CN102479517A - 压电元件安装状态检测方法及头悬架 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种检测安装以在基础构件和可移动构件之间形成执行器的一对压电元件的安装状态的方法，执行器中的所述压电元件以相反极性并排设置并互相平行地电连接，以及当对所述压电元件施加电压时，在所述压电元件并排设置的方向上相对所述基础构件细微地移动所述可移动构件。所述方法检测关于施加在所述压电元件的偏置电压变化的所述压电元件电容的变化，所述偏置电压在预定范围内变化，以及根据检测的电容变化的特性来确定压电元件安装状态。所述方法准确和容易地确定所述压电元件是否被准确安装在执行器上。

Description

压电元件安装状态检测方法及头悬架

技术领域

本发明涉及在制造例如头悬架时检测使用的压电元件安装状态的方法，该头悬架为设置在例如个人电脑的信息处理装置的磁盘驱动器中的设备。本发明还涉及通过压电元件安装状态检测制造的头悬架。

背景技术

小尺寸精密信息设备迅速发展，由于对这种设备的使用，对能够进行微小距离定位控制的微执行器的需求增长。例如，校正焦距和倾角的光学系统、控制墨头的喷墨打印机，以及控制头的磁盘驱动器特别需要微执行器。

磁盘驱动器通过增加每英寸的轨道数量(TPI)，即通过使磁盘上的每个轨道的宽度变窄来增加存储容量。

因此，大容量磁盘驱动器需要能够在跨过轨道的细微范围内精确定位头的执行器。

为满足上述需要，申请公开号为2010-86649的日本未审专利中公开了一种使用双执行器系统的头悬架。该双执行器系统除了使用了驱动连接头悬架的托架的常用音圈电机外，还使用了压电元件。

图23A为简略示出了头悬架的平面图，图23B为压电元件的等效电路，以及图23C示出了压电元件的变形。

在图23A中，头悬架101具有基板103，负载梁105，以及一对压电元件107a和107b。压电元件107a和107b被设置为相反极性以形成执行器109。负载梁105的前端支撑读/写头111。负载梁105和头111形成可移动构件。

在图23B中，压电元件107a和107b根据向其施加的电压而变形。即，取决于施加的电压，压电元件107a和107b如图23C所示的沿膨胀和收缩方向相反地变形。因此，头111相对基板103通过负载梁105在摆动方向微小地移动，所述摆动方向即压电元件107a和107b并排设置的方向。

为了精确地允许头111这样细微的移动，压电元件107a和107b必须根据设计精确地安装在头悬架101上。

然而，根据外表很难区分压电元件107a和107b以及其顶部和底部表面。鉴于此，可能错误地安装压电元件107a和107b到头悬架101上。

为了避免上述情况，存在一种使压电元件107a(107b)具有标识的技术，以使压电元件107a和107b能够从外表上区分。然而这种技术增加了污染问题，因而难以采用。

有另一种技术，对执行器109施加电压，测量头111的实际行程，并确定压电元件107a和107b是否正确地安装在头悬架101上。

头111的实际行程是非常小的，例如50至100nm，因此，该实际行程仅能通过非常昂贵的精密测量装置测得。

美国专利No.6639411公开了另一种技术。该技术强制移置头悬架101，并且根据此时获得的信号，确定压电元件107a和107b的方向以及压电元件是否正确地安装在头悬架101上。

图24A为示出了图23A的头悬架101安装在硬盘驱动器上的简略视图，以及图24B为示出了在自由状态下单独支撑的头悬架101的视图。

从图24A和24B的对比明显看出，单独支撑的头悬架101区别于安装在硬盘驱动器并在负载梁105上接收负载的头悬架101。当单独支撑的头悬架101接收用于测试的振动时，头悬架101的负载梁105不稳定地运动以提供不稳定的数据。根据这些不稳定的数据，不能准确地确定头悬架101的压电元件107a和107b的安装状态。

另外，上述的相关技术难以检测与执行器109连接的线路中的故障。

发明内容

本发明的目的是提供一种准确检测执行器的压电元件的安装状态的方法。

为实现该目的，本发明的一个方面提供了一种检测在基础构件和可移动构件之间安装以形成执行器的一对压电元件的安装状态的方法，该压电元件以相反极性并排设置并互相平行地电连接，以及当对压电元件施加电压时，在压电元件并排设置的方向上相对基础构件细微地移动可移动构件。该方法包括检测关于施加在压电元件的偏置电压变化的压电元件电容的变化的步骤，该偏置电压在预定范围内变化，以及根据检测的电容变化的特性来确定压电元件安装状态的步骤。

