CN102096192B - 多倍率成像光学系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种多倍率成像光学系统，该系统包括光源，N个倍率光路；所述光源可输出N个不同波长的光束，物体反射的N个不同波长的光束分别经过对应的倍率光路成像于像面上。当光源输出第一波长的光束时，物体反射的光经第一倍率光路后成像于像面；当光源输出第二波长的光束时，物体反射的光经第二倍率光路后成像于像面；依此类推，当光源输出第N波长的光束时，物体反射的光经第N倍率光路后成像于像面。本发明采用控制光源输出不同波长的光束，使物体经过不同倍率的光路成像于像面的方法，实现倍率的切换，光学系统重量轻，切换速度快，去除了机电组件的不稳定性和振动对整个系统的影响，可靠性好，光路能量损失小。

Description

多倍率成像光学系统

技术领域

本发明属于机器视觉领域，涉及一种多倍率成像光学系统，特别涉及一种利用波长来进行快速、稳定切换倍率的多倍率成像光学系统。

背景技术

在半导体封装设备中往往需要采用多种倍率成像光学系统对不同大小的视场进行成像，为后续图像处理提供可靠的视频图像数据。目前半导体封装设备中常见的多倍率成像光学系统包括N个倍率光路，光源，光阑。这种光学系统是利用电磁铁带动光阑进行位置切换，从而遮挡住不需要的光路实现倍率切换。这种成像光学系统的缺陷是电磁铁等机电组件容易发生故障，切换的速度较慢，设备的整体可靠性差，并且由于多个倍率光路一起共享光通量，因而光路能量损失较大，同时光学系统本身重量加重，不利于轻量化。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种切换速度快、可靠性好、重量轻，并且光路能量损失小的多倍率成像光学系统。

为了解决上述技术问题，本发明的多倍率成像光学系统包括光源和N个倍率光路；所述光源可输出N个不同波长的光束，物体反射的N个不同波长的光束分别经过对应的倍率光路成像于像面上。

通过电信号实时控制光源，使其输出第一、第二、……、第N-1或第N波长的光束。物体反射的第一波长的光束经第一倍率光路后成像于像面上；物体反射的第二波长的光束经第二倍率光路后成像于像面上；……；物体反射的第N-1波长的光束经第N-1倍率光路后成像于像面上；物体反射的第N波长的光束经第N倍率光路后成像于像面上。

本发明采用可输出多个不同波长光束的光源对物体进行照射，当光源输出第一波长的光束时，物体反射的光大部分经第一倍率光路后成像于CCD像面或其它探测器像面，而很少的一部分光经其他倍率光路衰减后可以忽略。当光源输出第二波长的光束时，物体反射的光大部分经第二倍率光路后成像于CCD像面或其它探测器像面，而很少的一部分光经其他倍率光路衰减后可以忽略；……。本发明采用控制光源输出不同波长的光束，使物体经过不同倍率的光路成像于像面的方法，实现倍率的切换，光学系统重量轻，切换速度快，去除了机电组件的不稳定性和振动对整个系统的影响，可靠性好，光路能量损失小。

所述光源可发出两种波长光束；主光路成像透镜、第一支路前分光镜、第一支路成像透镜、第一支路后分光镜组成第一倍率光路；主光路成像透镜、第一支路前分光镜、第一支路成像透镜、第一支路后分光镜、第二支路前反射镜、第二支路成像透镜、第二支路后反射镜组成第二倍率光路；光源发出的第一波长的光束照射于物体时，物体反射的第一波长的光经第一倍率光路成像于像面上；光源发出的第二波长的光束照射于物体时，物体反射的第二波长的光经第二倍率光路成像于像面上。

所述第一支路前分光镜的前表面和第一支路后分光镜的后表面镀制有对第一波长的光束具有高透过率，而对第二波长的光束具有高反射率的光学薄膜；第二支路前反射镜的前表面和第二支路后反射镜的前表面镀制有对第二波长的光束具有高反射率的光学薄膜。

