CN102129956B - 漏液收集处理设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种漏液收集处理设备，该设备包括：底板，所述底板中心向下凹陷，其凹陷部分设置有液体传感器安装孔以及液体滴漏孔，所述液体传感器安装孔内安装有伸入漏液槽内的液体传感器，所述液体传感器与报警控制器相连；漏液槽，固设于所述底板下方，所述漏液槽由低于侧壁的隔板分为汇集槽及排泄槽，所述汇集槽位于所述液体滴漏孔下方，所述排泄槽底端开孔。本发明的设备的结构不仅可以将泄漏信息传递给上位机，并能在无人值守或发生严重泄漏时及时有效得排出泄漏液体，避免了对厂房及设备的污染，减小了化学品伤害的隐患，且结构简单、安全可靠、不会增加系统复杂度。该设备可适用于各种化学液的收集处理。
Description
技术领域
本发明涉及半导体清洗技术领域，尤其涉及一种漏液收集处理设备。
背景技术
目前半导体工艺设备收集处理漏液有以下几种方法：1、将设备的底板作为接液盘，设置一个或多个液体传感器或泄漏传感器报警，人工收到报警信号后，检查泄漏并处理漏液，一般是将漏液吸出或用水枪冲出，这种方法仅限于使用不具有腐蚀性处理液的设备；2、将设备的底板作为接液盘，设置一个或多个传感器，当漏液汇集在底板到达一定的高度时，传感器报警，靠上位机控制虹吸阀将漏液吸出，这种方法可适用于具有一定腐蚀性的处理液，但虹吸阀不能完全将接液盘的漏液清理干净，而且，虹吸阀需要靠气动或其他方式来启动，增加了系统的复杂度，并在一定程度上减少了系统的可靠性。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明所要解决的技术问题是：提供一种结构简单、安全可靠、且不会增加系统复杂度的漏液收集处理装置，该装置可适用于各种化学液的收集处理。
(二)技术方案
为解决上述问题，本发明提供了一种漏液收集处理设备，该设备包括：底板，所述底板中心向下凹陷，其凹陷部分设置有液体传感器安装孔以及液体滴漏孔，所述液体传感器安装孔内安装有伸入漏液槽内的液体传感器，所述液体传感器与报警控制器相连；漏液槽，固设于所述底板下方，所述漏液槽由低于侧壁的隔板分为汇集槽及排泄槽，所述汇集槽位于所述液体滴漏孔下方，所述排泄槽底端开孔。
其中，所述底板由四块梯形平板与一块矩形水平板连接而成，从而形成向下凹陷的槽状，所述水平板上设置所述液体传感器安装孔以及液体滴漏孔。
其中，所述液体传感器伸入到所述汇集槽内。
其中，所述水平板下方设置有焊接螺孔板，所述漏液槽固定于所述焊接螺纹板下方。
其中，所述漏液槽顶端边沿设置法兰，法兰上设置若干与所述焊接螺纹板上的螺纹孔对应的通孔，通过螺钉将所述螺纹孔及所述通孔固定。
其中，所述法兰与所述焊接螺孔板之间设置密封垫，所述密封垫上设有与所述螺纹孔及所述通孔对应的通孔。
其中，所述排泄槽底端开孔上设置活接头，所述活接头与废水管道相连。
其中，所述梯形平板与所述矩形水平板通过焊接的方式连接。
(三)有益效果
本发明的设备的结构不仅可以将泄漏信息传递给上位机，并能在无人值守或发生严重泄漏时及时有效得排出泄漏液体，避免了对厂房及设备的污染，减小了化学品伤害的隐患，且结构简单、安全可靠、不会增加系统复杂度。该设备可适用于各种化学液的收集处理。
附图说明
图1为依照本发明一种实施方式的漏液收集处理设备的结构俯视图；
图2为依照本发明一种实施方式的漏液收集处理设备的剖视图；
图3为依照本发明一种实施方式的漏液收集处理设备中焊接螺孔板的结构图；
图4为依照本发明一种实施方式的漏液收集处理设备中漏液槽的三维结构图；
图5为依照本发明一种实施方式的漏液收集处理设备中漏液槽的俯视图。
具体实施方式
本发明提出的漏液收集处理设备，结合附图和实施例说明如下。
