CN102039257B - 用于支撑随行缆线的装置 - Google Patents

Abstract

提供一种用于支撑随行缆线的装置，包括：壳体，其设置在具有多个涂布头单元的涂布头单元支撑框架上；多个固定支架，其固定地设置在壳体内部，成一行排列；多个柔性缆线管，每个柔性缆线管连接到一个固定支架；以及多个连接管，每个连接管连接在一个柔性缆线管与一个涂布头单元之间。固定支架以能够使具有多个不同高度的固定支架成行排列的方式设置在壳体的下板的两侧(左侧或右侧)上。柔性缆线管分别固定地连接到固定支架。因此，位于同一行中的柔性缆线管沿竖向彼此交叠。这种构造具有结构紧凑、以及在无需增加壳体尺寸或安装附加壳体的情况下容许更多的柔性缆线管安装在一个壳体内部的优点。

Description

用于支撑随行缆线的装置

技术领域

本发明涉及一种用于支撑随行缆线的装置。

背景技术

图1是液晶涂布机的示例的立体图。如图1所示，液晶涂布机包括主框架100、托台200、第一导引单元G1、涂布头单元支撑框架400、第一驱动单元D1、第二导引单元G2、两个或更多个涂布头单元H、以及第二驱动单元D2。

托台200设置在主框架100上。

两个第一导引单元G1以如下方式设置在主框架100上，即将两个第一导引单元G1分别定位在托台200的两侧上。

涂布头单元支撑框架400包括两个竖向部件410和一个水平部件420，两个竖向部件410定位成彼此远离给定距离，水平部件420连接在两个竖向部件410的顶部之间。竖向部件410的下端分别连接到两个第一导引单元G1。

第一驱动单元D1沿着第一导引单元G1沿直线移动涂布头单元支撑框架400。

第二导引单元G2设置在水平部件420的一侧上。

十六个(16个)或更多个涂布头单元H以如下方式连接到第二导引单元G2，即能够使涂布头单元H成一行设置(在图1中示出了十个(10个)涂布头单元H)。各个涂布头单元H均包括喷嘴(未示出)。

第二驱动单元D2沿着第二导引单元G2沿直线移动涂布头单元H。

现描述液晶涂布机的操作。

机器人(未示出)用其手臂上提基板并移动以将基板放置在托台200上。基板被真空紧密地吸附到托台200的上表面。第一和第二驱动单元D1和D2根据来自控制单元(未示出)的指令各自移动每个涂布头单元H。各涂布头单元H从其喷嘴朝基板上所限定的各面板区上的目标点滴落液晶液滴。

各个涂布头单元H均包括各种传感器(未示出)，这些传感器包括用于检测来自喷嘴的液晶液滴的传感器(未示出)和用于检测涂布头单元H位置的传感器。各个涂布头单元H均包括马达(未示出)，马达为活塞(未示出)提供线性运动动力和旋转运动动力，以在缸体(未示出)内向上或向下滑动或者旋转。

传感器和马达用缆线连接到构成各涂布头单元H的控制单元(未示出)。因此，与涂布头单元H一样多的缆线紧固到或悬挂到涂布头单元支撑框架。缆线可能缠结在一起。使用用于支撑随行缆线的装置，避免了缆线缠结。

图2是设置到液晶涂布机的用于支撑随行缆线的现有装置的主视图。图3是设置到液晶涂布机的用于支撑随行缆线的现有装置的侧视图。

如图2和3所示，用于支撑随行缆线的现有装置包括：第一壳体430，其设置在涂布头单元支撑框架400的水平部件的顶部上；第二壳体440，其设置在第一壳体430的顶部上；以及缆线管道450，其连通到第一壳体430的下板的后部，缆线穿过缆线管道450延伸于第一和第二壳体430和440以及控制单元(未示出)之间。

成六面体形式的第一和第二壳体430和440各自在其内部具有空间。第一和第二壳体430和440各自具有前板和后板、上板和下板、以及两个侧板。

当从前面观察时，涂布头单元支撑框架400从左到右或从右到左移动所沿的方向限定为“X轴方向”。当从前面观察时，涂布头单元支撑框架400向前或向后移动所沿的方向限定为“Y轴方向”。第一壳体430的长度与涂布头单元支撑框架400的水平部件的长度相同。第二壳体440的长度与第一壳体430的长度相同。

第一壳体430在其前板431的上部内具有四边形形状的第一开口432。第一壳体430在其上板433和下板434中的每一个内均具有通孔。缆线延伸穿过的通孔与缆线管道450的内部连通。

第二壳体440在其前板441的上部内具有四边形形状的第二开口442。第二壳体440在其下板443中的每一个内均具有通孔。缆线延伸穿过的通孔与第一壳体430的上板433内的通孔连通。

连接管C连接到涂布头单元H。连接管C的横剖面是四边形的。连接管C包括竖向管11和自竖向管11水平地延伸的水平管12。竖向管11沿Z轴方向(即竖立位置)定位，且竖向管11的下端连接到涂布头单元H。

十六个(16个)涂布头单元从左到右分别限定为“第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八、第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六涂布头单元H1、H2、H3、H4、H5、H6、H7、H8、H9、H10、H11、H12、H13、H14、H15以及H16”。

十六个(16个)连接管从左到右分别限定为“第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八、第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六连接管C1、C2、C3、C4、C5、C6、C7、C8、C9、C10、C11、C12、C13、C14、C15以及C16”。

