CN102455910A - 面向ic装备控制软件的gui平台化实现方法 - Google Patents
面向ic装备控制软件的gui平台化实现方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102455910A CN102455910A CN2011100528254A CN201110052825A CN102455910A CN 102455910 A CN102455910 A CN 102455910A CN 2011100528254 A CN2011100528254 A CN 2011100528254A CN 201110052825 A CN201110052825 A CN 201110052825A CN 102455910 A CN102455910 A CN 102455910A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- gui
- data
- equipment
- interface
- software
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 28
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 6
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 13
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 3
- 238000013507 mapping Methods 0.000 abstract 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 2
- 235000013311 vegetables Nutrition 0.000 description 2
- 241001269238 Data Species 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000013475 authorization Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F8/00—Arrangements for software engineering
- G06F8/30—Creation or generation of source code
- G06F8/38—Creation or generation of source code for implementing user interfaces
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F9/00—Arrangements for program control, e.g. control units
- G06F9/06—Arrangements for program control, e.g. control units using stored programs, i.e. using an internal store of processing equipment to receive or retain programs
- G06F9/44—Arrangements for executing specific programs
- G06F9/455—Emulation; Interpretation; Software simulation, e.g. virtualisation or emulation of application or operating system execution engines
- G06F9/45533—Hypervisors; Virtual machine monitors
- G06F9/45558—Hypervisor-specific management and integration aspects
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F9/00—Arrangements for program control, e.g. control units
- G06F9/06—Arrangements for program control, e.g. control units using stored programs, i.e. using an internal store of processing equipment to receive or retain programs
- G06F9/44—Arrangements for executing specific programs
- G06F9/455—Emulation; Interpretation; Software simulation, e.g. virtualisation or emulation of application or operating system execution engines
- G06F9/45533—Hypervisors; Virtual machine monitors
- G06F9/45558—Hypervisor-specific management and integration aspects
- G06F2009/4557—Distribution of virtual machine instances; Migration and load balancing
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F9/00—Arrangements for program control, e.g. control units
- G06F9/06—Arrangements for program control, e.g. control units using stored programs, i.e. using an internal store of processing equipment to receive or retain programs
