CN102195610A - 振动片、压电装置、以及电子设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够在维持振动特性的同时实现小型化的振动片、使用了该振动片的压电装置以及电子设备。水晶振动片(1)具有：基部(2)；一对振动臂(3a)，其以基部为根部而延伸；切入部(7)，其以将基部从臂部的各自一侧起在宽度方向上缩窄的方式而形成，其中，根部具有位于臂部相互对置的一侧的第1根部(31)、和位于臂部未相互对置的一侧的第2根部(32)，从第1根部起至第2根部为止的长度A、和从第1根部起至切入部的内端部(7a)为止的长度B，满足以下关系，即，A≥B。

Description

振动片、压电装置、以及电子设备

技术领域

本发明涉及一种具有振动臂的振动片、具备该振动片的压电装置以及电子设备。

背景技术

一直以来，进行弯曲振动的振动片具有：基部；振动臂，其从基部起延伸，并沿着宽度方向而形成；长槽以及电极，其被形成于振动臂上；切入部，其以使基部在宽度方向上缩窄的方式而形成。此时，振动臂被设定为，其臂宽尺寸从基部一侧起向顶端一侧逐渐缩窄，并在比宽度变化点更靠顶端一侧，臂宽尺寸转变为固定或者增加。并且，长槽以及电极被形成于从振动臂的基部一侧至宽度变化点之间。在这种结构的振动片中，通过设置切入部，从而能够抑制因振动臂向不需要的方向振动而产生的所谓振动泄漏从振动臂向基部传递的现象，并且，通过缩窄振动臂上的臂宽以及增加顶端一侧的质量，从而能够在不增大振动臂的频率的条件下缩短臂长。所以，振动片能够在维持振动特性的同时实现小型化(例如，专利文献1)。

在先技术文献

专利文献1：日本特开2006-311090号公报

但是，虽然这种技术通过设置切入部和宽度变化点以及缩窄臂宽尺寸等，能够使现有的振动片小型化，但是，近年来对振动片有更加小型化的需求，在对应于这种需求而推进振动片的小型化时，仅仅通过设置切入部和宽度变化点等，有时会难以可靠地维持振动特性。

发明内容

本发明是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，其可以通过以下的应用例或者实施方式来实现。

[应用例1]本应用例涉及的振动片的特征在于，具有：基部；一对臂部，其以所述基部为根部而延伸，并沿着所述基部的宽度方向排列；槽部，其被设置于所述臂部上；支承部，其用于支撑所述基部；连接部，其用于连接所述基部和所述支承部；切入部，其以将所述基部从所述臂部的各自一侧起在宽度方向上缩窄的方式而形成，其中，所述根部具有位于所述臂部相互对置的一侧的第1根部、和位于所述臂部未相互对置的一侧的第2根部，从所述第1根部起至所述第2根部为止的长度A、和从所述第1根部起至所述切入部的内端部为止的长度B，满足以下关系，即，A≥B。

根据这种振动片，臂部为以下结构，即，其分别与基部形成为一体，且其排列方式为，沿着基部的宽度方向排列。并且，在作为与基部的连接点的根部上的臂部的宽度为，第1根部与第2根部之间的长度A。此时，第1根部以及第2根部被沿着基部的宽度方向设置，并且，各个臂部的第1根部以使臂部相互对置的方式而配置，即，其被配置于臂部相互对置的一侧。而且，在基部上，设置有切入部，切入部从设置有臂部的各自一侧的基部端部起向宽度方向切入而形成，基部内部一侧的一端为内端部。这些臂部和切入部以成对的方式而形成于基部上，且臂部的第1根部与切入部的内端部之间的最短距离为长度B。这种结构的振动臂的特征在于，其被设定为，从臂部的第1根部起至第2根部为止的长度A、和从该第1根部起至与该第1根部成对的内端部为止的长度B，满足以下关系，即，A≥B。当长度A和长度B满足A≥B的关系时，臂部将以相当于短于长度A的长度B的、第1根部和内端部之间的部分为轴，而进行振动。即，由于因臂部的振动而产生的应力集中于切入部，所以能够抑制所谓的振动泄漏向基部传递，从而即使使振动片小型化，也能够稳定地进行振动。另一方面，当长度A和长度B满足A≤B的关系时，臂部将以相当于短于长度B的长度A的、包含第1根部和第2根部在内的部分为轴，而进行振动，从而设置切入部的效果将被弱化，进而难以抑制振动泄漏向基部的传递。如上所述，将从第1根部起至第2根部为止的长度A、和从第1根部起至切入部的内端部为止的长度B设定为满足以下关系、即A≥B的振动片，能够在维持振动特性的同时，实现更加小型化。

