CN102664554A - 被动箝位式压电驱动器 - Google Patents
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Abstract
被动箝位式压电驱动器,它涉及一种压电驱动器。本发明为解决现有被动箝位式压电驱动器预紧力的调节是通过配合过盈量来控制的,其控制灵活性较差,同时,其箝位放大结构的结构形式比较复杂的问题。本发明包括第一箝位机构、驱动机构、第二箝位机构和导轨,第一箝位机构和第二箝位机构由右至左依次设置,且导轨依次穿设在第一箝位机构和第二箝位机构的中部,第一箝位机构和第二箝位机构之间通过驱动机构连接。本发明被动箝位式压电驱动器具有体积小、断电自锁,箝位装置具有三角放大机构,能够将箝位压电叠堆的位移放大,降低的加工和装配的难度。本发明适用于微驱动过程中。
Description
技术领域
本发明涉及一种压电驱动器,具体涉及一种被动箝位式压电驱动器。
背景技术
压电驱动是目前全球应用比较广泛的驱动方式,主要分为超声频率驱动的超声波电机和低频率驱动的箝位式压电驱动器。超声频率驱动主要利用定子的共振表面产生椭圆运动驱动转子的运行,多用于输出力大,响应速度快的场合。箝位式压电驱动器是利用压电叠堆通电伸长来实现对导轨的夹紧与放松,进而实现驱动的一种微驱动装置,其工作原理类似于蠕动类爬行动物,因此也通常被称为尺蠖式或蠕动式压电驱动器。其主要应用在输出力大、定位精确高和低速运行的环境中。
目前,国内超声驱动装置的研究相对较多,并取得了一定的成果,而低频压电驱动的研究相对较少,大多数都处于实验室研究阶段,并未得到广泛的应用。国外在超声驱动装置和低频压电驱动装置这两个方面的研究均较多,而且在航天、工业制造以及精密驱动方面有着广泛的应用,例如美国、日本和德国。国内目前对主动箝位式的压电驱动器研究较多,但仍存在着一定缺点。首先,主动箝位式压电驱动器是通电箝位夹紧装置,而在断电的条件下驱动器不能实现对导轨的锁紧,必须要保持通电电压才能实现。其次,主动箝位装置多数是通过压电叠堆通电伸长使柔性铰链变形实现对导轨的夹紧,如果箝位装置与导轨间的间隙较大,则箝位装置对导轨的箝位力较小或者不能箝位,压电叠堆的性能不能完全发挥;如果箝位装置与导轨间的距离太小,并且箝位装置加工精度较低,则会导致压电叠堆断电时,箝位装置不能与导轨完全分离,两者之间产生滑动摩擦,导致箝位装置磨损,对加工精度和调整提出了很大的难度。
授权公告日为1999年2月3日、授权公告号为CN1206865A的发明专利公开了一种蠕动式压电/电致伸缩微进给定位装置,该装置采用了被动箝位蠕动方式驱动器,其箝位方式虽然为被动箝位并且运用了放大机构,但其预紧力的调节是通过配合过盈量来控制的,其控制灵活性较差,同时,其箝位放大结构的结构形式比较复杂。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有被动箝位式压电驱动器预紧力的调节是通过配合过盈量来控制的,其控制灵活性较差,同时,其箝位放大结构的结构形式比较复杂的问题,进而提供一种被动箝位式压电驱动器。
本发明的技术方案是:被动箝位式压电驱动器包括第一箝位机构、驱动机构、第二箝位机构和导轨,
第一箝位机构包括第一上底板、第一下底板、第一箝位三角放大机构、第一上盖板、第一下盖板、两个第一箝位压电叠堆、两个第一碟簧和两个第一圆柱,第一上底板和第一下底板上下平行设置,且第一上底板和第一下底板之间通过两个第一圆柱支撑连接,第一上底板和第一下底板的中心分别开有第一上箝位压电叠堆放置孔和第一下箝位压电叠堆放置孔,第一箝位三角放大机构的上下两端分别设有一个第一箝位压电叠堆,两个第一箝位三角放大机构分别设置在第一上箝位压电叠堆放置孔和第一下箝位压电叠堆放置孔内,第一上盖板和第一下盖板分别固定盖装在第一上底板和第一下底板上,两个第一连接件分别水平旋拧在第一上底板和第一下底板上,每个第一连接件均与第一箝位三角放大机构之间各设有一个第一碟簧,