依照本发明一种实施方式的漏液收集处理设备包括：中心向下凹陷的底板8，如图1所示，该底板8优选地由四块梯形平板与一块矩形水平板5焊接而成，梯形平板1、梯形平板2、梯形平板3以及梯形平板4的短边与矩形水平板5相连，从而形成侧壁具有一定倾斜度的向下凹陷的槽状，倾斜角度视设备具体结构而定，水平板5上设置液体传感器安装孔7以及液体滴漏孔6，液体传感器安装7孔内安装有伸入漏液槽11内的液体传感器10，用于检测漏液槽11中是否有泄露的化学液，液体传感器10与报警控制器相连；如图2至图5所示，漏液槽11，固设于水平板5下方，由低于侧壁的隔板17分为汇集槽20及排泄槽21，汇集槽20位于液体滴漏孔6的下方，用于通过该液体滴漏孔6收集泄露的化学液，排泄槽21底端开孔19，孔19处设置活接头18，与废水管道相连。
优选地，水平板5下方设置有焊接螺孔板9，漏液槽11固定于焊接螺纹板9下方。连接是通过如下方式实现的：漏液槽11顶端边沿设置法兰15，法兰15上设置若干与焊接螺纹板9上的螺纹孔14对应的通孔16，通过螺钉12将螺纹孔14及通孔16固定，从而实现漏液槽11与焊接螺纹板9的固定。法兰15与焊接螺孔板9之间设置密封垫13，用于防止该部分连接发生雾气散逸，密封垫13上设有与螺纹孔14及通孔16对应的通孔。
当设备内部有液体泄漏时，液体会首先滴落在具有一定倾斜度的底板8上，由于重力作用，泄漏的液体会滑落到水平板5上，当泄漏液 体比较多时，会流至水平板5上的漏液孔6中，从而滴落到漏液槽11的汇集槽20中。当泄漏的液体逐渐增多时，液体会与伸入到汇集槽中的液体传感器10接触，液体传感器10会向上位机发出信号提示有泄漏液体。操作人员得到报警提示后可对泄露源进行查看检修。当操作人员没有接到泄漏报警信号时，或系统内部有管路或阀体、接头发生崩裂，从而造成液体大量快速泄漏时，泄漏液体在汇集槽20中逐渐增多，并最终会漫过隔板17，流入到排泄槽21中，从而通过活接头18排入到排泄管中。
该结构不仅可以将泄漏信息传递给上位机，并能在无人值守或发生严重泄漏时及时有效得排出泄漏液体，避免了对厂房及设备的污染，减小了化学品伤害的隐患。
以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。
Claims (8)
1.一种漏液收集处理设备，其特征在于，该设备包括：
底板，所述底板中心向下凹陷，其凹陷部分设置有液体传感器安装孔以及液体滴漏孔，所述液体传感器安装孔内安装有伸入漏液槽内的液体传感器，所述液体传感器与报警控制器相连；
漏液槽，固设于所述底板下方，所述漏液槽由低于侧壁的隔板分为汇集槽及排泄槽，所述汇集槽位于所述液体滴漏孔下方，所述排泄槽底端开孔。
2.如权利要求1所述的漏液收集处理设备，其特征在于，所述底板由四块梯形平板与一块矩形水平板连接而成，从而形成向下凹陷的槽状，所述水平板上设置所述液体传感器安装孔以及液体滴漏孔。
3.如权利要求2所述的漏液收集处理设备，其特征在于，所述液体传感器伸入到所述汇集槽内。
4.如权利要求3所述的漏液收集处理设备，其特征在于，所述水平板下方设置有焊接螺孔板，所述漏液槽固定于所述焊接螺纹板下方。
5.如权利要求4所述的漏液收集处理设备，其特征在于，所述漏液槽顶端边沿设置法兰，法兰上设置若干与所述焊接螺纹板上的螺纹孔对应的通孔，通过螺钉将所述螺纹孔及所述通孔固定。
6.如权利要求5所述的漏液收集处理设备，其特征在于，所述法兰与所述焊接螺孔板之间设置密封垫，所述密封垫上设有与所述螺纹孔及所述通孔对应的通孔。
7.如权利要求1所述的漏液收集处理设备，其特征在于，所述排泄槽底端开孔上设置活接头，所述活接头与废水管道相连。
8.如权利要求3所述的漏液收集处理设备，其特征在于，所述梯形平板与所述矩形水平板通过焊接的方式连接。
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