第一支路前分光镜的后表面和第一支路后分光镜的前表面可以镀制有对第一波长的光束具有高透过率的光学薄膜。

第一支路成像透镜的表面镀制有对第一波长的光束具有高透过率的光学薄膜，第二支路成像透镜的表面镀制有对第二波长的光束具有高透过率的光学薄膜。

所述光源可发出四种波长光束；第一倍率光路包括主光路成像透镜、第一支路前分光镜、第一支路成像透镜和第一支路后分光镜；第二倍率光路包括主光路成像透镜、第一支路前分光镜、第一支路成像透镜、第一支路后分光镜、第二支路前分光镜、第二支路成像透镜和第二支路后分光镜；第三倍率光路包括主光路成像透镜、第一支路前分光镜、第一支路成像透镜、第一支路后分光镜、第二支路前分光镜、第二支路成像透镜和第二支路后分光镜、第三支路前分光镜、第三支路成像透镜和第三支路后分光镜；第四倍率光路包括主光路成像透镜、第一支路前分光镜、第一支路成像透镜、第一支路后分光镜、第二支路前分光镜、第二支路成像透镜和第二支路后分光镜、第三支路前分光镜、第三支路成像透镜、第三支路后分光镜、第四支路前反射镜、第四支路成像透镜和第四支路后反射镜；光源发出的第一波长的光束照射于物体时，物体反射的第一波长的光经第一倍率光路成像于像面上；光源发出的第二波长的光束照射于物体时，物体反射的第二波长的光经第二倍率光路成像于像面上；光源发出的第三波长的光束照射于物体时，物体反射的第三波长的光经第三倍率光路成像于像面上；光源发出的第四波长的光束照射于物体时，物体反射的第四波长的光经第四倍率光路成像于像面上。

所述第一支路前分光镜的前表面和第一支路后分光镜的后表面镀制有对第一波长的光束具有高透过率，而对第二、第三、第四波长的光具有高反射率的光学薄膜；第二支路前分光镜的前表面、第二支路后分光镜的前表面镀制有对第二波长的光束具有高反射率，而对第三、第四波长的光具有高透过率的光学薄膜；第三支路前分光镜的前表面、第三支路后分光镜的前表面镀制有对第三波长的光束具有高反射率，而对第四波长的光束具有高透过率的光学薄膜；第四支路前反射镜的前表面、第四支路后反射镜的前表面镀制有对第四波长的光束具有高反射率的光学薄膜。

第一支路前分光镜的后表面和第一支路后分光镜的前表面可以镀制有对第一波长的光束具有高透过率的光学薄膜。

第二支路前分光镜的后表面和第二支路后分光镜的后表面可以镀制有对第三、第四波长的光束具有高透过率的光学薄膜。

第三支路前分光镜的后表面和第三支路后分光镜的后表面可以镀制有对第四波长的光束具有高透过率的光学薄膜。

第一支路成像透镜的表面可以镀制有对第一波长的光束具有高透过率的光学薄膜；第二支路成像透镜的表面可以镀制有对第二波长的光束具有高透过率的光学薄膜；第三支路成像透镜的表面可以镀制有对第三波长的光束具有高透过率的光学薄膜；第四支路成像透镜的表面可以镀制有对第四波长的光束具有高透过率的光学薄膜。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

图1是现有技术的半导体封装设备中常用的双倍率光学系统第一倍率光路成像时的结构示意图。

图2是现有技术的半导体封装设备中常用的双倍率光学系统第二倍率光路成像时的结构示意图。

图3是本发明的多倍率成像光学系统结构示意图。

图4是本发明的多倍率成像光学系统实施例1的第一倍率光路成像的原理图。

图5是本发明的多倍率成像光学系统实施例1的第二倍率光路成像的原理图。

图6是本发明的多倍率成像光学系统实施例2的结构示意图。

图7是本发明的多倍率成像光学系统实施例3的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，现有技术的半导体封装设备中常用的双倍率光学系统包括：由主光路成像透镜12、第一支路前分光镜14、第一支路成像透镜15和第一支路后分光镜16构成的第一倍率光路，由主光路成像透镜12、第一支路前分光镜14，第二支路前反射镜24，第二支路成像透镜25，第二支路后反射镜26和第一支路后分光镜16构成的第二倍率光路，光阑17，光源13。

