CN102468907A - 工艺数据的传送方法、装置及系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种工艺数据的传送方法、装置及系统，所述方法包括：预先配置各种工艺数据的类型，所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据；采集工艺过程中的工艺数据，并判断所述工艺数据的类型；如果所述工艺数据为实时性工艺数据，则每隔预置时间间隔将所述实时性工艺数据传送至上位机；如果所述工艺数据为非实时性工艺数据，则缓存所述非实时性工艺数据；且当满足预置的上传条件时，打包所述缓存的非实时性工艺数据以生成数据包；并传送所述数据包至上位机。通过本发明，减少了设备端控制软件和上层软件数据交互的通信压力，提高了数据传送的可靠性。

Description

工艺数据的传送方法、装置及系统

技术领域

本发明涉及半导体工艺处理技术，特别是涉及一种工艺数据的传送方法、装置及系统。

背景技术

在硅片刻蚀等半导体生产领域中，工艺控制的软件架构包括上层软件和设备端控制软件(也称下层软件)两层：上层软件包括工厂软件、先进工艺控制(APC，Advanced Process Control)软件等，其运行在相应的上位机中；设备端控制软件运行在不同的设备端上，负责对硅片的刻蚀工艺进行控制、记录工艺过程中的数据参数、以及将所记录的数据参数传送给上层软件。设备端采集工艺处理过程中的各种参数，比如压力、温度、射频电压、硅片标识(wafer ID)、批次标识(lot ID)、工艺开始时间、工艺结束时间等。现有的设备端向上位机传送所采集的数据参数，主要是随着时间的变化实时地传送所述数据，也就是在工艺过程中记录各种数据参数，同时把各个数据参数同步传送给上位机。

现有的工艺数据的传送方法为：设备端根据上位机所发送的控制指令，通过设备端控制软件直接对刻蚀机进行控制，并且记录随时间的递增而变化的各种参数的数值，然后将这些数据通过接口软件传送到上位机，由上位机的上层软件分析所采集到的数据。通过这些数据，操作人员在上位机上可以监控并分析设备的运行状况，并根据相应的分析结果将控制消息发送给设备端，控制工艺进程；还可以通过分析寻找工艺改进的方向，提高工艺水平。

目前工厂中的刻蚀设备大部分是24小时工作，设备端控制软件既负责工艺过程的控制又要对上百种参数进行记录及传送，工作任务较重。为了在上位机上同步更新上百种参数，设备端与上位机进行数据通信时会给设备端控制软件造成较大的通信压力，降低了设备控制软件的可靠性。此外，由于软件架构的原因，在上层软件与设备控制软件之间可能存在几层软件，将参数同步更新给上层软件过程中，会因为软件接口及软件系统等各种原因，造成数据更新的错误。例如，可以造成数据实时更新的次序错误，即设备控制软件发送的数据与上层软件接收到的数据次序不一致。

