CN102568147B - 半导体设备软件故障报警方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种半导体设备软件故障报警方法，该方法包括包括如下步骤：在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集；对收集的现场半导体设备实时数据进行报警配置；通过报警信息配置接口还对报警预定值进行配置，在数据库中形成报警监视表；对收集来的实时数据和报警监视表中的数据进行报警信息计算；对计算后的报警信息同时存储于缓冲区与报警服务器的数据库的报警信息列表中；然后对缓冲区中存储的报警信息进行报警信息处理，通过实时报警信息接口和历史报警接口输送到报警控件中并集成在界面上。采用本发明可实现对半导体设备软件故障的正确报警，能够满足半导体器件制造过程中的工艺要求。

Description

半导体设备软件故障报警方法

技术领域

本发明属于故障检测技术，具体地说是一种半导体设备软件故障报警方法。

背景技术

随着半导体技术的快速发展，对半导体制造设备的要求也越来越高，在生产中对半导体设备进行实时监测和有效的故障报警是现代电子制造业的发展趋势，要求现代半导体设备不仅要能够及时响应多变的外部环境,还要能快速重新配置内部各种资源,并对其进行故障报警，以达到优化生产的目的。

目前报警装置监视半导体设备系统关键参数的变化，在发生非法变化时产生报警信息，并告之操作员做相应的处理，在半导体设备工作过程中，当出现故障时，该报警装置可以及时报警，否则不仅设备可靠性和安全性无法得到保障，同时也为构建高度自动化的半导体制造工厂带来了弊端。

现阶段的工艺条件下，发生这些故障时，大多设备缺少报警功能或一般采用较简单的报警处理机制，一旦设备故障就停止整个加工流程甚至关闭控制系统，而且设备维护人员也很难在故障发生时就立即发现并排除故障，这样就造成了不必要的损失，导致化学机械中的产品直接报废，影响产品良率。

发明内容

针对上述报警装置的不足，本发明为解决该问题提供了一种能及时发现故障并立即报警的半导体设备故障报警方法。

为实现本发明目的，本发明采取如下技术方案：

半导体设备软件故障报警方法包括如下步骤：

在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集；

对收集的现场半导体设备实时数据进行报警配置；通过报警信息配置接口还对报警预定值进行配置，形成报警监视表，该表存在于数据库中；

对收集来的实时数据和报警监视表中的数据进行报警信息计算；

对计算后的报警信息建立报警信息列表，同时存储于缓冲区与报警服务器的数据库中；

对缓冲区中存储的报警信息进行报警信息处理，通过实时报警信息接口将处理后的恢复信息输送到报警控件中并集成在界面上；

对数据库中的报警信息，直接通过历史报警接口输送到报警控件中并集成在界面上。

对收集来的实时数据和报警监视表中的数据进行报警信息计算：

对收集的实时数据进行判定，如为开关量，则判断开关量是否满足大于或小于预定值，如满足条件，将计算后的报警信息存入报警信息列表。

如实时数据的开关量不满足大于或小于预定值，则转续在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集步骤。

如为模拟量，则判断模拟量是否等于1或0，如满足条件，将计算后的报警信息存入报警信息列表中。

如不满足条件，则转续在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集步骤。

缓冲区中建立的报警信息列表包括报警发生日期和时间、变量属性、变量名、变量描述、开关量的报警或恢复状态说明、模拟量的报警或恢复事件描述信息，恢复事件描述信息包括报警值、单位、报警性质和阈值。

数据库中建立的报警监视表包括：模拟量限值报警、开关量报警、组合报警。

所述的对缓冲区中存储的报警信息进行报警信息处理过程：

查看报警信息列表；

根据该表存储的报警信息，与计算服务器上的报警服务交互；

在报警屏上自动显示报警信息、报警灯闪烁、报警音响。

本发明具有如下有益效果及优点：

1．本发明报警系统报警功能强、精确度高。该方法程序与计算服务器上的报警服务交互，做出相应的处理包括在报警屏上自动显示报警信息、报警灯闪烁、报警音响。操作人员通过界面能及时了解和发现现场半导体设备所发生的故障，及时处理排除故障，避免发生产品的损失。

2．本发明报警系统自动化程度高。由于采用了实时数据服务器和报警控件，通过报警软件程序对各半导体控制设备生产线的报警数据采集、监控和处理，简化了人工操作步骤，提高了半导体设备的自动化水平，避免了由于人员参与设备产生的误操作行为，从而提高了设备的效率和可靠性安全性。