第一连接管组由第一、第二、第三以及第四连接管C1、C2、C3以及C4组成。第二连接管组由第五、第六、第七、第八、第九、第十、第十一以及第十二连接管C5、C6、C7、C8、C9、C10、C11以及C12组成。第三连接管组由第十三、第十四、第十五以及第十六连接管C13、C14、C15以及C16组成。

第一连接管组中的连接管的竖向管11具有相同长度。第二连接管组中的连接管的竖向管11具有相同长度。第三连接管组中的连接管的竖向管11具有相同长度。

第一连接管组中的连接管的竖向管11与第三连接管组中的连接管的竖向管11长度相等，但比第二连接管组中的连接管的竖向管11的长度小。

第一连接管组中的连接管与第一壳体430的内部连通。也就是说，第一连接管组中的连接管的每个水平管12的端部通到第一壳体430内的第一开口432，然后定位到第一壳体430内部。第一连接管组中的连接管的每个竖向管11定位在离开涂布头单元支撑框架400的水平部件的前侧面和第一壳体430的前板431的给定距离处。

第二连接管组中的连接管与第二壳体440的内部连通。也就是说，第二连接管组中的连接管的每个水平管12的端部通到第二壳体440内的第二开口442，然后定位到第二壳体440内部。第二连接管组中的连接管的每个竖向管11定位在离开涂布头单元支撑框架400的水平部件的前侧面以及第一和第二壳体430和440的前板431和441的给定距离处。

第三连接管组中的连接管与第一壳体430的内部连通。也就是说，第三连接管组中的连接管的每个水平管12的端部通到第一壳体430内的第一开口432，然后定位到第一壳体430内部。第三组中的连接管的每个竖向管11定位在离开涂布头单元支撑框架400的水平部件的前侧面和第一壳体430的前板431的给定距离处。

图4是构成设置到液晶涂布机的用于支撑随行缆线的现有装置的第一壳体的横剖视图。图5是构成设置到液晶涂布机的用于支撑随行缆线的现有装置的第二壳体的横剖视图。

如图4所示，第一连接管组中的连接管的水平管12越接近第一和第二壳体430和440的中央，则第一连接管组中的连接管的水平管12的长度越大。且第三连接管组中的连接管的水平管12越接近第一和第二壳体430和440的中央，则第三连接管组中的连接管的水平管12的长度越大。

如图5所示，第二连接管组中的连接管的水平管12越远离第一和第二壳体430和440的中央，则第二连接管组中的连接管的水平管12的长度越小。

当从前面观察涂布头单元支撑框架400时，在第一壳体430的下板的上表面的两侧的每一侧上设置有四个(4个)固定支架。

四个(4个)固定支架以如下方式固定地连接到第一壳体430的下板的上表面的左侧，即能够使四个(4个)固定支架定位成彼此相隔给定距离并沿Y轴方向排列成行。四个(4个)固定支架从涂布头单元支撑框架400的水平部件的前侧到水平部件的后侧分别限定为“第一、第二、第三以及第四固定支架B1、B2、B3以及B4”。

四个(4)固定支架以如下方式固定地连接到第一壳体430的下板的上表面的右侧，即能够使四个(4)固定支架定位成彼此相隔给定距离并沿Y轴方向排列成行。四个(4)固定支架从涂布头单元支撑框架400的水平部件的前侧到水平部件的后侧分别限定为“第十六、第十五、第十四以及第十三固定支架B16、B15、B14以及B13”。

位于第一壳体430下板的上表面上的固定支架具有相等高度。

当从前面观察涂布头单元支撑框架400时，在第二壳体440的下板的上表面的两侧中的每一侧上设置有四个(4个)固定支架。

四个(4)固定支架以如下方式固定地连接到第二壳体440的下板的上表面的左侧，即能够使四个(4)固定支架定位成彼此相隔给定距离并沿Y轴方向排列成行。

四个(4)固定支架从涂布头单元支撑框架400的水平部件的前侧到水平部件的后侧分别限定为“第五、第六、第七以及第八固定支架B5、B6、B7以及B8”。

四个(4)固定支架以如下方式固定地连接到第二壳440的下板的上表面的右侧，即能够使四个(4)固定支架定位成彼此相隔给定距离并沿Y轴方向排列成行。

四个(4)固定支架从涂布头单元支撑框架400的水平部件的前侧到水平部件的后侧分别限定为“第十二、第十一、第十以及第九固定支架B12、B11、B10以及B9”。

位于第二壳体440的下板的上表面上的固定支架具有相等高度。

柔性缆线管(也称作“缆线传送装置(cableveyor)”)连接在固定支架和连接管之间。十六个(16个)柔性缆线管需要分别各自连接在十六个(16个)固定支架和十六个(16个)连接管之间。十六个(16个)柔性缆线管分别限定为“第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八、第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六柔性缆线管”，以匹配相应的十六个(16个)涂布头单元H。

连接到第一涂布头单元H的缆线穿过第一连接管和第一柔性缆线管，然后穿过第一壳体430中的通孔以及缆线管道450的内部，并连接到控制单元(未示出)。以此方式，十六个(16个)缆线分别各自连接在十六个(16个)涂布头单元H和控制单元(未示出)之间。

用于支撑随行缆线的现有装置所存在的问题是第一和第二壳体430和440安装在涂布头单元支撑框架400上，使得液晶涂布机较高。结果，涂布头单元H和涂布头单元支撑框架400的运动将振动传递到第一和第二壳体430和440，而这转而导致尘粒出现。此外，第一和第二驱动单元D1和D2处于重载下，以移动涂布头单元支撑框架400和涂布头单元H。