本发明的该方面根据检测的电容变化的特性，准确且容易地确定了压电元件是否准确地安装以形成执行器。

附图说明

图1A至1C是示出了头悬架和安装在其上的压电元件的平面图，其中图1A示出了正常产品，图1B示出了每个压电元件的正极在顶部的废品(P-NG废品)，以及图1C示出了每个压电元件的负极在顶部的废品(N-NG废品)；

图2A示出了施加了正向偏置电压的压电元件的等效电路；

图2B是示出了具有零初始状态的图2A的压电元件的电容-电压特性曲线图表；

图3A示出了施加了正向/反向偏置电压的一对压电元件的等效电路；

图3B是示出了具有零初始状态的图3A的压电元件的电容-电压特性曲线图表以及示出了由两个压电元件的特性构成的组合电容-电压特性曲线的图表；

图4A至4C是施加了正向/反向偏置电压的一对压电元件的等效电路，其中图4A示出了正常产品，图4B示出了P-NG废品，以及图4C示出了P-NG废品；

图5是示出了具有零初始状态的图4A至4C的压电元件的电容-电压特性曲线的图表；

图6是简单示出了根据本发明的一个实施例的检测原理的相对于范围在0V至20V的偏置电压的电容变化的图表；

图7是示出了相对于20V和0V的两种情况的偏置电压的电容值图表；

图8是简单示出了根据本发明的一个实施例的检测原理的关于范围在20V至-20V的偏置电压的电容变化的图表；

图9是示出了关于20V和-20V的两种情况的偏置电压的电容值图表；

图10是示出了带有关于范围在20V至-20V的偏置电压的电容值的电容变化的图表；

图11是根据零电容和零偏置电压将图10的图表标准化的图表；

图12是示出了根据基于本发明一个实施例的检测原理的电压灵敏度图表；

图13是根据图12的检测原理的用于区别压电元件的表；

图14和15是分别示出了根据图12的检测原理的电容值的分布和阈值；

图16至19是示出了与压电元件连接的线路中的故障的局部平面图；

图20是示出了在图16和17的压电元件的实例样品上测量的电容-电压特性曲线的图表；

图21是示出了在图18和19的压电元件的实例样品上测量的电容-电压特性曲线的图表；

图22A至22C是分别与一对压电元件的实例样品的电容值一起表示的等效电路，其中图22A具有完全线路故障，图22B具有单一线路故障，以及图22C没有线路故障；

图23A至23C是示出了根据相关技术的具有一对压电元件的头悬架的视图，其中图23A是头悬架的平面图，图23B是压电元件的等效电路，以及图23C是示出了压电元件的变形的模型；

图24A示出了在硬盘驱动器中的磁盘上的图23A的头悬架；以及

图24B示出了在自由状态下单独支撑的图23A的头悬架。

具体实施方式

本发明根据相对于在预定范围内变化的偏置电压的压电元件的电容变化特性检测安装以形成执行器的压电元件的安装状态。在每个实施例中，将参照附图具体说明检测在头悬架上安装以形成执行器的一对压电元件的安装状态的方法的实例。

图1A至1C是示出了头悬架和安装在其上的压电元件的平面图。在图1A中，头悬架为压电元件正确安装在其上的正常产品。在图1B中，头悬架为每个正极在顶部的压电元件错误地安装在其上的废品(P-NG废品)。在图1C中，头悬架为每个负极在顶部的压电元件错误地安装在其上的废品(N-NG废品)。

头悬架1具有作为基础构件的基板3、负载梁5、以及执行器9。执行器9由例如PZT(锆钛酸铅)制成的并设置在基板3和负载梁5之间的一对压电元件形成。该压电元件以相反极性并排设置。

即，如果正确设置，则压电元件之一被设置为其正极在顶部和负极在底部，以及另一个压电元件设置为其负极在顶部和正极在底部。

负载梁5的前端支撑一个读/写头11。该负载梁和头11形成可移动构件。即，在作为基础构件的基板3和作为移动构件的负载梁5和头11之间安装压电元件以形成执行器9。头11包括连接到弯曲部分13的舌部的滑块15。该弯曲部分13例如通过激光点焊固定在负载梁上。

