CN102483322A - 通过修正定向误差无接触地确定料幅厚度的方法和装置 - Google Patents

通过修正定向误差无接触地确定料幅厚度的方法和装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102483322A
CN102483322A CN2010800390479A CN201080039047A CN102483322A CN 102483322 A CN102483322 A CN 102483322A CN 2010800390479 A CN2010800390479 A CN 2010800390479A CN 201080039047 A CN201080039047 A CN 201080039047A CN 102483322 A CN102483322 A CN 102483322A
Authority
CN
China
Prior art keywords
web
optical measurement
unit
breadboard
measurement unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2010800390479A
Other languages
English (en)
Inventor
P.泰波
W.克纳布
J.布罗克尔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Voith Patent GmbH
Original Assignee
Voith Paper Patent GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Voith Paper Patent GmbH filed Critical Voith Paper Patent GmbH
Publication of CN102483322A publication Critical patent/CN102483322A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0691—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of objects while moving
    • D—TEXTILES; PAPER
    • D21—PAPER-MAKING; PRODUCTION OF CELLULOSE
    • D21F—PAPER-MAKING MACHINES; METHODS OF PRODUCING PAPER THEREON
    • D21F7/00—Other details of machines for making continuous webs of paper
    • D21F7/06—Indicating or regulating the thickness of the layer; Signal devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/08—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness for measuring thickness
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
    • G01B7/10—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance
    • G01B7/107—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance for measuring objects while moving
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
    • G01B2210/40—Caliper-like sensors
    • G01B2210/44—Caliper-like sensors with detectors on both sides of the object to be measured

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明涉及一种用于借助传感器装置无接触地确定料幅，尤其是纤维料幅的厚度的方法，所述传感器装置包括至少两个光学测量单元，料幅能够在这两个光学测量单元之间导引通过，并且这两个光学测量单元在其朝向料幅的一侧分别具有试验板，其中，通过布置在料幅相互对置侧的光学测量单元分别确定该光学测量单元与料幅的距离，并且借助评估单元由所确定的光学测量单元与料幅之间的距离以及所述布置在料幅相互对置侧的光学测量单元之间的距离确定料幅的厚度，其特征在于，所述布置在料幅相互对置侧的光学测量单元分别配设有多个彼此间隔的光学传感器，并且借助评估单元根据由光学传感器得到的测量值确定试验板相对于料幅的倾斜角和/或所述布置在料幅相互对置侧的光学测量单元之间或其试验板之间的错移。

