CN102141176A

CN102141176A - 排风管道防渗漏连接结构

Info

Publication number: CN102141176A
Application number: CN2010101024096A
Authority: CN
Inventors: 李恺
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp; Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2010-01-28
Filing date: 2010-01-28
Publication date: 2011-08-03

Abstract

本发明涉及一种排风管道防渗漏连接结构，其包括两个对接在一起的第一排风管道和第二排风管道，在第一排风管道和第二排风管道对接处设有一防腐蚀的弹性接口内衬，所述弹性接口内衬的一端伸入所述第一排风管道的内部并与所述第一排风管道的内壁相匹配，所述弹性接口内衬的另一端伸入所述第二排风管道的内部并与所述第二排风管道的内壁向相匹配。这种排风管道防渗漏连接结构，结构简单，安装和拆卸方便，且价格低廉。通过在排风管道的法兰连接处设置一个能够紧贴在排风管道和法兰的内壁的防腐蚀的弹性接口内衬，从而有效防止废气的渗漏，不但可以防止排风管道和法兰被废气腐蚀，而且可以避免废气泄漏而污染环境。

Description

排风管道防渗漏连接结构

技术领域

本发明涉及一种连接结构，尤其涉及一种排风管道防渗漏连接结构。

背景技术

在半导体芯片生产过程中，会产生大量有害的腐蚀性废气(以下简称废气)。，请结合参阅图1。图1所示为半导体制造所产生的废气的处理流程图。废气经过本地的酸洗设备处理后再经过排风管道排至厂务主排风系统5。考虑到废气成分的复杂性、腐蚀性和有害性等因素，排风管道(不锈钢管)的内壁通常设有极其耐腐蚀的特氟隆(TEF)镀膜。在长期的使用过程中，可以发现远离法兰的管道表面不会被腐蚀，但是在法兰及其附近经常会发现有明显腐蚀或粉尘沉积的现象，这说明有一定量的废气沿着法兰处向外渗漏。据生产实践统计，大约2个月左右就需要更换法兰。排风管道在法兰连接处的渗漏一方面增加了维护成本，另一方面更为重要的是对周围的工作环境造成了污染。

下面以两根4”的排风管道连接时的工作情况为例，可以分析出法兰处渗漏的具体原因：请参阅图2，图2所示为现有的排风管道连接结构示意图。其中，排风管道包括第一排风管道2和第二排风管道3。所述第一排风管道2和第二排风管道3通过分别设置在各自对接端上的法兰4连接，两个所述法兰4的接合面设有密封垫圈。安装时，采用螺栓将两个法兰4和密封垫圈紧紧地固定在一起。

当系统正常运行时，厂务主排风系统5会有大约700Pa的负压，通过酸洗设备处理后的废气是含湿量很高的腐蚀性气体。由于厂务主排风系统5负压的作用，含湿量很高的腐蚀性气体会通过第一排风排风管道1及第二排风管道3排入厂务主系统。通过使用风速测量仪，可以测得排风管道(第一排风管道2和第二排风管道3)的中心处的风速最大(约为12m/s～15m/s)，但是，越接近排风管道的内壁其风速越小，在排风管道内壁处的风速接近0m/s。这是由于内壁对废气具有摩擦力阻碍废气流动造成的。总的来说，离排风管道内壁越近，摩擦力越大，对管路内废气的阻力越大。如此会导致含湿量很高的腐蚀性废气会附着在第一排风管道2和第二排风管道3的内壁上，在同样也会附着在第一排风管道2和第二排风管道3的法兰连接处。

由于排风管道的内壁设有特氟隆(TEF)镀膜能够有效的抵抗管内废气的腐蚀，防止排风管道受到腐蚀。但是，在第一排风管和第二排风管的法兰4连接处会有微量的废气沿着法兰4结合面向外界的大气扩散。经过一段时间后，扩散到大气中的腐蚀性废气会逐渐把法兰及其周围的第一排风管道和第二排风管道的外壁腐蚀。由于第一排风管道和第二排风管道的外壁一般不设有特氟隆(TEF)镀膜，因此，第一排风管道和第二排风管道的外壁的抗腐蚀能力较差。因此，渗漏的废气会由外向内腐蚀排风管道。然后，会进入一个恶性循环，废气从排风管道的法兰连接处向外渗漏的速度越来越快，排风管道的外壁受到腐蚀的程度越来越重。