光源13发出的光束照射在物体11上，物体11反射的光线经第一倍率光路成像于像面18。此时，光阑4遮挡住第二倍率光路。

如图2所示，当电磁铁带动光阑移动遮挡住第一倍率光路时，物体11反射的光线经第二倍率光路成像于像面18。

如图3所示，本发明的多倍率成像光学系统包括光源33，N个倍率光路；所述光源33可输出N个不同波长的光束，物体31反射的N个不同波长的光束分别经过对应的倍率光路成像于像面上。

第一倍率光路包括主光路成像透镜32，第一支路前分光镜34，第一支路成像透镜35，第一支路后分光镜36；第二倍率光路由第一倍率光路的分光镜、第二支路成像透镜及第二支路的两个分光镜组成；第三倍率光路由第二倍率光路的分光镜、第三支路成像透镜及第三支路的两个分光镜组成；依此类推，第N倍率光路由第N-1倍率光路的分光镜、第N支路成像透镜及第N支路的两个反射镜构成。

通过电信号实时控制光源33，使其输出第一、第二、……、第N-1或第N波长的光束；当光源33输出第一波长的光束时，物体31反射的第一波长的光束大部分经第一倍率光路后成像于像面38上，而很少部分的光经其他支路衰减后可以忽略；当光源33输出第二波长的光束时，物体31反射的第二波长的光束大部分经第二倍率光路后成像于像面38上，很少部分的光经其他支路衰减后可忽略；依此类推，当光源33输出第N波长的光束时，物体31反射的第N波长的光束大部分经第N倍率光路后成像于像面38上，很少部分的光经其他支路衰减后可以忽略。通过电信号实时控制光源33输出不同波长的光束，使物体经过不同倍率的光路成像于像面，即可实现光学系统倍率的切换。

实施例1

本实施例以光源33输出红、绿光为例对本发明作详细说明。

如图4、图5所示，本发明的多倍率成像光学系统包括光源33，两个倍率光路；所述光源33由红光LED灯331和绿光LED灯332组成；主光路成像透镜32、第一支路前分光镜34、第一支路成像透镜35、第一支路后分光镜36组成第一倍率光路；主光路成像透镜32、第一支路前分光镜34、第一支路成像透镜35、第一支路后分光镜36、第二支路前反射镜44、第二支路成像透镜45、第二支路后反射镜46组成第二倍率光路；红光LED灯331发出的红光照射于物体31时，物体31反射的红光经第一倍率光路成像于像面38上；绿光LED灯332发出的绿光照射于物体31时，物体31反射的绿光经第二倍率光路成像于像面38上。

所述第一支路前分光镜34的前表面341和第一支路后分光镜36的后表面362镀制有对红光具有高透过率，而对绿光具有高反射率的光学薄膜；第二支路前反射镜44的前表面441和第二支路后反射镜46的前表面461镀制有对绿光具有高反射率的光学薄膜。

第一支路前分光镜34的后表面342和第一支路后分光镜36的前表面361可以镀制有对红光具有高透过率的光学薄膜。

第一支路成像透镜35的表面可以镀制有对红光具有高透过率的光学薄膜，第二支路成像透镜45的表面可以镀制有对绿光具有高透过率的光学薄膜。

如图4所示，当通过电信号控制红光LED灯331发光时，物体31反射的红光大部分透过第一支路前分光镜34、第一支路成像透镜35和第一支路后分光镜36成像于像面38上，很少的一部分光被第一支路前分光镜34反射，经第二支路前反射镜45反射后剩下更小的一部分，再经过第二支路后反射镜46和第一支路后分光镜36后可不予考虑。

如图5所示，当通过电信号控制绿光LED灯332发光时，物体31反射的绿光大部分经第一支路前分光镜34、第二支路前反射镜44反射，再经第二支路成像透镜45透射，最后经第二支路后反射镜46、第一支路后分光镜36反射后成像于像面38上，很少的一部分绿光透过第一支路前分光镜34，再经第一支路成像透镜35和第一支路后分光镜36透射后剩下更小的一部分，可不予考虑。

实施例2

本实施例以光源33输出红、绿、蓝、紫四种波长的光为例对本发明作详细说明。

如图6所示，本发明的多倍率成像光学系统包括由红光LED灯331、绿光LED灯332、蓝光LED灯333和紫光LED灯334组成的光源33，及第一、二、三、四倍率光路。