在图1A中，头悬架1为包括正确设置以形成正常状态的执行器9的压电元件7a和7b的正常产品。该正常状态表示为P-N-正常状态。当从弯曲部分13侧观察时，如图1A所示，基板3处于下侧，左压电元件7a具有在顶部的正极(通过阴影矩形表示)以及右压电元件7b具有在顶部的负极(通过空白矩形表示)。弯曲部分13包括连接到压电元件7a和7b的顶部电极的线路。在相对侧，压电元件7a和7b的底部电极通过例如导电胶连接到基板3。即，压电元件7a和7b相互平行地电连接。

在以下说明中，在顶部具有正极的压电元件表示为P-PZT，并且在顶部具有负极的压电元件表示为N-PZT。

当施加电压时，执行器9的P-PZT 7a和N-PZT 7b根据施加电压相反地变形以使得P-PZT 7a和N-PZT 7b之一膨胀而另一个收缩，由此相对基板3通过负载梁5在摆动方向上稍许地移动头11，所述摆动方向即P-PZT 7a和N-PZT7b并排设置的方向。

在图1B中，头悬架1A为仅包括在错误状态下设置在执行器9A上的P-PZT 7a的P-NG废品。该错误状态表示为P-P-错误状态。

在图1C中，头悬架1B为仅包括在错误状态下设置在执行器9B上的N-PZT 7b的N-NG废品。该错误状态表示为N-N-错误状态。

将说明根据本发明实施例的检测在头悬架上安装压电元件以形成执行器的安装状态的方法。该方法检测头悬架1、1A和1B的执行器9、9A和9B中的压电元件，以区分图1A的正常产品和图1B和1C的废品。

该方法施加在预定范围变化的偏置电压到压电元件上，检测压电元件的相对于预定范围内的偏置电压变化的电容变化，以及根据压电元件的电容变化特性确定压电元件的状态。

图2A示出了施加了正向偏置电压的压电元件的等效电路，图2B是示出了具有零初始状态的图2A的压电元件的电容-电压特性曲线图表，图3A示出了施加了正向/反向偏置电压的一对压电元件的等效电路，以及图3B是示出了具有零初始状态的图3A的压电元件的电容-电压特性曲线图表以及示出了由两个压电元件的特性构成的组合电容-电压特性曲线的图表。

当接收正向偏置电压时，图2A的压电元件7表现出如图2B所示的带有迟滞的电容-电压特性曲线17。

图3A的等效电路对应于图1A的头悬架1中设置的P-PZT 7a和N-PZT 7b。当接收偏置电压时，如在3B上部图表中所示，P-PZT 7a表现出电容-电压特性曲线19，以及N-PZT 7b表现出具有迟滞的电容-电压特性曲线21。组合电容-电压特性曲线19和21，如在图3B下部图表中所述，该特性曲线19和21形成了基本左右对称并且成V型的电压-电容特性曲线23。

图4A至4C是施加了正向/反向偏置电压的一对压电元件的等效电路。图4A对应于正常产品的图1A。图4B对应于P-NG废品的图1B。图4C对应于N-NG废品的图1C。图5是示出了具有零初始状态的图4A至4C的压电元件的电容-电压特性曲线的图表。

在图4A至4C以及其它附图中，“OK”表示正常产品，“P-NG”表示P-NG废品，以及“N-NG”表示N-NG废品。

当施加偏置电压时，图4A的正常产品表现出图5的电容-电压特性曲线27，图4B的P-NG废品表现出图5的电容-电压特性曲线29，以及图4C的N-NG废品表现出图5的电容-电压特性曲线31。

施加在压电元件的偏置电压的变化范围的最大值为最大反向偏置电压，该最大反向偏置电压为生成外部压力以完全抑制压电元件的膨胀的最大驱动电压的20％。

设置施加在压电元件的偏置电压的变化范围的最小值，以使要检测的电容的变化超出测量的波动或变化。

图6是简单示出了根据本发明的实施例的检测原理的关于范围在0V至20V的偏置电压的图4A至图4C的压电元件实例的电容变化的图表，图7是示出了关于20V和0V的两种情况的偏置电压的图4A至图4C的压电元件实例的电容值图表，图8是简单示出了根据本发明的实施例的检测原理的关于范围在20V至-20V的偏置电压的图4A至图4C的压电元件实例的电容变化的图表，图9是示出了关于20V和-20V的两种情况的偏置电压的图4A至图4C的压电元件实例的电容值图表。