3．本发明完善了半导体设备控制系统。由于设计了实时数据库收集监视模块，实现了对半导体设备的精确控制，通过报警信息处理模块，提高了产品成品率等多种工艺指标，有效地解决了由于设备异常而造成的损失，为半导体生产工序提供了保障；提高了产品的合格率，进而大大降低了生产成本。

附图说明

图1为报警系统结构图。

图2为图1报警信息计算模块流程图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的方案作进一步详细说明。

参见图1，半导体设备软件故障报警方法包括如下步骤：

在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集；

对收集的现场半导体设备实时数据进行报警配置；通过报警信息配置接口还对报警预定值进行配置，形成报警监视表，该表存在于数据库中；

对收集来的实时数据和报警监视表中的数据进行报警信息计算；

对计算后的报警信息建立报警信息列表，同时存储于缓冲区与报警服务器的数据库中；

对缓冲区中存储的报警信息进行报警信息处理，通过实时报警信息接口将处理后的恢复信息输送到报警控件中并集成在界面上；

对数据库中的报警信息，直接通过历史报警接口输送到报警控件中并集成在界面上。

本发明涉及的程序有实时数据库收集监视模块、报警信息计算模块、报警信息存储模块、报警信息处理模块。实时数据库收集监视模块用来监测、收集的变化，并将变化的数据传送给报警信息计算模块；报警信息计算模块是对数据进行报警判定运算，用户可通过报警信息接口在线更改报警预定值，在服务启动时从数据库上读取报警监视表，对收集来的实时数据和报警监视表中的数据进行报警信息计算，并将计算后的报警信息形成报警信息列表；报警存储模块是将报警信息存储于缓冲区与报警服务器的数据库中；报警信息处理模块以报警控件的方式集成在界面上，报警信息处理模块与计算服务器上的报警服务交互，操作员可查看存储的报警信息，并做出相应的处理。

报警管理实施操作过程：包括半导体设备初始化、运行半导体设备故障报警软件程序，其中：设备初始化控制步骤为启动半导体设备电源，打开报警监控，并发送初始化指令。

半导体设备故障报警软件方法包括如下具体步骤：

实时数据库收集监视模块使用实时监视程序，将现场的半导体设备的数据通过网络实时传送到实时数据服务器上，该监视程序连接实时数据库，获取数据变化信息，对服务器上的监视的数据按报警规则进行逐个采集，并判断当前数据是否与上次采集的数据相同，如果与上次采集的数据相同，则继续采集，如果不同，则进行报警信息计算；

用户可以通过报警信息配置接口在报警服务器上对报警信息进行配置，报警配置需先将报警信息配置好，设定预定值。该预定值是根据用户的需要，将半导体设备的各种报警信息提前设定的参数预定值。当数据变化回调产生时，按上述预定义的规则产生报警信息并发送给订阅了报警信息的客户程序，然后进行报警信息计算。

报警信息计算使用实时监视程序对监视的实时数据进行报警判定运算。报警判定条件以参数形式存储在硬盘上的配置数据库中，在服务启动时从数据库上读取配置信息。并支持在线更改报警设置，即支持刷新操作，在服务启动后更改配置文件并重新加载至报警信息计算模块。

计算后的报警信息形成报警信息列表同时存储于缓冲区与报警服务器的数据库中，报警信息存储分为报警配置存储与报警信息存储。使用缓冲区用来提供时报警信息的显示，对应实时报警信息接口。报警信息同时存在于报警信息数据库，可以提供给历史报警信息接口，以供用户查看。

缓冲区中报警信息列表包括报警发生日期和时间、变量属性、变量名、变量描述、模拟量报警/恢复事件描述信息，恢复事件描述信息包括报警值、单位、报警性质和阈值，或开关量报警/恢复状态说明。

数据库中形成的报警监视表包括:模拟量限值报警、开关量报警、组合报警。

报警信息处理以控件的方式集成在界面上。信息处理与计算服务器上的报警服务交互，将计算后的报警信息存入数据库并发布给客户端报警查看程序，以供客户查看。在界面可查看全部报警信息，与分类报警信息的画面，做出相应的处理，并将报警信息通过报警控件发布到界面上。

报警时，报警屏出现提示信息，同时报警灯闪烁，发出报警音响。

报警屏实时显示计算后的报警信息包括报警监视表中各级的信息记录包括报警信息和恢复信息。每个报警按其出现先后顺序逐行在报警屏上显示，最新报警自动显示在最上方。新的报警信息总是出现在上一个报警信息的上面，如果报警信息超过屏幕显示画面，则最早的报警信息从屏幕上消失，并保存在报警缓冲区的报警信息列表中，同时屏幕回退到3/4处。文字的不同颜色代表了报警信息的报警级别。