- G06F9/44—Arrangements for executing specific programs
- G06F9/455—Emulation; Interpretation; Software simulation, e.g. virtualisation or emulation of application or operating system execution engines
- G06F9/45533—Hypervisors; Virtual machine monitors
- G06F9/45558—Hypervisor-specific management and integration aspects
- G06F2009/45575—Starting, stopping, suspending or resuming virtual machine instances
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Software Systems (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- User Interface Of Digital Computer (AREA)
Abstract
本发明涉及一种面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，包括以下步骤：根据不同厂商的IC设备特点开发相应的IC设备驱动模块和绘制GUI平台界面；利用上述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接，形成通讯网络；IC设备驱动模块通过上述通讯网络读写控制器中的数据，并将数据映射到GUI平台的通用数据层；GUI平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示、控制和异常处理，实现IC装备控制软件的GUI平台化。本发明实现了跨平台机制，提高了晶圆制造设备的集群监控能力，可满足用户对相应控制系统的人机界面的灵活组态和配置，使整个生产过程能在短时间内快速组态，保证生产提前启动的需要。
Description
技术领域
本发明属于组态监控与通信技术，具体地说是一种面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法。
背景技术
目前国内半导体厂商对利用IC(integrate circuit，集成电路)装备加工晶圆工艺的投资已朝向晶圆直径为12英寸发展，其晶圆生产工序日渐复杂，而很多生产设备可能来至不同的设备制造厂商，这就给上层人机GUI(图形用户界面，Graphical User Interface)交互和生产管理带来困难。特别是人机GUI界面的交互，对于不同设备商和用户，每次都要重新开发新的应用程序。这对于加快产品化生产造成了阻碍，无法满足半导体生产过程中生产线快速投入使用的需要。
国内半导体设备制造商所使用的软件主要是直接购买国外产品或购买软件授权以进行简单的二次开发，而且软件的使用具有相当的局限性，不能与其他厂商设备通用，运行成本极高。
目前国内外市场上没有出现通用的产品软件，普遍面临设备和控制系统GUI人机界面的改造及新系统的GUI开发问题。
发明内容
针对现有技术中半导体设备存在的产品软件通用性差等不足之处，本发明要解决的技术问题是提供一种通用强、组态灵活的面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：
本发明一种面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法包括以下步骤：
根据不同厂商的IC设备特点开发相应的IC设备驱动模块和绘制GUI平台界面；
利用上述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接，形成通讯网络；
IC设备驱动模块通过上述通讯网络读写控制器中的数据，并将数据映射到GUI平台的通用数据层；
GUI平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示、控制和异常处理，实现IC装备控制软件的GUI平台化。
所述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接包括以下步骤：
判断IC装备的监控主机与控制器是否已建立连接；
如果没有建立连接，则对IC装备的监控主机与控制器进行连接操作，同时判断连接时间是否超时；
如果没有超时，即在规定时间内监控主机与控制器连接完成，则启动接收数据线程，注册回调函数，建立命令输出通道，IC设备驱动模块向控制器发送操作请求命令；
判断IC设备驱动模块向控制器发送操作请求命令是否超时；
如果没有超时，则发送成功，接收应答数据包，一次操作请求结束；
如果发送操作请求命令超时，则向IC设备驱动软件返回错误码，一次操作请求结束；
如果监控主机与控制器已连接或连接时间超时，则结束本次监控主机与控制器的连接。
所述注册回调函数包括以下步骤：
IC设备驱动模块接收回调数据；
根据回调数据类型进行数据包编码；
将编码后的数据包向GUI平台界面进行数据事件发布，结束本次回调。
GUI平台界面利用通用数据层进行数据控制包括以下步骤：
当有用户控制操作请求时，则根据操作类型分别送入相应的输出通道；
通过IC设备驱动模块将用户控制操作请求写入控制器。
GUI平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示包括以下步骤：
注册事件接收回调接口；
判断是否响应事件，如果响应事件，则对接收到的数据包进行解码操作，得到解码后的数据段；
根据回调类型将数据段发布到IC图元控件；
判断数据段名与IC图元控件接口的用户配置名是否相同；
如果相同，则刷新该IC图元控件接口的用户配置名的对应值，结束本次实时显示；
如果数据段名与IC图元控件接口的用户配置名不相同，则返回判断数据段名与IC图元控件接口的用户配置名是否相同步骤；
如果不响应事件，则返回判断是否响应事件步骤。
所述GUI平台界面通过以下过程建立：