图6和7的检测原理根据压电元件在电容上的变化(电容变化)是否在给定范围内来确定压电元件的安装状态。图8和9的检测原理根据相对于具有相同绝对值的正和负偏置电压，压电元件的电容变化是否相似地呈现来确定压电元件的安装状态。即，检测是否检测的电容变化特性表明了关于正偏置电压的电容变化对应于关于负偏置电压的电容变化，来确定图8和9的压电元件的安装状态，上述负偏置电压与上述正偏置电压具有相同的绝对值。每个检测原理确定了P-PZT 7a和N-PZT 7b是否准确设置并相互平行地连接。

在图6和7中，相对于20V和0V到的两种情况的偏置电压，具有P-N-正常状态(图4A)的压电元件的正常产品的电容差δ1为20.7，具有P-P-错误状态(图4B)的压电元件的P-NG废品的电容差δ2为68.7，以及具有N-N-错误状态(图4C)的压电元件的N-NG废品的电容差δ3为-32.6。因此，通过将检测的电容差与为20.7的正规电容差δ1对比，能够将具有P-P和N-N错误状态的P-NG废品和N-NG废品分别与正常产品进行区分。

在图8和9中，关于20V和-20V的两种情况的偏置电压的压电元件的电容差可被清楚地观测到。图8和9的检测原理检查了关于具有相同绝对值的正和负偏置电压的压电元件的电容值是否相互对应。

关于20V和-20V的偏置电压，具有P-N-正常状态的正常产品的压电元件显示电容差δ1为5.3，具有P-P-错误状态的P-NG废品的压电元件显示电容差δ2为99.1，以及具有N-N-错误状态的N-NG废品的压电元件显示电容差δ3为-93.5。P-N-正常状态的压电元件的电容差近似为0。即，关于具有相同绝对值的正和负偏置电压(20V和-20V)，P-N-正常状态的压电元件显示了近似相同的电容值。另一方面，关于具有相同绝对值的正和负偏置电压，P-P-错误或N-N-错误状态的压电元件显示了十分不同的电容值。

图10是示出了具有关于范围在20V至-20V的偏置电压的图4A至图4C的压电元件实例的电容值的指示电容变化的图表，以及图11是根据零电容和零偏置电压将图10的图表标准化的图表。

通过施加范围在20V至-20V的偏置电压到图1A、1B和1C的执行器实例9、9A和9B(对应于图4A、4B和4C的执行器9、9A和9B)上，来测量图10的电容值。通过根据作为变化的0电容和0偏置电压对图10的数据标准化，以获得图11的图表。图11的图表可用于容易地将正常产品与P-NG废品和N-NG废品区分开。

图12是示出了根据基于本发明实施例的检测原理的图4A至4C的压电元件实例的电压灵敏度图表，图13是用于区别压电元件的表格，图14是示出了根据图12的检测原理的关于20V和0V的两种状态的偏置电压的图4A至4C的压电元件实例的电容值的分布以及阈值的图表，以及图15是示出了根据图12的检测原理的关于20V和-20V的两种状态的偏置电压的图4A至4C的压电元件实例的电容值的分布以及阈值的图表。

压电元件也可通过这样的方式检测：通过检查检测的电容值变化特性是否表明了检测的电容值在阈值范围内变化来确定压电元件的安装状态。

在图12中，“a”为关于正偏置电压的P-PZT电容的电压灵敏度，“b”为关于负偏置电压的P-PZT电容的电压灵敏度，“a′”为关于正偏置电压的N-PZT电容的电压灵敏度，“b′”为关于负偏置电压的N-PZT电容的电压灵敏度。

在图13中，关于偏置电压V的具有P-N-正常状态的正常产品的电容差δCok(V)如以下表达：

δCok(V)＝(a-b′)V

相似地，关于偏置电压V的具有P-P-错误状态的P-NG废品的电容差δCpng(V)如以下表达：

δCpng(V)＝2aV

正常产品和P-NG废品的电容值之间的差如下：

δCpng(V)-δCok(V)＝2aV-(a-b′)V＝(a+b′)V

设置偏置电压V以使关于电容测量波动的差“(a+b′)V”具有有效值。

如果电容测量波动在范围“d”之中，则关于两种情况的两个偏置电压的电容差变化范围将为“2d”。因此，用于发现P-NG废品的电压V如下：

(a+b′)V＞＞2d

V＞＞2d/(a+b′)

相似地，用于发现N-NG废品的电压V如下：

V＞＞2d/(a′+b)