第一倍率光路包括主光路成像透镜32、第一支路前分光镜34、第一支路成像透镜35和第一支路后分光镜36。

第二倍率光路包括主光路成像透镜32、第一支路前分光镜34、第一支路成像透镜35、第一支路后分光镜36、第二支路前分光镜44、第二支路成像透镜45和第二支路后分光镜46。

第三倍率光路包括主光路成像透镜32、第一支路前分光镜34、第一支路成像透镜35、第一支路后分光镜36、第二支路前分光镜44、第二支路成像透镜45和第二支路后分光镜46、第三支路前分光镜54、第三支路成像透镜55和第三支路后分光镜56。

第四倍率光路包括主光路成像透镜32、第一支路前分光镜34、第一支路成像透镜35、第一支路后分光镜36、第二支路前分光镜44、第二支路成像透镜45和第二支路后分光镜46、第三支路前分光镜54、第三支路成像透镜55、第三支路后分光镜56、第四支路前反射镜64、第四支路成像透镜65和第四支路后反射镜66。

红光LED灯331发光时，物体31反射的红光经第一倍率光路成像于像面38上；绿光LED灯332发光时，物体31反射的绿光经第二倍率光路成像于像面38上；蓝光LED灯333发光时，物体31反射的蓝光经第三倍率光路成像于像面38上；紫光LED灯334发光时，物体31反射的紫光经第四倍率光路成像于像面38上。

所述第一支路前分光镜34的前表面341和第一支路后分光镜36的后表面362镀制有对红光具有高透过率，而对绿、蓝、紫光具有高反射率的光学薄膜；第二支路前分光镜44的前表面441、第二支路后分光镜46的前表面461镀制有对绿光具有高反射率，而对蓝、紫光具有高透过率的光学薄膜；第三支路前分光镜54的前表面541、第三支路后分光镜56的前表面561镀制有对蓝光具有高反射率，而对紫光具有高透过率的光学薄膜；第四支路前反射镜64的前表面641、第四支路后反射镜66的前表面661镀制有对紫光具有高反射率的光学薄膜。

第一支路前分光镜34的后表面342和第一支路后分光镜36的前表面361可以镀制有对红光具有高透过率的光学薄膜。

第一支路成像透镜35的表面可以镀制有对红光具有高透过率的光学薄膜；第二支路成像透镜45的表面可以镀制有对绿光具有高透过率的光学薄膜；第三支路成像透镜55的表面可以镀制有对蓝光具有高透过率的光学薄膜；第四支路成像透镜65的表面可以镀制有对紫光具有高透过率的光学薄膜。

第二支路前分光镜44的后表面442和第二支路后分光镜46的后表面462可以镀制有对蓝光、紫光具有高透过率的光学薄膜。

第三支路前分光镜54的后表面542和第三支路后分光镜56的后表面562可以镀制有对紫光具有高透过率的光学薄膜。

如图6所示，当通过电信号控制红光LED灯331发光时，物体31反射的红光大部分透过第一支路前分光镜34、第一支路成像透镜35和第一支路后分光镜36成像于像面38上，很少的一部分光被第一支路前分光镜34反射，再经其他支路的光学元件透射或反射后可不予考虑。

当通过电信号控制绿光LED灯332发光时，物体31反射的绿光大部分经第一支路前分光镜34、第二支路前分光镜44反射，再经第二支路成像透镜45透射，最后经第二支路后分光镜46、第一支路后分光镜36反射后成像于像面38上；很少的一部分绿光经其他支路光学元件透射或反射后，可不予考虑。

当通过电信号控制蓝光LED灯333发光时，物体31反射的蓝光大部分经第一支路前分光镜34反射、第二支路前分光镜44透射、第三支路前分光镜54反射，再经第三支路成像透镜55透射，最后经第三支路后分光镜56反射、第二支路后分光镜46透射、第一支路后分光镜36反射后成像于像面38上；很少的一部分蓝光经支路光学元件透射或反射后，可不予考虑。

当通过电信号控制紫光LED灯334发光时，物体31反射的紫光大部分经第一支路前分光镜34反射、第二支路前分光镜44透射、第三支路前分光镜54透射、第四支路前反射镜反射，再经第四支路成像透镜65透射，最后经第四支路后反射镜56反射、第三支路后分光镜56透射、第二支路后分光镜46透射、第一支路后分光镜36反射后成像于像面38上。