Description

通过修正定向误差无接触地确定料幅厚度的方法和装置
本发明涉及一种用于借助传感器装置无接触地确定料幅，尤其是纤维料幅的厚度的方法，所述传感器装置包括至少两个光学测量单元，料幅能够在这两个光学测量单元之间导引通过，并且这两个光学测量单元在其朝向料幅的一侧具有分别一个试验板，其中，通过布置在料幅相互对置侧的光学测量单元分别确定该光学测量单元与料幅的距离，并且借助评估单元由所确定的光学测量单元与料幅之间的距离以及所述布置在料幅相互对置侧的光学测量单元之间的距离确定料幅的厚度。本发明还涉及一种权利要求7前序部分所述类型的装置。
纤维料幅尤其可以是纸幅或纸板幅。
用于无接触地确定料幅，尤其是纤维料幅的厚度的光学厚度传感器由专利文献EP 1 855 082A1和EP 1 855 083A1已知。
在无接触地测量纸厚度时，一方面需要确定布置在料幅相互对置侧的光学测量单元或试验板之间的距离，另一方面需要测量这些测量单元或试验板与料幅之间的距离，其中，对测量单元与料幅之间的距离进行光学测量。在此，定位在料幅相互对置侧的光学测量单元必须准确地布置在相同的光轴上，以便消除由不垂直于光轴延伸的纸幅造成的错误测量。
然而，尤其由于运动纸幅的空气拥堵可能造成设置在料幅相互对置侧的光学测量单元或测量头之间的歪斜，这导致料幅厚度值不正确。
这种例如由运动的料幅或纤维料幅10的空气拥堵造成的上部和下部光学测量单元或其试验板12、14之间的歪斜可由图1看出，该图1以示意图示出了一种传统的用于无接触地确定厚度的装置，其中，各测量单元分别只配有一个光学传感器16或18。在这种传统的装置中，试验板12、14的歪斜和上部与下部光学测量单元或其试验板12、14之间可能出现的错移不能被补偿。因此，在这种在料幅各侧面上只有一道光路的传统装置中产生不准确的测量。
如果上部与下部传感器之间附加地形成错移，则这导致在材料厚度测量中产生附加的误差。错移可能由于上部与下部传感器滑座(Sensorwagen)之间的定向误差或者通过测量头的歪斜造成。
本发明所要解决的技术问题在于，提供一种开头所述类型的改进的方法以及一种改进的装置，其中，相应的错误测量得到补偿并且通过这种方法和装置实现了更准确的测量。
就方法而言，该技术问题按本发明由此解决，即，布置在料幅相互对置侧的光学测量单元分别配设有多个彼此间隔的光学传感器，并且借助评估单元根据由光学传感器获得的测量值进行料幅厚度的修正。
为此，借助评估单元根据由光学传感器获得的测量值确定试验板相对于料幅的倾斜角。
随即借助评估单元将所确定的试验板相对于料幅的倾斜角用于修正料幅厚度值。
由于这种设计构造，在确定材料厚度时也可以补偿试验板可能出现的歪斜。对料幅厚度值修正的优化通过将各光学测量单元的光学传感器之间的距离选择得尽可能大而实现。各光学测量单元的光学传感器尤其可以装入到有关的试验板中。
布置在料幅相对置侧的光学测量单元优选分别配设有至少三个彼此间隔的光学传感器。
按照按本发明方法的一种优选的实用设计方案，布置在料幅相对置侧的光学测量单元分别只配设有三个彼此间隔的光学传感器，因此可以分别进行三点测量。
优选磁性地确定布置在料幅相互对置侧的光学测量单元之间的距离。
为了进一步改善对料幅厚度值的修正，按照本发明附加地通过xy-测量单元确定布置在料幅相互对置侧的试验板之间的错移。
优选借助光学的xy-测量单元确定所述错移，该光学的xy-测量单元由试验板之一中的光学的2*2探测器和装入相对置的试验板中的光源组成。
为此，评估单元可以配设有相应的算法，通过该算法可以确定倾斜角和错移并且相应地修正各光学测量单元的信号。
相宜地，在每个配属于各光学测量单元的试验板与料幅之间形成气垫，以便使测量单元与料幅保持一定距离。
按照本发明装置的特征在于，布置在料幅相互对置侧的光学测量单元分别包括多个彼此间隔的光学传感器，并且评估单元设计成根据由光学传感器获得的测量值确定试验板相对于料幅的倾斜角。
此外，评估单元还设计用于将所确定的试验板相对于料幅的倾斜角用于修正料幅厚度值。
为了进一步改善准确性，设置有确定布置在料幅相互对置侧的试验板之间的错移的xy-测量单元。
xy-测量单元优选光学地工作并且由试验板之一中的光学的2*2探测器和装入相对置的试验板中的光源组成。
按本发明装置的其它优选实施形式由从属权利要求得出。