发明内容

本发明提供一种具有紧凑构造的用于支撑随行缆线的装置，其具有能够防止由于振动而出现尘粒的构造。

根据本发明一个方面，提供一种用于支撑随行缆线的装置，包括：壳体，其设置在具有多个涂布头单元的涂布头单元支撑框架上；多个固定支架，其固定地设置在壳体内部，成一行排列；多个柔性缆线管，每个柔性缆线管连接到一个固定支架；以及多个连接管，每个连接管连接在一个柔性缆线管与一个涂布头单元之间。

根据本发明另一方面，提供一种用于支撑随行缆线的装置，包括：壳体，其设置在具有多个涂布头单元的涂布头单元支撑框架上；多个固定支架，其固定地设置在壳体内部，成多行排列；多个柔性缆线管，每个柔性缆线管连接到一个固定支架；以及多个连接管，每个连接管连接在一个柔性缆线管与一个涂布头单元之间。

柔性缆线管包括下直线部、上直线部、以及连接在下直线部和上直线部之间的曲线部。柔性缆线管的曲线部具有相同的曲率半径。

柔性缆线管包括下直线部、上直线部、以及连接在下直线部和上直线部之间的曲线部，且连接到同一行中的固定支架的柔性缆线管的曲线部具有不同的曲率半径。

位于同一行中的固定支架具有不同高度。

连接管包括竖向管以及从竖向管水平地延伸的水平管。

连接管包括前竖向管、从前竖向管水平地延伸的水平管、以及从水平管向下延伸的后连接部件。

根据本发明另一方面，提供一种用于支撑随行缆线的装置，包括：壳体，其设置在具有多个涂布头单元的涂布头单元支撑框架上；多个柔性缆线管，其固定地设置在壳体内部，成多行排列；以及多个连接管，每个连接管连接在一个柔性缆线管与一个涂布头单元之间。

结合附图从本发明的以下详述中，将更清楚本发明的前述以及其它目的、特征、方面以及优点。

附图说明

包含进来以帮助进一步理解本发明并且结合进说明书并构成说明书一部分的附图说明本发明的实施例，并且与说明书一起用于解释本发明的原理。

在附图中：

图1是液晶涂布机的示例的立体图；

图2是设置到液晶涂布机的用于支撑随行缆线的现有装置的主视图；

图3是设置到液晶涂布机的用于支撑随行缆线的现有装置的侧视图；

图4是构成设置到液晶涂布机的用于支撑随行缆线的现有装置的第一壳体的横剖视图；

图5是构成设置到液晶涂布机的用于支撑随行缆线的现有装置的第二壳体的横剖视图；

图6、7以及8分别是根据本发明第一实施方式的用于支撑随行缆线的装置的主视图、平面图以及侧视图；

图9是构成根据本发明第一实施方式的用于支撑随行缆线的装置的固定支架的平面图；

图10是构成根据本发明第一实施方式的用于支撑随行缆线的装置的随行缆线的侧视图；

图11是构成根据本发明第一实施方式的用于支撑随行缆线的装置的随行缆线的立体图；

图12是构成根据本发明第一实施方式的用于支撑随行缆线的装置的固定支架的平面图；

图13是构成根据本发明第一实施方式的用于支撑随行缆线的装置的随行缆线的侧视图；

图14和15分别是根据本发明第二实施方式的用于支撑随行缆线的装置的主视图和平面图；

图16是构成根据本发明第二实施方式的用于支撑随行缆线的装置的连接管的侧视图；

图17是构成根据本发明第二实施方式的用于支撑随行缆线的装置的随行缆线的侧视图；

图18是根据本发明第二实施方式的用于支撑随行缆线的装置的一部分的立体图；以及

图19是构成根据本发明第二实施方式的用于支撑随行缆线的装置的连接管和柔性缆线管的结合的侧视图。

具体实施方式

参见附图，将描述根据本发明实施方式的用于支撑随行缆线的装置。

图6、7以及8分别是根据本发明第一实施方式的用于支撑随行缆线的装置的主视图、平面图以及侧视图。

参见图6、7以及8，现描述根据本发明第一实施方式的用于支撑随行缆线的装置。

液晶涂布机包括：涂布头单元支撑框架400；导引单元G，其设置在涂布头单元支撑框架400上；多个涂布头单元H，其设置在导引单元G上；以及驱动单元D，其移动涂布头单元H。涂布头单元H沿X轴方向设置成一行。

当从前面观察时，涂布头单元支撑框架400从左到右或从右到左移动所沿的方向限定为“X轴方向”。当从前面观察时，涂布头单元支撑框架400向前或向后移动所沿的方向限定为“Y轴方向”。涂布头单元支撑框架400向上或向下竖直地移动所沿的方向限定为“Z轴方向”。

涂布头单元H的数量可为16、12或6，但不限于任何数量。例如，假定十六个(16个)涂布头单元H通过位于它与涂布头单元支撑框架400之间的导引单元G设置在涂布头单元支撑框架400上。

十六个(16个)涂布头单元从左到右分别限定为“第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八、第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六涂布头单元H1、H2、H3、H4、H5、H6、H7、H8、H9、H10、H11、H12、H13、H14、H15以及H16”。

壳体610设置在涂布头单元支撑框架400的水平部件的顶部上。成六面体形式的壳体610在其内部具有空间。壳体610包括前板611、后板612、两个侧板613、上板614以及下板615。