实施例3

本实施例以光源33输出红、绿、蓝、紫四种波长的光为例对本发明作详细说明。

如图7所示，本发明的多倍率成像光学系统包括由红光LED灯331、绿光LED灯332、蓝光LED灯333和紫光LED灯334组成的光源33，第一、二、三、四倍率光路。第一倍率光路包括主光路成像透镜32、第一支路前分光镜34、第一支路半反半透镜37、第一支路成像透镜35和第一支路后分光镜36。

第二倍率光路包括主光路成像透镜32、第一支路前分光镜34、第一支路半反半透镜37、第一支路成像透镜35、第一支路后分光镜36、第二支路前分光镜44、第二支路半反半透镜47、第二支路成像透镜45和第二支路后分光镜46。

第三倍率光路包括主光路成像透镜32、第一支路前分光镜34、第一支路半反半透镜37、第一支路成像透镜35、第一支路后分光镜36、第二支路前分光镜44、第二支路半反半透镜47、第二支路成像透镜45、第二支路后分光镜46、第三支路前分光镜54、第三支路半反半透镜57、第三支路成像透镜55和第三支路后分光镜56。

第四倍率光路包括主光路成像透镜32、第一支路前分光镜34、第一支路半反半透镜37、第一支路成像透镜35、第一支路后分光镜36、第二支路前分光镜44、第二支路半反半透镜47、第二支路成像透镜45和第二支路后分光镜46、第三支路前分光镜54、第三支路半反半透镜57、第三支路成像透镜55、第三支路后分光镜56、第四支路前反射镜64、第四支路半反半透镜67、第四支路成像透镜65和第四支路后反射镜66。

红光LED灯发光时，物体31反射的红光经第一倍率光路成像于像面38上；绿光LED灯发光时，物体31反射的绿光经第二倍率光路成像于像面38上；蓝光LED灯发光时，物体31反射的蓝光经第三倍率光路成像于像面38上；紫光LED灯发光时，物体31反射的紫光经第四倍率光路成像于像面38上。

所述第一支路前分光镜34的前表面341和第一支路后分光镜36的后表面362镀制有对红光具有高透过率，而对绿、蓝、紫光具有高反射率的光学薄膜；第二支路前分光镜44的前表面441、第二支路后分光镜46的前表面461镀制有对绿光具有高反射率，而对蓝、紫光具有高透过率的光学薄膜；第三支路前分光镜54的前表面541、第三支路后分光镜56的前表面561镀制有对蓝光具有高反射率，而对紫光具有高透过率的光学薄膜；第四支路前反射镜64的前表面641、第四支路后反射镜66的前表面661镀制有对紫光具有高反射率的光学薄膜。

第一支路前分光镜34的后表面342和第一支路后分光镜36的前表面361可以镀制有对红光具有高透过率的光学薄膜。

第一支路成像透镜35的表面可以镀制有对红光具有高透过率的光学薄膜；第二支路成像透镜45的表面可以镀制有对绿光具有高透过率的光学薄膜；第三支路成像透镜55的表面可以镀制有对蓝光具有高透过率的光学薄膜；第四支路成像透镜65的表面可以镀制有对紫光具有高透过率的光学薄膜。

第二支路前分光镜44的后表面442和第二支路后分光镜46的后表面462可以镀制有对蓝光、紫光具有高透过率的光学薄膜。

第三支路前分光镜54的后表面542和第三支路后分光镜56的后表面562可以镀制有对紫光具有高透过率的光学薄膜。

如图7所示，红光LED灯331发出的光经第一支路半反半透镜37反射后，沿第一倍率光路传输照射于物体31上，物体31反射的红光大部分透过第一支路前分光镜34、第一支路成像透镜35和第一支路后分光镜36成像于像面38上，很少的一部分光被第一支路前分光镜34反射，再经其他支路的光学元件透射或反射后可不予考虑。

绿光LED灯332发出的光经第二支路半反半透镜47反射后，沿第二倍率光路传输照射于物体31上，物体31反射的绿光大部分经第一支路前分光镜34、第二支路前分光镜44反射，再经第二支路成像透镜45透射，最后经第二支路后分光镜46、第一支路后分光镜36反射后成像于像面38上；很少的一部分绿光经其他支路光学元件透射或反射后，可不予考虑。