通过按本发明的解决方案明显提高了测量准确性。在此，可以尤其通过料幅每侧的三道光路和优选光学的触发进行测量，以确定错移。例如可以使用具有朗伯特-特性的pin二极管。通过分别设置在料幅的每侧的三道光路还可以附加地补偿倾斜位置。光路沿x方向和y方向的划分可以是不同的。可以考虑为料幅的各侧面上的所有光路使用一个光源。
此外，各光学传感器尤其可以如EP 1 855 082A1或者EP 1 855 083A1中描述的那样进行设计。
例如由EP 1 855 082A1已知一种光学传感器，其带有用于确定与某一物体的间距的装置，其中设置有至少一个透镜装置，以便使由光源，尤其是激光光源发出的光聚焦到物体上并且收集由物体反射和散射回的光，还设置有具有圆形开口的孔眼光阑，以便由反射的和散射回的光形成圆形的光束，并且还设置有接收圆形光束的检测系统，其感应光束直径，其中，根据检测系统的信号确定与物体的间距。尤其配属于检测系统的分析器可以设计用于确定物体的厚度。在此，可以在物体的两侧分别设置至少一个透镜装置，并且布置在不同侧的透镜装置彼此可以具有规定的距离。在这种情况下，物体的厚度尤其可以这样确定，即，将分别确定的、设置在物体两侧的透镜装置与物体的距离相加，并且从透镜装置之间规定的或确定的距离中减去所求得的和。
在EP 1 855 083A1中描述了一种类似的光学传感器，其中应用了相关性较小的光源，其尤其可以包括超级发光二极管。在各透镜装置和物体之间可以设置光学窗口。
以下参照附图根据实施例进一步阐述本发明。在附图中：
图1是传统的用于无接触地确定厚度的装置的局部示意图；并且
图2是按本发明的用于无接触地确定料幅厚度的装置的一种示例性实施形式的局部示意图；
图3是按本发明装置的另一种实施形式的局部示意图。
图2以局部示意图示出了按本发明的用于无接触地确定料幅20的厚度的装置，该料幅20例如可以是纤维料幅，尤其是纸幅或纸板幅。
所述装置包括带有至少两个光学测量单元22、24的传感器装置，料幅20能够从这两个光学测量单元之间导引通过并且这两个光学测量单元在其朝向料幅20的侧面上具有分别一个试验板26、28。
在此，可以通过布置在料幅20相互对置侧的光学测量单元22、24分别确定其与料幅20的距离。然后，借助评估单元由所确定的光学测量单元22、24与料幅20之间的距离以及布置在料幅20相互对置侧的光学测量单元22、24之间的距离确定料幅20的厚度。
布置在料幅20相互对置侧的光学测量单元22、24分别包括多个彼此间隔的光学传感器30。
在此，布置在料幅20相互对置侧的光学测量单元22、24可以分别包括至少三个彼此间隔的光学传感器30。
在该实施例中，布置在料幅20相互对置侧的光学测量单元22、24分别只包括三个彼此间隔的光学传感器30。
此外，可以设置用于磁性地确定布置在料幅20相互对置侧的光学测量单元22、24之间或者试验板26、28之间的距离的器件。
该器件例如可以是三个磁性传感器，它们分别配属于三个光学传感器之一。
相宜地，也设置有用于在每个配属于各光学测量单元22、24的试验板26、28与料幅20之间形成气垫32并且由此使测量单元22、24与料幅20保持一定距离的器件。
图3示出附加地具有xy-测量单元的实施形式，该xy-测量单元由上部试验板中的光源33构成，所述光源的光束34照射到2x2的探测器35上，并且因此可以推断出上部与下部试验板26、28的错移。
在此必须这样选择光源，使得光束34能够穿透料幅并且在探测器表面上产生可测量的信号。
在此，评估单元设计成根据由光学传感器30得到的测量值确定试验板26、28相对于料幅20的倾斜角并且在存在xy-测量单元时还确定由该xy-测量单元测定的、布置在料幅20相互对置侧的光学测量单元22、24或其试验板26、28之间的错移。
评估单元尤其设计成，将所确定的试验板26、28相对于料幅20的倾斜角和/或所确定的布置在料幅20相互对置侧的光学测量单元22、24或其试验板26、28之间的错移用于修正料幅厚度值。
如已经提到的那样，光学传感器30还可以如在EP 1 855 082A1或者EP1 855 083A1中描述的那样进行设计。
附图标记清单
10  料幅
12  试验板
14  试验板
16  光学传感器
18  光学传感器
20  料幅
22  光学测量单元
24  光学测量单元
26  试验板
28  试验板
30  光学传感器
32  气垫
33  光源
34  光束
35  2x2检测器
36  磁性传感器
37  倾斜角

