CN102519380B - 基于光纤的微腔型珐珀传感器、制作方法及检测装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种基于光纤的微腔型珐珀传感器,所述传感器由两段光纤熔接而成,其中一段光纤的熔接面为平直端面,另一段光纤的熔接面为弧型端面,所述两光纤熔接时在熔接面内部形成珐珀腔,所述珐珀腔的两侧壁形成第一反射面及第二反射面。其制作方法为将两根光纤的端面切割成平直端面,并将其中一根的平直端面制成弧形端面,将两根光纤的平直端面与弧形端面对接,对接过程中形成气泡珐珀腔。采用基于光纤微腔型珐珀传感器可组成测量装置。本发明制作简单、完全程序化操控、可批量化生产,所制作的传感器温度不敏感、应变灵敏度高、响应时间快、可靠性高、体积小、抗振动、抗电磁干扰、价格低廉。
Description
技术领域
本发明涉及一种光纤传感技术,尤其涉及一种基于光纤的微腔型珐珀传感器、制作方法及检测装置。
背景技术
光纤传感器以其体积小、抗电磁干扰、可用于恶劣环境等突出优点在航天、船舶、大坝、环境监测、化工生物等领域应用广泛。光纤干涉式传感器采用了光干涉技术,其精度比普通光纤传感器高。
传统的光纤温度传感器主要采用光纤布拉格光栅,但由于其本身不耐高温,主要通过辅助措施来进行间接测量。但这种方式集成度不高。应用二氧化碳激光器等写制的长周期光纤光栅能耐高温,但由于其存在对弯曲应变等交叉敏感的问题,应用起来不方便。而干涉式传感器不存在这些弊端,但是普通非本征干涉式珐珀由于其封粘胶会老化,且其制作比较复杂,不利于应用。
美国弗吉尼亚理工的王安波等提出了用高温热熔粘接传统型光纤插入毛细套管的珐珀腔,后来多个小组也提出利用飞秒激光、准分子激光、等离子束刻蚀等方法在光纤上刻蚀微腔形成珐珀腔。这些方法都需要昂贵的微加工设备,运行成本高。Li等人也提供了一种通过空芯光子晶体光纤和普通单模光纤熔接在熔接点形成微气泡珐珀结构应变传感器。西班牙的Villatoro等人也通过实芯光子晶体光纤和普通单模光纤熔接在熔接点形成微气泡珐珀结构应变传感器。这两种传感器应变灵敏度都很高,适于用作应变传感器。但这两种方案都需要用到价格昂贵的特殊光纤,而且制作的珐珀腔腔长随机性比较大,不可控。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基于光纤微腔型珐珀传感器、及其制作方法以及采用基于光纤微腔型珐珀传感器所组成的测量装置。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现:
一种基于光纤微腔型珐珀传感器,所述传感器由两段光纤熔接而成,其中一段光纤的熔接面为平直端面,另一段光纤的熔接面为弧型端面,所述两光纤熔接时在熔接面内部形成珐珀腔,所述珐珀腔的两侧壁形成第一反射面及第二反射面。
进一步的,所述光纤为单模光纤或多模光纤。
一种基于光纤微腔型珐珀传感器的制作方法,包括以下步骤:
A、将两根光纤的端面切割成平直端面,并将其中一根的平直端面制成弧形端面。
B、将两根光纤的平直端面与弧形端面对接,对接过程中形成气泡珐珀腔。
进一步的,步骤A所述的弧形端面采用电弧放电或二氧化碳激光加热制作形成。
进一步的,步骤B所述的对接在熔接机中通过电弧放电手动熔接完成。
一种具有光纤微腔型珐珀传感器的测量装置,包括耦合器、宽带光源及光谱仪,所述宽带光源及光谱仪均连接耦合器,所述耦合器还连接有基于光纤微腔型珐珀传感器,所述基于光纤微腔型珐珀传感器由两段光纤熔接而成,其中一段光纤的熔接面为平直端面,另一段光纤的熔接面为弧型端面,所述两光纤熔接时在熔接面内部形成珐珀腔,所述珐珀腔的两侧壁形成第一反射面及第二反射面。
进一步的,所述光纤为单模光纤或多模光纤。
本发明的有益效果为:制作简单、完全程序化操控、可批量化生产,所制作的传感器温度不敏感、应变灵敏度高、响应时间快、可靠性高、体积小、抗振动、抗电磁干扰、价格低廉。
附图说明
下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
图1为本发明所述基于光纤微腔型珐珀传感器结构示意图。
图2为本发明所述基于光纤微腔型珐珀传感器制作示意图。
图3为具有光纤微腔型珐珀传感器的应变测量装置结构图。
图中:
1、气泡珐珀腔;2、第一反射面;3、第二反射面;4、第一光纤;5、第二光纤;6、平直端面;7、弧形端面;8、宽带光源;9、耦合器;10、基于光纤微腔型珐珀传感器;11、光谱仪。
具体实施方式
如图1及图2所示,本实施例中,一种基于光纤微腔型珐珀传感器,所述传感器由第一光纤4和第二光纤5两段单模光纤熔接而成,所述第一光纤4的熔接面为平直端面6,第二光纤5的熔接面为弧型端面7,两段光纤熔接时在熔接接头内部形成气泡珐珀腔1,所述气泡珐珀腔1的两侧壁形成第一反射面2及第二反射面3。
图2所示,一种基于光纤微腔型珐珀传感器的制作方法,包括以下步骤:
步骤一:将第一光纤4和第二光纤5两段单模光纤尾端切平形成平直端面6,再将第二光纤5采用电弧或二氧化碳加热方法融化该平直端面形成一个弧形端面7;
步骤二:将第一光纤4和第二光纤5分别放入熔接机中,将弧形端面7与平直端面6通过电弧放电熔接在一起。
上述步骤二在熔接过程中,由于是将弧形端面7和平直端面6两种特殊型结构进行熔接,能捕获一定量的空气,于是在第一光纤4和第二光纤5的熔接面中形成气泡珐珀腔1,而且气泡珐珀腔1的大小在一定范围内可以调节。该气泡的两个壁也就形成了光纤内珐珀腔的两个反射面。
图3所示为采用本发明的基于光纤微腔型珐珀传感器的应变测量装置,它包括基于光纤微腔型珐珀传感器10、耦合器9、宽带光源8、光谱仪11;其中宽带光源8连接到耦合器9的一端,耦合器9的另一端连接基于光纤微腔型珐珀传感器10,形成反射干涉谱线,经由耦合器9连接到光谱仪11。宽带光源8输出一定带宽及波长范围的激光,进入耦合器9,激光通过耦合器9进入基于光纤微腔型珐珀传感器10后,分别被熔接气泡壁形成的反射面反射回来。并返回耦合器9中,当光在基于光纤微腔型珐珀传感器10的空心光纤包层中来回的光程小于光源的相干长度时,两反射面分别反射的光将发生干涉。于是在耦合器9向着光谱仪11输出端的干涉信号进入光谱仪11进行数据采集处理。基于光纤微腔型珐珀传感器10在环境物理量变化的作用下气泡两端反射面反射的光程差或光强改变,通过光谱仪11探测处理这些改变,即可得知改变值,形成测量。
Claims (7)
1.一种基于光纤微腔型珐珀传感器,其特征在于,所述传感器由两段光纤熔接而成,其中一段光纤的熔接面为平直端面,另一段光纤的熔接面为弧型端面,所述弧型端面为从光纤的端头向外凸出的弧形面;所述两光纤熔接时在熔接面内部形成珐珀腔,所述珐珀腔的两侧壁形成第一反射面及第二反射面。
2.根据权利要求1所述的一种基于光纤微腔型珐珀传感器,其特征在于,所述光纤为单模光纤或多模光纤。
3.一种基于光纤微腔型珐珀传感器的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:
A、将两根光纤的端面切割成平直端面,并将其中一根的平直端面制成弧形端面;所述弧型端面为从光纤的端头向外凸出的弧形面。
B、将两根光纤的平直端面与弧形端面对接,对接过程中形成气泡珐珀腔。
4.根据权利要求3所述的基于光纤微腔型珐珀传感器的制作方法,其特征在于,步骤A所述的弧形端面采用电弧放电或二氧化碳激光加热制作形成。
5.根据权利要求3所述的基于光纤微腔型珐珀传感器的制作方法,其特征在于,步骤B所述的对接在熔接机中通过电弧放电手动熔接完成。
6.一种具有光纤微腔型珐珀传感器的测量装置,包括耦合器、宽带光源及光谱仪,所述宽带光源及光谱仪均连接耦合器,其特征在于,所述耦合器还连接有基于光纤微腔型珐珀传感器,所述基于光纤微腔型珐珀传感器由两段光纤熔接而成,其中一段光纤的熔接面为平直端面,另一段光纤的熔接面为弧型端面,所述两光纤熔接时在熔接面内部形成珐珀腔,所述珐珀腔的两侧壁形成第一反射面及第二反射面;其中,所述弧型端面为从光纤的端头向外凸出的弧形面。
7.根据权利要求6所述的一种具有光纤微腔型珐珀传感器的测量装置其特征在于,所述光纤为单模光纤或多模光纤。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201110426537.0A CN102519380B (zh) | 2011-12-19 | 2011-12-19 | 基于光纤的微腔型珐珀传感器、制作方法及检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201110426537.0A CN102519380B (zh) | 2011-12-19 | 2011-12-19 | 基于光纤的微腔型珐珀传感器、制作方法及检测装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102519380A CN102519380A (zh) | 2012-06-27 |
CN102519380B true CN102519380B (zh) | 2014-07-23 |
Family
ID=46290384
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201110426537.0A Active CN102519380B (zh) | 2011-12-19 | 2011-12-19 | 基于光纤的微腔型珐珀传感器、制作方法及检测装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102519380B (zh) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103196474B (zh) * | 2013-04-17 | 2015-08-05 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 一种光纤珐珀传感器制作方法及由其构成的检测装置 |