利用图形软件绘制IC装备GUI平台界面；
在GUI平台界面中配置IC图元控件接口；
在IC图元控件接口中配置IC设备驱动模块的变量名称；
保存配置工程，完成GUI平台界面的建立。
本发明具有以下有益效果及优点：
1.本发明采用标准的分布式网络接口协议，为半导体设备等所制定的集束型控制系统提供了标准化的软件接口和GUI人机界面实现方法，有利于不同IC装备控制系统标准化；通过对操作系统底层接口的封装，实现了跨平台机制，提高了晶圆制造设备的集群监控能力，从而有效的解决了人机交互通讯及控制问题，提高了半导体厂商加工和设备管理的自动化水平。
2.本发明通过对控制设备的数据收集、设备控制和异常处理功能及GUI人机界面图元机制的封装，可满足用户对相应控制系统的人机界面的灵活组态和配置，使整个生产过程能在短时间内快速组态，保证生产提前启动的需要。
3.本发明通过回调和事件的请求应答处理机制，完善了GUI界面与控制器的的通讯，有效的解决了设备异常报警和实时监控等问题，有效的保证了工艺生产的要求。
附图说明
图1为设备驱动模块端连接控制器流程图；
图2为注册回调和命令发送流程图；
图3为IC图元控件模型结构图；
图4为IC图元控件刷新流程图；
图5为GUI图形化组态模块结构图；
图6为用户自定义EventArg消息格式；
图7为实施例界面图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详细说明。
本发明面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法包括以下步骤：
1)根据不同厂商的IC设备特点开发相应的IC设备驱动模块。
本实施例以DeviceNet PLC控制器为例，该控制器集成IC装备全部所需控制数据，为了读写该控制器的数据，完成生产需要，根据DeviceNet协议开发该控制器的IC设备驱动模块。首先建立DeviceNet客户对象，然后构建DeviceNet协议请求数据包，向控制器发送读操作请求命令，控制器根据请求返回应答数据，IC设备驱动模块根据DeviceNet协议解析应答数据包，得到控制器实时数据。当有写操作请求时，根据构建的DeviceNet客户对象向要写操作的数据变量发送写操作命令，完成写操作请求。
2)绘制GUI平台界面
根据不同厂商的IC装备特点通过IC图元控件或者用户自定义方式绘制相应的监控画面图。该过程可以由用户根据具体的工艺流程决定，但是IC图元控件的开发一定要遵守本发明规范。绘制好的GUI平台界面需要进行人为配置才能实施监控，具体介绍见图5所示介绍。
3)利用上述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接，形成通讯网络；
4)IC设备驱动模块通过上述通讯网络读写控制器中的数据，并将数据映射到GUI平台的通用数据层；
当IC驱动模块与控制器连接成功后，可定时读取控制器的实时数据，并根据用户操作请求下发操作命令，这些数据都可以映射到GUI平台的通用数据层，该通用数据层是用于数据缓冲的一个数据缓冲池。为GUI平台实时数据显示提供数据源。
5)GUI平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示、控制和异常处理，实现IC装备控制软件的GUI平台化。
如图1所示，为IC设备驱动模块端连接控制器流程图。所述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接包括以下步骤：
判断IC装备的监控主机与控制器是否已建立连接；
如果没有建立连接，则对IC装备的监控主机与控制器进行连接操作，同时判断连接时间是否超时(本实施例中连接间隔计时器T5的规定时间为5秒)；
如果没有超时，即在规定时间内监控主机与控制器连接完成，则启动接收数据线程，注册回调函数，建立命令输出通道，IC设备驱动模块向控制器发送操作请求命令；
判断IC设备驱动模块向控制器发送操作请求命令是否超时(本实施例中选择计时器T3的规定时间为3秒)；
如果没有超时，则发送成功，接收应答数据包，一次操作请求结束；
如果发送操作请求命令超时，则向IC设备驱动模块返回错误码，一次操作请求结束；
如果监控主机与控制器已连接或连接时间超时，则结束本次监控主机与控制器的连接。
如图2所示，为注册回调和命令发送流程图。所述注册回调函数包括以下步骤：
IC设备驱动模块接收回调数据；
根据回调数据类型进行数据包编码，本实施例中对回调数据进行EventArg消息格式的数据编码；
将编码后的数据包向GUI平台界面进行数据事件发布，结束本次回调。编码后的数据再次通过事件向上层IC图元控件进行发布，用来刷新数据。
GUI平台界面利用通用数据层进行数据控制包括以下步骤：
当有用户控制操作请求时，则根据操作类型分别送入相应的输出通道；
通过IC设备驱动模块将用户控制操作请求写入控制器。
如图3，为IC图元控件模型结构图：IC图元控件由用户自行开发，按照规定的接口描述即可。有type接口，表述控件的类型；用户事件接口UserEvent，用来表述控件的用户操作命令；变量名VarName接口，用来给用户留出自行配置变量的空间；变量列表VarList接口，是留给主程序进行一致性的刷新调用接口。
如图4所示，为IC图元控件刷新流程图。GUI平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示包括以下步骤：
注册事件接收回调接口；当IC设备驱动模块接收到控制器的实时数据后，通过上述注册的事件接收回调接口进行实时数据事件发布。而且仅当数据发生变化时，才做事件发布；
判断是否响应事件，如果响应事件，则对接收到的数据包进行解码操作，得到解码后的数据段，本实施例采用EventArg对数据进行解析；解析后得到EventArg消息队列，然后根据消息格式得到回调类型；
根据回调类型将数据段发布到IC图元控件；
判断数据段名与IC图元控件接口的用户配置名是否相同；
如果相同，则刷新该IC图元控件接口的用户配置名的对应值，结束本次实时显示；
如果数据段名与IC图元控件接口的用户配置名不相同，则返回判断数据段名与IC图元控件接口的用户配置名是否相同步骤；
如果不响应事件，则返回判断是否响应事件步骤。
如图5所示，为GUI图形化组态模块结构图。所述GUI平台界面通过以下过程建立：
利用图形软件绘制IC装备GUI平台界面(包括用户自绘界面和用户自行开发的IC图元控件)；
