CN102142347A - 电子显微镜的样品室 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种电子显微镜的样品室，属于电子显微镜技术领域。该样品室包括：外壳、上托板、下托板、第一堵头、第二堵头、真空法兰和波纹管；所述外壳为中空筒体，筒体内设有一环形凸台，筒壁上设有两个附件安装孔和抽真空孔，两个附件安装孔和抽真空孔均与外壳的筒体内连通；上托板扣装在外壳的一端开口上，固定在外壳的筒体内的所述环形凸台上；下托板固定扣装在上托板上；所述第一堵头、第二堵头分别设置在两个附件安装孔上，堵住两个附件安装孔，起密封作用；所述波纹管通过所述真空法兰设置在所述外壳的筒壁上的抽真空孔上。该样品室具有结构简单、体积小，部件少，装配及维护方便等优点。

Description

电子显微镜的样品室

技术领域

本发明涉及电子显微镜技术领域，尤其涉及一种电子显微镜的样品室。

背景技术

电子显微镜是一种可以观察微小物质的重要仪器，可以观察0.25nm以下的物质。电子显微镜以电子束作为照明光源，以磁透镜或静电透镜作为偏转电子的装置，实现光学放大。电子显微镜在物理、化学、材料、科学研究、生命科学、地质、探矿、机械工业、电子工业等军民领域具有非常广泛的应用前景。

为了使电子显微镜能观察各种不同要求的样品或做成分和结构分析，透射电子显微镜往往安装有多种附件，这些附件主要安装在样品室上，样品室对这些附件起支撑作用，并保证了附件安装后镜筒的真空。冷阱附件是一种防污染装置，通过将液氮的低温传递到样品周围使局部真空度提高以减少污染，这种低温是通过紫铜丝传递的，紫铜丝穿过样品室腔延伸到物镜中，从而实现了冷却样品周围温度的目的。X线能谱元素分析附件即EDX，是利用电镜中极细的电子轰击样品所激发的特征X线对样品进行元素定性定量分析的附件，通过样品室的支持将其探头指向样品而实现其作用。另外样品室还预留了电子能量损失谱附件(EELA)的接口；样品室的另外一个作用是对小聚光镜起支持作用，小聚光镜在样品室中，样品室为其提供了很好的真空环境。在目前的各种电子显微镜的样品室中，大都存在有：机械结构设计比较复杂、零部件使用较多，体积较大；且不便装配和维修。

发明内容

本发明实施方式的目的是提供一种电子显微镜的样品室，结构简单，使用方便，零部件较少，体积小，便于装配和维修。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明实施方式提供一种电子显微镜的样品室，包括：

外壳、上托板、下托板、第一堵头、第二堵头、真空法兰和波纹管；

所述外壳为中空筒体，筒体内设有一环形凸台，筒壁上设有两个附件安装孔和抽真空孔，两个附件安装孔和抽真空孔均与外壳的筒体内连通；

上托板扣装在外壳的一端开口上，固定在外壳的筒体内的所述环形凸台上；

下托板固定扣装在上托板上；

所述第一堵头、第二堵头分别设置在两个附件安装孔上，堵住两个附件安装孔；

所述波纹管通过所述真空法兰设置在所述外壳的筒壁上的抽真空孔上。

所述筒壁上设有两个附件安装孔和抽真空孔为：两个附件安装孔相对设置在筒壁上，抽真空孔设置在两个附件安装孔之间筒壁的中间部位。

所述外壳的筒壁外面设有多个安装螺钉的凹槽，以通过螺钉将样品室与电子显微镜的镜筒其他部分连接。

所述上托板上设有连通外壳内的丁字形开口。

所述上托板上的丁字形开口两端各设有一斜向通孔。

所述下托板上设有连通外壳内的丁字形开口。

所述第一堵头、第二堵头分别设置在两个附件安装孔上包括：在第一堵头和第二堵头上均设置O型橡胶密封圈后再设置在两个附件安装孔上。

由上述本发明实施方式提供的技术方案可以看出，本发明实施方式提供的一种样品室，具有结构简单，可用在电子显微镜中，对各附件进行支撑，具有安装、操作方便，零部件较少，体积小，便于装配和维修的优点。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为本发明实施例提供的样品室的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的样品室的另一角度的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的样品室的又一角度的示意图；

