CN102507440B - 硅片表面隐裂的检测方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种硅片表面隐裂的检测方法，包括准备部分和操作部分；准备部分：包括选用蒸汽发生装置，在蒸汽发生装置上设置细长的蒸汽喷出管，并设置可以用来调节蒸汽量的按钮，在蒸汽喷出管的喷嘴处包扎若干层精细纱布，使得颗粒较大的水滴能被过滤掉，蒸汽穿透纱布；操作部分：控制开关按钮，同时手持蒸汽喷出管在待检测的硅片组上方平行移动，使得蒸汽均匀喷洒在硅片表面，观察硅片表面现象，然后将硅片翻转，手持蒸汽喷出管在硅片组上方平行移动，并观察硅片表面现象。该方法根据吹气检测的特性，采用常见的蒸汽发生装置替代口吹气进行检测，具有方法简单、易于实现的优点。

Description

硅片表面隐裂的检测方法
技术领域
本发明涉及一种硅片表面隐裂的检测方法。
背景技术
光伏领域中，硅片的隐裂就是一种较为隐蔽的未穿透的裂纹，在常规条件下不可见，其是在粘胶面即将被切透时，由于晶体硅内部热应力及机械加工中的应力等多种原因造成的裂纹，由于该裂纹未穿透，可能位于硅片两面中的任一面，自动检测设备不可检测，传统的检测手段就是对着硅片表面进行吹气，蒸汽快速覆盖并快速干燥的过程中，裂纹迅速显示并消失。这样的检测手法存在两个明显的缺陷：批量生产过程中长期吹气，容易使检测员产生疲劳及口干舌燥的不适感，吹气还容易对硅片造成污染。
发明内容
本发明的目的在于解决上述问题，提供一种硅片表面隐裂的检测方法，其根据吹气检测的特性，采用常见的蒸汽发生装置替代口吹气进行检测，具有方法简单、易于实现的优点。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现：
一种硅片表面隐裂的检测方法，包括准备部分和操作部分；
所述准备部分：包括选用蒸汽发生装置，在蒸汽发生装置上设置细长的蒸汽喷出管，并设置可以用来调节蒸汽量的按钮，在蒸汽喷出管的喷嘴处包扎若干层精细纱布，使得颗粒较大的水滴能被过滤掉，蒸汽穿透纱布；
所述操作部分：控制开关按钮，同时手持蒸汽喷出管在待检测的硅片组上方平行移动，使得蒸汽均匀喷洒在硅片表面，观察硅片表面现象，然后将硅片翻转，手持蒸汽喷出管在硅片组上方平行移动，观察硅片表面现象。
所述蒸汽发生装置为电加热的蒸汽清洁机。
控制开关按钮的时间为3～6秒。
本发明的有益效果为：本方法根据吹气检测的特性，即检测蒸汽量小、蒸汽有一定的温度、还有一定的速度、面积和方向性，从而采用常见的蒸汽发生装置，控制蒸汽出量和方向，并过滤掉颗粒较大的水珠，实现少量蒸汽迅速蒸发，达到检测目的，克服了吹气检测的缺陷，具有方法简单、易于实现的优点。
具体实施方式
于本实施例中，本发明所述的硅片表面隐裂的检测方法，包括准备部分和操作部分；
准备部分：包括选用电加热的蒸汽清洁机为蒸汽发生装置，在其上设置细长的蒸汽喷出管，并设置可以用来调节蒸汽量的按钮，在蒸汽喷出管的喷嘴处包扎若干层精细纱布，使得颗粒较大的水滴能被过滤掉，蒸汽穿透纱布；
操作部分：控制开关按钮，时间约为3～6秒，同时手持蒸汽喷出管在待检测的硅片组上方平行移动，使得蒸汽均匀喷洒在硅片表面，当蒸汽迅速蒸发时，观察硅片表面现象，确定有无隐裂，然后将硅片翻转，手持蒸汽喷出管在硅片组上方平行移动，观察硅片表面有无隐裂。

Claims (2)

1.一种硅片表面隐裂的检测方法，其特征在于，包括准备部分和操作部分；
所述准备部分：包括选用蒸汽发生装置，在蒸汽发生装置上设置细长的蒸汽喷出管，并设置可以用来调节蒸汽量的按钮，在蒸汽喷出管的喷嘴处包扎若干层精细纱布，使得颗粒较大的水滴能被过滤掉，蒸汽穿透纱布；
所述操作部分：控制开关按钮，同时手持蒸汽喷出管在待检测的硅片组上方平行移动，使得蒸汽均匀喷洒在硅片表面，观察硅片表面现象，然后将硅片翻转，手持蒸汽喷出管在硅片组上方平行移动，观察硅片表面现象；其中，控制开关按钮的时间为3～6秒。
2.根据权利要求1所述的硅片表面隐裂的检测方法，其特征在于，所述蒸汽发生装置为电加热的蒸汽清洁机。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104835717B (zh) * 2015-03-23 2018-04-17 中建材浚鑫科技股份有限公司 一种制绒工序前预清洗工艺
CN105789082B (zh) * 2016-05-18 2018-04-06 上海柏凌电子科技有限公司 一种硅片隐裂检测系统
CN107800383A (zh) * 2017-09-12 2018-03-13 太仓协鑫光伏科技有限公司 一种太阳能硅片隐裂检测装置及其检测方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5434106A (en) * 1989-12-22 1995-07-18 Texas Instruments Incorporated Integrated circuit device and method to prevent cracking during surface mount
CA2342135A1 (en) * 1999-06-25 2001-01-04 Kenji Higashi Mist generator
CN2602708Y (zh) * 2003-03-03 2004-02-11 杨成安 蒸汽清洁机
CN1847831A (zh) * 2005-04-12 2006-10-18 比亚迪股份有限公司 一种检查平面质量缺陷的方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01266680A (ja) * 1988-04-19 1989-10-24 Omron Tateisi Electron Co 部品のハンダ検査装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5434106A (en) * 1989-12-22 1995-07-18 Texas Instruments Incorporated Integrated circuit device and method to prevent cracking during surface mount
CA2342135A1 (en) * 1999-06-25 2001-01-04 Kenji Higashi Mist generator
CN2602708Y (zh) * 2003-03-03 2004-02-11 杨成安 蒸汽清洁机
CN1847831A (zh) * 2005-04-12 2006-10-18 比亚迪股份有限公司 一种检查平面质量缺陷的方法

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