本实施例以Visual Stdio.Net 2005图形编辑软件为例开发IC图元控件和绘制GUI平台界面及对其进行变量配置。首先，建立用户控件工程，用户可按照IC图元控件接口自行开发图元界面。然后将开发好的图元控件拖放到GUI平台界面中，用户可自行决定该图元控件在GUI平台界面各个视图中的位置和相关的属性配置等。
在GUI平台界面中配置IC图元控件接口；
当用户摆放好控件完成GUI平台界面的绘制后，需要对图元控件接口进行变量配置。在Visual Stdio.Net 2005GUI平台界面中点击该IC图元控件，然后在其属性栏目里选择IC图元控件接口进行配置。
在IC图元控件接口中配置IC设备驱动模块的变量名称；
当用户在Visual Stdio.Net 2005GUI平台界面中选择了IC图元控件时，其接口属性会出现在属性栏目里，用户可在此处将IC设备驱动模块中的变量名称关联到相应的VarName接口上，完成图元与控制器变量参数的对应和关联。
保存配置工程，完成GUI平台界面的建立。
用户完成相关的配置工作后，可将该GUI平台界面的工程保存为一个监控实施例。编译运行该实施例，即可进行监控。
本实施例中，GUI平台界面主要分为主菜单、副菜单、主视图和顶视图。其中顶视图是所有GUI界面的公共部分，主视图是用户GUI界面的容器，可以包含多个不同功能的GUI界面，而主菜单就是主视图界面的导航按钮，副菜单是与该导航按钮关联的GUI界面的副导航按钮。通过这种主从方式，实现GUI画面的切换。
实例部分界面图如图7所示，其中，1为加工处理腔室IC图元控件，2为真空机械手IC图元控件，3为真空传输处理腔室IC图元控件，4为机械手侧视图IC图元控件，5为大气机械手所在搬运腔室IC图元控件，6为晶圆存取槽IC图元控件，7为晶圆校准槽IC图元控件
如图6所示，为用户自定义EventArg消息格式。采用标准的事件类，其中每个事件消息都包括消息事件头EVENT ID共4个字节，页标识PAGE ID共4个字节与消息主体：变量名VALUE NAME，变量值VALUE，时间戳TIMESTAMP和值类型TYPE，均为字符串。消息主体可以是单个变量，也可以是多个变量的组合体。
如定义EventArg VarList[n]，n＝100，则消息为100个变量的组合体，每个变量都有消息格式所述的数据段。
Claims (10)
1.一种面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，其特征在于包括以下步骤：
根据不同厂商的IC设备特点开发相应的IC设备驱动模块和绘制GUI平台界面；
利用上述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接，形成通讯网络；
IC设备驱动模块通过上述通讯网络读写控制器中的数据，并将数据映射到GUI平台的通用数据层；
GUI平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示、控制和异常处理，实现IC装备控制软件的GUI平台化。
2.按权利要求1所述的面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，其特征在于：所述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接包括以下步骤：
判断IC装备的监控主机与控制器是否已建立连接；
如果没有建立连接，则对IC装备的监控主机与控制器进行连接操作，同时判断连接时间是否超时；
如果没有超时，即在规定时间内监控主机与控制器连接完成，则启动接收数据线程，注册回调函数，建立命令输出通道，IC设备驱动模块向控制器发送操作请求命令；
判断IC设备驱动模块向控制器发送操作请求命令是否超时；
如果没有超时，则发送成功，接收应答数据包，一次操作请求结束。
3.按权利要求2所述的面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，其特征在于：如果发送操作请求命令超时，则向IC设备驱动软件返回错误码，一次操作请求结束。
4.按权利要求2所述的面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，其特征在于：如果监控主机与控制器已连接或连接时间超时，则结束本次监控主机与控制器的连接。
5.按权利要求2所述的面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，其特征在于：所述注册回调函数包括以下步骤：
IC设备驱动模块接收回调数据；
根据回调数据类型进行数据包编码；
将编码后的数据包向GUI平台界面进行数据事件发布，结束本次回调。
6.按权利要求2所述的面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，其特征在于：GUI平台界面利用通用数据层进行数据控制包括以下步骤：
当有用户控制操作请求时，则根据操作类型分别送入相应的输出通道；
通过IC设备驱动模块将用户控制操作请求写入控制器。
7.按权利要求1所述的面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，其特征在于：GUI平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示包括以下步骤：
注册事件接收回调接口；
判断是否响应事件，如果响应事件，则对接收到的数据包进行解码操作，得到解码后的数据段；
根据回调类型将数据段发布到IC图元控件；
判断数据段名与IC图元控件接口的用户配置名是否相同；
如果相同，则刷新该IC图元控件接口的用户配置名的对应值，结束本次实时显示。
8.按权利要求7所述的面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，其特征在于：如果数据段名与IC图元控件接口的用户配置名不相同，则返回判断数据段名与IC图元控件接口的用户配置名是否相同步骤。
9.按权利要求7所述的面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，其特征在于：如果不响应事件，则返回判断是否响应事件步骤。