Claims (14)

1.一种用于借助传感器装置无接触地确定料幅(20)，尤其是纤维料幅的厚度的方法，所述传感器装置包括至少两个光学测量单元(22、24)，所述料幅(20)能够在这两个光学测量单元之间导引通过，并且这两个光学测量单元在其朝向所述料幅(20)的一侧具有分别一个试验板，其中，通过布置在所述料幅(20)相互对置侧的光学测量单元(22、24)可分别确定该光学测量单元(22、24)与所述料幅(20)的距离，并且借助评估单元由所确定的所述光学测量单元(22、24)与所述料幅(20)之间的距离以及所述布置在所述料幅(20)相互对置侧的光学测量单元(22、24)之间的距离确定所述料幅(20)的厚度，其特征在于，所述布置在所述料幅(20)相互对置侧的光学测量单元(22、24)分别配设有多个彼此间隔的光学传感器(30)，并且借助所述评估单元根据由所述光学传感器(30)得到的测量值确定所述试验板(26、28)相对于所述料幅(20)的倾斜角(37)。
2.按权利要求1所述的方法，其特征在于，借助所述评估单元将所确定的倾斜角(37)用于修正料幅厚度值。
3.按权利要求1所述的方法，其特征在于，所述布置在所述料幅(20)相互对置侧的光学测量单元(22、24)分别配设有至少三个彼此间隔的光学传感器(30)。
4.按前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，磁性地确定所述布置在所述料幅(20)的相互对置侧的光学测量单元(22、24)之间的距离。
5.按前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，通过xy-测量单元确定布置在所述料幅的相互对置侧的试验板之间的错移。
6.按权利要求6所述的方法，其特征在于，借助光学的xy-测量单元确定所述错移，该光学的xy-测量单元由所述试验板之一(26、28)中的光学的2*2探测器(35)和装入相对置的试验板(26、28)中的光源(33)组成。
7.按前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在每个配属于各光学测量单元(22、24)的试验板(26、28)和所述料幅(20)之间形成气垫(32)，以便使所述测量单元(22、24)与所述料幅(20)保持一定距离。
8.一种用于无接触地确定料幅(20)，尤其是纤维料幅的厚度的装置，该装置尤其用于实施按前述权利要求之一所述的方法，所述装置带有包括至少两个光学测量单元(22、24)的传感器装置，所述料幅(20)能够在所述两个光学测量单元之间导引通过，并且这两个光学测量单元在其朝向所述料幅(20)的一侧具有分别一个试验板(26、28)，其中，通过布置在所述料幅(20)相互对置侧的光学测量单元(22、24)能够分别确定该光学测量单元(22、24)与所述料幅(20)的距离，并且借助评估单元能够由所确定的所述光学测量单元(22、24)与所述料幅(20)之间的距离以及所述布置在所述料幅(20)相互对置侧的光学测量单元(22、24)之间的距离确定所述料幅(20)的厚度，其特征在于，所述布置在所述料幅(20)相互对置侧的光学测量单元(22、24)分别配设有多个彼此间隔的光学传感器(30)，并且所述评估单元设计成根据由所述光学传感器(30)获得的测量值确定所述试验板(26、28)相对于所述料幅(20)的倾斜角(37)。
9.按权利要求8所述的装置，其特征在于，所述评估单元设计成将所确定的、所述试验板(26、28)相对于所述料幅(20)的倾斜角(37)用于修正料幅厚度值。
10.按前述权利要求之一所述的装置，其特征在于，所述布置在所述料幅(20)相互对置侧的光学测量单元(22、24)分别包括至少三个彼此间隔的光学传感器(30)。
11.按前述权利要求之一所述的装置，其特征在于，设置有用于磁性地确定所述布置在所述料幅(20)的相互对置侧的光学测量单元(22、24)之间的距离的器件。
12.按前述权利要求之一所述的装置，其特征在于，设置有确定布置在所述料幅的相互对置侧的试验板之间的错移的xy-测量单元。
13.按前述权利要求之一所述的装置，其特征在于，所述xy-测量单元是光学的xy-测量单元，该光学的xy-测量单元由所述试验板之一中的光学的2*2探测器(35)和装入相对置的试验板中的光源(33)组成。
14.按前述权利要求之一所述的装置，其特征在于，设置有用于在每个配属于各光学测量单元(22、24)的试验板(26、28)与所述料幅(20)之间形成气垫(32)并且由此使所述测量单元(22、24)与所述料幅(20)保持一定距离的器件。
CN2010800390479A 2009-07-02 2010-06-07 通过修正定向误差无接触地确定料幅厚度的方法和装置 Pending CN102483322A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US22264809P 2009-07-02 2009-07-02
US61/222,648 2009-07-02
PCT/EP2010/057885 WO2011000665A1 (de) 2009-07-02 2010-06-07 Verfahren und vorrichtung zur berührungslosen bestimmung der dicke einer materialbahn mit korrektur des ausrichtfehlers