第二箝位机构包括第二上底板、第二下底板、第二箝位三角放大机构、第二上盖板、第二下盖板、两个第二箝位压电叠堆、两个第二碟簧和两个第二圆柱,第二上底板和第二下底板上下平行设置,且第二上底板和第二下底板之间通过两个第二圆柱支撑连接,第二上底板和第二下底板的中心分别开有第二上箝位压电叠堆放置孔和第一下箝位压电叠堆放置孔,第二箝位三角放大机构的上下两端分别设有一个第二箝位压电叠堆,两个第二箝位三角放大机构分别设置在第二上箝位压电叠堆放置孔和第一下箝位压电叠堆放置孔内,第二上盖板和第二下盖板分别固定盖装在第二上底板和第二下底板上,两个第二连接件分别水平旋拧在第二上盖板和第二下盖板上,每个第二连接件均与第二箝位三角放大机构之间各设有一个第二碟簧,
第一箝位机构和第二箝位机构由右至左依次设置,且导轨依次穿设在第一箝位机构的第一箝位三角放大机构和第二箝位机构的第二箝位三角放大机构上,第一箝位机构和第二箝位机构之间通过驱动机构连接,
驱动机构包括上驱动机构和下驱动机构,上驱动机构包括一组上楔块、上驱动压电叠堆、上柔性铰链和一组上伸缩杆,一组上楔块包括第一上楔块和第二上楔块,第一上楔块的斜面和第二上楔块的斜面贴合设置,一组上楔块设置在第一上底板上,第三连接件穿设在第一上底板上,且所述第三连接件与第一上楔块相抵,上驱动压电叠堆搭设在第一上底板和第二上底板上,第一上底板和第二上底板之间固装有一组上伸缩杆,上柔性铰链设置在一组上楔块和上驱动压电叠堆之间,
下驱动机构包括一组下楔块、下驱动压电叠堆、下柔性铰链和一组下伸缩杆,一组下楔块包括第一下楔块和第二下楔块,第一下楔块的斜面和第二下楔块的斜面贴合设置,一组下楔块设置在第一下底板上,第四连接件穿设在第一下底板上,且所述第四连接件与第一下楔块相抵,下驱动压电叠堆搭设在第一下底板和第二下底板上,第一下底板和第二下底板之间固装有一组下伸缩杆,下柔性铰链设置在一组下楔块和下驱动压电叠堆之间。
本发明与现有技术相比具有以下效果:1.本发明被动箝位式压电驱动器具有体积小、断电自锁,箝位装置具有三角放大机构,能够将箝位压电叠堆的位移放大,降低的加工和装配的难度。将驱动压电叠堆和箝位压电叠堆同时设置在底板上,既节省了空间又实现了箝位压电驱动器的功能。2.本发明的第一箝位机构和第二箝位机构均采用三角放大机构,能够将压电叠堆微小伸缩量放大,降低箝位机构和导轨的加工精度,同时,有效的提高了驱动器控制的灵活性。3.本发明的驱动机构通过材料的拉伸变形来实现驱动器的行进,其结构简单、加工方便,变形量与压电叠堆输出力成线性关系,定位精确;4.本发明的采用碟簧与三角放大机构串联原理,既实现对导轨的预紧又能使导轨对三角放大机构输出变形力。
附图说明
图1是本发明导轨截面为矩形的整体结构示意图;图2是图1的主视图;图3是图2在A-A处的剖视图;图4是图2的仰视图;图5是图2在B-B处的剖视图;图6是本发明导轨截面为圆形的整体结构示意图;图7是本发明的工作原理图。
具体实施方式
具体实施方式一:结合图1-图6说明本实施方式,本实施方式的被动箝位式压电驱动器包括第一箝位机构、驱动机构、第二箝位机构和导轨1,
第一箝位机构包括第一上底板2、第一下底板3、第一箝位三角放大机构4、第一上盖板7、第一下盖板8、两个第一箝位压电叠堆5、两个第一碟簧6和两个第一圆柱9,第一上底板2和第一下底板3上下平行设置,且第一上底板2和第一下底板3之间通过两个第一圆柱9支撑连接,第一上底板2和第一下底板3的中心分别开有第一上箝位压电叠堆放置孔2-1和第一下箝位压电叠堆放置孔3-1,第一箝位三角放大机构4的上下两端分别设有一个第一箝位压电叠堆5,两个第一箝位三角放大机构4分别设置在第一上箝位压电叠堆放置孔2-1和第一下箝位压电叠堆放置孔3-1内,第一上盖板7和第一下盖板8分别固定盖装在第一上底板2和第一下底板3上,两个第一连接件29分别水平旋拧在第一上底板2和第一下底板3上,每个第一连接件29均与第一箝位三角放大机构4之间各设有一个第一碟簧6,