总之，需要本领域技术人员迫切解决的一个技术问题就是：如何能够提供一种工艺数据的采集方法，减少设备端控制软件和上层软件数据交互的通信压力，提高数据传送的可靠性。

发明内容

本发明提供一种工艺数据的传送方法、装置及系统，用以解决现有技术中设备端控制软件和上层软件数据交互的通信压力大，数据传送的可靠性较低的技术问题。

为了解决上述问题，本发明公开了一种工艺数据的传送方法，包括：

预先配置各种工艺数据的类型，所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据；

采集工艺过程中的工艺数据，并判断所述工艺数据的类型；

如果所述工艺数据为实时性工艺数据，则每隔预置时间间隔将所述实时性工艺数据传送至上位机；

如果所述工艺数据为非实时性工艺数据，则缓存所述非实时性工艺数据；且当满足预置的上传条件时，打包所述缓存的非实时性工艺数据以生成数据包；并传送所述数据包至上位机。

优选的，传送所述数据包至上位机具体为：通过线程池分配的专用线程，将数据包上传至上位机。

优选的，所述将数据包传送至上位机，包括：

将数据待发消息发送至上位机；接收上位机返回的数据接收消息；将数据已发消息和所述数据包发送至上位机。

优选的，依据所述非实时性工艺数据的数据变化率的快慢和/或数据量的大小预置所述上传条件。

优选的，所述上传条件包括：当前硅片工艺结束、当前批次硅片工艺结束和达到预置累计时段。

相应的，本发明还公开了一种工艺数据的传送装置，包括：

类型配置模块，用于预先配置各种工艺数据的类型，所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据；

数据采集模块，用于采集工艺过程中的工艺数据；

类型判断模块，用于依据类型配置模块的配置，判断所述数据采集模块采集的工艺数据的类型；

第一传送模块，用于当所述类型判断模块判断所述工艺数据为实时性工艺数据时，每隔预置时间间隔将所述实时性工艺数据传送至上位机；

数据缓存模块，用于当所述类型判断模块判断所述工艺数据为非实时性工艺数据时，缓存所述非实时性工艺数据；

第二传送模块，用于当所述数据缓存模块缓存的非实时性工艺数据满足预置的上传条件时，打包所述缓存的非实时性工艺数据以生成数据包；并传送所述数据包至上位机。

优选的，所述第二传送模块传送所述数据包至上位机具体为：通过线程池分配的专用线程，将数据包上传至上位机。

优选的，所述第二传送模块包括：

消息发送子模块，用于将数据待发消息发送至上位机；

消息接收子模块，用于接收上位机返回的数据接收消息；

数据上传子模块，用于将数据已发消息和所述数据包发送至上位机。

优选的，依据所述非实时性工艺数据的数据变化率的快慢和/或数据量的大小预置所述上传条件。

优选的，所述上传条件包括：当前硅片工艺结束、当前批次硅片工艺结束和达到预置累计时段。

此外，本发明还公开了一种工艺数据的传送系统，包括设备端和上位机；

所述设备端包括工艺数据的传送装置，所述传送装置包括：

类型配置模块，用于预先配置各种工艺数据的类型，所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据；

数据采集模块，用于采集工艺过程中的工艺数据；

类型判断模块，用于判断所述数据采集模块所采集的工艺数据的类型；

第一传送模块，用于当类型判断模块判断所述工艺数据为实时性工艺数据时，每隔预置时间间隔将所述实时性工艺数据传送至上位机；

数据缓存模块，用于当类型判断模块判断所述工艺数据为非实时性工艺数据时，缓存所述非实时性工艺数据；

第二传送模块，用于当数据缓存模块所缓存的非实时性工艺数据满足预置的上传条件时，打包所述缓存的非实时性工艺数据以生成数据包；并传送所述数据包至上位机；

所述上位机包括：

数据获取模块，用于获取所述设备端的第一传送模块传送的工艺数据，或者获取所述设备端的第二传送模块传送的数据包。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

本发明通过预先配置各种工艺数据的类型，针对所采集的工艺数据判断所述工艺数据的类型，对于非实时性工艺数据，由现有技术中的同步上传改为异步上传，即在满足上传条件时通过打包上传至上位机，由于异步上传减少了设备端与上位机的数据通信次数，因此有效地减少了设备端控制软件的数据通信压力。并且，通过简单的数据打包，在不影响设备端数据采集、上位机数据获取的情况下，可以减少因为上层软件与设备控制软件之间的中间软件的原因造成的数据更新错误的问题，提高了数据传送的可靠性。

此外，线程池分配的专用线程专门用于设备端与上位机的数据交互，通过专用线程将非实时性工艺数据的数据包上传至上位机，以和实时性工艺数据的传送分开执行，可以进一步减少设备端的数据通信压力。

附图说明

图1是本发明一种工艺数据的传送方法实施例的流程图；

图2是本发明方法实施例的步骤14的子步骤的流程图；

图3是本发明一种工艺数据的传送装置实施例的结构图；

图4是本发明一种工艺数据的传送系统实施例的结构图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

本发明提出了一种改进的工艺数据的传送方法。预先在设备端对采集的工艺数据根据数据进行分类，分为需要实时更新的数据与不需要实时更新的数据。对实时更新的数据采用与现有技术相同的方式同步上传至上位机。对不需要实时更新的数据，根据上传条件进行异步打包，并将打包数据传送至上位机。减轻了设备控制软件的工作压力，并减少了设备端向上位机传送工艺数据过程中出现错误的风险。下面通过具体实施例对本发明工艺数据的传送方法进行详细说明。