形成头悬架的执行器的P-PZT和N-PZT一般满足“a＝a′”以及“b＝b′”，因此，用于检测压电元件的电压V如下：

V＞＞2d/(a+b)

即，得出了用于检测执行器的偏置电压V必须显著地大于通过加倍电容检测波动范围并将加倍的结果除以正偏置电压范围和负偏置电压范围中的电容-电压斜度的和而得到的值。

根据在P-NG废品实例和N-NG废品实例上的检测，得到以下值：

a＝1.6[pF/V]

b′＝0.9[pF/V]

如果d为10[pF]，则电压V必须为：

V＞＞8[V]

由于a＞b并且a′＞b′，在0V偏置电压的电容值与在V(或-V)偏置电压的电容值之间的正常产品的电容差δCok，P-NG废品的电容差δCpng，以及N-NG废品的电容差δCnng具有以下关系：

δCpng＞δCok＞δCnng

根据实例的分布研究，正常产品和废品实际上可通过取决于电容测量准确性和偏置电压的较窄阈值范围来互相区分。实质上，电容差δCok和δCpng的中间值以及电容差δCok和δCnng的中间值可作为阈值用于检测压电元件。

用于确定正常产品的关于偏置电压V和0的电容差范围的上限δCth和下限δCtl如下：

δCth＝(δCpng(V)+δCok(V))/2＝(3a-b′)V/2

δCtl＝(δCok(V)+δCnng(V))/2＝(a-3b′)V/2

通过使用从在实例上进行的检测得到的上述值，得到关于偏置电压V＝20[V]的以下值：

δCth＝40pF

δCtl＝-10pF

如图14所示，通过这些阈值，使正常产品和废品互相区分。

由于用于测量“a”和“b”的实例数量较少，阈值稍微向负侧偏移。

将会说明用于通过使用偏置电压V和-V发现正常产品的电容差的上限δCth和下限δCtl。

通常，“a”近似等于“a′”并且“b”近似等于“b′”，因此，δCok(V)近似等于δCok(-V)。相应地，阈值将会如下：

δCth＝(δCpng(V)-δCpng(-V))/2＝(a+b)V

δCtl＝(δCnng(V)-δCnng(-V))/2＝-(a′+b′)V

通过使用从实例检测得到的值，得到以下值：

δCth＝52pF

δCtl＝-47.8pF

如图15所示，通过这些阈值，使正常产品和废品互相区分。

由于用于检测的两个偏置电压之间的差增加，电容差扩大以提高检测的准确性。

图16至19是示出了与压电元件连接的线路的断开示例的局部平面图，图20是示出了在图16和17的压电元件的实例上测量的电容-电压特性曲线的图表，以及图21是示出了在图18和19的压电元件的实例上测量的电容-电压特性曲线的图表。

在图16至19中，每个执行器具有在箭头指示的位置上的电路断开。当施加偏置电压在图16和17任一执行器上时，仅左侧的压电元件P-PZT通电。相似地，当施加偏置电压在图18和19任一执行器上时，仅右侧的压电元件N-PZT通电。

得到如图20所示的图16和17的实例的电容-电压特性曲线以及得到如图21所示的图18和19的执行器的实例的电容-电压特性曲线.

将给定产品或头悬架的电容-电压特性曲线，例如图20和21示出的其中之一，与正常产品的电容-电压特性曲线进行对比，能够确定给出的头悬架是否具有线路断开。由此，确定压电元件的安装状态确定了压电元件在接收电压的电路中是否包含断开。

在给具有两个压电元件的执行器提供电源的线路中的连接故障以及该连接故障的类型，将通过发现关于两种情况的偏置电压的执行器的电容差δC和关于两个偏置电压之一的执行器的电容值来确定。这将会更详细地说明。

图22A至22C是分别与一对压电元件的实例的电容值一起表示的等效电路，其中图22A具有完全线路断开，图22B具有单一线路断开(半断开)，以及图22C没有线路断开。

通常，P-PZT的电容与N-PZT的电容基本上相等。图22C的没有线路断开的正常产品具有标准电容值Cstd，图22A的带有完全线路断开的废品具有0电容值，以及带有单一线路断开的废品具有“Cstd/2”的电容值。

给出的头悬架显示了关于偏置电压V的电容值C(V)。如果C(V)＜Cstd/4，则确定该头悬架具有完全线路断开，即，执行器的一对压电元件的每个都具有连接故障。如果Cstd/4＜C(V)＜Cstd×3/4，则确定该头悬架具有单一线路断开，即，执行器的压电元件的一个具有连接故障。如果C(V)＞Cstd×3/4，则确定该头悬架为正常的。