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102483322A true CN102483322A (zh) 2012-05-30

Family

ID=42320665

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2010800390479A Pending CN102483322A (zh) 2009-07-02 2010-06-07 通过修正定向误差无接触地确定料幅厚度的方法和装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9046349B2 (zh)
EP (1) EP2449338B1 (zh)
CN (1) CN102483322A (zh)
CA (1) CA2766843A1 (zh)
WO (1) WO2011000665A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104136884A (zh) * 2011-12-28 2014-11-05 美卓自动化有限公司 待测对象的测量
CN105705905A (zh) * 2013-10-28 2016-06-22 微-埃普西龙测量技术有限两合公司 对测量物体的厚度进行测量的方法以及用于应用该方法的设备
CN110260766A (zh) * 2019-07-29 2019-09-20 京东方科技集团股份有限公司 角度板检测治具、系统和检测方法

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011107771B4 (de) * 2011-04-15 2013-10-17 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Vorrichtung und Verfahren zur Dickenmessung eines Messobjekts
KR101897835B1 (ko) * 2012-07-24 2018-09-12 삼성에스디아이 주식회사 극판 두께 측정 장치 및 방법
AT513279B1 (de) * 2012-11-08 2014-03-15 Trumpf Maschinen Austria Gmbh Messeinrichtung und Messverfahren zum Messen der Dicke eines plattenförmigen Gegenstands sowie Biegemaschine
US9581433B2 (en) * 2013-12-11 2017-02-28 Honeywell Asca Inc. Caliper sensor and method using mid-infrared interferometry
JP6412735B2 (ja) * 2014-08-19 2018-10-24 株式会社東芝 光学式距離検出器を用いた厚さ測定装置
US10184784B2 (en) 2015-05-05 2019-01-22 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Device and method for measuring the width and thickness of a flat object
JP6368408B1 (ja) * 2017-08-08 2018-08-01 Ckd株式会社 ブリスタ包装機
CN113589310A (zh) * 2020-04-30 2021-11-02 宝山钢铁股份有限公司 一种热轧钢卷运输位置偏差检测方法及装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5798836A (en) * 1996-11-15 1998-08-25 Kabushiki Kaisha Toshiba Optical distance measuring apparatus and method therefor
WO1999044012A1 (en) * 1998-02-26 1999-09-02 Valmet Automation Inc. Method and apparatus for measuring caliper of moving web
CN101120230A (zh) * 2004-12-21 2008-02-06 霍尼韦尔国际公司 薄膜厚度的测量方法和设备
US20090056156A1 (en) * 2007-08-31 2009-03-05 Abb Ltd. Web Measurement Device