CN103698849A (zh) * | 2014-01-09 | 2014-04-02 | 浙江师范大学 | 一种光纤气泡的制作方法 |
CN103900621B (zh) * | 2014-03-31 | 2016-10-05 | 深圳大学 | 可调fp腔的fp干涉仪的制作方法及制作装置 |
CN103954387B (zh) * | 2014-04-25 | 2016-03-02 | 深圳大学 | 基于光纤fp干涉仪的压力传感器的制作方法 |
CN109932050B (zh) * | 2016-04-20 | 2021-06-08 | 安徽大学 | 异侧耦合式微腔芯片型激光自混合振动、位移、速度传感系统 |
CN106052912B (zh) * | 2016-07-11 | 2023-12-26 | 中国计量大学 | 一种基于法布里-珀罗微腔结构的光纤应力传感装置 |
CN106052913B (zh) * | 2016-07-11 | 2024-02-20 | 中国计量大学 | 一种高灵敏度的压力传感装置 |
CN106404054B (zh) * | 2016-08-29 | 2018-09-21 | 北京信息科技大学 | 一种利用纤芯气泡光纤同时测量温度和材料应变的方法 |
CN106289407B (zh) * | 2016-08-29 | 2018-07-20 | 北京信息科技大学 | 一种利用纤芯气泡光纤同时测量温度和磁场的方法 |
CN106404053A (zh) * | 2016-08-29 | 2017-02-15 | 北京信息科技大学 | 一种利用纤芯气泡光纤同时测量温度和溶液折射率的方法 |
CN106643830B (zh) * | 2016-09-30 | 2019-05-10 | 电子科技大学 | 光纤微泡法珀传感器及其传感方法 |
CN107817043B (zh) * | 2017-09-22 | 2019-09-17 | 暨南大学 | 一种空气微腔式光纤水听器及制作方法和信号检测方法 |
CN108844561B (zh) * | 2018-08-31 | 2024-05-17 | 中国科学技术大学 | 光纤法珀气泡腔传感器及其制作方法 |
CN109738373A (zh) * | 2019-01-22 | 2019-05-10 | 北京信息科技大学 | 基于光子晶体光纤的pH值传感器及其制作方法 |
CN110849278A (zh) * | 2019-12-19 | 2020-02-28 | 大连理工大学 | 一种基于法珀光纤阵列的钢筋长期腐蚀监测传感器 |
KR20210131596A (ko) * | 2020-04-24 | 2021-11-03 | 삼성전자주식회사 | 연신 스트레인 센서 및 장치 |
CN112880888B (zh) * | 2021-01-18 | 2022-01-11 | 燕山大学 | 基于气泡微腔细芯光纤的传感器的制作方法 |
CN114935417B (zh) * | 2022-04-18 | 2023-09-05 | 深圳大学 | 一种采用二氧化碳激光制备微泡探针的方法、微泡探针及压力检测系统 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0622811Y2 (ja) * | 1989-05-23 | 1994-06-15 | 旭光学工業株式会社 | 内視鏡の照明光導入装置 |
CN101034007A (zh) * | 2007-01-24 | 2007-09-12 | 冉曾令 | 光纤法珀传感器及其制造方法 |
CN101586969B (zh) * | 2009-07-16 | 2012-06-27 | 电子科技大学 | 光纤干涉仪传感器光程变化的解调方法及其装置 |
-
2011
- 2011-12-19 CN CN201110426537.0A patent/CN102519380B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102519380A (zh) | 2012-06-27 |
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---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
TR01 | Transfer of patent right |
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