边缘粘连，将所述第二元件的基座固定在镜框内，将所述第一元件的连接元件设置在两个第二元件的平片之间。

由于采用了以上技术方案，与现有技术相比，本发明具有以下优点：

本发明提供的镜片固定装置，通过第一元件和第二元件的设置，使镜片与镜框不直接接触，在测试镜片面型的时候，镜框对镜片没有作用力，使镜片能够在只受到重力的作用下进行面型的测量，使镜片面型测量的准确度高。

进一步地，本发明提供的第一元件包括的簧片不仅能够限制镜片在径向的移动，而且能够吸收镜片在径向可能受到的应力；第二元件包括的弹簧能够吸收镜片在轴向可能受到的应力。

本发明提供的固定镜片的方法，分别将第一元件与镜片边缘固定，第二元件与镜框固定，之后将第一元件与第二元件活动连接，实现镜片与镜框的间接固定，操作简单且安全性高。

进一步地，将所述第一元件的连接元件设置在两个第二元件的平片之间，两个第二元件不仅可以夹住第一元件的连接元件，还可以通过调节其中一个第二元件的高度，进一步调整镜面的倾斜度。因此，采用本发明提供的固定镜片的方法对镜片的设置具有很高的可调性。

附图说明

参照附图阅读了本发明的具体实施方式以后，将会更清楚地了解本发明的各个方面。其中，

图1为本发明实施例提供的镜片固定装置的剖面结构示意图；

图2为本发明实施例提供的镜片固定装置的俯视结构示意图；

图3为图1中第一元件的结构示意图；

图4为图1中第二元件的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的固定镜片方法的流程图。

具体实施方式

下面参照附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细描述。在整个描述中，相同的附图标记表示相同的部件。

本发明提供的镜片固定装置，通过第一元件和第二元件的设置，使镜片与镜框不直接接触，在测试镜片面型的时候，镜框对镜片没有作用力，使镜片能够在只受到重力的作用下进行面型的测量，使镜片面型测量的准确度高。本发明提供的固定镜片的方法，分别将第一元件与镜片边缘固定，第二元件与镜框固定，之后将第一元件与第二元件活动连接，实现镜片与镜框的间接固定，操作简单且安全性高。

图1为本发明实施例提供的镜片固定装置的剖面结构示意图；图2为本发明实施例提供的镜片固定装置的俯视结构示意图。参照图1以及图2，本发明提供的镜片固定装置包括镜框10、多个第一元件11、多个第二元件12，所述第一元件11与镜片13的边缘连接，所述第二元件12固定在所述镜框10上并与所述第一元件11活动连接。

具体地，所述第一元件11与镜片13的边缘粘连，所述胶水采用低收缩率以及硬度大的材料，低收缩率的胶水可以减少固化胶水时对镜片13面型的影响，而硬度大的胶水能够提供比较大的剪切力，消除安装镜片13时带来的应力。

在本实施例中，所述第一元件11的数量为三个，且均匀分布在所述镜片13的边缘，所述第二元件12的数量为六个，且两个第二元件12与一个第一元件11匹配，即两个第二元件12对应一个第一元件11设置。本领域的普通技术人员应该理解，所述第一元件11的数量不仅仅局限为3个，第二元件12的数量也不仅仅局限为6个，还可以是其他的数量值。

图3为图1中第一元件的结构示意图。参照图3，第一元件11包括底座111、簧片112、连接元件113，所述簧片112固定在底座111上，所述连接元件113固定在所述簧片112上，在本实施例中，采用螺钉依次穿过连接元件113和簧片112而起固定作用。所述第一元件11的底座111通过胶水与镜片13的边缘粘连。本领域的普通技术人员应该理解，所述连接元件113以及簧片112固定的方式不仅仅局限于螺钉固定的方式，还可以采用其它的固定方式。

所述第一元件11的簧片112能够限制镜片13在径向的移动，而且能够吸收镜片13在径向可能受到的应力。

图4为图1中第二元件的结构示意图。参照图4，第二元件12包括基座121、弹簧122以及平片123，所述弹簧122的一端固定在所述基座121上，所述弹簧的122另一端固定在所述平片123上，所述基座121固定在所述镜框10上。在本实施例中，所述基座121通过螺纹旋固的方式固定在所述镜框10上。

所述第二元件12包括的弹簧122能够吸收镜片13在轴向可能受到的应力。

相应的，本发明还提供了利用图1所示镜片固定装置的固定镜片的方法。具体请参考图5，其为本发明实施例提供的固定镜片方法的流程图。本发明实施例提供的固定镜片方法包括以下步骤：