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7768629B2 (en) 2006-05-12 2010-08-03 Voith Patent Gmbh Device and process for optical distance measurement
US20070263228A1 (en) 2006-05-12 2007-11-15 Voith Paper Patent Gmbh Device and process for optical distance measurement

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5798836A (en) * 1996-11-15 1998-08-25 Kabushiki Kaisha Toshiba Optical distance measuring apparatus and method therefor
WO1999044012A1 (en) * 1998-02-26 1999-09-02 Valmet Automation Inc. Method and apparatus for measuring caliper of moving web
CN101120230A (zh) * 2004-12-21 2008-02-06 霍尼韦尔国际公司 薄膜厚度的测量方法和设备
US20090056156A1 (en) * 2007-08-31 2009-03-05 Abb Ltd. Web Measurement Device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104136884A (zh) * 2011-12-28 2014-11-05 美卓自动化有限公司 待测对象的测量
CN104136884B (zh) * 2011-12-28 2017-06-09 维美德自动化有限公司 待测对象的测量
CN105705905A (zh) * 2013-10-28 2016-06-22 微-埃普西龙测量技术有限两合公司 对测量物体的厚度进行测量的方法以及用于应用该方法的设备
CN105705905B (zh) * 2013-10-28 2019-08-13 微-埃普西龙测量技术有限两合公司 对测量物体的厚度进行测量的方法以及用于应用该方法的设备
CN110260766A (zh) * 2019-07-29 2019-09-20 京东方科技集团股份有限公司 角度板检测治具、系统和检测方法

Also Published As

Publication number Publication date
US9046349B2 (en) 2015-06-02
EP2449338A1 (de) 2012-05-09
US20120170059A1 (en) 2012-07-05
EP2449338B1 (de) 2013-08-14
WO2011000665A1 (de) 2011-01-06
CA2766843A1 (en) 2011-01-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102483322A (zh) 通过修正定向误差无接触地确定料幅厚度的方法和装置
US8294906B2 (en) Measuring head system for a coordinate measuring machine and method for optically measuring of displacements of a probe element
FI83911B (fi) Foerfarande och anordning foer maetning av ett hinnartat eller skivlikt bands tjocklek.
CN102549376B (zh) 应变测量仪和用于对应变测量仪进行空间定位的系统
US5714763A (en) Method and apparatus for optical alignment of a measuring head in an X-Y plane
CN100507454C (zh) 刻度尺和读取头设备
CN104160294A (zh) 利用干涉测量法确定距离变化的方法
CN101120230A (zh) 薄膜厚度的测量方法和设备
JP2014006134A (ja) 光学測定装置
CA2672679A1 (en) Method and apparatus for thickness measurement
CN102661709A (zh) 一种大行程运动台位移测量方法
CA2649933C (en) Calibration element for calibrating the magnification ratio of a camera, and a calibration method
CN206847594U (zh) 细长杆工件直线度检测系统
JP6430874B2 (ja) 測定方法
JP5158791B2 (ja) 測定装置
KR20130102499A (ko) 측정기와, 측정 오차의 보정 방법
US20140176703A1 (en) Device and method for measuring the running gear of a motor vehicle
US10151853B2 (en) Apparatus for inspecting robot hands
CN105783738B (zh) 一种增量式小量程位移传感器的测量方法
KR102010068B1 (ko) 에지부 두께 측정 장치 및 방법
CN105910537A (zh) 一种新型对称式小量程位移传感器及测量方法
KR100937477B1 (ko) 기준판을 이용한 좌표 측정기
KR102377271B1 (ko) 3차원 변위센서
CN102483321A (zh) 用于无接触地确定料幅厚度的方法
CN205619888U (zh) 一种增量式小量程位移传感器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20120530