[应用例2]在上述应用例所涉及的振动片中，优选为，所述臂部的臂宽从所述基部一侧向顶端一侧逐渐缩窄。

根据该结构，臂部以作为其与基部的连接点的根部的长度A为最大臂宽，并随着从基部向顶端一侧的延伸而缩窄，以使臂宽逐渐地变窄。也就是说，在这种形态的臂部上，根部上的刚性为最大。因此，即使为了振动片的小型化等而将臂宽进一步减小，也能够维持臂部振动的稳定。

[应用例3]在上述应用例所涉及的振动片中，优选为，在所述臂部的顶端还具有锤头，所述锤头具有比所述臂部的顶端宽度更宽的宽度，所述锤头的宽度C和所述臂部的根部的长度A满足以下关系，即，A≥C。

根据该结构，臂部具有锤头，从而在含有锤头的臂部中，其顶端部分的质量增大，与仅具有臂部的情况相比，质量平衡不同。由此，能够容易地调整臂部的长度与锤头的质量之间的平衡，从而使臂部以预定的频率而进行振动。例如，当将臂部的长度缩短时，其将以高频率进行弯曲。所以，如果在臂部的顶端上设置锤头，则能够实现抑制频率等的调整，从而即使缩短臂部的长度，也能够抑制频率增高，以使臂部维持相同的振动等。但是，如果持续将锤头的宽度加宽，则会出现向臂部根部的应力集中过大的倾向，且臂部的振动会变得不稳定。因此，通过使锤头的宽度C和臂部的根部的长度A满足以下关系，即，A≥C，从而能够确保臂部的根部的刚性，以使臂部的振动稳定。

[应用例4]在上述应用例所涉及的振动片中，优选为，在所述臂部和所述锤头的连接位置上，形成有头锥部。

根据该结构，实现了能够消除从臂部到锤头的急剧的宽度变化，从而避免在连接位置上的应力集中的结构。也就是说，臂部和锤头在连接位置上，以不存在刚性显著劣化的部位的方式，通过头锥部而被平滑地连接。所以，臂部和锤头能够成为一体而可靠地进行弯曲，从而振动片能够稳定地进行振动。

[应用例5]本应用例所涉及的压电装置的特征在于，至少具备上述应用例所述的振动片。

[应用例6]本应用例所涉及的压电装置的特征在于，具备：上述应用例所述的振动片；电连接于所述振动片的电路部。

根据该压电装置，其特征在于，具备振动片，且在具有该振动片的臂部中，在其根部上，从第1根部起至第2根部为止的长度A、和从第1根部起至切入部的内端部为止的长度B满足以下的关系，即，A≥B，以及其他特征等。由此，因臂部的振动而产生的应力将集中于切入部处，从而能够抑制所谓的振动泄漏向基部一侧的传递，进而即使将振动片小型化也能够确保其稳定地进行振动。封装有这种振动片的压电装置，能够在维持振动特性的同时实现小型化。而且，还可以考虑以下结构，即，在压电装置中，除具备振动片以外，还具备电连接于振动片的电路部等。

[应用例7]本应用例所涉及的电子设备的特征在于，具备：上述应用例所述的振动片；电连接于所述振动片的电路部。

根据该电子设备，由于具备上述的小型、且具有稳定的振动特性的振动片，所以即使作为电子设备也能够维持稳定的功能。

附图说明

图1为表示水晶振动片的外观的俯视图。

图2为表示振动臂的详细形状的俯视图。

图3为表示振动臂上的激励电极的结构的模式图。

图4为表示切入部的设定与CI值之间的关系的曲线图。

图5(A)为表示压电装置的俯视图，图5(B)为表示压电装置的剖视图。

图6为表示压电装置的制造工序的流程图。

图7为表示作为电子设备的一个示例的移动电话的概要的立体图。

图8为移动电话的电路框图。

图9为表示作为电子设备的一个示例的个人电脑的概要的立体图。

符号说明

1：作为振动片的水晶振动片；

2：基部；

3：振动臂；

3a：臂部；

3b：锤头；

4：槽部；

5：支承部；

6：连接部；

7：切入部；

7a：内端部；

10：槽激励电极；

11：臂激励电极；

20：压电装置；

31：第1根部；

32：第2根部；

33：第1锥部；

34：第2锥部；

35：头锥部；

300：作为电子设备的移动电话；

400：作为电子设备的个人电脑。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的压电振动片以及压电装置进行说明。在实施方式中，以具备音叉型的振动臂的水晶振动片作为振动片的一个示例，该振动片设定为如下形式，即，包括具有臂部和设置在臂部顶端的锤头的振动臂、以及形成于延伸出臂部的基部上的切入部等。