壳体610的长度可与涂布头单元支撑框架400的水平部件的长度相等或比后者略大。

壳体610在其前板611的上部内具有类似于四边形形状的开口616。开口616的长度(沿X轴方向)可比涂布头单元支撑框架400的小一些。壳体610在其下板615内具有通孔617。

缆线管道620设置在壳体610的下板615的下表面上。缆线延伸穿过的通孔617与缆线管道620的内部连通。

连接管CC(也称作缆线导引构件)连接到各个涂布头单元H。连接管CC的横剖面是四边形的。连接管CC的横剖面可为圆形或三角形的。连接管CC包括竖向管21和从竖向管21水平地延伸的水平管22。竖向管21沿Z轴方向(即竖立方向)定位，且竖向管21的下端连接到各个涂布头单元H。水平管22的端部穿过前板611的开口161，然后驻留在壳体610内部。

连接管CC的数量可为16、12或6，但不限于任何数量。假定，十六个(16个)连接管CC分别设置在涂布头单元H上。十六个(16个)连接管CC从左到右分别限定为“第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八、第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六连接管CC1、CC2、CC3、CC4、CC5、CC6、CC7、CC8、CC9、CC10、CC11、CC12、CC13、CC14、CC15以及CC16”。

当从前面观察涂布头单元支撑框架400时，在壳体610的下板615的上表面的左侧上固定地设置有第一组固定支架BB。

当从前面观察涂布头单元支撑框架400时，在壳体610的下板615的上表面的右侧上固定地设置有第二组固定支架BB。

如图9所示，第一组固定支架BB的数量与第二组固定支架BB的数量相同。每个第一组和第二组固定支架BB由八个(8个)固定支架BB组成。第一组固定支架BB中的八个(8个)固定支架BB分别限定为第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七以及第八固定支架BB1、BB2、BB3、BB4、BB5、BB6、BB7以及BB8。第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七以及第八固定支架BB1、BB2、BB3、BB4、BB5、BB6、BB7以及BB8分别与第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七以及第八连接管CC1、CC2、CC3、CC4、CC5、CC6、CC7、CC8对应。第二组固定支架BB中的八个(8个)固定支架BB分别限定为第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六固定支架BB9、BB10、BB11、BB12、BB13、BB14、BB15以及BB16。第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六固定支架BB9、BB10、BB11、BB12、BB13、BB14、BB15以及BB16分别与第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六连接管CC9、CC10、CC11、CC12、CC13、CC14、CC15以及CC16对应。

在壳体610的下板615的上表面的左侧上，第一组固定支架中的固定支架设置成固定支架行，各行与涂布头单元支撑框架400的水平部件的长度平行。固定支架的各行彼此相对间隔开给定距离。固定支架的行数可为三(3)。固定支架的三(3)行从前板611到后板612分别限定为“第一固定支架行、第二固定支架行、第三行固定支架行”。

第一固定支架行由三个(3个)固定支架组成。第二固定支架行由三个(3个)固定支架组成。第三固定支架行由两个(2个)固定支架组成。

第一行中的三个(3个)固定支架从左到右由第一、第四以及第七固定支架BB1、BB4以及BB7组成。第一、第四以及第七固定支架BB1、BB4以及BB7彼此相对隔开相等距离。第一、第四以及第七固定支架BB1、BB4以及BB7在高度上彼此不同。如图10所示，优选地，第一行中的固定支架越接近壳体610的下板615的中心线，则第一行中的固定支架越大。第一、第四以及第七固定支架BB1、BB4以及BB7之间的各高度差可与各个柔性缆线管(后文描述)的厚度对应。第一、第四以及第七固定支架BB1、BB4以及BB7之间的高度差可相等。

第二行中的三个(3个)固定支架从左到右由第二、第五以及第八固定支架BB2、BB5以及BB8组成。第二、第五以及第八固定支架BB2、BB5以及BB8可彼此相对间隔开相等距离。第二行中的第二固定支架BB2可定位于第一行中的第一和第四固定支架BB1和BB4之间的后方处，第二行中的第五固定支架BB5可定位于第一行中的第四和第七固定支架BB4和BB7之间的后方处，以及第二行中的第八固定支架BB8可定位于第一行中的第七固定支架BB7的后方处，但位于第七固定支架BB7的右侧。第二、第五以及第八固定支架在高度上彼此不同。优选地，第二行中的固定支架越接近壳体610的下板615的中心线，则第二行中的固定支架越大。第二、第五以及第八固定支架BB2、BB5以及BB8之间的各高度差可因各个柔性缆线管(后文描述)的厚度而产生。第二、第五以及第八固定支架BB2、BB5以及BB8之间的各距离可相同。

壳体610的下板615的中心线限定为“当从上方观察壳体610时，沿Y轴方向将下板615分成相同两半的线”。

第三行中的两个(2个)固定支架从左到右由第三和第六固定支架BB3和BB6组成。第三和第六固定支架BB3和BB6可彼此间隔相同距离。第三行中的第三固定支架BB3可定位于第二行中的第二和第五固定支架BB2和BB5之间的后方处，第三行中的第六固定支架BB6可定位于第二行中的第五和第八固定支架BB5和BB8之间的后方处。

第三和第六固定支架BB3和BB6之间的高度差可因各个柔性缆线管的厚度而产生。

最接近壳体610的下板615的中心线的固定支架是第二行中的第八固定支架BB8，随后的顺序是第一行中的第七固定支架BB7、第三行中的第六固定支架BB6、第二行中的第五固定支架BB5、第一行中的第四固定支架BB4、第三行中的第三固定支架BB3、第二行中的第二固定支架BB2、以及第一行中的第一固定支架BB1。