第二箝位机构包括第二上底板10、第二下底板11、第二箝位三角放大机构12、第二上盖板13、第二下盖板14、两个第二箝位压电叠堆15、两个第二碟簧16和两个第二圆柱17,第二上底板10和第二下底板11上下平行设置,且第二上底板10和第二下底板11之间通过两个第二圆柱17支撑连接,第二上底板10和第二下底板11的中心分别开有第二上箝位压电叠堆放置孔10-1和第一下箝位压电叠堆放置孔11-1,第二箝位三角放大机构12的上下两端分别设有一个第二箝位压电叠堆15,两个第二箝位三角放大机构12分别设置在第二上箝位压电叠堆放置孔10-1和第一下箝位压电叠堆放置孔11-1内,第二上盖板13和第二下盖板14分别固定盖装在第二上底板10和第二下底板11上,两个第二连接件30分别水平旋拧在第二上盖板13和第二下盖板14上,每个第二连接件30均与第二箝位三角放大机构12之间各设有一个第二碟簧16,
第一箝位机构和第二箝位机构由右至左依次设置,且导轨1依次穿设在第一箝位机构的第一箝位三角放大机构4和第二箝位机构的第二箝位三角放大机构12上,第一箝位机构和第二箝位机构之间通过驱动机构连接,
驱动机构包括上驱动机构和下驱动机构,上驱动机构包括一组上楔块18、上驱动压电叠堆19、上柔性铰链20和一组上伸缩杆21,一组上楔块18包括第一上楔块18-1和第二上楔块18-2,第一上楔块18-1的斜面和第二上楔块18-2的斜面贴合设置,一组上楔块18设置在第一上底板2上,第三连接件31穿设在第一上底板2上,且所述第三连接件31与第一上楔块18-1相抵,上驱动压电叠堆19搭设在第一上底板2和第二上底板10上,第一上底板2和第二上底板10之间固装有一组上伸缩杆21,上柔性铰链20设置在一组上楔块18和上驱动压电叠堆19之间,
下驱动机构包括一组下楔块22、下驱动压电叠堆23、下柔性铰链24和一组下伸缩杆25,一组下楔块22包括第一下楔块22-1和第二下楔块22-2,第一下楔块22-1的斜面和第二下楔块22-2的斜面贴合设置,一组下楔块22设置在第一下底板3上,第四连接件32穿设在第一下底板3上,且所述第四连接件32与第一下楔块22-1相抵,下驱动压电叠堆23搭设在第一下底板3和第二下底板11上,第一下底板3和第二下底板11之间固装有一组下伸缩杆25,下柔性铰链24设置在一组下楔块22和下驱动压电叠堆23之间。
本实施方式利用内六角螺栓或者平头紧定螺钉通过碟簧对箝位三角放大结构施加载荷,使箝位三角放大结构发生弹性变形,从而对箝位压电叠堆施加预紧力。
当预紧力未施加于箝位压电叠堆之前,箝位三角放大结构为主要变形结构。当箝位三角放大结构变形到一定程度后开始对箝位压电叠堆施加预紧力后,则不再继续施加预紧力。当箝位压电叠堆通电伸长时,其弹性变形主要发生在碟簧上。
本实施方式的盖板利用内六角螺栓或者沉头螺钉固定于底板的表面,用来限定箝位三角放大结构横向运动。
当箝位压电叠堆断电时,箝位机构与导轨之间处于夹紧状态,实现断电自锁功能。当箝位压电叠堆通电伸长时,箝位三角放大结构将当箝位压电叠堆的伸长位移放大,对导轨放松,位移的放大降低了机械加工精度要求。
本实施方式驱动器的驱动部分,通过内六角螺栓或平头紧定螺钉对一对楔块施加载荷,通过楔块对柔性铰链施加载荷,使柔性铰链发生弹性变形,并对驱动压电叠堆施加预紧力。当驱动压电叠堆通电伸长时,其输出力致使拉伸变形部分发生弹性形变,压电驱动器发生轴向位移。柔性铰链对驱动压电叠堆起到保护的作用,由于压电叠堆只能承受垂直载荷而不能承受弯矩和切向载荷,柔性铰链的柔性变形能够尽量使驱动压电叠堆承受垂直载荷。
本实施方式的上下底板采用圆柱直接支撑,并通过螺母锁紧,使上下两底板不发生任何位移,导轨与箝位三角放大机构之间的预紧力的调整可以通过上下底板与圆柱之间加调整垫片进行微调整。
本实施方式驱动压电叠堆的预紧是通过楔块对使柔性铰链变形实现对压电叠堆的预紧。
本实施方式所提到的第一连接件29、第二连接件30、第三连接件31和第四连接件32均为螺栓。