(实施方式)

图1为，表示水晶振动片的外观的俯视图。此外，图2为，表示振动臂的详细形状的俯视图，其仅表示构成音叉型的一对振动臂3、3中的一方。首先，如图1所示，水晶振动片(振动片)1具有：基部2，其以X轴方向为宽度方向；两个振动臂3、3，其从基部2起向Y’轴方向延伸、即突起；槽部4，其形成于各个振动臂3上，且俯视观察时呈大致长方形形状。并且，在振动臂3以及槽部4的表面上，形成有未图示的激励电极，通过对激励电极施加驱动电流，从而振动臂3向宽度方向弯曲并进行振动。关于该激励电极，将参照图3在后文中叙述。并且，水晶振动片1具有：支承部5，其被形成为，从与基部2中延伸出振动臂3的一侧相反一侧的位置起，向沿着各个振动臂3的方向弯曲并延伸的U字形状；连接部6，其用于连接基部2和支承部5；一对切入部7、7，其通过从延伸出振动臂3的基部2的、各自的端部一侧起沿着X轴切入，从而以使基部2在宽度方向上缩窄的方式而形成。此时，以使基部2缩窄的方式而形成的切入部7，存在于基部2与支承部5之间。

而且，各个振动臂3为以下结构，即，具有：臂部3a，其从基部2起延伸；锤头3b，其设置于臂部3a的延伸出的顶端处。臂部3a中，在作为其与基部2的连接点的根部上，第1根部31位于振动臂3相互对置的一侧，第2根部32位于振动臂3a未相互对置的一侧，即，基部2的端部一侧。该第1根部31和第2根部32沿着基部2的宽度方向设置，并将臂部3a以及锤头3b连接于基部2，且支撑臂部3a以及锤头3b。并且，支承部5具有用于将水晶振动片1固定于外壳等上的贴装部5a、5b，该贴装部5a、5b在呈U字形状的支承部5上的、沿着各个振动臂3的每一侧上，各设置有一处。

在这里，关于形成水晶振动片1的水晶，简单地进行说明。水晶振动片1是通过从六角柱的水晶柱上切割而获得，水晶柱具有：Z轴，其为在柱的长度方向上的光轴；X轴，其为在垂直于Z轴的六角形面的X-Y平面上与六角形的边相平行的电轴；Y轴，其为与X轴垂直的机械轴。并且，与六角形的边相平行的X轴为三条，其相互之间分别间隔120度的相等角度，通过这些X轴而形成于X-Y平面上的三个面，具有三方晶系的性质，即，根据蚀刻方向而导致的蚀刻速度的差异等在各个面上相同。在这样的水晶柱上，水晶振动片1是从沿着如下平面的水晶Z板中切割出来的，所述平面为，在从X轴与Y轴的交点(坐标原点)观察时，在围绕X轴的方向上相对于X-Y平面倾斜了角度5度的平面。如图1所示，基部2的宽度方向为X轴，振动臂3的长度方向为Y’轴方向，水晶振动片1的厚度方向为Z’轴方向。

接下来，根据图2，对振动臂3以及切入部7的详细形状等进行说明。如图2所示的振动臂3仅为一对振动臂3、3中的一个。振动臂3在作为振动臂3的宽度方向的X轴方向上，从作为连接基部2的臂部3a的根部的、第1根部31和第2根部32起延伸，且从第1根部31起至第2根部32为止的宽度为长度A。该臂部3a具有，臂宽从长度A的根部起向顶端逐渐地变窄，从而在宽度方向上缩窄的形状。并且，在臂部3a上，其缩窄分为两阶段，第1阶段为，从长度A的根部起缩窄并向顶端方向延伸的第1锥部33，第2阶段为，从第1锥部33起连续、且与第1锥部33的缩窄状况不同的第2锥部34。第1锥部33被设定为，缩窄的比例大于第2锥部34，即，其斜度大于第2锥部34。并且，第1锥部33被设定为，向顶端方向延伸的长度也远远短于第2锥部34，臂部3a的长度中的大半部分为第2锥部34。

此外，设置于基部2上的切入部7被形成为，从基部2的端部起向内部一侧被切入，基部2的内部一侧末端的平端面为内端部7a。根据该内端部7a的位置，从而设定了切入部7向基部2内切入的长度。切入部7的内端部7a的位置被设定为，从第1根部31起至内端部7a为止的最短长度B，短于从第1根部31起至第2根部32为止的宽度A，即，满足A≥B的关系。而且，对于其他的振动臂3以及切入部7，也为采用了同样设定的结构。