第一组固定支架中的最下部固定支架限定为“基本级支架”。比最下部固定支架高出柔性缆线管厚度的固定支架限定为“二级支架”。比二级支架高出柔性缆线管厚度的固定支架限定为“三级支架”。比三级支架高出柔性缆线管厚度的固定支架限定为“四级支架”。第一行中的第一、第四以及第七固定支架BB1、BB4以及BB7分别是基本级支架、二级支架以及三级支架。第二行中的第二、第五以及第八固定支架BB2、BB5以及BB8分别是二级支架、三级支架以及四级支架。第三和第六固定支架BB3和BB6分别是三级支架和四级支架。

当从前方观察涂布头单元支撑框架400时，第一组固定支架中的第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七以及第八固定支架BB1、BB2、BB3、BB4、BB5、BB6、BB7以及BB8不彼此重叠。

在壳体610的下板615的上表面的右侧上，第二组固定支架中的固定支架设置成固定支架行，各行与涂布头单元支撑框架400的水平部件的长度平行。固定支架的各行彼此相对间隔给定距离。固定支架的行数可为三(3)。固定支架的三(3)行从前板611到后板612分别限定为“第一固定支架行、第二固定支架行、第三固定支架行”。

第一固定支架行由三个(3个)固定支架组成。第二固定支架行由三个(3个)固定支架组成。第三固定支架行由两个(2个)固定支架组成。

第一行中的三个(3)固定支架从右到左由第十六、第十三以及第十固定支架BB16、BB13以及BB10组成。第十六、第十三以及第十固定支架BB16、BB13以及BB10彼此相对隔开相等距离。第十六、第十三以及第十固定支架BB16、BB13以及BB10在高度上彼此不同。优选地，第一行中的固定支架越接近壳体610的下板615的中心线，则第一行中的固定支架越大。

第十六、第十三以及第十固定支架BB16、BB13以及BB10之间的各高度差可与各柔性缆线管(后文描述)的厚度对应。第十六、第十三以及第十固定支架BB16、BB13以及BB10之间的高度差可相等。

第二行中的三个(3)固定支架从右到左由第十五、第十二以及第九固定支架BB15、BB12以及BB9组成。第十五、第十二以及第九固定支架BB15、BB12以及BB9可彼此相对间隔开相等距离。第二行中的第十五固定支架BB15可定位于第一行中的第十六和第十三固定支架BB16和BB13之间的后方处，第二行中的第十二固定支架BB12可定位于第一行中的第十三和第十固定支架BB13和BB10之间的后方处，以及第二行中的第九固定支架BB9可定位于第一行中的第十固定支架BB10的后方处，但位于第十固定支架BB10的左侧。第十五、第十二以及第九固定支架BB15、BB12以及BB9在高度上彼此不同。优选地，第二行中的固定支架越接近壳体610的下板615的中心线，则第二行中的固定支架越大。第十五、第十二以及第九固定支架BB15、BB12以及BB9之间的各高度差可因各个柔性缆线管(后文描述)的厚度而产生。第十五、第十二以及第九固定支架BB15、BB12以及BB9之间的各距离可相同。

第三行中的两个(2)固定支架从右到左由第十四和第十一固定支架BB14和BB11组成，第十四和第十一固定支架BB14和BB11可彼此间隔相同距离。第三行中的第十四固定支架BB14可定位于第二行中的第十五和第十二固定支架BB15和BB12之间的后方处，第三行中的第十一固定支架BB11可定位于第二行中的第十二和第九固定支架BB12和BB9之间的后方处。第十四和第十一固定支架BB14和BB11在高度上彼此不同。优选地，第三行中的固定支架越接近壳体610的下板615的中心线，第三行中的固定支架越大。第十四和第十一固定支架BB14和BB11的高度差可与各个柔性缆线管(后文描述)的厚度对应。第十四和第十一固定支架BB14和BB11之间的高度差可为柔性缆线管的厚度。

最接近壳体610的下板615的中心线的固定支架是第二行中的第九固定支架BB9，随后的顺序是第一行中的第十固定支架BB10、第三行中的第十一固定支架BB11、第二行中的第十二固定支架BB12、第一行中的第十三固定支架BB13、第三行中的第十四固定支架BB14、第二行中的第十五固定支架BB15、以及第一行中的第十六固定支架BB16。

第一行中的第十六、第十三以及第十固定支架BB16、BB13以及BB10分别是基本级支架、二级支架以及三级支架。第二行中的第十五、第十二以及第九固定支架BB15、BB12以及BB9分别是二级支架、三级支架以及四级支架。第十四和第十一固定支架BB14和BB11分别是三级支架和四级支架。

当从前方观察涂布头单元支撑框架400时，第二组固定支架中的第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六固定支架BB9、BB10、BB11、BB12、BB13、BB14、BB15以及BB16不彼此重叠。