具体实施方式二:结合图3和图5说明本实施方式,本实施方式的第一碟簧6的刚度大于第一箝位三角放大机构4的刚度而小于第一箝位压电叠堆5的输出刚度,第二碟簧16的刚度大于第二箝位三角放大机构12的刚度而小于第二箝位压电叠堆15的输出刚度。如此设置,当对第一箝位压电叠堆5预紧时,第一碟簧6与第一箝位三角放大机构4的刚度串联,变形主要发生在第一箝位三角放大机构4;同理当对第二箝位压电叠堆15预紧时,第二碟簧16与第二箝位三角放大机构12的刚度串联,变形主要发生在第二箝位三角放大机构12上。当第一箝位压电叠堆5和第二箝位压电叠堆15预紧后,第一箝位压电叠堆5或第二箝位压电叠堆15通电伸长时,第一碟簧6或者第二碟簧16发生弹性变形使第一箝位三角放大机构4或第二箝位三角放大机构12对第一压电叠堆5或第二箝位压电叠堆15的输出位移进行放大。其它组成和连接关系与具体实施方式一相同。
具体实施方式三:结合图1说明本实施方式,本实施方式的上伸缩杆21的拉伸刚度小于上驱动压电叠堆19的输出刚度,下伸缩杆25的拉伸刚度小于下驱动压电叠堆23的输出刚度。如此设置,伸缩杆的拉伸刚度在满足刚度条件的前提下要尽可能地小于驱动压电叠堆的输出刚度,充分发挥驱动压电叠堆的输出能力,另外,还具有结构简单、加工方便,变形量与压电叠堆输出力成线性关系,定位精确的优点。其它组成和连接关系与具体实施方式一或二相同。
具体实施方式四:结合图1说明本实施方式,本实施方式的压电驱动器还包括第一导轨套26和第二导轨套27,第一导轨套26固装在第一箝位机构的左端,第二导轨套27固装在第二箝位机构的右端,第一导轨套26和第二导轨套27与导轨1之间间隙配合。如此设置,导轨套与导轨之间的间隙配合,使压电驱动器能沿着导轨灵活运动,另外,还有效的降低了导轨套和导轨之间的滑动摩擦。其它组成和连接关系与具体实施方式一、二或三相同。
具体实施方式五:结合图1说明本实施方式,本实施方式的第一导轨套26和第二导轨套27均由聚四氟乙烯制成。如此设置,具有自润滑的功能,同时又能起到对压电驱动器在运行中定位的作用。其它组成和连接关系与具体实施方式一、二、三或四相同。
具体实施方式六:结合图1-图3和图5说明本实施方式,本实施方式的压电驱动器还包括多个螺旋弹簧28,每个第一圆柱9和每个第二圆柱17上均设有一个螺旋弹簧28。如此设置,当箝位压电叠堆通电伸长时,箝位结构对导轨起到放松的作用,此时上下底板在六角螺栓的微量收缩而减小箝位机构对导轨的松弛状态。因此,螺旋弹簧在此起到对上下底板支撑的作用。其它组成和连接关系与具体实施方式五相同。
具体实施方式七:结合图1说明本实施方式,本实施方式的导轨1为圆柱体。如此设置,便于导轨与导轨套之间灵活运动。其它组成和连接关系与具体实施方式六相同。
本实施方式的导轨为细长圆柱形结构;箝位三角放大结构与导轨接触面为内凹圆柱面,与圆柱导轨相配合;箝位压电叠堆和驱动压电叠堆为实心圆柱结构。
具体实施方式八:结合图6说明本实施方式,本实施方式的导轨1为四棱柱。如此设置,便于导轨与导轨套之间灵活运动。其它组成和连接关系与具体实施方式六相同。
具体实施方式九:结合图1、图2和图4说明本实施方式,本实施方式的上柔性铰链20与第一上底板2制成一体,下柔性铰链24与第一下底板3上制成一体,上伸缩杆21与第一上底板2和第二上底板10制成一体,下伸缩杆25与第一下底板3和第二下底板11制成一体。如此设置,便于第一箝位机构和第二箝位机构的连接。其它组成和连接关系与具体实施方式一或七相同。
工作原理
压电驱动器的工作原理如图7所示。
第一步:在箝位压电叠堆和驱动压电叠堆断电状态下,箝位为结构在六角螺栓的预紧力下,压电驱动器处于断电自锁状态。
第二步:当左侧一组箝位结构的箝位压电叠堆通电时,箝位三角放大结构在箝位压电叠堆的作用下发生形变,对导轨放松,并保持通电状态。
第三步:在第二步的基础上,驱动压电叠堆通电,压电叠堆的伸长使伸缩杆发生拉伸变形,使压电驱动器向左运动一步,并保持通电状态。