参照图1，示出了本发明一种工艺数据的传送方法实施例的流程图，包括如下步骤：

步骤11，预先配置各种工艺数据的类型，所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据；

首先需要在设备端(也称为下位机)上对各种工艺数据进行预先配置，以区分实时性更新的工艺数据和不需要实时性更新的工艺数据。某些工艺参数需要实时传送至上位机，通过工艺数据的实时更新来监视工艺过程的进展情况，例如温度数据、压力数据、射频电压数据等，则此类工艺数据预先配置为实时性工艺数据。而某些工艺参数提供给上位机的上层软件以用作统计分析，例如刻蚀效率，或者某些工艺数据的采集具有阶段性，例如刻蚀深度、工艺开始时间、工艺结束时间等，这些数据就不需实时更新，则此类工艺数据预先配置为非实时性工艺数据。

可以理解的是，各种工艺数据类型的配置不是绝对的，可以根据用户的需求和工艺处理情况进行灵活变动。例如当需要特别关注刻蚀深度时，为了保证用户能够监控硅片刻蚀深度的变化，也可以将其配置为实时性工艺数据。

步骤12，采集工艺过程中的工艺数据，并判断所述工艺数据的类型；如果所述工艺数据为实时性工艺数据，则执行步骤13；如果所述工艺数据为非实时性工艺数据，则执行步骤14；

在刻蚀机加工半导体过程中，设备端实时采集各种工艺数据，并根据步骤11中预先配置的工艺数据的类型，判断识别是实时性工艺数据还是非实时性工艺数据，并根据判断结果执行不同的步骤，采用不同的方式将工艺数据传送至上位机。

步骤13，每隔预置时间间隔将实时性工艺数据传送至上位机；

如果步骤12中判断的所采集工艺数据为实时性工艺数据，则采用与现有技术相同的方式，即每隔预置时间间隔将工艺数据传送至上位机，进行记录更新，以保证上位机能够及时性获取到工艺数据。

在本发明的具体实施例中，所述每隔预置时间间隔将工艺数据传送至上位机可以由主动和被动两种方式实现。具体的，可以每隔预置时间间隔，由设备端将工艺数据主动上传至上位机；或者，还可以每隔预置时间间隔，通过上位机的主动读取将工艺数据被动传送至上位机。其中，所述预置时间间隔的取值越小，则监控的实时性越高；取值越大，则设备端与上位机的数据通信压力越低。预置时间间隔的具体取值根据加工工艺和监控要求而设置，一般为几秒钟。

步骤14，缓存非实时性工艺数据；且当满足预置的上传条件时，打包缓存的非实时性工艺数据以生成数据包；并传送数据包至上位机。

如果步骤12中判断的所采集工艺数据为非实时性工艺数据，则并非如现有技术那样实时传送至上位机，而是先对其进行缓存，暂时存储一段时间内的工艺数据，当满足预置的上传条件时，对所缓存的工艺数据进行打包生成数据包，然后将该数据包传送至上位机。在本发明的优选实施例中，依据所述非实时性工艺数据的数据变化率的快慢和/或数据量的大小预置所述上传条件。所述上传条件包括：当前硅片工艺结束、当前批次硅片工艺结束、达到预置累计时段。具体的：

某些非实时性工艺数据的变化率较快或者数据量较大，则可选择以较小的单位“wafer”对所缓存的非实时性工艺数据进行打包，即将当前硅片工艺结束作为上传条件。例如，硅片工艺处理中的“终点采集”为一个非实时性工艺数据，该工艺数据对应采集一个硅片在整个加工工艺中完成各个步骤(也即工艺节点)的时间，由于一个硅片的加工周期较短，在每片硅片的加工过程中，“终点采集”的取值会变化多次，该工艺数据具有变化率较快的特点，因此适合以“wafer”为单位在当前硅片工艺结束时上传该工艺数据。又如，“硅片名称”这一参数，对应所采集的数据内容是一个字符串，相比于单一数值的工艺数据，其数据内容所占用的数据量较大，因此适合以“wafer”为单位在当前硅片工艺结束时上传该工艺数据。

某些非实时性工艺数据的变化率较慢或者数据量较小，则可选择以较大的单位“lot”进行打包，即将当前批次硅片工艺结束作为上传条件。其中，25片硅片为一批次(lot)。例如“Job结束”为一个非实时性工艺数据，该工艺数据采集某一批次硅片完成整个加工工艺时的时间，由于该工艺数据只在某一任务(Job)完成时才发生变化，因此数据变化率较慢，则可选择以“lot”为单位，在当前批次硅片工艺结束时上传该工艺数据上。

