CN102639757B - 通过刷镀以电化学方式涂覆衬底的方法以及实施该方法的装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种通过刷镀以电化学方式涂覆衬底(15)的方法。本发明建议，经电解质用的转移载体(12)前方的各导管系统(22)将颗粒施加至待涂覆的表面(14)上。该电解质经导管系统(21)可自行添加给转移载体。由此有利地实现了：因为在施加颗粒后直到形成层(16)前只经过很短的时间，所以可以抑制颗粒的团聚。本发明还要求保护一种用于以电化学方式进行涂覆的装置，该装置具有两个为所述目的设置的导管系统(21，22)。使用本发明的方法例如可以在轧机中部分涂覆辊的高应力表面部分。

Description

通过刷镀以电化学方式涂覆衬底的方法以及实施该方法的装置

本发明涉及通过刷镀以电化学方式涂覆衬底的方法，在所述方法中使用转移载体将电解质施加至衬底上，其中在衬底上形成金属层的同时结合(Einbau)颗粒。

将颗粒结合在层中的方法可以从例如DE 10125290A1、DE 10125289A1或JP 01301897A获得。上述最后一篇文献建议使用刷镀方法用于制备其中分散有颗粒的层。刷镀理解为这样一种电化学涂覆方法，在该方法中待涂覆的衬底不是浸入电解质(Elektrolyt)中，而是使用称为“刷”的转移载体将电解质施加至衬底。在此使用的不是狭义上的刷。取而代之的，该转移载体必须具有由出色的毛细管力所引起的将电解质转移至衬底的性能。例如刷适用于此目的，因为在单根刷毛之间形成了适合运输电解质的毛细管通道。其他适合转移电解质的结构例如由海绵样(即开孔式)的自身有弹性的材料。

为了有效地进行涂覆，电解质通过通道系统供应给转移载体，其中电解质流体连接转移载体的毛细管通道。与将衬底浸入电解质中的常规电化学涂覆方法相比而言的显著优势在于：可以通过连续给料电解质实现高的材料产量。因此，例如在电镀期间可以相应地实现大的沉积电流，并由此可以快速地形成层。与电解质浴方法相比，在刷镀中，电解质的连续流动可以由于受限的扩散速率而在电解质中防止限制涂覆速率的稳态的成立。

显然已知的是，将颗粒结合入以电化学方法制备的层中，该层已经在电化学浴中经过涂覆。例如根据US 2007/0036978A1可以知道将CNT(在下文中该缩写用来表示碳纳米管)结合入电化学沉积的层中。类似地，还可以结合BNNT(Bornitrid Nano Tubes)(该缩写在下文中用来表示硼氮化物纳米管)。然而，此时进一步限制CNT结合的因素是所述CNT仅能以有限的程度分散于电化学浴中。在制备稳定分散体(即能在超过24小时的较长时间段上保持稳定的分散体)时产生了问题。尽管可以通过使用润湿剂(Netzmitteln)稳定该分散体，但是该润湿剂也会至少部分地沉积于层中。不过通过CNT结合入电化学层中例如可以致力于电导率的改进。而润湿剂的存在(主要存留于CNT的表面上)限制了所期望的关于CNT结合入电化学沉积层的金属基质中的作用。

最后，DE 102004030523A1公开了一种粉末输送设备。

因此，本发明的目的在于提供一种通过刷镀以电化学方式涂覆衬底的方法，在该方法中提供了较大的留白(Spielraum)用于结合颗粒。

·根据本发明，该目的通过在引言部分所提的方法以如下方式实现：经用于电解质的第一导管系统供应所述转移载体，在所述第一导管系统中颗粒浓度与充分结合所需的浓度相比至少有减少，或者不存在颗粒。此外，提供用于颗粒的第二导管系统，在使用所述转移载体进行处理前通过所述第二导管系统将所述颗粒直接施加至待涂覆的衬底上。本发明方法有利地实现了无需在电解质中制备颗粒的稳定分散体。相反，可以利用以下状态：在刷镀中层形成过程的时间非常短。因此可以有利地在通过刷镀方法进行涂覆前使用各供应管线，第二导管系统，直接施加颗粒(所述第二导管系统的具体配置将在下文中详细说明)。因此，不期望的颗粒团聚在直至衬底被涂覆的短时间期间得以排除。这具有如下的优势，即，可以使用本身在提供的电解质中分散性差的CNT或BNNT。使这种状态的利用变得有意义的另一个可能性在于，可以施加较高浓度的颗粒，通常在所关注的电解质中较高浓度的颗粒分散体不再是稳定的。由此增加了颗粒进入所形成的层中的结合率。因此，用于形成具有分散颗粒的电化学层的加工窗口(Prozessfenster)有利地变得更大。