在这种结构的水晶振动片1中，臂部3a与基部2的连接点处的、从第1根部31起至第2根部32为止的宽度A为臂部3a的最大宽度，根部部分的刚性最大。因此，水晶振动片1成为能够维持臂部3a的稳定振动的结构。并且，在水晶振动片1中，当振动臂3振动时，振动臂3将以根部的长度A与从第1根部31起至内端部7a为止的最短长度B中、长度较短的部位之间为轴，而进行振动。所以，在长度A和长度B被设定为满足A≥B的关系的水晶振动片1中，振动臂3将以长度较短的、第1根部31与内端部7a之间的长度B的部位为轴，而进行振动。由此，由于振动臂3振动而产生的应力，将集中于切入部7处，从而能够抑制振动泄漏向基部2传递的现象。由此，振动臂3能够排除由于振动泄漏而导致的损失，而维持稳定的振动，并能够应对小型化的需求。

相对于此，如果长度A和长度B满足A≤B的关系，则振动臂3将以长度较短的、第1根部31与第2根部32之间的长度A的部位为轴，而在宽度方向(X轴方向)上进行振动。在这种情况下，可以看出，振动臂3越趋于小型化，向宽度方向以外的、例如Z’轴方向的振动就越大，从而由于切入而产生的振动抑制效果将被弱化，使得CI(晶体阻抗：Crystal Impedance)值增大，进而形成振动能量损失较大的振动。即，当满足A≤B的关系时，从结果来看，设置切入部7来抑制振动泄漏的效果也将被被弱化，而与振动臂3以长度B的部位为轴进行振动的情况相比较，对振动泄漏向基部2的传递进行抑制将变得困难。如上所述，具有切入部7、且设定为满足“从第1根部31起至第2根部32为止的长度A”≥“从第1根部31起至切入部7的内端部7a为止的长度B”的水晶振动片1，能够在维持振动特性的同时实现小型化，并且即使小型化也能够稳定地进行振动。

并且，水晶振动片1的振动臂3中，在臂部3a的顶端上具有锤头3b，该锤头3b具有宽于臂部3a的顶端宽度的宽度，其宽度为长度C。并且，在连接锤头3b和臂部3a的位置上，为了消除从臂部3a到锤头3b的急剧的宽度变化，从而设置了有头锥部35。头锥部35与第1锥部33以及第2锥部34不同，为所谓的倒锥形，其宽度从臂部3a的顶端向锤头3b的方向逐渐加宽，从而平滑地连接臂部3a和锤头3b。该头锥部35的部分属于锤头3b，锤头3b的宽度C被设定为，短于从第1根部31起至第2根部32为止的宽度A，满足A≥C的关系。

这种具有锤头3b的振动臂3，通过增加臂部3a的顶端部分的质量，从而即使在为了实现小型化的目的而缩短从基部2延伸的长度的情况下，也能够抑制以高频率进行弯曲的状况，其能够实现例如无论振动臂3的长度如何，均可维持相同振动等的效果。即，如果在臂部3a上设置锤头3b，则能够容易地调整振动臂3的振动数，以使其进行所期望的振动。但是，如果加宽锤头3b的宽度，并增大长度C，则振动的应力将会集中于臂部3a的根部，从而会产生根部损伤、或出现振动臂3的振动不稳定的倾向。因此，通过设定为“从第1根部31起至第2根部32为止的长度A”≥“锤头3b的宽度C”，从而能够确保振动臂3的根部的刚性，以使振动臂3的振动稳定。并且，由于振动臂3具有头锥部35，从而在臂部3a与锤头3b之间，宽度不会发生急剧变化，臂部3a和锤头3b会被平滑地连接。也就是说，振动臂3成为如下的结构，即，即使在宽度不同的臂部3a与锤头3b的连接位置上，也不存在刚性显著劣化的部位，从而应力难以集中。因此，在振动臂3中，臂部3a与锤头3b成为一体的臂而进行弯曲，从而能够更加稳定地进行振动。