十六个(16个)柔性缆线管L分别各自连接到十六个(16个)固定支架。十六个(16个)柔性缆线管L限定为“第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八、第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六柔性缆线管L1、L2、L3、L4、L5、L6、L7、L8、L9、L10、L11、L12、L13、L14、L15以及L16”。如图10所示，第一至第十六柔性缆线管L1至L16分别固定地连接到各第一至第十六固定支架BB1至BB16。十六个(16个)柔性缆线管L中的每一个均具有上直线部33、下直线部31、以及连接在上直线部和下直线部之间的曲线部32。下直线部31的端部固定地连接到固定支架。在柔线缆线管L的长度保持恒定的情况下，上直线部33和下直线部31的长度是相对于彼此可变的，以容许涂布头单元H沿X轴方向移动。十六个(16个)柔性缆线管L可具有相同的长度和形状。十六个(16个)柔性缆线管L的曲线部32具有相同的曲率半径。如图11所示，第一至第八柔性缆线管L1至L8分别固定地连接到第一组固定支架中的第一至第八固定支架BB1至BB8。

分别固定地连接到第一组固定支架的第一行中的第一、第四以及第七固定支架BB1、BB4以及BB7的第一、第四以及第七柔性缆线管L1、L4以及L7，沿竖向彼此交叠。也就是说，第一、第四以及第七柔性缆线管L1、L4以及L7的下直线部31彼此交叠。分别固定地连接到第一组固定支架的第二行中的第二、第五以及第八固定支架BB2、BB5以及BB8的第二、第五以及第八柔性缆线管L2、L5以及L8，沿竖向彼此交叠。也就是说，第二、第五以及第八柔性缆线管L2、L5以及L8的下直线部31彼此交叠。分别固定地连接到第一组固定支架的第三行中的第三和第六固定支架BB3和BB6的第三和第六柔性缆线管L3和L6，沿竖向彼此交叠。也就是说，第三和第六柔性缆线管L3和L6的下直线部31彼此交叠。

固定支架的高度决定了从壳体610的下板615的上表面到固定地连接到第一组固定支架中的固定支架的柔性缆线管的上直线部33的高度。

如图11所示，第九至第十六柔性缆线管L9至L16分别连接到第二组固定支架中的第九至第十六固定支架BB9至BB16。

分别固定地连接到第二组固定支架的第一行中的第十、第十三以及第十六固定支架BB10、BB13以及BB16的第十、第十三以及第十六柔性缆线管L10、L13以及L16，沿竖向彼此交叠。也就是说，第十、第十三以及第十六柔性缆线管L10、L13以及L16的下直线部31彼此交叠。分别固定地连接到第二组固定支架的第二行中的第九、第十二以及第十五固定支架BB9、BB12以及BB15的第九、第十二以及第十五柔性缆线管L9、L12以及L15，沿竖向彼此交叠。也就是说，第九、第十二以及第十五柔性缆线管L9、L12以及L15的下直线部31彼此交叠。分别固定地连接到第二组固定支架的第三行中的第十一和第十四固定支架BB11和BB14的第十一和第十四柔性缆线管L11和L14，沿竖向彼此交叠。也就是说，第十一和第十四柔性缆线管L11和L14的下直线部31彼此交叠。

固定支架的高度决定了从壳体610的下板615的上表面到固定地连接到第二组固定支架中的固定支架的柔性缆线管的上直线部33的高度。

第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七以及第八连接管CC1、CC2、CC3、CC4、CC5、CC6、CC7以及CC8分别与第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七以及第八固定支架BB1、BB2、BB3、BB4、BB5、BB6、BB7以及BB8对应。连接管的竖直管的长度取决于固定支架的高度。例如，因为第一固定支架BB1的高度比第二固定支架BB2的高度小，所以第一连接管CC1的竖直管21的长度比第二连接管CC2的竖直管21的长度小。

第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六连接管CC9、CC10、CC11、CC12、CC13、CC14、CC15以及CC16分别与第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六固定支架BB9、BB10、BB11、BB12、BB13、BB14、BB15以及BB16对应。连接管的竖直管的长度取决于固定支架的高度。例如，因为第九固定支架BB9的高度比第十固定支架BB10的高度大，所以第九连接管CC9的竖直管21的长度比第十连接管CC10的竖直管21的长度大。

在确定第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七以及第八连接管CC1、CC2、CC3、CC4、CC5、CC6、CC7以及CC8各自的水平管22的长度时，连接管的水平管22的长度可与从壳体610的前板611到相应的固定支架的距离相等、或比上述距离大一些。也就是说，第一连接管CC1的水平管22的长度与从壳体610的前板611到第一固定支架BB1的距离相等、或者比上述距离大一些。

第二连接管CC2的水平管22的长度与从壳体610的前板611到第二固定支架BB2的距离相等、或者比上述距离大一些。

第三连接管CC3的水平管22的长度与从壳体610的前板611到第三固定支架BB3的距离相等、或者比上述距离大一些。

第四连接管CC4的水平管22的长度与从壳体610的前板611到第四固定支架BB4的距离相等、或者比上述距离大一些。

第五连接管CC5的水平管22的长度与从壳体610的前板611到第五固定支架BB5的距离相等、或者比上述距离大一些。

第六连接管CC6的水平管22的长度与从壳体610的前板611到第六固定支架BB6的距离相等、或者比上述距离大一些。

第七连接管CC7的水平管22的长度与从壳体610的前板611到第七固定支架BB7的距离相等、或者比上述距离大一些。

第八连接管CC8的水平管22的长度与从壳体610的前板611到第八固定支架BB8的距离相等、或者比上述距离大一些。

因此，第一、第四以及第七连接管CC1、CC4以及CC7的水平管22具有相等长度。第二、第五以及第八CC2、CC5以及CC8的水平管22具有相等长度。第三和第六连接管CC3和CC6的水平管22具有相等长度。

在确定第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六连接管CC9、CC10、CC11、CC12、CC13、CC14、CC15以及CC16各自的水平管22的长度时，连接管的水平管22的长度可与从壳体610的前板611到相应的固定支架的距离相等、或比上述距离大一些。