此外，还可以综合考虑非实时性工艺数据的变化率的快慢和数据量的大小预置所述上传条件。又如，“lot名称”这一参数，所记录的数据内容是一个字符串，其数据内容所占用的数据量较大；同时，由于该参数在某一批次的硅片处理中数据不变，数据变化率较慢，因此，适合以“lot”为单位上传数据，则该工艺数据对应的上传条件为当前批次硅片工艺结束。

进一步，除了将当前硅片工艺结束、当前批次硅片工艺结束作为上传条件，还可以依据数据变化率的快慢和/或数据量的大小，当达到预置累计时段时作为工艺数据的上传条件，例如，“刻蚀效率”这一参数，可选择以“天”或者“周”为单位上传数据，则从工艺开始后，累计12小时或者累计84小时的时候，满足上传条件。

可以理解的是，不同的工艺数据所对应的上传条件是不同的，工艺数据与上传条件的对应关系也不是绝对的，可以根据用户的需求和工艺条件进行灵活配置。不同的工艺数据的上传条件有多种情况，此处不再一一举例，在具体实施时，只要保证缓存工艺数据时占用系统存储资源不多，数据包的数据容量不大，数据组包简单，上层软件较容易解析即可。

参照图2，为本发明实施例的步骤14的子步骤的流程图，具体包括：

子步骤141，缓存所述非实时性工艺数据；

子步骤142，判断所缓存的非实时性工艺数据是否满足预置的上传条件，若是，则执行步骤143；若否，则返回步骤141；

子步骤143，对缓存的非实时性工艺数据打包生成数据包；

子步骤144，通过线程池分配的专用线程，将数据包上传至上位机。

其中，所述子步骤144包括如下子步骤：

1441，将数据待发消息发送至上位机；

本发明实施例所述设备端与从上位机的数据交互过程遵循半导体制程设备安全准则(SEMI)，则当满足上传条件时，设备端根据SEMI标准定义将数据待发消息发送至上位机，以通知上位机，此时所述设备端需要上传数据。

1442，接收上位机返回的数据接收消息；

上位机在接收到设备端发送的数据待发消息后，根据SEMI标准，向该设备端发送数据接收消息，相应的，设备端接收上位机发送的数据接收消息，以获知所述上位机此时可以接收上传的工艺数据。

1443，将数据已发消息和所述数据包发送至上位机。

设备端接收到上位机发送的数据接收消息后，将数据发送消息以及打包数据发送至上位机，完成设备端和上位机的数据交互过程。所述数据已发消息作为设备端和上位机进行数据通信的一种交互信令，其作用在于通知上位机所述数据包已经发送，则上位机接收到数据已发消息和数据包后，可依据该数据已发消息断开与设备端的数据通信链接。可以理解的是，上位机的上层软件收到所述数据包后，根据预先定义好的协议，解析所接收到的数据包，并给相应的工艺参数赋予数据值。

需要说明的是，当所述工艺数据上传至上位机之后，需要释放所述专用线程。相应的，当再有其它非实时性工艺数据满足上传条件时，再次分配专用线程将该工艺数据的数据包上传至上位机。

本发明实施例提供的一种工艺数据的传送方法，对不需要实时更新的工艺数据，由现有技术中的同步上传改为异步上传，即在满足上传条件时通过打包上传至上位机，由于异步上传减少了设备端与上位机的数据通信次数，因此可以有效地减少设备端控制软件的数据通信压力。并且，通过简单的数据打包，在不影响设备端数据采集、上位机数据获取的情况下，可以减少因为上层软件与设备控制软件之间的中间软件的原因造成的数据更新错误的问题。

此外，线程池分配的专用线程专门用于设备端与上位机的数据交互，通过专用线程将非实时性工艺数据的数据包上传至上位机，以和实时性工艺数据的传送分开执行，可以进一步减少设备端的数据通信压力。

参照图3，示出了本发明一种工艺数据的传送装置实施例的结构图，包括：

类型配置模块301，用于预先配置各种工艺数据的类型，所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据；