接下来，关于设置在振动臂3上的槽部4，参照图2、和在图3中所示的表示振动臂上的激励电极的结构的模式图来进行说明。图3图示了沿着图1中的S-S’的剖面。槽部4形成于，规定了各个振动臂3在Z’轴方向上的厚度的表面和背面两个面上，并在振动臂3的宽度中央位置上沿着长度方向(Y’轴方向)而延伸。槽部4的延伸长度为，以振动臂3的根部为起点，并以超过臂部3a与锤头3b的连接位置的、锤头3b的内部位置为终点。并且，槽部4沿着臂部3a的第2锥部34，以臂部3a的宽度的70％至98％的宽度而延伸，且以这种状态延长至锤头3b，另一方面，臂部3a的第1锥部33上的槽部4为如下结构，即，不沿着第1锥部33而延长，而在与第1锥部33和第2锥部34的连接点处的宽度相同的状态下延长至根部。并且，槽部4的深度为，振动臂3的厚度的40％至48％，且其X-Z’剖面呈大致梯形形状(图3)。

此外，在具有槽部4的振动臂3中，设置有图3所示的激励电极。激励电极包括，设置于槽部4上的槽激励电极10、和设置于未形成臂部3a的槽部4的面上的臂激励电极11、这两种激励电极，该槽激励电极10以及臂激励电极11被设置于，振动臂3的根部至头锥部35的近前位置之间。并且，槽激励电极10以及臂激励电极11通过形成于基部2、连接部6以及支承部5上的布线，而被连接于贴装部5a或者贴装部5b上。而且，激励电极以及布线在图2中并未进行图示。

接着，对通过向激励电极施加驱动电压而产生的、振动臂3的弯曲进行说明。如图3所示，一方的振动臂3的槽激励电极10和另一方的振动臂3的臂激励电极11被连接于相同的贴装部5a上，而一方的振动臂3的臂激励电极11和另一方的振动臂3的槽激励电极10被连接于相同的贴装部5b上。此时，对贴装部5a以及贴装部5b供给交流电源，以施加作为驱动电压的交变电压。即，当对振动臂3的槽激励电极10以及臂激励电极11分别施加驱动电压时，在振动臂3的内部，将产生如箭头所示方向的电场。图3中的电场表示，贴装部5a为正(+)电位、而贴装部5b为负(-)电位的情况。由此，由于振动臂3的臂激励电极11的一侧向Y’轴方向延伸，而另一侧向Y’轴方向收缩，因而振动臂3向相互分离的方向或者相互接近的方向弯曲。并且，当通过交变电压，使施加于贴装部5a以及贴装部5b的电位变化时，振动臂3将从相互分离的状态向相互接近的状态、或者从相互接近的状态向相互分离的状态弯曲。如此，通过将交变电压施加于贴装部5a、5b上，从而振动臂3将持续振动。而且，在电场的产生中，振动臂3为加强所产生的电场的结构，具体来说，振动臂3具有槽部4，且在该槽部4上设置槽激励电极10，从而增大了电极面积。通过增大电极面积，能够实现电场强度的增加，从而更可靠地使振动臂3弯曲。

接下来，关于作为水晶振动片1的特征的、“从第1根部31起至第2根部32为止的长度A”≥“从第1根部31起至切入部7的内端部7a为止的长度B”的关系，对其根据进行说明。图4为，表示切入部的设定与CI值之间的关系的曲线图。在图4的曲线图中，在B/A为1或者1以下的情况下，B/A为1时CI值为55kΩ，B/A为0.8时CI值为53kΩ，B/A为0.5时CI值为54kΩ，由此可以导出CI值较低且较稳定的结论。即，体现出振动能量的损失较小的情况。在这里，B/A为1或者1以下的情况，相当于A≥B的情况。相对于此，在B/A为1以上，即A＜B的情况下，B/A为1.2时CI值为60kΩ，B/A为1.6时CI值为72kΩ，由此体现出CI值较高、从而由振动泄漏等导致的振动能量的损失较大的情况。根据该曲线图所示的结果，如果水晶振动片1采用了满足“从第1根部31起至第2根部32为止的长度A”≥“从第1根部31起至切入部7的内端部7a为止的长度B”的关系的结构，则水晶振动片1能够维持排除了振动损失的振动，并能够应对小型化的需求。而且，在B/A为0.5以下的情况下，从第1根部31起至切入部7的内端部7a为止的长度B，与从第1根部31起至第2根部32为止的长度A相比，短至一半以下，所以会出现耐冲击性减弱的倾向。因此，在使用这种设定的水晶振动片1的情况下，优选为，对是否将其使用在冲击较少的使用环境中等进行调查。