图4为本发明实施例提供的样品室的爆炸示意图；

图5为本发明实施例提供的样品室的另一角度的爆炸示意图；

图6为本发明实施例提供的样品室的外壳的结构示意图；

图7为本发明实施例提供的样品室的外壳的另一角度的示意图；

图8为本发明实施例提供的样品室的第一堵头的结构示意图；

图9为本发明实施例提供的样品室的真空法兰的结构示意图；

图10为本发明实施例提供的样品室的真空法兰的另一角度示意图；

图11为本发明实施例提供的样品室的波纹管的结构示意图。

图12为本发明实施例提供的样品室的上托板的结构示意图；

图13为本发明实施例提供的样品室的上托板的另一角度示意图；

图14为本发明实施例提供的样品室的下托板的结构示意图；

具体实施方式

下面结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明的保护范围。

下面将结合附图对本发明实施例作进一步地详细描述。

本实施例提供一种电子显微镜的样品室，可用在电子显微镜中，安装固定各附件，如图1～5所示，该样品室包括：外壳1、上托板3、下托板2、第一堵头4、第二堵头5、真空法兰6和波纹管7；

其中，外壳1为中空筒体(见图6和图7)，筒体内设有一环形凸台9，筒壁上设有两个附件安装孔7、11和抽真空孔10，两个附件安装孔7、11和抽真空孔10均与外壳的筒体内连通；在不安装附件时，将第一堵头4、第二堵头5分别设置在两个附件安装孔7、11上，堵住两个附件安装孔7、11；可在第一堵头4、第二堵头5上均设置O型橡胶密封圈后再安装在两个附件安装孔7、11上，保证密封效果，第一堵头4与第二堵头5的结构基本相同，可参见图8所示的第一堵头4的结构示意图。而波纹管7通过所述真空法兰6设置在所述外壳1的筒壁上的抽真空孔10上；其中，真空法兰6的结构如图9、10所示，波纹管7的结构如图11所示。

上述样品室的外壳1的筒壁上设置的两个附件安装孔7、11和抽真空孔10具体是将两个附件安装孔7、11相对设置在筒壁上，抽真空孔10设置在两个附件安装孔7、11之间筒壁的中间部位。同时，外壳1的筒壁外面设有多个安装螺钉的凹槽8，以通过螺钉将样品室与电子显微镜的镜筒其他部分连接。

上述样品室中的上托板3扣装在外壳1的一端开口上，一般扣装在外壳1的下端开口上，固定在外壳1的筒体内的所述环形凸台9上；下托板2固定扣装在上托板3上。

如图12、13所示，上述样品室的上托板3上设有连通外壳内的丁字形开口31，上托板上的丁字形开口两端各设有一斜向通孔32、33。

如图14所示，上述样品室的下托板2上设有连通外壳内的丁字形开口21，下托板2扣装在上托板3上后，下托板2的丁字形开口21与上托板3上的丁字形开口31位置相对应。

本发明实施例提供的样品室，用在电子显微镜中，用于支撑各附件及小聚光镜，其样品室外壳的上端开口与聚光镜连接，下端开口(安装上、下托板处)与物镜载物台连接；上、下托板上的开口和斜向通孔用于穿过各附件的探头，并对各附件进行支撑；在没有装入附件时，用第一堵头、第二堵头将附件安装口密封，以保证样品室内镜筒的真空；样品室留有一个抽真空口，通过抽真空法兰与真空系统连接，可对与样品室连接的电子显微镜的镜筒内抽真空。

综上所述，本发明实施例提供的用于电子显微镜的样品室，具有结构简单、体积小，部件少，装配及维护方便等优点。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

Claims (7)

1.一种电子显微镜的样品室，其特征在于，包括：

外壳、上托板、下托板、第一堵头、第二堵头、真空法兰和波纹管；

所述外壳为中空筒体，筒体内设有一环形凸台，筒壁上设有两个附件安装孔和抽真空孔，两个附件安装孔和抽真空孔均与外壳的筒体内连通；

上托板扣装在外壳的一端开口上，固定在外壳的筒体内的所述环形凸台上；

下托板固定扣装在上托板上；

所述第一堵头、第二堵头分别设置在两个附件安装孔上，堵住两个附件安装孔；

所述波纹管通过所述真空法兰设置在所述外壳的筒壁上的抽真空孔上。

2.根据权利要求1所述的电子显微镜的样品室，其特征在于，所述筒壁上设有两个附件安装孔和抽真空孔为：两个附件安装孔相对设置在筒壁上，抽真空孔设置在两个附件安装孔之间筒壁的中间部位。

3.根据权利要求1所述的电子显微镜的样品室，其特征在于，所述外壳的筒壁外面设有多个安装螺钉的凹槽。

4.根据权利要求1所述的电子显微镜的样品室，其特征在于，所述上托板上设有连通外壳内的丁字形开口。

5.根据权利要求4所述的电子显微镜的样品室，其特征在于，所述上托板上的丁字形开口两端各设有一斜向通孔。

6.根据权利要求1所述的电子显微镜的样品室，其特征在于，所述下托板上设有连通外壳内的丁字形开口。

7.根据权利要求1所述的电子显微镜的样品室，其特征在于，所述第一堵头、第二堵头分别设置在两个附件安装孔上包括：在第一堵头和第二堵头上均设置O型橡胶密封圈后再设置在两个附件安装孔上。

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