数据采集模块302，用于采集工艺过程中的工艺数据；

类型判断模块303，用于依据类型配置模块的配置，判断所述数据采集模块采集的工艺数据的类型；

第一传送模块304，用于当所述类型判断模块判断所述工艺数据为实时性工艺数据时，每隔预置时间间隔将所述实时性工艺数据传送至上位机；

数据缓存模块305，用于当所述类型判断模块判断所述工艺数据为非实时性工艺数据时，缓存所述非实时性工艺数据；

第二传送模块306，用于当所述数据缓存模块缓存的非实时性工艺数据满足预置的上传条件时，打包所述缓存的非实时性工艺数据以生成数据包；并传送所述数据包至上位机。

在本发明的一个优选实施例中，所述第二传送模块306传送所述数据包至上位机具体为：通过线程池分配的专用线程，将数据包上传至上位机。

具体的，数据上传的过程遵循半导体制程设备安全准则(SEMI)，则所述传送装置与上位机的数据交互过程依据各自发送的相关消息或者指令来实现，所述第二传送模块306包括：

消息发送子模块，用于将数据待发消息发送至上位机；

消息接收子模块，用于接收上位机返回的数据接收消息；

数据上传子模块，用于将数据已发消息和所述数据包发送至上位机。

在本发明的一个优选实施例中，依据所述非实时性工艺数据的数据变化率的快慢和/或数据量的大小预置所述上传条件。进一步，所述上传条件包括：当前硅片工艺结束、当前批次硅片工艺结束和达到预置累计时段。例如，当数据变化率的较快或数据量较大时，以“wafer”为单位，在当前硅片工艺结束时上传所述工艺数据；当数据变化率的较慢或数据量较小时，以“lot”为单位，在当前批次硅片工艺结束时上传所述工艺数据；此外，还可以综合考虑工艺数据变化较快和数据量的大小预置所述上传条件。进一步，还可以依据数据变化率的快慢和/或数据量的大小，当达到预置累计时段时作为工艺数据的上传条件，例如，可以以“天”或者“周”为单位上传数据。

在本发明的一个优选实施例中，所述第一传送模块每隔预置时间间隔将工艺数据传送至上位机包括主动和内动两种方式：可以每隔预置时间间隔，将工艺数据主动上传至上位机；或者，还可以每隔预置时间间隔，通过上位机的主动读取将工艺数据被动传送至上位机。

本发明实施例提出的一种工艺数据的传送装置，对不需要实时更新的工艺数据，在满足上传条件时通过打包上传至上位机，由于异步上传减少了设备端与上位机的数据通信次数，因此可以有效地减少设备端控制软件的数据通信压力。并且，通过简单的数据打包，可以减少因为上层软件与设备控制软件之间的中间软件的原因造成的数据更新错误的问题。

参照图4，示出了本发明一种工艺数据的传送系统实施例的结构图，包括设备端41和上位机42；所述设备端41包括工艺数据的传送装置411，所述工艺数据的传送装置411包括：

类型配置模块，用于预先配置各种工艺数据的类型，所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据；

数据采集模块，用于采集工艺过程中的工艺数据；

类型判断模块，用于判断所述数据采集模块所采集的工艺数据的类型；

第一传送模块，用于当类型判断模块判断所述工艺数据为实时性工艺数据时，每隔预置时间间隔将所述实时性工艺数据传送至上位机；

数据缓存模块，用于当类型判断模块判断所述工艺数据为非实时性工艺数据时，缓存所述非实时性工艺数据；

第二传送模块，用于当数据缓存模块所缓存的非实时性工艺数据满足预置的上传条件时，打包所述缓存的非实时性工艺数据以生成数据包；并传送所述数据包至上位机；

所述上位机42包括：

数据获取模块，用于获取所述设备端的第一传送模块传送的工艺数据，或者获取所述设备端的第二传送模块传送的数据包。

在本发明的一个优选实施例中，所述第二传送模块传送所述数据包至上位机具体为：通过线程池分配的专用线程，将数据包上传至上位机。

在本发明的一个另优选实施例中，所述第二传送模块包括：

消息发送子模块，用于将数据待发消息发送至上位机；消息接收子模块，用于接收上位机返回的数据接收消息；数据上传子模块，用于将数据已发消息和所述数据包发送至上位机。

优选的，依据所述非实时性工艺数据的数据变化率的快慢和/或数据量的大小预置所述上传条件。所述上传条件包括：当前硅片工艺结束、当前批次硅片工艺结束和达到预置累计时段。