而且，作为参考，对求得了图4中的关系的水晶振动片1的大小进行叙述。水晶振动片1的厚度(Z’轴方向)为100μm左右，而全长(Y’轴方向)为1500μm左右，全宽(X轴方向)为500μm左右。并且，振动臂3的全长为1300μm左右，其中，臂部3a为800μm左右，而包括连接位置的在内的、锤头3b的全长为500μm左右。并且，包括基部2、连接部6以及连接于连接部6上的支承部5在内的、Y’轴方向上的长度为，200μm左右，通过设置切入部7，能够将现有水晶振动片1的全长的30％以上的长度，减少至13％左右。并且，关于臂部3a的槽部4，其深度(Z’轴方向)为40μm至48μm，而宽度(X轴方向)沿着第2角锥部34，为臂部3a的宽度的70％至98％。而且，从第1根部31起至第2根部32为止的长度A为，100μm至180μm，从第1根部31起至切入部7的内端部7a为止的长度B为，100μm至180μm，锤头3b的宽度C为，100μm至180μm。水晶振动片1即使在如本示例这样实施了小型化的情况下，也能够通过对切入部7的内端部7a的位置进行管理，来抑制振动泄漏向基部2的传递，从而维持振动特性。

接下来，对具备上文中所说明的水晶振动片1的压电装置进行说明。图5(A)为，表示压电装置的俯视图。并且，图5(B)为，表示压电装置的剖视图，且为沿图5(A)中的T-T’的剖视面。如图5所示，压电装置20具备水晶振动片1、和用于收纳水晶振动片1的外壳40。外壳40由外壳基座41、接缝圈42、盖体43等构成。

在外壳基座41中，以能够收纳水晶振动片1的形式而形成有凹部，在该凹部上设置有连接垫48，所述连接垫48与水晶振动片1的贴装部5a、5b相连接。连接垫48被构成为，其连接于外壳基座41内的布线，从而能够与设置在外壳基座41的外周部上的外部接线端子45导通。并且，在外壳基座41的凹部周围，设置有接缝圈42，并且，在外壳基座41的底部，设置有贯通孔46。

并且，水晶振动片1通过导电性粘合剂44而被粘合固定在外壳基座41的连接垫48上。而且，在收纳有水晶振动片1的外壳40中，外壳基座41的凹部、覆盖外壳基座41的凹部的盖体43通过接缝圈42而被焊接在一起。在外壳基座41的贯通孔46中，填充有由金属材料等组成的密封材料47。该密封材料47在减压环境内熔融后被固化，从而对贯通孔46进行气密封装，以使外壳基座41内能够保持减压状态。

在这种结构的压电装置20中，通过经由外部连接端子45的、来自于外部的驱动信号，使得水晶振动片1被激励，从而以预定的频率振动且进行振荡。由于压电装置20具备水晶振动片1，且该水晶振动片1能够抑制振动泄漏向基部2的传递，并维持振动特性，且实现更进一步的小型化，因此压电装置20能够实现小型化且具有稳定的振动特性。

接下来，对水晶振动片1以及压电装置20的制造工序进行说明。图6为，表示压电装置的制造工序的流程图。在本制造工序中，由于要以晶片状的基材作为基础来制造水晶振动片1，所以需要准备作为晶片状的基材的水晶晶片。水晶晶片为，对所述水晶Z板的表面进行研磨以形成平坦的平板形状的晶片。

并且，在步骤S1中，进行外形蚀刻。首先，在水晶晶片的表面上，形成层叠了铬(Cr)膜和金(Au)膜的膜等的保护膜，在保护膜的表面上涂抹抗蚀膜，并通过光刻法，将抗蚀膜图形化为水晶振动片1的外形形状。之后，将图形化后的抗蚀膜作为掩膜，对保护膜进行蚀刻而将其除去。在剥离抗蚀膜之后，再次涂抹抗蚀膜，并图形化为外形形状和槽形状。在该状态下，通过氟酸对水晶晶片的暴露部分进行蚀刻，以形成水晶振动片1的外形。由此，对于水晶晶片而言，获得了各自通过细小连接部而被连接在一起的、成为水晶振动片1的外形完成状态的多个晶片。

在步骤S2中，进行槽部蚀刻。首先，对形成于槽部的保护膜进行蚀刻。通过以这种方式进行蚀刻而暴露的水晶面，对应于在振动臂3上形成的槽部4的平面形状。之后，仅以预定时间，通过氟酸对水晶晶片的暴露部分进行半蚀刻，从而在振动臂3上形成槽部4。半蚀刻是指，在这种情况下，将槽部4的深度蚀刻至振动臂3的厚度的40％～48％的加工。在对槽部4的蚀刻之后，剥离抗蚀膜以及保护膜，并进入步骤S3。

在步骤S3中，进行电极形成。首先，在水晶晶片的全体表面上，形成在此由铬(Cr)膜和金(Au)膜所构成的电极膜，并在电极膜上形成对应于槽激励电极10以及臂激励电极11的图案的抗蚀膜。并且，对电极膜进行蚀刻从而形成槽激励电极10以及臂激励电极11。在电极的蚀刻后，剥离抗蚀膜，并进入步骤S4。

