CN102172878A - 一种硅片的抛光方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种硅片的抛光方法,该方法是将清洗、碱腐蚀后的硅片用抛光腊粘贴定位在抛光机的抛光板上,控制抛光液的流量在60~100ml/min之间并开始加压抛光,在0~5分钟之间将压力控制在0.1~0.2kg/cm2,在5~10分钟之间将压力控制在0.4~0.5kg/cm2,在10~20分钟之间将压力控制在0.8~1kg/cm2,之后,停止抛光;然后,在抛光面不变的情况下,将硅片从原定位的位置旋转180度后用抛光腊重新粘贴定位在抛光机的抛光板上,并重新开始上述条件下的抛光,如此反复多次即可。
Description
技术领域
本发明涉及一种硅片的抛光方法,特别是采用有蜡抛光技术对超薄硅片进行抛光。
背景技术
目前,采用有蜡抛光技术对硅片进行抛光,通常是把清洗、酸腐蚀后的硅片,采用抛光腊粘贴定位固定在抛光机的抛光板上,然后将抛光压力控制在1.2KG/cm2~1.5KG/cm2,硅抛光液的流量掌握在80ml/min~160ml/min,一次性抛光1~1.5个小时即可。采用这种硅片抛光工艺,对于较小直径的硅片,一般只能抛光出最薄为230mm以上厚度的硅片。而对于大直径的硅片,只能抛光出最薄为250mm以上厚度的硅片。但这些硅片已经不能满足需要。
发明内容
本发明的目的是提供能加工超大直径且超薄的一种硅片的抛光方法。
本发明采取的技术方案是:一种硅片的抛光方法,其特征在于将清洗、碱腐蚀后的硅片用抛光腊粘贴定位在抛光机的抛光板上,控制抛光液的流量在60~100ml/min之间并开始加压抛光,在0~5分钟之间将压力控制在0.1~0.2KG/cm2,在5~10分钟之间将压力控制在0.4~0.5KG/cm2,在10~20分钟之间将压力控制在0.8~1KG/cm2,之后,停止抛光;然后,在抛光面不变的情况下,将硅片从原定位的位置旋转180度后用抛光腊重新粘贴定位在抛光机的抛光板上,并重新开始上述条件下的抛光,如此反复多次即可。
所述的将硅片用抛光腊粘贴定位在抛光机的抛光板上之前,应在硅片与抛光蜡之间铺设镜头纸。
所述的抛光蜡的目数在400目以上。
采用本发明方法,由于根据时间分段设置不同压力,并从多方位定位进行抛光,可以抛光出大直径且超薄硅片。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本发明作进一步说明。
1、将硅片(φ125mm、或φ150mm、或φ200mm,厚度200mm左右)清洗液清洗后烘干。
2、将上述硅片用碱液腐蚀后脱水、烘干。
3、将上述硅片用抛光腊粘贴固定在抛光板上。为了防止硅片被颗粒稍大的腊粒划伤,可以先在硅片与抛光蜡之间铺设镜头纸(特别适用于双面抛光的情况)。
4、开始加压抛光,抛光液的流量一般掌握在60~100ml/min之间,在0~5分钟之间将压力控制在0.1~0.2KG/cm2,在5~10分钟之间将压力控制在0.4~0.5KG/cm2,在10~20分钟之间将压力控制在0.8~1KG/cm2,之后停止抛光;
5、在抛光面不变的情况下,将硅片从原定位的位置旋转180度后,用抛光腊重新粘贴定位在抛光机的抛光板上,并在上述压力、时间、流量的条件下的抛光,如此反复多次即可。如果是双面抛光,在完成一面抛光后,将硅片从原定位的位置旋转180度后翻转,将已经抛光过的一面粘贴固定在抛光板上,并且在硅片与抛光蜡之间铺设镜头纸,重复上述操作即可。
Claims (3)
1.一种硅片的抛光方法,其特征在于将清洗、碱腐蚀后的硅片用抛光腊粘贴定位在抛光机的抛光板上,控制抛光液的流量在60~100ml/min之间并开始加压抛光,在0~5分钟之间将压力控制在0.1~0.2KG/cm2,在5~10分钟之间将压力控制在0.4~0.5KG/cm2,在10~20分钟之间将压力控制在0.8~1KG/cm2,之后,停止抛光;然后,在抛光面不变的情况下,将硅片从原定位的位置旋转180度后用抛光腊重新粘贴定位在抛光机的抛光板上,并重新开始上述条件下的抛光,如此反复多次即可。
2.根据权利要求1所述的一种硅片的抛光方法,其特征在于将硅片用抛光腊粘贴定位在抛光机的抛光板上之前,应在硅片与抛光蜡之间铺设镜头纸。
3.根据权利要求1所述的一种硅片的抛光方法,其特征在于抛光蜡的目数在400目以上。
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