CN102507440B - 硅片表面隐裂的检测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种硅片表面隐裂的检测方法,包括准备部分和操作部分;准备部分:包括选用蒸汽发生装置,在蒸汽发生装置上设置细长的蒸汽喷出管,并设置可以用来调节蒸汽量的按钮,在蒸汽喷出管的喷嘴处包扎若干层精细纱布,使得颗粒较大的水滴能被过滤掉,蒸汽穿透纱布;操作部分:控制开关按钮,同时手持蒸汽喷出管在待检测的硅片组上方平行移动,使得蒸汽均匀喷洒在硅片表面,观察硅片表面现象,然后将硅片翻转,手持蒸汽喷出管在硅片组上方平行移动,并观察硅片表面现象。该方法根据吹气检测的特性,采用常见的蒸汽发生装置替代口吹气进行检测,具有方法简单、易于实现的优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种硅片表面隐裂的检测方法。
背景技术
光伏领域中,硅片的隐裂就是一种较为隐蔽的未穿透的裂纹,在常规条件下不可见,其是在粘胶面即将被切透时,由于晶体硅内部热应力及机械加工中的应力等多种原因造成的裂纹,由于该裂纹未穿透,可能位于硅片两面中的任一面,自动检测设备不可检测,传统的检测手段就是对着硅片表面进行吹气,蒸汽快速覆盖并快速干燥的过程中,裂纹迅速显示并消失。这样的检测手法存在两个明显的缺陷:批量生产过程中长期吹气,容易使检测员产生疲劳及口干舌燥的不适感,吹气还容易对硅片造成污染。
发明内容
本发明的目的在于解决上述问题,提供一种硅片表面隐裂的检测方法,其根据吹气检测的特性,采用常见的蒸汽发生装置替代口吹气进行检测,具有方法简单、易于实现的优点。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现:
一种硅片表面隐裂的检测方法,包括准备部分和操作部分;
所述准备部分:包括选用蒸汽发生装置,在蒸汽发生装置上设置细长的蒸汽喷出管,并设置可以用来调节蒸汽量的按钮,在蒸汽喷出管的喷嘴处包扎若干层精细纱布,使得颗粒较大的水滴能被过滤掉,蒸汽穿透纱布;
所述操作部分:控制开关按钮,同时手持蒸汽喷出管在待检测的硅片组上方平行移动,使得蒸汽均匀喷洒在硅片表面,观察硅片表面现象,然后将硅片翻转,手持蒸汽喷出管在硅片组上方平行移动,观察硅片表面现象。
所述蒸汽发生装置为电加热的蒸汽清洁机。
控制开关按钮的时间为3~6秒。
本发明的有益效果为:本方法根据吹气检测的特性,即检测蒸汽量小、蒸汽有一定的温度、还有一定的速度、面积和方向性,从而采用常见的蒸汽发生装置,控制蒸汽出量和方向,并过滤掉颗粒较大的水珠,实现少量蒸汽迅速蒸发,达到检测目的,克服了吹气检测的缺陷,具有方法简单、易于实现的优点。
具体实施方式
于本实施例中,本发明所述的硅片表面隐裂的检测方法,包括准备部分和操作部分;
准备部分:包括选用电加热的蒸汽清洁机为蒸汽发生装置,在其上设置细长的蒸汽喷出管,并设置可以用来调节蒸汽量的按钮,在蒸汽喷出管的喷嘴处包扎若干层精细纱布,使得颗粒较大的水滴能被过滤掉,蒸汽穿透纱布;
操作部分:控制开关按钮,时间约为3~6秒,同时手持蒸汽喷出管在待检测的硅片组上方平行移动,使得蒸汽均匀喷洒在硅片表面,当蒸汽迅速蒸发时,观察硅片表面现象,确定有无隐裂,然后将硅片翻转,手持蒸汽喷出管在硅片组上方平行移动,观察硅片表面有无隐裂。
Claims (2)
1.一种硅片表面隐裂的检测方法,其特征在于,包括准备部分和操作部分;
所述准备部分:包括选用蒸汽发生装置,在蒸汽发生装置上设置细长的蒸汽喷出管,并设置可以用来调节蒸汽量的按钮,在蒸汽喷出管的喷嘴处包扎若干层精细纱布,使得颗粒较大的水滴能被过滤掉,蒸汽穿透纱布;
所述操作部分:控制开关按钮,同时手持蒸汽喷出管在待检测的硅片组上方平行移动,使得蒸汽均匀喷洒在硅片表面,观察硅片表面现象,然后将硅片翻转,手持蒸汽喷出管在硅片组上方平行移动,观察硅片表面现象;其中,控制开关按钮的时间为3~6秒。
2.根据权利要求1所述的硅片表面隐裂的检测方法,其特征在于,所述蒸汽发生装置为电加热的蒸汽清洁机。
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