在步骤S4中，在振动臂的顶端实施附加锤部的加工。该加工为，通过溅射或蒸镀等，在锤头3b上形成的金(Au)等的金属皮膜，以作为附带于锤的膜。而且，在至此为止的说明中，省略了该附带于锤的膜。在形成附带于锤的膜后，进入步骤S5。

在步骤S5中，进行频率的粗调整。粗调整为，用激光等照射附带于锤的膜的一部分，使其局部地蒸发，从而调整锤头3b的质量。由此，能够大致均匀地对各自的振动臂3的振动频率进行粗调整。在粗调整之后，进入步骤S6。

在步骤S6中，进行水晶振动片的单片切割。即，折断水晶晶片上的细小连接部，以使连接状态的水晶振动片1成为单片。至此为止为水晶振动片1的制造工序。在单片切割之后，为了制造压电装置20，从而进入步骤S7。

在步骤S7中，在外壳上进行装配，以固定水晶振动片1。即，实施如图5(A)所示的，水晶振动片1向外壳40的装配。在装配水晶振动片1之后，进入步骤S8。

在步骤S8中，进行频率的微调整。该微调整为，对水晶振动片1施加驱动电压，并在观察其频率的同时，用离子束、激光等照射振动臂3或者锤头3b的附带于锤的膜，从而调整附带于锤的膜等的质量。由此，水晶振动片1的振动臂3被调整为，以预定的频率准确地进行振动。在微调整之后，进入步骤S9。

在步骤S9中，对外壳进行封装。如图5(B)所示，将盖体43焊接于外壳基座41上，并通过密封材料47填充贯通孔46，从而将水晶振动片1密封至外壳40内。通过以上步骤，从而制成了具备水晶振动片1的压电装置20。

并且，水晶振动片1以及压电装置20并不限定于上述的实施方式，在采用下文中所例举的改变例的方式时，也能够得到与实施方式同样的效果。

(改变例1)在水晶振动片1中，切入部7的内端部7a并不限定为平端面，也可以为圆弧状面和半球面等。如果采用这些形状，则能够避免出现朝向切入部7的应力极端地集中于角部等处的现象。

(改变例2)虽然切入部7为，切入基部2并位于基部2与支承部5之间，但是，也可以设定为，远离支承部5而形成于仅被基部2所包围的位置上。

(改变例3)水晶振动片1并不限定于使用了水晶的振动片，还可以采用水晶以外的铌酸锂(LiNbO₃)、锆钛酸铅(PZT)等的压电体、或者硅等的半导体。

(改变例4)压电装置20也可以为，在外壳40内，除具备水晶振动片1外，还具备电连接于水晶振动片1的电路部的结构。电路部例如包括：使水晶振动片1振荡的振荡电路、和用于检测角速度等物理量的检测电路等。

(改变例5)支承部5的贴装部5a以及贴装部5b在各自一侧各设置了一个，但是，还可以采用如下结构，即，通过设置多个，从而更加稳定地将水晶振动片1支承于外壳40等上。

(电子设备)

上文中所说明的各个实施方式的水晶振动片，即使在小型化的情况下，也能够通过使因振动臂的振动而产生的应力集中于切入部，来抑制振动泄漏向基部的传递，从而维持稳定的振动。这种水晶振动片能够应用于各种电子设备中，所获得的电子设备会具有较高的可靠性。而且，在本电子设备中，还可以使用在上述实施方式中所说明的振子以及振荡器。

图7以及图8图示了作为本发明的电子设备的一个示例的移动电话。图7为，表示移动电话的外观概要的立体图，图8为，用于说明移动电话的电路的电路框图。

该移动电话300可以使用上述的水晶振动片1或者压电装置20。而且，在本示例中，以使用了水晶振动片1的情况为例而进行说明。关于水晶振动片1的结构、作用，通过标示相同的符号等而省略其说明。并且，移动电话300在使用了水晶振动片1的情况下，具有被电连接于水晶振动片1、且至少具备对水晶振动片1进行驱动的功能的电路部，但是省略了其说明。

在图8所示的移动电话300中，设置有：作为显示部的LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)301；作为数字等的输入部的键302；话筒303；扬声器311；未图示的电路等。

如图10所示，在利用移动电话300来发送信息的情况下，当使用者将自己的声音输入话筒303时，信号将经过脉宽调制编码单元304和调制器/解调器单元305，通过发射机306、天线开关307而从天线308被发送。