刷镀的另一优势来源于：转移介质在形成层的过程期间与衬底接触。由此对抗了树枝状层的生长，这是由于所形成的层立即被压实。但是CNT的引入会促进树枝状晶体的形成，对层的质量有负面影响。

根据本发明的另一实施方案，在所述第二导管系统中所述颗粒作为分散体供应。此时作为分散剂可以同等地使用气体(形成气溶胶)或液体(形成悬浮液)。但是也可以输送和计量作为粉末结合入待形成的层中的颗粒。然而，分散体的使用具有通常可以简化处理的优势。作为液体分散剂也可以优选使用电解质本身。因此，通过第一导管系统供料的电解质与通过第二导管系统供料的电解质的差别仅在于分散颗粒的浓度。有利的是，构成了产量主要部分的第一导管系统中的电解质不提供大量的颗粒从而有利地简化了处理。特别在重复使用电解质时，即，在实现刷镀后收集电解液并回收进入向第一导管系统供料的存储器中，在所述电解质中会存在少量的颗粒。但是这并没引起上述团聚问题，这是由于在达到了临界浓度时在实现刷镀后颗粒就已经沉积在收集容器中，从而没有回收进入存储器中。

另一方面，通过第二导管系统施加的较少量的电解质或其他分散体可以各自在使用前的短时间内混合，从而无需要求这些悬浮体的长期稳定性。备选地，作为液体分散剂还可以使用在其中更容易分散相关颗粒的液体。然而这种分散剂不应当对刷镀的后续涂覆过程有不利的影响。因此，在选择时必须相应地予以考虑。

如果液体作为分散剂供应，那么它们可以有利地这样选择，使得分散剂在刷镀期间主导的温度下蒸发或升华。以此方式可以在分散剂结合进入形成的层之前将该分散剂从刷镀过程中取出。还可以考虑合适的防止气体分散剂逃逸进入环境的收集装置。由此可以避免可能的健康风险，以及可以将该分散剂再次用于分散体的形成。

根据该方法的另一个实施方案，在第二导管系统中，可以通过能量的作用、特别是超声的作用防止颗粒的团聚。在此，还可以有利地使用超临界分散体，这是因为在第二导管系统已经团聚的分散颗粒的风险可以通过引入能量而降低。

如果颗粒为纳米颗粒，特别是CNT和/或BNNT，则可以得到本发明另一个有利的实施方案。如果使用纳米颗粒，可以有利地在待涂覆的零件上生成特别精细的层结构。此外，上述在纳米颗粒结合入层中之前防止纳米颗粒团聚的机制可以特别有效地被利用。特别地，可以有利地实现不使用会干扰涂覆的润湿剂而将CNT结合入金属基质中。

根据本发明另一有利的实施方案，在所述CNT和/或BNNT于形成的层中择优取向的方向上引导转移载体经过衬底。由此出人意料地发现，在刷镀前施加的颗粒由于接着的转移载体的覆盖而在转移载体的移动方向上出色地定向排列(ausrichten)，如果所述颗粒具有如CNT或BNNT的长构型。由于CNT和/或BNNT的优选取向，可以有利地有目的性地构造出层的在其例如强度或电导性方面的各向异性。特别地，还可以生成多种取向的CNT和/或BNNT，如果提供多个层片的话。为此，转移载体仅需在所期望的多个取向上移动，其中各个层片以所期望的取向中的一个取向而制备。例如，衬底可以在制备一个层片后针对下一个分别旋转90°，从而制备出CNT晶格或BNNT晶格类型。

特别有利的是，如果作为衬底涂覆的是辊，则在安置(Aufsetzen)转移载体后该辊在转移载体的下方旋转。通过辊的简单旋转有利地实现了衬底和转移载体之间的相对运动，其中实现了对辊的均匀涂覆。特别地，通过辊的旋转，所述的CNT和/或BNNT的择优取向可以在辊的切线方向上实现。这对于通过涂覆增加强度而言例如具有以下优势，即，这可以在切线方向上实现。