因此，第十、第十三以及第十六连接管CC10、CC13以及CC16的水平管22具有相等长度。第九、第十二以及第十五CC9、CC12以及CC15的水平管22具有相等长度。第十一和第十四连接管CC11和CC14的水平管22具有相等长度。

十六个(16个)连接管的各个水平管22在其横向侧面的端部内具有通孔。

第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七以及第八柔性缆线管L1、L2、L3、L4、L5、L6、L7以及L8分别连接到第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七以及第八连接管CC1、CC2、CC3、CC4、CC5、CC6、CC7以及CC8的水平管22。也就是说，柔性缆线管L的上直线部的端部连接到连接管的水平管22的横向侧面。结果，位于连接管的水平管22的横向侧面的端部内的通孔与柔性缆线管L的内部连通。

第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六柔性缆线管L9、L10、L11、L12、L13、L14、L15以及L16分别连接到第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六连接管CC9、CC10、CC11、CC12、CC13、CC14、CC15以及CC16的水平管22。也就是说，柔性缆线管L的上直线部的端部连接到连接管的水平管22的横向侧面。结果，位于连接管的水平管22的横向侧面的端部内的通孔与柔性缆线管L的内部连通。

如图12和13所示，第一组固定支架中最低的第一固定支架BB1和第二组固定支架中最低的第十六固定支架BB16可不设置在壳体610的下板615上。在这种情况下，第一和第十六柔性缆线管L1和L16分别固定地连接到壳体610的下板615上原本要安装第一和第十六固定支架BB1和BB16的两个位置处。结果，第一组固定支架中的每个其它固定支架的高度要减小对应于第一固定支架BB1的高度的量，第二组固定支架中的每个其它固定支架的高度要减小对应于第十六固定支架BB16的高度的量。从壳体610的下板615的上表面到柔性缆线管的上直线部33的高度要减小对应于第一或第十六固定支架BB1或BB16的高度的量。而且连接管的竖向管21要减小对应于第一或第十六固定支架BB1或BB16的高度的量。

缆线(未示出)插入柔性缆线管L内、并插入将柔性缆线管L连接到涂布头单元H的连接管CC内。缆线被紧密地保持在柔性缆线管L内的合适位置。

柔性缆线管L和缆线的待保留在柔性缆线管L内部的部分可制成为一体。

如上所述，缆线的一端通过柔性缆线管L和连接管连接到涂布头单元H，而缆线的另一端通过缆线管道连接到控制单元(未示出)。

现描述根据本发明第二实施方式用于支撑随行缆线的装置。

图14和15分别是根据本发明第二实施方式的用于支撑随行缆线的装置的主视图和平面图。

如图14和15所示，与第一实施方式中的用于支撑随行缆线的装置一样，假定十六个(16个)涂布头单元H设置在涂布头单元支撑框架400上，且在涂布头单元H与涂布头单元支撑框架400之间具有导引单元G。

十六个(16个)涂布头单元从左到右分别限定为“第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八、第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六涂布头单元H1、H2、H3、H4、H5、H6、H7、H8、H9、H10、H11、H12、H13、H14、H15以及H16”。

壳体610设置在涂布头单元支撑框架400的水平部件的顶部上。壳体610具有与第一实施方式中的构造相同的构造。缆线管道620设置在壳体610的下板615的下表面上。

缆线管道620具有与第一实施方式中的构造相同的构造。

连接管CD(也称作缆线导引构件)连接到涂布头单元H。连接到涂布头单元的缆线位于连接管CD内部。

如图16所示，连接管CD的一个示例包括前竖向管25、从前竖向管25水平地延伸的水平管26、以及从水平管26向下延伸的后连接部件27。

前竖向管25和水平管26的各个截面可为四边形、圆形或三角形。后连接部件27具有连接孔。

前竖向管25可包括后板和两个从后板延伸的侧板。在这种情况下，前竖向管25的形状类似于“U”形。水平管26可包括后板和两个从后板延伸的侧板。在这种情况下，水平管26的形状类似于“U”形。水平管26的一些部分可为管的形式，而水平管26的其它部分可包括后板和两个从后板延伸的侧板(即，水平管26的其它部分可形成为类似于“U”形的形状)。

前竖向管25沿Z轴方向定位(即位于竖立位置)，因此前竖向管25的下端连接到涂布头单元H。水平管26沿Y轴方向定位，因此水平管26的一端穿过壳体610的前板611内的开孔616。后连接部件27沿Z轴方向定位。前竖向管25的下端和后连接部件27的下端均指向下方。

连接管CD的数量可为16、12或6，但不限于任何数量。假定十六个(16个)连接管CD分别设置在涂布头单元H上。十六个(16个)连接管CD从左到右分别限定为“第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八、第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六连接管CD1、CD2、CD3、CD4、CD5、CD6、CD7、CD8、CD9、CD10、CD11、CD12、CD13、CD14、CD15以及CD16”。