报警恢复操作：操作员可根据报警屏上的提示采取相应操作取消报警；并通过“消音”按钮消音。其报报警灯频率2Hz，客户可自己设置。

当报警恢复后，报警恢复信息取代报警信息，报警灯不闪烁。

本发明中还实现了一些特殊的报警逻辑处理，比如组合报警、抑制报警，以及开关量抖动、模拟量超量程、强制列表等，同时系统备有记载报警详细信息和对应操作的报警卡，可以对消除报警操作进行指导。报警数据监控采用订阅方式，可以在数据发生改变时进行报警计算及时判定报警结果，这些功能可集成到该系统中。

参见图2，对收集来的实时数据和报警监视表中的数据进行报警信息计算：

对收集的实时数据进行判定，如为开关量，则判断开关量是否满足大于或小于预定值，如满足条件，将计算后的报警信息存入报警信息列表。

如实时数据的开关量不满足大于或小于预定值，则转续在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集步骤。

如为模拟量，则判断模拟量是否等于1或0，如满足条件，将计算后的报警信息存入报警信息列表中。

如不满足条件，则转续在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集步骤。

所述的对缓冲区中存储的报警信息进行报警信息处理过程：

查看报警信息列表；

根据该表存储的报警信息，与计算服务器上的报警服务交互；

在报警屏上自动显示报警信息、报警灯闪烁、报警音响。

对收集来的实时数据和报警预定值进行报警信息计算过程：

对收集的实时数据进行判定，如实时数据的开关量满足大于或小于预定值，同时实时数据的模拟量等于1或0时，产生报警；

根据该报警结果进行报警信息处理，对处理后的报警信息存入报警信息缓冲区中报警信息列表中。

如实时数据的开关量不大于或小于预定值，同时实时数据的模拟量不等于1或0时，则转续在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集步骤。

所述的对缓冲区中存储的报警信息进行报警信息处理过程：

查看报警信息列表；

根据该表存储的报警信息，与计算服务器上的报警服务交互；

做出相应的处理包括在报警屏上自动显示报警内容、报警灯闪烁、报警音响。

Claims (8)

1.一种半导体设备软件故障报警方法，包括如下步骤：

在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集；

其特征在于对收集的现场半导体设备实时数据进行报警配置；通过报警信息配置接口还对报警预定值进行配置，形成报警监视表，该表存在于数据库中；

对收集来的实时数据和报警监视表中的数据进行报警信息计算；

对计算后的报警信息建立报警信息列表，同时存储于缓冲区与报警服务器的数据库中；

对缓冲区中存储的报警信息进行报警信息处理，通过实时报警信息接口将处理后的恢复信息输送到报警控件中并集成在界面上；

对数据库中的报警信息，直接通过历史报警接口输送到报警控件中并集成在界面上。

2.根据权利要求1所述的半导体设备软件故障报警方法，其特征在于：

对收集来的实时数据和报警监视表中的数据进行报警信息计算：

对收集的实时数据进行判定，如为开关量，则判断开关量是否满足大于或小于预定值，如满足条件，将计算后的报警信息存入报警信息列表。

3.根据权利要求2所述的半导体设备软件故障报警方法，其特征在于：

如实时数据的开关量不满足大于或小于预定值，则转续在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集步骤。

4.根据权利要求2所述的半导体设备软件故障报警方法，其特征在于：

如为模拟量，则判断模拟量是否等于1或0，如满足条件，将计算后的报警信息存入报警信息列表。

5.根据权利要求4所述的半导体设备软件故障报警方法，其特征在于：

如不满足条件，则转续在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集步骤。

6.根据权利要求1所述的半导体设备软件故障报警方法，其特征在于：

缓冲区中建立的报警信息列表包括报警发生日期和时间、变量属性、变量名、变量描述、开关量的报警或恢复状态说明、模拟量的报警或恢复事件描述信息，其恢复事件描述信息包括报警值、单位、报警性质和阈值。

7.根据权利要求1所述的半导体设备软件故障报警方法，其特征在于：

数据库中建立的报警监视表包括：模拟量限值报警、开关量报警、组合报警。

8.根据权利要求1所述的半导体设备软件故障报警方法，其特征在于：

所述的对缓冲区中存储的报警信息进行报警信息处理过程：

查看报警信息列表；

根据该表存储的报警信息，与计算服务器上的报警服务交互；在报警屏上自动显示报警信息、报警灯闪烁、报警音响。

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