目前的解决方法主要是尽可能的把排风管道间的法兰用螺栓紧固好，并在法兰的连接处用胶带缠绕密封。但是密封效果并不满意。

因此，如何提供一种可以有效地防止有害的腐蚀性废气从排风管道的法兰连接处向外渗漏的排风管道防渗漏连接结构，以避免废气对环境的污染和减少维护成本，是本领域亟待解决的一个技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种排风管道防渗漏连接结构，通过在排风管道的接口处设置弹性接口内衬起到防止腐蚀性废气泄露的作用。

为了达到上述的目的，本发明采用如下技术方案：

一种排风管道防渗漏连接结构，包括两个对接在一起的第一排风管道和第二排风管道，在第一排风管道和第二排风管道对接处设有一防腐蚀的弹性接口内衬，所述弹性接口内衬的一端伸入所述第一排风管道的内部并与所述第一排风管道的内壁相匹配，所述弹性接口内衬的另一端伸入所述第二排风管道的内部并与第二排风管道的内壁向相匹配。

所述弹性接口内衬内设有与弹性接口内衬同轴且沿弹性接口内衬轴向布置的弹性膨胀圈。

所述弹性膨胀圈沿弹性接口内衬轴向均匀布置。

所述弹性接口内衬伸入第一排风管道的那一端的外周壁上设有与所述弹性接口内衬同轴的环形凹槽，所述弹性接口内衬伸入第二排风管道的那一端的外周壁上也设有与所述弹性接口内衬同轴的环形凹槽，所述环形凹槽内均设有密封剂。

所述弹性接口内衬的长度是弹性接口内衬的外径的1.2-1.5倍。

所述弹性接口内衬的壁厚为2-6mm。

所述弹性接口内衬采用耐腐蚀的弹性材料。

所述弹性接口内衬采用橡胶或三元乙丙橡胶。

第一排风管道和第二排风管道的对接端分别设有法兰，两个所述法兰固定连接在一起，两个所述法兰的接合面设有密封垫圈。

本发明的有益效果如下：

这种排风管道防渗漏连接结构，结构简单，安装和拆卸方便，且价格低廉。通过在排风管道的法兰连接处设置一个防腐蚀的弹性接口内衬，该弹性接口内衬能够紧贴在排风管道和法兰的内壁上起到隔绝腐蚀性废气作用，从而有效地防止废气的渗漏，不但可以防止排风管道和法兰被废气腐蚀，不需要更换零件，降低了维护成本，而且可以避免废气对环境的污染，从而保护了工作人员的身体健康和生态环境。

附图说明

本发明的排风管道防渗漏连接结构由以下的实施例及附图给出。

图1是半导体制造所产生的废气的处理流程图；

图2是现有的排风管道连接结构示意图；

图3是本发明排风管道防渗漏连接结构的示意图；

图中，1-弹性接口内衬、11-弹性膨胀圈、12-环形凹槽、13-密封剂、2-第一排风管道、3-第二排风管道、4-法兰、5-厂务主排风系统。

具体实施方式

以下将对本发明的排风管道防渗漏连接结构作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本发明进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本发明的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

请参阅图3，图3所示为本发明排风管道防渗漏连接结构的示意图。这种排风管道防渗漏连接结构。所述排风管道包括两个对接在一起的第一排风管道2和第二排风管道3。所述第一排风管道和第二排风管道3的对接方式采用法兰4连接。具体连接结构如下：本实施例中，所述第一排风管道2的对接端和第二排风管道3的对接端分别设有一法兰4，两个所述法兰4可以通过螺栓或焊接固定连接在一起。本实施例中，两个所述法兰4通过螺栓固定连接在一起。并且，在两个所述法兰4的接合面设有密封垫圈。

本发明的核心思想是在第一排风管道2和第二排风管道3的对接处设有一弹性接口内衬1，所述弹性接口内衬1的一端伸入所述第一排风管道2的内部并与所述第一排风管道2的内壁相匹配(即紧贴在所述第一排风管道2的内壁)，所述弹性接口内衬1的另一端伸入所述第二排风管道3的内部并与第二排风管道3的内壁向相匹配(即紧贴在所述第二排风管道3的内壁)。

优选的，所述弹性接口内衬1内设有与弹性接口内衬1同轴且沿弹性接口内衬1的轴向布置的弹性膨胀圈11。该弹性膨胀圈11可以使得弹性接口内衬1进一步紧贴在第一排风管道2和第二排风管道3的内壁。优选的，所述弹性膨胀圈11沿弹性接口内衬1的轴向均匀布置，从而可以使得弹性接口内衬1均匀地挤压在第一排风管道2和第二排风管道3的内壁及法兰4的内壁上，从而更加有效的防止废气沿所述弹性接口内衬1的外周壁与排风管道及法兰4的内壁的结合面向外泄露。