此外，有利地提供了：在涂覆辊形衬底期间，除了衬底围绕它的中轴旋转之外，在转移载体和所述衬底之间在旋转轴方向上执行线性相对运动。如果待涂覆的辊具有特别大的构造，这是特别有利的。由此，就没有必要使用在辊整个长度上延伸的转移载体，而是通过旋转轴方向上的同时的线性相对运动以及辊的同时旋转，在辊上形成螺纹形涂覆路径，最终实现对整个辊的涂覆。

根据本发明的另一个实施方案，在待制备层的仅部分区域上通过第二导管系统将颗粒施加至衬底上，或者颗粒的施加量在待涂覆的层区域中局部存在变化。对此，该层可以有利地局部配合一定的要求轮廓。例如可以考虑将滑动轴承的活动面提供在具有颗粒的辊表面上，这在此处确保了较高的耐磨性。还可以考虑使涂层的导电性局部地配合所需值，从而提供给层具有显著降低的电阻的电导线。所述层架构的结构留白如下实现：第二导管系统在刷镀前仅向部分区域施加颗粒，在所述部分区域中颗粒结合入层中。其他区域通过没有结合颗粒的刷镀方法进行涂覆。

本发明的一个特别的实施方式提供了以电化学方式制造包括多个层片的层，其中在通过刷镀施加各层片之前经第二导管系统将颗粒施加至待涂覆的表面。因此有利的是还可以制造其中分布有颗粒的厚度较大的层。例如，可以涂覆轧机的工作辊，所述工作辊由于其高机械负荷而承受高度磨损。为了增加工作辊的使用期限，可以有利地将硬质材料的颗粒结合入涂层中。随着层的逐渐磨损，总是有新颗粒暴露在当前的表面下，此时不仅颗粒本身有利地减少了磨损，而且随着层的逐渐磨损总是提供一定的表面粗糙度，这是因为所述颗粒由于其较少的除去和可能的从层表面的断裂而导致粗糙的层表面。冷轧中的工作辊要求高表面粗糙度，从而工作辊的转矩(Drehmoment)可以转移至待轧制的材料(例如薄片)。适用于结合入层中的优选硬质材料是金属碳化物，如SiC、TiC和WC，金属氮化物如TiN、SiN和BN，以及金属氧化物如Al₂O₃、SiO₂和TiO₂。更优选的是，可以结合硬质金属的颗粒在层中形成金属硬质相。合适的硬质金属是在Co、Ni或Mo基质中具有90至94重量%比例的WC、TiC或TiN的颗粒。所述硬质金属颗粒在层中的结合导致电化学沉积层中的硬质金属颗粒浓度最大为50体积%，优选至10至15体积%。

通过重复刷镀一定次数，还可以制备所谓的多层或梯度层。以电化学方式沉积的单个层片根据所需的颗粒浓度可以更厚或更薄。在用于轧机的工作辊的实例中，必要的是通过刷镀制造的单个层片不显著厚于结合颗粒的直径。只有这样才可以保证随着所制备的层的逐渐除去，颗粒总是暴露在层表面上。多层的层可以如下制备：在一个或多个层片后改变结合颗粒的浓度，或者将不同的颗粒结合入单个层片中。梯度层可以通过逐层地连续变化一种或多种类型的颗粒的浓度来制备。在这种情况下，单个的层片制备成如此薄使得在整个层厚上形成渐变的浓度梯度，而且浓度中没有骤变。

单个的层片可以多种方式制备。例如，转移载体可以在待涂覆的表面上来回移动。此时，颗粒可以交替地在转移载体的前方和后方供应，但是均在转移载体的前方的移动方向上。为此，向颗粒提供两种不同的输送系统。备选地，可以分别使得层的一个层片不具有颗粒进行制备，一个层片具有颗粒进行制备，其中对于具有颗粒的层片总是选择移动方向，在该方向上，待结合的颗粒可以在可见的运动方向上在转移载体的前方流入。

此外，还可以分别提供给多个转移载体前后依次设置的第二导管系统。由此可以特别地在带状涂层(Bandbeschichtung)的情况中实现更快的层生长，并且由此可以更有效地利用该方法。同时，多个转移载体的使用可以制备具有不同颗粒或层材料的层片。

此外，本发明还涉及一种用于通过刷镀以电化学方式涂覆衬底的装置，其包括可流过液体的转移载体，其具有转移面用于将电解质施加至待涂覆的衬底上，和具有用于电解质的第一导管系统，其在转移载体处具有出口。

