CN102644120A - 胶接后硅棒圆心校准装置 - Google Patents
胶接后硅棒圆心校准装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102644120A CN102644120A CN2012101513903A CN201210151390A CN102644120A CN 102644120 A CN102644120 A CN 102644120A CN 2012101513903 A CN2012101513903 A CN 2012101513903A CN 201210151390 A CN201210151390 A CN 201210151390A CN 102644120 A CN102644120 A CN 102644120A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- silicon rod
- base
- disk
- circle
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本发明涉及硅棒粘胶设备，特别涉及一种胶接后硅棒圆心校准装置，用于硅棒与晶托之间的圆心校准，具有底座、用于旋转的圆盘、分度表和用于固定分度表的支架，所述的圆盘设置在底座上，并且圆盘旋转时，与底座的位置关系固定，圆盘的旋转中心为圆盘的圆心；所述的支架与底座固定连接，所述的支架上设有用于调节分度表高度的调节机构，所述的分度表与调节机构连接，所述的分度表的测针与底座平行。本发明胶接后硅棒圆心校准装置，可以在较短时间内确定硅棒精确的圆心位置，确保晶托与硅棒的同心度，使用方便，测量准确，保证了硅棒切割的有效性，提高了产品的合格率。
Description
技术领域
本发明涉及硅棒粘胶设备，特别涉及一种胶接后硅棒圆心校准装置。
背景技术
硅是硬而脆的材料，晶体生长后的硅锭对半导体制造来说用处很小。圆柱形的单晶硅锭要经过一系列的处理过程，最后形成硅片，才能达到半导体制造的要求。首先是将硅锭的两端去掉，然后是径向研磨产生精确的材料直径，半导体业界传统上会在硅锭上做一个定位边来标明晶体结构和硅片的晶向，主定位边标明晶体结构的晶向，次定位边标明硅片的晶向和导电类型。
晶体的一个基本特点是具有方向性，沿晶格的不同方向晶体性质不同，晶胞在晶体中的方向称为晶向，它决定了在硅片中晶体结构的物理排列是怎样的，因此非常重要，不同晶向的硅片的化学、电学和机械性质都不一样，这会影响工艺条件和最终的器件性能。
在将硅棒切成段后需将硅棒段粘接到晶托上，硅棒胶接机就是将硅棒段粘接在晶托上的设备，硅棒的切割必须保证硅棒切割面水平无偏差，切割后截面的圆心在硅棒正中央，晶棒垂直于水平面，否则切割的电池片将无效。为了保证本操作过程的有效执行，在粘接后需进行测试，目前通常使用的是人工测量的方法，使用卡尺等基本测量工具，测量硅棒圆心位置，此方法较粗略，常常有偏差产生。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术中，硅棒胶粘时圆心校准麻烦且常常具有偏差的不足，本发明提供一种胶接后硅棒圆心校准装置，在较短时间内确定硅棒精确的圆心位置，确保晶托与硅棒的同心度保证了硅棒切割的有效性。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种胶接后硅棒圆心校准装置，用于硅棒与晶托之间的圆心校准，具有底座、用于旋转的圆盘、分度表和用于固定分度表的支架，所述的圆盘设置在底座上，并且圆盘旋转时，与底座的位置关系固定，圆盘的旋转中心为圆盘的圆心；所述的支架与底座固定连接，所述的支架上设有用于调节分度表高度的调节机构，所述的分度表与调节机构连接，所述的分度表的测针与底座平行。
所述的调节机构与支架之间为固定位置可调节连接，通过上下调整调节机构的位置来调整分度表的高度。
为了方便测量，所述的圆盘上具有用于将晶托的径向和周向固定的固定机构。
本发明的胶接后硅棒圆心校准装置，底座为一平台，用于保持相对的水平状态，圆盘放置于平台上，可围绕其圆心旋转，分度表固定在支架上，保持相对稳定。只要将粘在晶托上的硅棒放入圆盘的固定位置，旋转圆盘，即可用分度表测出圆盘旋转一周过程中的读数偏差，测试后将支架升高，再次测试，重复测试后即可知道粘接后的晶棒圆心是否在精确位置。
本发明的有益效果是，本发明胶接后硅棒圆心校准装置，可以在较短时间内确定硅棒精确的圆心位置，确保晶托与硅棒的同心度，使用方便，测量准确，保证了硅棒切割的有效性，提高了产品的合格率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明胶接后硅棒圆心校准装置最优实施例的结构示意图。
图中1、底座，2、圆盘，3、支架，3-1、调节杆，4、分度表，4-1、测针，5、晶棒，6、晶托。
具体实施方式
现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
如图1所示，本发明胶接后硅棒圆心校准装置最优实施例的结构示意图。用于硅棒5与晶托6之间的圆心校准，具有底座1、用于旋转的圆盘2、分度表4和用于固定分度表4的支架3，圆盘2设置在底座1上，并且圆盘2旋转时，与底座1的位置关系固定，圆盘2的旋转中心为圆盘2的圆心；支架3与底座1固定连接，支架3上设有用于调节分度表4高度的调节杆3-1，分度表4与调节杆3-1连接，分度表4的测针4-1与底座1平行。
调节杆3-1与支架3之间为固定位置可调节连接。
圆盘2上具有用于将晶托6的径向和周向固定的固定机构。固定机构的一种实施方式为，固定机构包括圆盘2上开设的与晶托6直径相同的圆形凹槽，以及设置在圆形凹槽内的凸起，所述的凸起与晶托6型面连接。所述的圆形凹槽用于晶托6的径向固定，所述的凸起用于晶托6的周向连接。
以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (3)