蓝光LED灯333发出的光经第三支路半反半透镜57反射后，沿第三倍率光路传输照射于物体31上，物体31反射的蓝光大部分经第一支路前分光镜34反射、第二支路前分光镜44透射、第三支路前分光镜54反射，再经第三支路成像透镜55透射，最后经第三支路后分光镜56反射、第二支路后分光镜46透射、第一支路后分光镜36反射后成像于像面38上；很少的一部分蓝光经支路光学元件透射或反射后，可不予考虑。

紫光LED灯334发出的光经第四支路半反半透镜67反射后，沿第四倍率光路传输照射于物体31上，物体31反射的紫光大部分经第一支路前分光镜34反射、第二支路前分光镜44透射、第三支路前分光镜54透射、第四支路前反射镜反射，再经第四支路成像透镜65透射，最后经第四支路后反射镜56反射、第三支路后分光镜56透射、第二支路后分光镜46透射、第一支路后分光镜36反射后成像于像面38上。

第一倍率光路、第二支路、第三支路、第四支路的光学元件分别封装于四个壳体中。在光束垂直传输的路径上四个壳体均开有通光孔。

本发明不限于上述实施方式，可以根据需要确定倍率光路的数量。只要采用可发出不同波长光束的光源对物体进行照射，使物体反射的不同波长的光束能够通过不同倍率的光路成像在像面上即可。因而凡是在本发明权利要求1基础上作出的任何简单变形，均在本发明意图保护范围之内。

Claims (9)

1.一种多倍率成像光学系统，包括光源（33）和N个倍率光路；其特征在于所述光源（33）可输出N个不同波长的光束，物体（31）反射的N个不同波长的光束分别经过对应的倍率光路成像于像面上；第一倍率光路由主光路成像透镜（32）、第一支路前分光镜（34）、第一支路成像透镜（35）和第一支路后分光镜（36）依次组成；第一支路前分光镜（34）、第一支路后分光镜（36）透射大部分第一波长光而反射大部分其他波长光；第二倍率光路由主光路成像透镜（32）、第一支路前分光镜（34）、第二支路前分光镜（44）、第二支路成像透镜（45）、第二支路后分光镜（46）、第一支路后分光镜（36）依次组成；第二支路的两个分光镜透射大部分第二波长光而反射大部分其他波长光；第三倍率光路由主光路成像透镜（32）、第一支路前分光镜（34）、第二支路前分光镜（44）、第三支路前分光镜（54）、第三支路成像透镜（55）、第三支路后分光镜（56）、第二支路后分光镜（46）和第一支路后分光镜（36）依次组成；第三支路的两个分光镜透射大部分第三波长光而反射大部分其他波长光；依此类推，第N倍率光路由主光路成像透镜（32）、第N-1倍率光路的分光镜、第N支路成像透镜及第N支路的两个反射镜构成，第N支路的两个分光镜透射大部分第N波长光而反射大部分其他波长光。

2.根据权利要求1所述的多倍率成像光学系统，其特征在于所述光源（33）可发出两种波长光束；主光路成像透镜（32）、第一支路前分光镜（34）、第一支路成像透镜（35）、第一支路后分光镜（36）依次组成第一倍率光路；主光路成像透镜（32）、第一支路前分光镜（34）、第二支路前反射镜（44）、第二支路成像透镜（45）、第二支路后反射镜（46）、第一支路后分光镜（36）依次组成第二倍率光路；光源（33）发出的第一波长的光束照射于物体（31）时，物体（31）反射的第一波长的光经第一倍率光路成像于像面（38）上；光源（33）发出的第二波长的光束照射于物体（31）时，物体（31）反射的第二波长的光经第二倍率光路成像于像面（38）上。

3.根据权利要求2所述的多倍率成像光学系统，其特征在于所述第一支路前分光镜（34）的前表面（341）和第一支路后分光镜（36）的后表面（362）镀制有对第一波长的光束具有高透过率，而对第二波长的光束具有高反射率的光学薄膜；第二支路前反射镜（44）的前表面（441）和第二支路后反射镜（46）的前表面（461）镀制有对第二波长的光束具有高反射率的光学薄膜。