在引言部分已经提到的JP 01301897A中描述了这种类型的装置。根据该文献，刷镀用装置具有辊形设计，使用海绵状辊作为转移载体。该辊的内部设置有导管系统，其具有在转移载体中心中运转的拉长的圆柱体形式。该管状导管系统具有通入转移载体材料中的多个孔。

本发明的目的还在于，提供一种用于通过刷镀以电化学方式涂覆衬底的装置，使用该装置可以较有效地制备其中分散有颗粒的电化学层。

根据本发明，该目的通过所述装置实现，其中所述装置具有第二导管系统，可以独立于所述第一导管系统对其进行供料，并且具有设置在转移面前方的开口。

由此，本发明提供一种方案用于将应当结合入待形成涂层中的颗粒独立地供应至装置。由此，根据本发明可以仅在实施涂覆过程前很短时间内才将应当结合入涂层中的颗粒施用在待涂覆的衬底表面。为此，第二导管系统的开口，如已经提及的，必须设置在转移表面的前方。这表示可以事先施加在具有转移表面的转移载体和待涂覆的衬底间相对运动的方向上可见的颗粒。也就是说，具有开口的第二导管系统在转移载体的转移表面前方引入。优选的是，所述系统也可以在结构上结合入装置中以组成组件。

第二导管系统的开口必须以使得可以实施所需的施加颗粒的工艺的方式形成。如果颗粒例如(且优选)分散在液体中，那么该液体可以通过喷雾施用。在这种情况中，开口必须具有喷嘴的形式。另一个可能性在于提供移液管形式的喷嘴，使得悬浮液可以被滴加。通过喷嘴还可以施加颗粒在气体中的分散体，其中利用了颗粒在撞击衬底时的粘附力。所实现的流速因此必须相应程度较小，由此对于颗粒而言保持了足够用于粘附的时间。显然，开口可以配备单独的转移载体，后者实现与电解质的转移载体相同的工作原理。通过转移载体提供的毛细管通道然后可以用来向表面供应优选的液体分散体。也可以使用相同的转移载体用于转移电解质以及转移颗粒分散体，其中第二导管系统的开口位于第一导管系统的前方，在移动方向上可见。

由于在第二导管系统中供应颗粒，因此有利的是可以避免生成包含涂覆电解质和待结合颗粒的分散体。由此特别地，可以将在作为分散剂的电解质的分散体中会产生问题的颗粒结合入以电化学方式形成的层中。例如，如已述的，可以避免使用对获得的层有负面影响的润湿剂。

根据本发明的一个实施方案，第二导管系统连接(im Eingriff stehen)超声发生器。该发生器以如下方式连接第二导管系统：通过发生器产生的超声至少在第二导管系统中起作用。超声具有使在第二导管系统中输送的颗粒不团聚的有利作用。例如，在第二导管系统中输送的颗粒粉末也可以通过超声而保持流动能力。关于如何在该导管系统中应用超声发生器的详细信息例如可以参见DE 102004030523A1。

此外，有利的是第二导管系统的开口设置有计量阀，特别是压电阀。关于本发明这种构造的实现也可以考虑上述DE 102004030523A1的说明。通过使用压电阀有利的是可以非常精确地计量施用在衬底上的颗粒，即使所述颗粒以粉末形式进行处理。

本发明的进一步细节将在下文中参考附图进行描述。在此附图中相同或相应的附图要素以相同的附图标记表示，并且仅在各个附图中存在差异时反复说明。

图1示意性示出了使用本发明装置的实施方案的本发明方法的实施方案的运行过程，

图2示出了可以用于本发明装置的另一实施方案的导管模块的横截面，

图3和4示意性显示了本发明方法的实施方案，其中涂覆了轧机的工作辊或另一个辊。

本发明的装置11具有转移载体12和该转移载体12所连接的导管模块13。该转移载体为刷，其可以安装于衬底15的表面14上。正如下文所详细介绍的，该装置可以用来在衬底15上制备其中分散有颗粒(未详细示出)的层16。

为了制备层16，将衬底15置于收集容器17中。此外，衬底15和装置11连接至电压源，衬底可以作为阴极连接。从电解质存储器19将电解质给料至转移载体12中。该电解质含有涂覆材料的离子，其将形成层16的金属基质(未示出细节)。此外，从颗粒存储器20引入第二转移载体12a中，该颗粒容器20含有应结合入层16中的颗粒的高浓度悬浮液。