第四步:在第三步的基础上,左侧一组箝位压电叠堆断电收缩,此时箝位三角放大机构在弹性恢复力的作用下恢复至第一步时的状态,左侧箝位机构再一次锁紧导轨。
第五步:在第四步的基础上,右侧一组箝位机构的箝位压电叠堆通电伸长,对导轨放松,并保持通电状态。
第六步:在第五步的基础上,驱动压电叠堆断电,拉伸结构在弹性恢复力的作用下收缩。
第七步:在第六步基础上,右侧一组箝位机构的箝位压电叠堆断电收缩,右侧箝位机构再一次锁紧导轨,此时压电驱动器恢复到第一步时的状态,但压电驱动器整体向左运动了一步。
如此循环,压电驱动器将向左连续地运动;反之,当改变驱动信号顺序时,压电驱动器将向右连续运动。
本工作原理中出现的右侧一组箝位结构指的是第一箝位机构,左侧一组箝位机构指的是第二箝位机构。
本工作原理的箭头由上至下依次表示第一步至第七步。
Claims (9)
1.一种被动箝位式压电驱动器,其特征在于:所述压电驱动器包括第一箝位机构、驱动机构、第二箝位机构和导轨(1),
第一箝位机构包括第一上底板(2)、第一下底板(3)、第一箝位三角放大机构(4)、第一上盖板(7)、第一下盖板(8)、两个第一箝位压电叠堆(5)、两个第一碟簧(6)和两个第一圆柱(9),第一上底板(2)和第一下底板(3)上下平行设置,且第一上底板(2)和第一下底板(3)之间通过两个第一圆柱(9)支撑连接,第一上底板(2)和第一下底板(3)的中心分别开有第一上箝位压电叠堆放置孔(2-1)和第一下箝位压电叠堆放置孔(3-1),第一箝位三角放大机构(4)的上下两端分别设有一个第一箝位压电叠堆(5),两个第一箝位三角放大机构(4)分别设置在第一上箝位压电叠堆放置孔(2-1)和第一下箝位压电叠堆放置孔(3-1)内,第一上盖板(7)和第一下盖板(8)分别固定盖装在第一上底板(2)和第一下底板(3)上,两个第一连接件(29)分别水平旋拧在第一上底板(2)和第一下底板(3)上,每个第一连接件(29)均与第一箝位三角放大机构(4)之间各设有一个第一碟簧(6),
第二箝位机构包括第二上底板(10)、第二下底板(11)、第二箝位三角放大机构(12)、第二上盖板(13)、第二下盖板(14)、两个第二箝位压电叠堆(15)、两个第二碟簧(16)和两个第二圆柱(17),第二上底板(10)和第二下底板(11)上下平行设置,且第二上底板(10)和第二下底板(11)之间通过两个第二圆柱(17)支撑连接,第二上底板(10)和第二下底板(11)的中心分别开有第二上箝位压电叠堆放置孔(10-1)和第一下箝位压电叠堆放置孔(11-1),第二箝位三角放大机构(12)的上下两端分别设有一个第二箝位压电叠堆(15),两个第二箝位三角放大机构(12)分别设置在第二上箝位压电叠堆放置孔(10-1)和第一下箝位压电叠堆放置孔(11-1)内,第二上盖板(13)和第二下盖板(14)分别固定盖装在第二上底板(10)和第二下底板(11)上,两个第二连接件(30)分别水平旋拧在第二上盖板(13)和第二下盖板(14)上,每个第二连接件(30)均与第二箝位三角放大机构(12)之间各设有一个第二碟簧(16),
第一箝位机构和第二箝位机构由右至左依次设置,且导轨(1)依次穿设在第一箝位机构的第一箝位三角放大机构(4)和第二箝位机构的第二箝位三角放大机构(12)上,第一箝位机构和第二箝位机构之间通过驱动机构连接,
驱动机构包括上驱动机构和下驱动机构,上驱动机构包括一组上楔块(18)、上驱动压电叠堆(19)、上柔性铰链(20)和一组上伸缩杆(21),一组上楔块(18)包括第一上楔块(18-1)和第二上楔块(18-2),第一上楔块(18-1)的斜面和第二上楔块(18-2)的斜面贴合设置,一组上楔块(18)设置在第一上底板(2)上,第三连接件(31)穿设在第一上底板(2)上,且所述第三连接件(31)与第一上楔块(18-1)相抵,上驱动压电叠堆(19)搭设在第一上底板(2)和第二上底板(10)上,第一上底板(2)和第二上底板(10)之间固装有一组上伸缩杆(21),上柔性铰链(20)设置在一组上楔块(18)和上驱动压电叠堆(19)之间,