如果确定了给出的头悬架的压电元件之一有线路断开，则通过测量关于两种情况的两个偏置电压的电容差δC确定具有故障的压电元件。

采用两种情况的偏置电压V和0，得到如以下的P-PZT的线路断开：

δCpcut＝δCpcut(V)-Cpcut(0)＝-b′V

其中“pcut”表示具有线路断开的P-PZT。

相似地，得到如以下的N-PZT的线路断开：

δCncut＝δCncut(V)-Cncut(0)＝aV

其中“ncut”表示具有线路断开的N-PZT。

通过将给定的电容差δC与δCpcut和δCncut的中间值进行对比，能够找出给定的产品或头悬架中的哪个压电元件具有线路断开。即，如果δC＞(a-b′)V/2，则N-PZT具有线路断开，以及如果δC＜(a-b′)V/2，则P-PZT具有线路断开。

根据偏置电压V和-V，得到如以下的P-PZT的线路断开：

δCpcut＝Cpcut(V)-Cpcut(-V)＝-(a′+b′)V

相似地，得到如以下的N-PZT的断开：

δCncut＝Cncut(V)-Cncut(-V)＝(a+b)V

通常，“a”近似等于“a′”以及“b”近似等于“b′”，因此，δCpcut和δCncut的中间值为0。相应地，如果δC＞0，则确定给出的头悬架的P-PZT具有线路断开，以及如果δC＜0，则确定给出的头悬架的N-PZT具有线路断开。

存在单一线路断开和设置错误同时发生在给出的产品或头悬架中的可能性。因此，精确地识别错误类型需要将确定给出的头悬架的压电元件的安装状态与检测关于尾垫的PZT的导电性进行组合。即，如果确定头悬架为具有P-P-错误和N-N-错误状态之一，则必须在头悬架的压电元件的电极与线路尾垫之间进行导电性检测，以确定是否存在线路断开。

根据本发明的检测安装在物体上的压电元件的安装状态的方法不仅可应用于头悬架的执行器，也可应用于其它设备的执行器，只要该每个执行器具有一对相互以相反极性并排设置的压电元件。

用于本发明的方法的两种情况的偏置电压值V1和V2不局限于V1(＝给定值)和V2(＝0V)，或者V1(＝给定值)和V2(＝-V1)。偏置电压V1和V2可取任意值，只要其在最大驱动电压的20％以内并且具有可识别的电压差。例如，偏置电压V1和V2在说明书的实例中可为-5V和+15V。

Claims (10)

1.一种检测一对压电元件的安装状态的方法，所述一对压电元件被安装成在基础构件和可移动构件之间形成执行器，所述压电元件以相反极性并排设置并互相平行地电连接，并且当对所述压电元件施加电压时，在所述压电元件并排设置的方向上相对于所述基础构件细微地移动所述可移动构件，所述方法包括以下步骤：

检测关于施加在所述压电元件上的偏置电压变化的所述压电元件电容的变化，所述偏置电压在预定范围内变化；以及

根据检测的电容变化的特性，确定所述压电元件的安装状态。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述确定步骤检查是否所述检测的电容变化特性表明关于正偏置电压的电容变化对应于关于负偏置电压的电容变化，所述负偏置电压与所述正偏置电压具有相同的绝对值。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述确定步骤检查是否所述检测的电容变化特性表明所述检测的电容变化在阈值范围内。

4.根据权利要求1所述的方法，其中根据零电容值和零偏置电压值使所述检测的电容变化标准化。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述偏置电压的预定范围的最大值为最大反向偏置电压，所述最大反向偏置电压为完全抑制所述压电元件膨胀的最大驱动电压的20％。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述偏置电压的预定范围的最小值被设置成使任何所述检测的电容变化都超出测量的波动。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述确定步骤确定所述压电元件是否被准确设置。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述确定步骤确定所述压电元件在所述压电元件接收电压的电路中是否包含断开。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述基础构件为头悬架的基板，以及可移动构件为由连接到所述基板的负载梁所支撑的读/写头。

10.一种根据权利要求1所述的方法检测的头悬架，包括：

基板，其用作所述基础构件；以及

读/写头，其用作所述可移动构件，并由连接到所述基板的负载梁支撑。

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