另一方面，从他人的电话机发送的信号，被天线308接收，并经过天线开关307、接收滤波器309，而从接收器310输入至调制器/解调器单元305。并且，被调制或者解调的信号经过脉宽调制编码单元304，而以声音的形式向扬声器311输出。

其中，设置有用于对天线开关307和调制器/解调器单元305等进行控制的控制器312。

由于此控制器312除上述构件以外，还对作为显示部的LCD301、作为数字等的输入部的键302、以及RAM313和ROM314等进行控制，因此需要其具有较高的精度。并且，还需要移动电话300的小型化。

作为满足这种需要的构件而使用了上述水晶振动片1。

而且，作为其他结构单元，移动电话300具有温度补偿晶体振荡器315、接收器用合成器316、发射机用合成器317等，但是省略了这些构件的说明。

在该移动电话300中所使用的上述水晶振动片1被设定为，从第1根部31起至第2根部32为止的长度A、和从第1根部31起至切入部7的内端部7a为止的长度B，满足以下关系，即，A≥B，从而能够在维持振动特性的同时，实现进一步的小型化。所以，使用了该振动片的电子设备，能够继续维持作为电子设备的功能。

作为具备本发明的水晶振动片1的电子设备，还可以例举出图9所示的个人电脑(便携式个人电脑)400。个人电脑400具备显示部401、输入键部402等，并且作为其电气控制的基准计时器而应用了上述水晶振动片1。

并且，作为具备本发明的水晶振动片1的电子设备，除上述设备以外，还可以列举出如下设备，例如：数码照相机、喷墨式喷射装置(例如，喷墨式打印机)、便携式个人电脑、电视、摄像机、磁带式录像机、车辆导航装置、呼叫器、电子记事本(也包括附带通信功能的产品)、电子词典、台式电子计算器、电子游戏机、文字处理器、工作站、可视电话、防盗视频监视器、电子双筒望远镜、POS终端、医疗设备(例如，电子体温计、血压计、血糖仪、心电图测量装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测量设备、计量设备类(例如，车辆、飞机、船舶的计量设备类)、飞行模拟器等。

以上，虽然根据图示的实施方式对本发明的电子设备进行了说明，但是，本发明并不限定于此，其各部分的结构均可以被替换为具有相同功能的任意结构。并且，还可以对本发明添加其他的任意结构部件。并且，本发明还可以采用，对所述各个实施方式中的任意两个以上的结构(特征)进行组合而形成的结构。

例如，虽然在上述的实施方式中，以水晶振动片具有作为振动臂的两个振动臂的情况为例而进行了说明，但是，振动臂的数量也可以为三个以上。

并且，虽然在上文中，以使用了振动片1的情况为例而进行了说明，但是，也可以使用压电装置20来替代振动片1。

并且，上述实施方式中所说明的水晶振动片，除了压控晶体振荡器(VCXO)、温度补偿晶体振荡器(TCXO)、附带恒温槽的晶体振荡器(OCXO)等压电振荡器以外，还能够被应用于陀螺传感器等。

Claims (7)

1.一种振动片，其特征在于，具有：

基部；

一对臂部，其以所述基部为根部而延伸，并沿着所述基部的宽度方向排列；

槽部，其被设置于所述臂部上；

支承部，其用于支撑所述基部；

连接部，其用于连接所述基部和所述支承部；

切入部，其以将所述基部从所述臂部的各自一侧起在宽度方向上缩窄的方式而形成，

其中，所述根部具有位于所述臂部相互对置的一侧的第1根部、和位于所述臂部未相互对置的一侧的第2根部，从所述第1根部起至所述第2根部为止的长度A、和从所述第1根部起至所述切入部的内端部为止的长度B，满足以下关系，即，A≥B。

2.如权利要求1所述的振动片，其特征在于，

所述臂部的臂宽从所述基部一侧向顶端一侧逐渐缩窄。

3.如权利要求1或2所述的振动片，其特征在于，

在所述臂部的顶端还具有锤头，

所述锤头具有比所述臂部的顶端宽度更宽的宽度，

所述锤头的宽度C和所述臂部的根部的长度A满足以下关系，即，A≥C。

4.如权利要求3所述的振动片，其特征在于，

在所述臂部和所述锤头的连接位置上，形成有头锥部。

5.一种压电装置，其特征在于，具备：

权利要求1至4中任意一项所述的振动片。

6.一种压电装置，其特征在于，具备：

权利要求1至4中任意一项所述的振动片；

电连接于所述振动片的电路部。

7.一种电子设备，其特征在于，具备：

权利要求1至4中任意一项所述的振动片；

电连接于所述振动片的电路部。

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