导管模块13具有用于电解质的第一导管系统21和具有出口22a的用于颗粒的第二导管系统22。它们彼此独立，即，第一导管系统可以通过电解质存储器19供料，与此相独立的，第二导管系统22可以通过颗粒存储器20供料。作为用于颗粒的分散剂，例如可以使用在施加颗粒后快速蒸发的易挥发液体，或者使用具有电解质组成的液体。

为了形成层16，沿所示方向(箭头)在表面14上拉动装置11。过程期间保持颗粒和电解质的连续流，其中在具有转移表面12b的转移载体12前方施加的颗粒首先在表面14上形成膜16a，以及结合入随后所施加的层16中。

由于施加的电压较快地形成了层16，在收集容器17中收集过量的混有颗粒的电解质。回流导管23从收集容器17通向分离装置24，在这里颗粒与电解质再次分离。然后仅含有不显著量颗粒的电解质流回电解质存储器19中，电解质液体中高浓度的颗粒返回颗粒存储器20中，在此如有必要也可以改变分散剂。然后可以使用回收的电解质和回收的颗粒继续该涂覆方法。此时应当考虑到对在形成层16期间于表面14上发生的物质转化进行补偿(ersetzen)(未示出)。

图2显示了装置的截面，由此汇集了另一导管模块13的各构件之间的相互作用。该导管模块具有第二导管系统22，其在开口22a处形成连接转移载体12的喷嘴30。可以使用喷嘴用颗粒分散体喷涂衬底15。

与图1所示的实施方案不同的是，第三导管系统31平行于第二导管系统22设置。第三导管系统31的开口26通向第二导管系统22。在此，电解质(或其他分散剂)因此已经与第二导管系统中的颗粒相混合。如此制备的电解质分散体在第二导管系统22中仍然必须覆盖的途径是短的，并且因此颗粒的分离或团聚都不会发生。

在第三导管系统31中，颗粒优选作为粉末输送。为了防止团聚，发生器28直接设置在第三导管系统31中。例如，发生器可以通过压电晶体形成。此外，位于第二导管系统22中的粉末的计量可以通过在开口26处提供的计量阀得以简化。将计量阀设计为压电阀。可以有利地通过使用压电技术实现导管模块的非常紧实的设计。第二和第三导管系统(22，31)中的途径因此可以保持为短的，从而在待涂覆的表面处排除颗粒的团聚。

尽管图2中未示出但是同样可想到的是不具有如图2所示的第二通道22的装置11。第二通道的作用，即，将颗粒施加至衬底15，然后可以直接由图2所示的第三通道31所发挥，其中在根据图2的开口26将发挥开口30的作用。此时，粉末状颗粒将直接通过计量阀32直接计量至衬底15的表面14上。如果开口间隔开足够小的程度，那么由于颗粒的粘附力可以覆盖表面14，从而在后续电解质涂覆步骤中，将所述颗粒结合入形成的层(图2中未示出)中。

如图3所示，所涂覆的衬底15为轧机的工作辊。此时，将比层材料硬得多的颗粒结合入涂层中是有利的。由此即使在涂层逐渐除去时，也可以通过从表面14上凸起的颗粒产生高的表面粗糙度，这对于冷轧情况下对于将拉力从辊转移至待轧制的薄片(Blech)是必要的。

为了涂覆工作辊，该工作辊在箭头所示方向上旋转。装置11从一侧向工作辊的表面14移动，使用海绵作为转移载体12。第一导管系统21供应给转移载体涂覆电解质，其中过量的电解质排出进入收集容器17中。此外，通过第二导管系统22经喷嘴30将含有待结合颗粒的分散体喷雾至表面14上。考虑到工作辊的旋转方向，由于工作辊和具有转移表面12b的转移载体之间的相对移动所清楚的是，在通过电解质进行涂覆之前将含有颗粒的分散体施加至表面14上。装置11和衬底15的电连接以及用于供应导管系统21,22的通道系统以及收集容器17的连接可以从图1中获知，并且可以类似地实施。这也适用于图4的示意性实施方案中。