1.一种胶接后硅棒圆心校准装置，用于硅棒（5）与晶托（6）之间的圆心校准，其特征在于：具有底座（1）、用于旋转的圆盘（2）、分度表（4）和用于固定分度表（4）的支架（3），所述的圆盘（2）设置在底座（1）上，并且圆盘（2）旋转时，与底座（1）的位置关系固定，圆盘（2）的旋转中心为圆盘（2）的圆心；所述的支架（3）与底座（1）固定连接，所述的支架（3）上设有用于调节分度表（4）高度的调节机构，所述的分度表（4）与调节机构连接，所述的分度表（4）的测针（4-1）与底座（1）平行。
2.如权利要求1所述的胶接后硅棒圆心校准装置，其特征在于：所述的调节机构与支架（3）之间为固定位置可调节连接。
3.如权利要求1所述的胶接后硅棒圆心校准装置，其特征在于：所述的圆盘（2）上具有用于将晶托（6）的径向和周向固定的固定机构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012101513903A CN102644120A (zh) | 2012-05-16 | 2012-05-16 | 胶接后硅棒圆心校准装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012101513903A CN102644120A (zh) | 2012-05-16 | 2012-05-16 | 胶接后硅棒圆心校准装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102644120A true CN102644120A (zh) | 2012-08-22 |
Family
ID=46657191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2012101513903A Pending CN102644120A (zh) | 2012-05-16 | 2012-05-16 | 胶接后硅棒圆心校准装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102644120A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105643822A (zh) * | 2016-03-17 | 2016-06-08 | 邢台晶龙电子材料有限公司 | 一种单晶硅棒机械粘接设备 |
| CN108724490A (zh) * | 2018-06-12 | 2018-11-02 | 山东大海新能源发展有限公司 | 提高晶片用晶棒利用率的方法 |
-
2012
- 2012-05-16 CN CN2012101513903A patent/CN102644120A/zh active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105643822A (zh) * | 2016-03-17 | 2016-06-08 | 邢台晶龙电子材料有限公司 | 一种单晶硅棒机械粘接设备 |
| CN108724490A (zh) * | 2018-06-12 | 2018-11-02 | 山东大海新能源发展有限公司 | 提高晶片用晶棒利用率的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9134260B2 (en) | Intelligent machines and process for production of monocrystalline products with goniometer continual feedback | |
| CN104798188B (zh) | 确定单晶晶片的表面取向的方法 | |
| CN106403758B (zh) | 一种锥面尺寸量具及其使用方法 | |
| TW201440986A (zh) | 半導體單結晶錠的切片方法 | |
| CN103501975A (zh) | 一种将处理的单晶工件固定到加工设备的方法 | |
| CN208496343U (zh) | 一种适用于单晶体材料定向切割的三轴旋转工作台 | |
| JP2000026200A (ja) | 円柱形単結晶の製造方法及び装置、並びに半導体ウェ―ハの切断方法 | |
| CN102644120A (zh) | 胶接后硅棒圆心校准装置 | |
| CN113696358B (zh) | 一种实现晶向偏离的单晶晶体的多线切割方法 | |
| JP2013258243A (ja) | 化合物半導体基板の製造方法および製造装置 | |
| CN102490279B (zh) | 线切割晶体x射线衍射定向切割方法 | |
| CN102490277B (zh) | 线切割晶体作图定向切割法 | |
| CN103624632B (zh) | 一种测量数控加工零件斜面点的表架及测量方法 | |
| CN202576652U (zh) | 胶接后硅棒圆心校准装置 | |
| CN102490278B (zh) | 线切割晶体激光仪定向切割方法 | |
| CN102830293A (zh) | 快速校准瞬变电磁场场均匀性的方法及系统 | |
| CN102032857B (zh) | 单晶圆棒的径向垂直度检测台 | |
| CN207351335U (zh) | 一种确定单晶圆棒切割点的装置 | |
| CN110260764B (zh) | 一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具 | |
| CN106145658B (zh) | 玻璃切割方法 | |
| CN204036676U (zh) | 一种蓝宝石单晶体多轴向定位及定位完成后晶体切割治具 | |
| JP5276851B2 (ja) | 結晶方位測定装置、結晶加工装置及び結晶加工方法 | |
| CN210452321U (zh) | 一种用于检测抛光盘上产品面型的工装夹具 | |
| CN201945302U (zh) | 晶片角度测试定位装置 | |
| CN201811707U (zh) | 径向垂直度检测台 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20120822 |