步骤S51：将多个第二元件固定在镜框内；

步骤S52：将多个第一元件与镜片的边缘粘连；

步骤S53：将粘连有第一元件的镜片放入镜框，使所述第一元件与所述第二元件活动连接。

在本实施例中每一个第一元件11与两个第二元件12匹配设置。设置的方式为两个第二元件12上下配置，而第一元件11的连接单元113设置在两个第二元件12的中间。为描述方便，将设置在连接单元113上面的第二元件12称为上第二元件，将设置在连接单元113下面的第二元件12称为下第二元件。

根据步骤S51至步骤S53，在本实施例中，首先将多个下第二元件均匀分布在镜框10内，每个下第二元件的底座111四周具有与镜框10槽壁相匹配的螺纹，通过底座111与镜框10的螺旋固定，使下第二元件均匀分布在镜框10内；再将粘连有多个第一元件11的镜片13放入镜框10内，使第一元件11的连接元件113的一端放置在下第二元件的平片123上；之后将多个上第二元件匹配下第二元件设置，使上第二元件底座111在镜框10槽壁上螺旋旋进，直至上第二元件的平片123触碰到第一元件11的连接元件113的另一端。

当镜片13的高低或者倾斜度需要调整时，可以先松开上第二元件，再根据需要的镜片13调整量来旋转下第二元件，使下第二元件通过上下微运动来带动第一元件11的上下微运动，由于第一元件11与镜片13粘连，最终达到调整镜片13的高度或者倾斜度的目的。调整镜片13结束后，将上第二元件沿着镜框10槽壁上的螺旋旋转，直至上第二元件碰到第一元件11即可。

进一步地，在镜片13的安装或者调整过程中，第一元件11的簧片112能够限制镜片13在径向的移动，而且能够吸收镜片13在径向可能受到的应力。而所述第二元件12包括的弹簧122能够吸收镜片13在轴向可能受到的应力。因此使用本发明提供的镜片固定装置能够增强镜片13安装或者调整的安全性。

综上所述，本发明提供的镜片固定装置，通过第一元件和第二元件的设置，使镜片与镜框不直接接触，在测试镜片面型的时候，镜框对镜片没有作用力，使镜片能够在只受到重力的作用下进行面型的测量，使镜片面型测量的准确度高。本发明提供的固定镜片的方法，分别将第一元件与镜片边缘固定，第二元件与镜框固定，之后将第一元件与第二元件活动连接，实现镜片与镜框的间接固定，操作简单且安全性高。

上文中，参照附图描述了本发明的具体实施方式。但是，本领域中的普通技术人员能够理解，在不偏离本发明的精神和范围的情况下，还可以对本发明的具体实施方式作各种变更和替换。这些变更和替换都落在本发明权利要求书所限定的范围内。

Claims

1.一种镜片固定装置，其特征在于，包括镜框、多个第一元件、多个第二元件，所述第一元件与镜片的边缘连接，所述第二元件固定在所述镜框内并与所述第一元件活动连接。

2.如权利要求1所述的镜片固定装置，其特征在于，所述第一元件与所述镜片的边缘粘连。

3.如权利要求1所述的镜片固定装置，其特征在于，所述一个第一元件与两个第二元件匹配。

4.如权利要求1至3中任一项的镜片固定装置，其特征在于，所述第一元件的数量为三个，且均匀分布在所述镜片的边缘。

5.如权利要求1所述的镜片固定装置，其特征在于，所述第一元件包括底座和簧片，所述簧片通过螺钉固定在所述底座上。

6.如权利要求5所述的镜片固定装置，其特征在于，所述第一元件还包括连接元件，所述连接元件固定在所述簧片上，所述螺钉依次穿过连接元件和簧片。

7.如权利要求1所述的镜片固定装置，其特征在于，所述第二元件包括基座、弹簧以及平片，所述弹簧的一端固定在所述基座上，所述弹簧的另一端固定在所述平片上，所述基座固定在所述镜框内。

8.一种固定镜片的方法，其特征在于，包括：

将多个第二元件固定在镜框内；

将多个第一元件与镜片的边缘连接；

将粘连有多个第一元件的镜片放入镜框，使所述第一元件与所述第二元件活动连接。

9.如权利要求8所述的固定镜片的方法，其特征在于，每一个第一元件与两个第二元件匹配设置。

10.如权利要求8或9所述的固定镜片的方法，其特征在于，所述第一元件包括底座、簧片以及连接元件，所述连接元件固定在所述簧片上，所述簧片固定在连接元件上，所述第二元件包括基座、弹簧以及平片，所述弹簧的一端固定在所述基座上，所述弹簧的另一端固定在所述平片上，所述基座固定在所述镜框内。

11.如权利要求10所述的固定镜片的方法，其特征在于，将所述第一元件的底座与镜片的边缘粘连，将所述第二元件的基座固定在镜框内，将所述第一元件的连接元件设置在两个第二元件的平片之间。