下驱动机构包括一组下楔块(22)、下驱动压电叠堆(23)、下柔性铰链(24)和一组下伸缩杆(25),一组下楔块(22)包括第一下楔块(22-1)和第二下楔块(22-2),第一下楔块(22-1)的斜面和第二下楔块(22-2)的斜面贴合设置,一组下楔块(22)设置在第一下底板(3)上,第四连接件(32)穿设在第一下底板(3)上,且所述第四连接件(32)与第一下楔块(22-1)相抵,下驱动压电叠堆(23)搭设在第一下底板(3)和第二下底板(11)上,第一下底板(3)和第二下底板(11)之间固装有一组下伸缩杆(25),下柔性铰链(24)设置在一组下楔块(22)和下驱动压电叠堆(23)之间。
2.根据权利要求1所述的被动箝位式压电驱动器,其特征在于:第一碟簧(6)的刚度大于第一箝位三角放大机构(4)的刚度而小于第一箝位压电叠堆(5)的输出刚度,第二碟簧(16)的刚度大于第二箝位三角放大机构(12)的刚度而小于第二箝位压电叠堆(15)的输出刚度。
3.根据权利要求1所述的被动箝位式压电驱动器,其特征在于:上伸缩杆(21)的拉伸刚度小于上驱动压电叠堆(19)的输出刚度,下伸缩杆(25)的拉伸刚度小于下驱动压电叠堆(23)的输出刚度。
4.根据权利要求1所述的被动箝位式压电驱动器,其特征在于:所述压电驱动器还包括第一导轨套(26)和第二导轨套(27),第一导轨套(26)固装在第一箝位机构的左端,第二导轨套(27)固装在第二箝位机构的右端,第一导轨套(26)和第二导轨套(27)与导轨(1)之间间隙配合。
5.根据权利要求1、2、3或4所述的被动箝位式压电驱动器,其特征在于:所述第一导轨套(26)和第二导轨套(27)均由聚四氟乙烯制成。
6.根据权利要求5所述的被动箝位式压电驱动器,其特征在于:所述压电驱动器还包括多个螺旋弹簧(28),每个第一圆柱(9)和每个第二圆柱(17)上均套装有一个螺旋弹簧(28)。
7.根据权利要求6所述的被动箝位式压电驱动器,其特征在于:导轨(1)为圆柱体。
8.根据权利要求6所述的被动箝位式压电驱动器,其特征在于:导轨(1)为四棱柱。
9.根据权利要求1所述的被动箝位式压电驱动器,其特征在于:上柔性铰链(20)与第一上底板(2)制成一体,下柔性铰链(24)与第一下底板(3)上制成一体,上伸缩杆(21)与第一上底板(2)和第二上底板(10)制成一体,下伸缩杆(25)与第一下底板(3)和第二下底板(11)制成一体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210149324.2A CN102664554B (zh) | 2012-05-15 | 2012-05-15 | 被动箝位式压电驱动器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210149324.2A CN102664554B (zh) | 2012-05-15 | 2012-05-15 | 被动箝位式压电驱动器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102664554A true CN102664554A (zh) | 2012-09-12 |
CN102664554B CN102664554B (zh) | 2015-01-28 |
Family
ID=46773990
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201210149324.2A Active CN102664554B (zh) | 2012-05-15 | 2012-05-15 | 被动箝位式压电驱动器 |
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