优选的，所述第一传送模块每隔预置时间间隔将工艺数据传送至上位机为：每隔预置时间间隔，将工艺数据主动上传至上位机；或者，每隔预置时间间隔，通过上位机的主动读取将工艺数据被动传送至上位机。

本发明实施例提出的一种工艺数据的传送系统，减少设备端控制软件和上层软件数据交互的通信压力，提高数据传送的可靠性。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。对于装置和系统实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

以上对本发明所提供的一种工艺数据的传送方法、装置及系统，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (12)

1.一种工艺数据的传送方法，其特征在于，包括：

预先配置各种工艺数据的类型，所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据；

采集工艺过程中的工艺数据，并判断所述工艺数据的类型；

如果所述工艺数据为实时性工艺数据，则每隔预置时间间隔将所述实时性工艺数据传送至上位机；

如果所述工艺数据为非实时性工艺数据，则缓存所述非实时性工艺数据；且当满足预置的上传条件时，打包所述缓存的非实时性工艺数据以生成数据包；并传送所述数据包至上位机。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，上述传送所述数据包至上位机具体为：通过线程池分配的专用线程，将数据包上传至上位机。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述将数据包传送至上位机，包括：

将数据待发消息发送至上位机；

接收上位机返回的数据接收消息；

将数据已发消息和所述数据包发送至上位机。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，依据所述非实时性工艺数据的数据变化率的快慢和/或数据量的大小预置所述上传条件。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述上传条件包括：

当前硅片工艺结束、当前批次硅片工艺结束和达到预置累计时段。

6.一种工艺数据的传送装置，其特征在于，包括：

类型配置模块，用于预先配置各种工艺数据的类型，所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据；

数据采集模块，用于采集工艺过程中的工艺数据；

类型判断模块，用于依据类型配置模块的配置，判断所述数据采集模块采集的工艺数据的类型；

第一传送模块，用于当所述类型判断模块判断所述工艺数据为实时性工艺数据时，每隔预置时间间隔将所述实时性工艺数据传送至上位机；

数据缓存模块，用于当所述类型判断模块判断所述工艺数据为非实时性工艺数据时，缓存所述非实时性工艺数据；

第二传送模块，用于当所述数据缓存模块缓存的非实时性工艺数据满足预置的上传条件时，打包所述缓存的非实时性工艺数据以生成数据包；并传送所述数据包至上位机。

7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第二传送模块传送所述数据包至上位机具体为：通过线程池分配的专用线程，将数据包上传至上位机。

8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述第二传送模块包括：

消息发送子模块，用于将数据待发消息发送至上位机；

消息接收子模块，用于接收上位机返回的数据接收消息；

数据上传子模块，用于将数据已发消息和所述数据包发送至上位机。

9.如权利要求6所述的装置，其特征在于，依据所述非实时性工艺数据的数据变化率的快慢和/或数据量的大小预置所述上传条件。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述上传条件包括：

当前硅片工艺结束、当前批次硅片工艺结束和达到预置累计时段。

11.一种工艺数据的传送系统，其特征在于，包括设备端和上位机；

所述设备端包括工艺数据的传送装置，所述传送装置包括：

类型配置模块，用于预先配置各种工艺数据的类型，所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据；

数据采集模块，用于采集工艺过程中的工艺数据；

类型判断模块，用于判断所述数据采集模块所采集的工艺数据的类型；

第一传送模块，用于当类型判断模块判断所述工艺数据为实时性工艺数据时，每隔预置时间间隔将所述实时性工艺数据传送至上位机；

数据缓存模块，用于当类型判断模块判断所述工艺数据为非实时性工艺数据时，缓存所述非实时性工艺数据；

第二传送模块，用于当数据缓存模块所缓存的非实时性工艺数据满足预置的上传条件时，打包所述缓存的非实时性工艺数据以生成数据包；并传送所述数据包至上位机；

所述上位机包括：

数据获取模块，用于获取所述设备端的第一传送模块传送的工艺数据，或者获取所述设备端的第二传送模块传送的数据包。

12.根据权利要求11所述的系统，其特征在于，所述设备端包括权利要求7-10任一项所述的工艺数据的传送装置。

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