CN102087205A - 一种冷镜式精密露点仪 - Google Patents
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Abstract
一种冷镜式精密露点仪,其特征在于所述露点探头包括:制冷单元,包括采用帕尔贴制冷的预冷模块和散热系统;气体温度自动补偿单元,对采样气体温度进行补偿;强制成霜单元,在由湿向干测量时,对于在-40℃和-2℃之间的露点,强制在镜面形成霜;光电传感器,包括一个双光路单元。本发明优点在于,解决了冷镜式露点仪常见的露点霜点区分的问题,进一步提高了测量结果的精度和准确度。
Description
技术领域
本发明涉及一种露点仪。
背景技术
露点仪的测量精度是企业关注的问题。通常来说,冷镜式露点测量方法比其他方法具有更高的精确度。但是冷镜式露点测量方法存在着两个问题,一是由于感应过程中由于光线反射、散射、折射等情况造成光线不足,降低光敏感性;另一个是由于冷镜式往往无法区分露点和霜点,而使得测量结果出现较大误差。由于这两个问题的存在,使得冷镜式露点仪在应用上受到一定的限制。
发明内容
本发明的目的就是解决上述问题,防止光线的散失,并解决了露点和霜点的区分问题。为实现该目的,本发明提供一种冷镜式精密露点仪,包括露点探头和显示模块,其特征在于所述露点探头包括:
制冷单元,包括采用帕尔贴制冷的预冷模块和散热系统;
气体温度自动补偿单元,对采样气体温度进行补偿;
强制成霜单元,在由湿向干测量时,对于在-40℃和-2℃之间的露点,强制在镜面形成霜;
光电传感器,包括一个双光路单元。
优选的,所述露点探头镜面带有显微镜。
优选的,所述露点探头内置流量传感器。
优选的,所述双光路单元包括聚光镜和分光镜,所述聚光镜聚焦入射光、放射光以及反射光;所述分光镜对入射光进行温度补偿,恒定入射光强度。
优选的,所述显示模块采用LCD显示。
优选的,所述显示模块可多单位显示露点温度Td,霜点温度Tf,相对湿度RH和气体浓度百万分率PPM。
本发明的优点在于,利用强制成霜技术解决了冷镜式露点仪无法区分露点和霜点的问题,同时利用双光路系统,防止光线的散失,从而解决了冷镜式露点仪使用中的主要问题,进一步提升了其测量精确度。
附图说明
图1展示了本发明的流程图。
具体实施方式
实施例一
请参见图1,图1是本发明的流程。本发明制冷单元中的预冷模块采用帕尔贴制冷方法,配合其散热系统,有效制冷。所采集的样气到达镜面时候,露点探头中所具有的气体温度自动补偿单元对其进行自动补偿,随后测温。在由湿向干测量时,对于在-40℃和-2℃之间的露点,强制在镜面形成霜,从而实现冷镜式测量仪器对于露点和霜点的区别,避免误差的产生。随后利用光电检测器实现对于样气露点的检测,光电检测器包括双光路单元,由聚光镜和分光镜为主要构成部件,聚光镜可以聚焦入射光、放射光以及反射光,保证高灵敏度感应器的光接受量,显著提高测量的敏感度,分光镜对入射光进行温度补偿,即使环境温度不同,也能保证入射光强度恒定,进而保证测量的精度。随后将测量得到的相关数据传输至显示单元进行显示。
本发明利用具有双光路单元的光电检测器和强制成霜单元,解决了冷镜式露点仪最常遇到的两个问题,进一步提高了露点仪检测结果的精确度。
本发明提供的一种精密度较高的冷镜式露点仪,以上实施例仅用以说明,而非限制本发明的技术方案。本领域的普通技术人员应当理解:对本发明进行修改或者等同替换,而不脱离本发明的精神和范围的任何修改或局部替换,均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。
Claims (6)
1.一种冷镜式精密露点仪,包括露点探头和显示模块,其特征在于所述露点探头包括:制冷单元,包括采用帕尔贴制冷的预冷模块和散热系统;
气体温度自动补偿单元,对采样气体温度进行补偿;
强制成霜单元,在由湿向干测量时,对于在-40℃和-2℃之间的露点,强制在镜面形成霜;光电传感器,包括一个双光路单元。
2.如权利要求1所述冷镜式精密露点仪,其特征在于,露点探头镜面带有显微镜。
3.如权利要求1所述冷镜式精密露点仪,其特征在于,露点探头内置流量传感器。
4.如权利要求1所述冷镜式精密露点仪,其特征在于,所述双光路单元包括聚光镜和分光镜,所述聚光镜聚焦入射光、放射光以及反射光;所述分光镜对入射光进行温度补偿,恒定入射光强度。
5.如权利要求1所述冷镜式精密露点仪,其特征在于,所述显示模块采用LCD显示。
6.如权利要求1所述冷镜式精密露点仪,其特征在于,所述显示模块可多单位显示露点温度Td,霜点温度Tf,相对湿度RH和气体浓度百万分率PPM。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN200910199984XA CN102087205A (zh) | 2009-12-04 | 2009-12-04 | 一种冷镜式精密露点仪 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN200910199984XA CN102087205A (zh) | 2009-12-04 | 2009-12-04 | 一种冷镜式精密露点仪 |
Publications (1)
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Family
ID=44099103
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN200910199984XA Pending CN102087205A (zh) | 2009-12-04 | 2009-12-04 | 一种冷镜式精密露点仪 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN102087205A (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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2009
- 2009-12-04 CN CN200910199984XA patent/CN102087205A/zh active Pending
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20110608 |