优选的，所述弹性接口内衬1伸入第一排风管道2的那一端的外周壁上设有与所述弹性接口内衬1同轴的环形凹槽12。所述弹性接口内衬1伸入第二排风管道3的那一端的外周壁上也设有与所述弹性接口内衬1同轴的环形凹槽12。且所述环形凹槽12内均设有密封剂13。通过设置具有密封剂13的环形凹槽12，可以进一步防止排风管道内的废气沿所述弹性接口内衬1与排风管道及法兰4的内壁的结合处向外渗漏，从而防止排风管道内的废气向外泄露而污染排风管道和环境。

优选的，所述弹性接口内衬1采用耐腐蚀的弹性材料。所述弹性接口内衬1可以采用橡胶或或三元乙丙橡胶(Ethylene-Propylene-Diene Monomer，简称EPDM)，本实施例中，所述弹性接口内衬1采用三元乙丙橡胶。通常排风管道是圆形的，当然也有方形。本实施例中，所述第一排风管道2和第二排风管道3是圆形的排风管道。优选地，为了达到比较好的密封效果，所述弹性接口内衬1的长度是弹性接口内衬1的外径的1.2-1.5倍为宜。所述弹性接口内衬1的壁厚为2-6mm。本实施例中，所述弹性接口内衬1的壁厚为4mm。

本发明的安装方式如下：

请参阅图3，首先，在弹性接口内衬1的环形凹槽12处填入密封剂13。然后，把弹性接口内衬1放入排风管道(第一排风管道2和第二排风管道3)的法兰连接处最后，通过螺栓紧固好法兰4以完成安装。

本发明通过设置防腐蚀的弹性接口内衬，可以有效地防止废气沿排风管道的连接处渗漏。弹性膨胀圈可使弹性接口内衬紧紧地贴附在排风管道及其法兰的内壁上，从而有效地隔绝了排风管道内的腐蚀性废气沿排风管道的连接处渗漏。由于在弹性接口内衬的环形凹槽处填入密封剂，从而，在弹性接口内衬和排风管道的内壁之间形成密封，进而，进一步起到了对废气的密封隔绝作用，最终，有效地阻止了有害的腐蚀性废气从排风管道的法兰处(连接处)渗漏。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种排风管道防渗漏连接结构，包括两个对接在一起的第一排风管道和第二排风管道，其特征在于，在第一排风管道和第二排风管道对接处设有一防腐蚀的弹性接口内衬，所述弹性接口内衬的一端伸入所述第一排风管道的内部并与所述第一排风管道的内壁相匹配，所述弹性接口内衬的另一端伸入所述第二排风管道的内部并与第二排风管道的内壁向相匹配。

2.如权利要求1所述的排风管道防渗漏连接结构，其特征在于，所述弹性接口内衬内设有与弹性接口内衬同轴且沿弹性接口内衬轴向布置的弹性膨胀圈。

3.如权利要求2所述的排风管道防渗漏连接结构，其特征在于，所述弹性膨胀圈沿弹性接口内衬轴向均匀布置。

4.如权利要求3中任意一项所述的排风管道防渗漏连接结构，其特征在于，所述弹性接口内衬伸入第一排风管道的那一端的外周壁上设有与所述弹性接口内衬同轴的环形凹槽，所述弹性接口内衬伸入第二排风管道的那一端的外周壁上也设有与所述弹性接口内衬同轴的环形凹槽，所述环形凹槽内均设有密封剂。

5.如权利要求1所述的排风管道防渗漏连接结构，其特征在于，所述弹性接口内衬的长度是弹性接口内衬的外径的1.2-1.5倍。

6.如权利要求5所述的排风管道防渗漏连接结构，其特征在于，所述弹性接口内衬的壁厚为2-6mm。

7.如权利要求1所述的排风管道防渗漏连接结构，其特征在于，所述弹性接口内衬采用耐腐蚀的弹性材料。

8.如权利要求1所述的排风管道防渗漏连接结构，其特征在于，所述弹性接口内衬采用橡胶或三元乙丙橡胶。

9.如权利要求1所述的排风管道防渗漏连接结构，其特征在于，第一排风管道和第二排风管道的对接端分别设有法兰，两个所述法兰固定连接在一起，两个所述法兰的接合面设有密封垫圈。