如图4所示，对辊作为衬底15(以俯视图显示)进行涂覆。图4仅显示了一前端，未显示的另一前端具有相同的形式。装置11从上面安置在辊上，其可以相应于图3中的实施方案设计。与图3所示实施方案的不同仅在于第二导管系统22的构造。根据图3，喷嘴30将分散体喷雾至其中所示辊的整个宽度上并且使颗粒结合在所形成的整个层中。而在图4中仅部分地施用悬浮液。这形成了结合了CNT(作为颗粒示意)36的带35。这发生在接近辊的端面37的区域，并且意在向辊的滚动设置提供最高的耐磨性。辊的其余部分以电化学方式涂覆而不结合CNT 36，从而产生例如辊的耐腐保护。

通过该方法还实现了CNT36在涂层的带35中的择优取向。在辊于箭头所示方向上旋转并且将分散体在转移载体(未示出)前方施用于辊表面时，转移载体和辊之间的接着的相对移动具有使CNT 36在移动方向上取向的作用，这是因为CNT 36与转移载体之间的摩擦条件得到了优化。因此，以此方式制造的层构件具有各向异性的性质，其在图4所示的实施例中例如导致带在其取向方向上的硬度特别大。

Claims (15)

1.通过刷镀以电化学方式涂覆衬底(15)的方法，在所述方法中使用转移载体(12)将电解质施加至所述衬底(15)上，其中在所述衬底(15)上形成金属层(16)的同时结合颗粒，

其特征在于，

·经用于电解质的第一导管系统供应所述转移载体，在所述第一导管系统中颗粒浓度与充分结合所需的浓度相比至少有减少，或者不存在颗粒，和

·提供用于所述颗粒的第二导管系统，在使用所述转移载体进行处理前通过所述第二导管系统将所述颗粒直接施加至待涂覆的衬底上。

2.根据权利要求1所述的方法，

其特征在于，在所述第二导管系统中所述颗粒作为分散体供应。

3.根据权利要求2所述的方法，

其特征在于，

所述分散体以喷雾方式或以滴注方式供应。

4.根据权利要求1所述的方法，

其特征在于，

所述颗粒在所述第二导管系统中作为粉末输送。

5.根据权利要求3或4所述的方法，

其特征在于，

在所述第二导管系统中通过能量的作用、特别是超声的作用防止所述颗粒的团聚。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的方法，

其特征在于，

作为所述颗粒使用的是纳米颗粒。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的方法，

其特征在于，

作为所述颗粒使用的是碳纳米管和/或硼氮化物纳米管

8.根据权利要求7所述的方法，

其特征在于，

在所述碳纳米管和/或硼氮化物纳米管于所形成的层中择优取向的方向上引导所述转移载体(12)经过所述衬底(15)。

9.根据权利要求1～4中任一项所述的方法，

其特征在于，

作为衬底(15)涂覆的是辊，在安置所述转移载体(12)后所述辊在所述转移载体(12)的下方旋转。

10.根据权利要求9所述的方法，

其特征在于，

在涂覆辊形衬底(15)期间，除了所述衬底围绕它的中轴旋转之外，在所述转移载体(12)和所述衬底(15)之间在旋转轴方向上执行线性相对运动。

11.根据权利要求1～4中任一项所述的方法，

其特征在于，

在待制备层(16)的仅部分区域上通过所述第二导管系统(22)将所述颗粒施加至所述衬底(15)上，或者所述颗粒的施加量在待施加的层(16)区域中局部存在变化。

12.根据权利要求1～4中任一项所述的方法，

其特征在于，

以电化学方式制造包括多个层片的所述层(16)，其中在通过刷镀施加各层片之前经所述第二导管系统(22)将所述颗粒施加至待涂覆的表面。

13.根据权利要求1～4中任一项所述的方法，

其特征在于，

作为衬底涂覆的是用于轧机的工作辊。

14.用于通过刷镀以电化学方式涂覆衬底(15)的装置，其包括

·可流过液体的转移载体(12)，其具有转移面(12b)用于将电解质施加至待涂覆的衬底(15)上，和

·用于电解质的第一导管系统(21)，其在所述转移载体(12)处具有出口(30)，

其特征在于，

所述装置具有第二导管系统(22)，可以独立于所述第一导管系统对其进行供料，并且具有设置在所述转移面(12b)外部的开口(22a)，使得可在刷镀前由第二导管系统(22)在所述转移载体(12)和所述待涂覆的衬底(15)间相对运动的方向上供料。

15.根据权利要求14所述的装置，

其特征在于，所述第二导管系统(22)连接超声发生器(28a)。