10.按权利要求1所述的面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，其特征在于所述GUI平台界面通过以下过程建立：
利用图形软件绘制IC装备GUI平台界面；
在GUI平台界面中配置IC图元控件接口；
在IC图元控件接口中配置IC设备驱动模块的变量名称；
保存配置工程，完成GUI平台界面的建立。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201110052825.4A CN102455910B (zh) | 2010-10-15 | 2011-03-04 | 面向ic装备控制软件的gui平台化实现方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201010508022 | 2010-10-15 | ||
| CN201010508022.0 | 2010-10-15 | ||
| CN201110052825.4A CN102455910B (zh) | 2010-10-15 | 2011-03-04 | 面向ic装备控制软件的gui平台化实现方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102455910A true CN102455910A (zh) | 2012-05-16 |
| CN102455910B CN102455910B (zh) | 2014-01-15 |
Family
ID=45937838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201110052825.4A Expired - Fee Related CN102455910B (zh) | 2010-10-15 | 2011-03-04 | 面向ic装备控制软件的gui平台化实现方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20130219306A1 (zh) |
| CN (1) | CN102455910B (zh) |
| WO (1) | WO2012048491A1 (zh) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103532948A (zh) * | 2013-10-11 | 2014-01-22 | 苏州新海宜通信科技股份有限公司 | 一种二进制通信结构 |
| CN104635506A (zh) * | 2013-11-07 | 2015-05-20 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种半导体生产线搬运系统设备仿真方法 |
| CN104679499A (zh) * | 2013-11-30 | 2015-06-03 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种ic装备人机交互界面可定制数据显示方法 |
| CN104679496A (zh) * | 2013-11-28 | 2015-06-03 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种半导体搬运系统天车运动表现方法 |
| CN104915198A (zh) * | 2015-05-25 | 2015-09-16 | 南京国电南自美卓控制系统有限公司 | 一种可灵活定义布局与内容的scada上位机人机界面 |
| CN106933563A (zh) * | 2015-12-31 | 2017-07-07 | 远光软件股份有限公司 | 一种页面流编辑器 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000075788A1 (en) * | 1999-05-26 | 2000-12-14 | Fujitsu Network Communications, Inc. | Network element management system |
| CN101388793A (zh) * | 2007-08-31 | 2009-03-18 | 费舍-柔斯芒特系统股份有限公司 | 配置和优化无线网状网络 |
| CN101852832A (zh) * | 2010-04-22 | 2010-10-06 | 芯通科技（成都）有限公司 | 一种适用于射频模块产品测试可灵活扩展的自动测试系统平台 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20040210348A1 (en) * | 2003-04-04 | 2004-10-21 | Raphael Imhof | Building system with network operation monitoring |
| US20070282480A1 (en) * | 2003-11-10 | 2007-12-06 | Pannese Patrick D | Methods and systems for controlling a semiconductor fabrication process |
-
2010
- 2010-11-29 WO PCT/CN2010/079216 patent/WO2012048491A1/zh active Application Filing
- 2010-11-29 US US13/879,248 patent/US20130219306A1/en not_active Abandoned
-
2011
- 2011-03-04 CN CN201110052825.4A patent/CN102455910B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000075788A1 (en) * | 1999-05-26 | 2000-12-14 | Fujitsu Network Communications, Inc. | Network element management system |
| CN101388793A (zh) * | 2007-08-31 | 2009-03-18 | 费舍-柔斯芒特系统股份有限公司 | 配置和优化无线网状网络 |
