CN102133776A - 一种多晶铸锭的线切割方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及多晶铸锭线切割技术领域,特别是一种多晶铸锭的线切割方法,该生产方法如下:(一)标记:将多晶铸锭进行开方得到硅块,对铸锭边缘四周靠近坩埚的硅块进行标识,以区分硅块的A、B面,B面靠近坩埚,A面是B面的对应面;(二)将开方后得硅块经IR测试、LT测试、截断、磨面;(三)粘棒:将区分A、B面的硅块的B面粘结在晶托上,其他硅块正常粘棒,待粘胶固化后上棒切片;(四)切片:将固化好的硅块上机切片,区分A、B面的硅块的A面为入刀面。将杂质和硬点少的A面作为入刀面,钢线比较容易进入晶体,大大降低了跳线、蹦边等不良记录,大大提高了硅片的出片率,降低了硅片切割成本,提高了企业的经济效率。
Description
技术领域
本发明涉及多晶铸锭线切割技术领域。
背景技术
在现多晶晶锭长晶工艺过程中,晶体是以陶瓷坩埚为载体进行结晶、生长。为防止硅晶体粘附坩埚造成裂锭等不良影响,铸锭工艺中坩埚需要喷涂SiNx细粉。这样在晶体的生长过程中,坩埚以及表面涂层中SiNx的杂质优先向靠近坩埚的多晶硅锭扩散,造成此表面金属杂质和SiC、SiN及SiCNx等硬度系数明显高内部的多晶硅。目前在多晶铸锭切片工艺中,采用的工艺方法一般是:将开方、截断、磨面、粘棒,线切割。在粘棒时,因为对入刀面不进行选择,如果将位于铸锭四周的硅块的靠近坩埚的一面作为入刀面,由于该面硬度系数高,容易造成跳线、蹦边甚至断线等不良影响,降低硅片的合格率,增加了硅片的切割成本。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是:提供一种多晶铸锭的线切割方法,解决开方后多晶铸锭边缘靠近坩埚的硅块切片合格率偏低的问题,达到提高多晶铸锭的硅片出片率,降低硅片的切割成本的目的。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种多晶铸锭的线切割方法,该生产方法如下:
(一)、标记:将多晶铸锭进行开方得到硅块,对铸锭边缘四周靠近坩埚的硅块进行标识,以区分硅块的A、B面,B面靠近坩埚,A面是B面的对应面;
(二)、将开方后得硅块经IR测试、LT测试、截断、磨面;
(三)、粘棒:将区分A、B面的硅块的B面粘结在晶托上,其他硅块正常粘棒,待粘胶固化后上棒切片;
(四)、切片:将固化好的硅块上机切片,区分A、B面的硅块的A面为入刀面。
本发明的有益效果是:通过对开方后铸锭边缘四周靠近坩埚的硅块标识A面、B面,将B面粘在玻璃板上,通过玻璃板固定在晶托上,这样在硅块上机进行线切割的时候,杂质含量较低的A面为入刀面,杂质和硬点高的B面为出刀面。这样切割的好处是,刚开始切割时,由于A面的杂质和硬点少,钢线比较容易进入晶体,大大降低了跳线、蹦边等不良记录;如果将B面为入刀面,由于B面靠近坩埚导致该面的金属杂质、SiC、SiNx及SiCNx含量较高,钢线不容易切入晶体,导致跳线等不良记录偏高。甚至容易导致断线而引起晶棒报废、车间产能损失、原材料辅材浪费等问题。因此本发明大大提高了硅片的出片率,降低了硅片切割成本,提高了企业的经济效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明;
图1是本发明中多晶硅锭开方后的示意图;
图2是本发明中标记A、B面的硅块的示意图;
图3是本发明中标记A、B面的硅块粘棒的示意图。
具体实施方式
一种多晶铸锭的线切割方法,该生产方法如下:
(一)、标记:将多晶铸锭进行开方得到硅块,对铸锭边缘四周靠近坩埚的硅块进行标识,以区分硅块的A、B面,B面靠近坩埚,A面是B面的对应面。
为方便描述,在在图1中对硅块进行编号,编号1至16号的开方后得到的硅块为需要区分硅块的A B面的硅块。其余编号的硅块无需进行标识。进行标识的方法只要方便区分A面、B面即可采用。
(二)、将开方后得硅块经IR测试、LT测试、截断、磨面;
(三)、粘棒:如图2和3所示,将区分A、B面的硅块的B面粘结在晶托上,其他硅块正常粘棒,待粘胶固化后上棒切片;
(四)、切片:将固化好的硅块上机切片,区分A、B面的硅块的A面为入刀面。
Claims (1)
1.一种多晶铸锭的线切割方法,该生产方法如下:
(一)、标记:将多晶铸锭进行开方得到硅块,对铸锭边缘四周靠近坩埚的硅块进行标识,以区分硅块的A、B面,B面靠近坩埚,A面是B面的对应面;
(二)、将开方后得硅块经IR测试、LT测试、截断、磨面;
(三)、粘棒:将区分A、B面的硅块的B面粘结在晶托上,其他硅块正常粘棒,待粘胶固化后上棒切片;
(四)、切片:将固化好的硅块上机切片,区分A、B面的硅块的A面为入刀面。
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