4.根据权利要求3所述的多倍率成像光学系统，其特征在于第一支路前分光镜（34）的后表面（342）和第一支路后分光镜（36）的前表面（361）镀制有对第一波长的光束具有高透过率的光学薄膜。

5.根据权利要求3或4所述的多倍率成像光学系统，其特征在于第一支路成像透镜（35）的表面镀制有对第一波长的光束具有高透过率的光学薄膜，第二支路成像透镜（45）的表面镀制有对第二波长的光束具有高透过率的光学薄膜。

6.根据权利要求1所述的多倍率成像光学系统，其特征在于所述光源（33）可发出四种波长光束；第一倍率光路由主光路成像透镜（32）、第一支路前分光镜（34）、第一支路成像透镜（35）和第一支路后分光镜（36）依次组成；第二倍率光路由主光路成像透镜（32）、第一支路前分光镜（34）、第二支路前分光镜（44）、第二支路成像透镜（45）和第二支路后分光镜（46）、第一支路后分光镜（36）依次组成；第三倍率光路由主光路成像透镜（32）、第一支路前分光镜（34）、第二支路前分光镜（44）、第三支路前分光镜（54）、第三支路成像透镜（55）、第三支路后分光镜（56）、第二支路后分光镜（46）和第一支路后分光镜（36）依次组成；第四倍率光路由主光路成像透镜（32）、第一支路前分光镜（34）、第二支路前分光镜（44）、第三支路前分光镜（54）、第四支路前反射镜（64）、第四支路成像透镜（65）、第四支路后反射镜（66）、第三支路后分光镜（56）、第二支路后分光镜（46）和第一支路后分光镜（36）依次组成；光源（33）发出的第一波长的光束照射于物体（31）时，物体（31）反射的第一波长的光经第一倍率光路成像于像面（38）上；光源（33）发出的第二波长的光束照射于物体（31）时，物体（31）反射的第二波长的光经第二倍率光路成像于像面（38）上；光源（33）发出的第三波长的光束照射于物体（31）时，物体（31）反射的第三波长的光经第三倍率光路成像于像面（38）上；光源（33）发出的第四波长的光束照射于物体（31）时，物体（31）反射的第四波长的光经第四倍率光路成像于像面（38）上。

7.根据权利要求1所述的多倍率成像光学系统，其特征在于所述第一支路前分光镜（34）的前表面（341）和第一支路后分光镜（36）的后表面（362）镀制有对第一波长的光束具有高透过率，而对第二、第三、第四波长的光具有高反射率的光学薄膜；第二支路前分光镜（44）的前表面（441）、第二支路后分光镜（46）的前表面（461）镀制有对第二波长的光束具有高反射率，而对第三、第四波长的光具有高透过率的光学薄膜；第三支路前分光镜（54）的前表面（541）、第三支路后分光镜（56）的前表面（561）镀制有对第三波长的光束具有高反射率，而对第四波长的光束具有高透过率的光学薄膜；第四支路前反射镜（64）的前表面（641）、第四支路后反射镜（66）的前表面（661）镀制有对第四波长的光束具有高反射率的光学薄膜。

8.根据权利要求7所述的多倍率成像光学系统，其特征在于第一支路前分光镜（34）的后表面（342）和第一支路后分光镜（36）的前表面（361）镀制有对第一波长的光束具有高透过率的光学薄膜；第二支路前分光镜（44）的后表面（442）和第二支路后分光镜（46）的后表面（462）镀制有对第三、第四波长的光束具有高透过率的光学薄膜；第三支路前分光镜（54）的后表面（542）和第三支路后分光镜（56）的后表面（562）镀制有对第四波长的光束具有高透过率的光学薄膜。

9.根据权利要求7或8所述的多倍率成像光学系统，其特征在于第一支路成像透镜（35）的表面镀制有对第一波长的光束具有高透过率的光学薄膜；第二支路成像透镜（45）的表面镀制有对第二波长的光束具有高透过率的光学薄膜；第三支路成像透镜（55）的表面镀制有对第三波长的光束具有高透过率的光学薄膜；第四支路成像透镜（65）的表面镀制有对第四波长的光束具有高透过率的光学薄膜。

Images