| CN101852832A (zh) * | 2010-04-22 | 2010-10-06 | 芯通科技（成都）有限公司 | 一种适用于射频模块产品测试可灵活扩展的自动测试系统平台 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103532948A (zh) * | 2013-10-11 | 2014-01-22 | 苏州新海宜通信科技股份有限公司 | 一种二进制通信结构 |
| CN104635506A (zh) * | 2013-11-07 | 2015-05-20 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种半导体生产线搬运系统设备仿真方法 |
| CN104635506B (zh) * | 2013-11-07 | 2017-06-30 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种半导体生产线搬运系统设备仿真方法 |
| CN104679496A (zh) * | 2013-11-28 | 2015-06-03 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种半导体搬运系统天车运动表现方法 |
| CN104679496B (zh) * | 2013-11-28 | 2017-09-22 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种半导体搬运系统天车运动表现方法 |
| CN104679499A (zh) * | 2013-11-30 | 2015-06-03 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种ic装备人机交互界面可定制数据显示方法 |
| CN104915198A (zh) * | 2015-05-25 | 2015-09-16 | 南京国电南自美卓控制系统有限公司 | 一种可灵活定义布局与内容的scada上位机人机界面 |
| CN104915198B (zh) * | 2015-05-25 | 2017-11-21 | 南京国电南自维美德自动化有限公司 | 一种灵活定义布局与内容的scada上位机人机界面 |
| CN106933563A (zh) * | 2015-12-31 | 2017-07-07 | 远光软件股份有限公司 | 一种页面流编辑器 |
| CN106933563B (zh) * | 2015-12-31 | 2020-06-02 | 远光软件股份有限公司 | 一种页面流编辑器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2012048491A1 (zh) | 2012-04-19 |
| US20130219306A1 (en) | 2013-08-22 |
| CN102455910B (zh) | 2014-01-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102455910B (zh) | 面向ic装备控制软件的gui平台化实现方法 | |
| US8803667B2 (en) | Systems and methods for notifying multiple hosts from an industrial controller | |
| US9122269B2 (en) | Method and system for operating a machine from the field of automation engineering | |
| CN108023952A (zh) | 一种基于云雾结合的模块化物联网应用快速构建平台 | |
| CN101276296B (zh) | 一种在嵌入式计算机系统上实现消息响应机制的方法 | |
| CN109144396A (zh) | 一种触摸信息处理方法、装置、设备和存储介质 | |
| CN105259806B (zh) | 控制器升级方法和系统及主控制器和从控制器 | |
| CN101510151A (zh) | 综合监控跨平台组态人机界面系统 | |
| CN103176789A (zh) | 一种实现开放平台功能扩展的方法及系统 | |
| CN102364434B (zh) | 一种整合Wine与Android鼠标输入的方法 | |
| CN103123466A (zh) | 实现与控制设备相关联的工程单位转换 | |
| CN103905410A (zh) | 一种将自定义协议转换成Modbus协议的多路通讯协议转换器 | |
| CN107450993A (zh) | 一种分布式iec61850通信组件的数据交互方法 | |
| CN110022492A (zh) | 智能电视终端焦点适配方法及装置 | |
| CN104202637A (zh) | 按键遥控器、目标拖动方法 | |
| CN102929619A (zh) | 一种跨硬件平台的过程自动化软件开发系统 | |
| CN106896956B (zh) | 一种“道”系统下多点触控的实现方法 | |
| CN105472359B (zh) | 用于投影仪的远程调试方法 | |
| CN108804098A (zh) | 一种点击拖动式编程控制方法及其软件系统 | |
| CN101976190A (zh) | 基于DirectUI的界面生成系统及方法 | |
| CN109190969A (zh) | 称重设备管控方法、系统、称重设备管理中间件及介质 | |
| CN113536154A (zh) | 将移动终端应用于工业互联网的人机交互的实现方法 | |
| CN111090430A (zh) | 一种嵌入式系统下的应用软件开发系统 | |
| CN103605427B (zh) | 一种基于智能平板的免驱动快速响应输入设备 | |
| CN111897420A (zh) | 一种基于vr技术的可视化展览品系统及方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140115 |