当从前面观察涂布头单元支撑框架400时，在壳体610的下板615的上表面的左侧上固定地设置有第一组固定支架BB。

当从前面观察涂布头单元支撑框架400时，在壳体610的下板615的上表面的右侧上固定地设置有第二组固定支架BB。

第二实施方式中的第一组固定支架的数量和配置与第一实施方式中的那些相同。因此，不再描述第一组固定支架。

第二实施方式中的第二组固定支架的数量和配置与第一实施方式中的那些相同。因此，不再描述第二组固定支架。

第二实施方式中的第一和第二组固定支架中的固定支架与第一实施方式总的第一和第二组固定支架中的相应固定支架具有相同的标号。

第一组固定支架中的第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七以及第八固定支架BB1、BB2、BB3、BB4、BB5、BB6、BB7以及BB8分别与第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七以及第八连接管CD1、CD2、CD3、CD4、CD5、CD6、CD7、CD8对应。第二组固定支架中的第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六固定支架BB9、BB10、BB11、BB12、BB13、BB14、BB15以及BB16分别与第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六连接管CD9、CD10、CD11、CD12、CD13、CD14、CD15以及CD16对应。

十六个(16个)柔性缆线管LD分别各自连接到十六个(16个)固定支架。十六个(16个)柔性缆线管LD限定为第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八、第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六柔性缆线管LD1、LD2、LD3、LD4、LD5、LD6、LD7、LD8、LD9、LD10、LD11、LD12、LD13、LD14、LD15以及LD16。

如图17所示，第一至第十六柔性缆线管LD1至LD16分别固定地连接到每个第一至第十六固定支架BB1至BB16。十六个(16个)柔性缆线管LD中的每一个均具有上直线部33、下直线部31、以及连接在上直线部33和下直线部31之间的曲线部32。下直线部31的端部固定地连接到固定支架。在柔线缆线管LD的长度保持恒定的情况下，上直线部33和下直线部31的长度是相对于彼此可变的，以容许涂布头单元H沿X轴方向移动。

第一至第八柔性缆线管LD1至LD8分别固定地连接到第一组固定支架中的第一至第八固定支架BB1至BB8。

分别固定地连接到第一组固定支架的第一行中的第一、第四以及第七固定支架BB1、BB4以及BB7的第一、第四以及第七柔性缆线管LD1、LD4以及LD7，沿竖向彼此交叠。也就是说，第一、第四以及第七柔性缆线管LD1、LD4以及LD7的下直线部31彼此交叠。第一、第四以及第七柔性缆线管LD1、LD4以及LD7的曲线部32具有不同的曲率半径。柔性缆线管定位得朝向下板615的左侧离开壳体610下板615的中心线越远，曲线部32的曲率半径越大。也就是说，第四柔性缆线管LD4的曲线部的曲率半径比第七柔性缆线管LD7的曲线部的曲率半径大，且第一柔性缆线管LD1的曲线部的曲率半径比第四柔性缆线管LD4的曲线部的曲率半径大。从壳体610的下板615的上表面到第七柔性缆线管LD7的上直线部33的高度小于从壳体610的下板615的上表面到第四柔性缆线管LD4的上直线部33的高度。从壳体610的下板615的上表面到第四柔性缆线管LD4的上直线部33的高度小于从壳体610的下板615的上表面到第一柔性缆线管LD1的上直线部33的高度。

分别固定地连接到第一组固定支架的第二行中的第二、第五以及第八固定支架BB2、BB5以及BB8的第二、第五以及第八柔性缆线管LD2、LD5以及LD8，沿竖向彼此交叠。也就是说，第二、第五以及第八柔性缆线管LD2、LD5以及LD8的下直线部31彼此交叠。第二、第五以及第八柔性缆线管LD2、LD5以及LD8的曲线部32具有不同的曲率半径。柔性缆线管定位得朝向下板615的左侧离开壳体610下板615的中心线越远，曲线部32的曲率半径越大。也就是说，第五柔性缆线管LD5的曲线部的曲率半径比第八柔性缆线管LD8的曲线部的曲率半径大，且第二柔性缆线管LD2的曲线部的曲率半径比第五柔性缆线管LD5的曲线部的曲率半径大。从壳体610的下板615的上表面到第八柔性缆线管LD8的上直线部33的高度小于从壳体610的下板615的上表面到第五柔性缆线管LD5的上直线部33的高度。从壳体610的下板615的上表面到第五柔性缆线管LD5的上直线部33的高度小于从壳体610的下板615的上表面到第二柔性缆线管LD2的上直线部33的高度。

分别固定地连接到第一组固定支架的第三行中的第三和第六固定支架BB3和BB6的第三和第六柔性缆线管LD3和LD6，沿竖向彼此交叠。也就是说，第三和第六柔性缆线管LD3和LD6的下直线部31彼此交叠。第三和第六柔性缆线管LD3和LD6的曲线部32具有不同的曲率半径。柔性缆线管定位得朝向下板615的左侧离开壳体610下板615的中心线越远，曲线部32的曲率半径越大。也就是说，第三柔性缆线管LD3的曲线部的曲率半径比第六柔性缆线管LD6的曲线部的曲率半径大。从壳体610的下板615的上表面到第六柔性缆线管LD6的上直线部33的高度小于从壳体610的下板615的上表面到第三柔性缆线管LD3的上直线部33的高度。

第九至第十六柔性缆线管LD9至LD16分别连接到第二组固定支架中的第九至第十六固定支架BB9至BB16。

分别固定地连接到第二组固定支架的第一行中的第十、第十三以及第十六固定支架BB10、BB13以及BB16的第十、第十三以及第十六柔性缆线管LD10、LD13以及LD16，沿竖向彼此交叠。也就是说，第十、第十三以及第十六柔性缆线管LD10、LD13以及LD16的下直线部31彼此交叠。第十、第十三以及第十六柔性缆线管LD10、LD13以及LD16的曲线部32具有不同的曲率半径。柔性缆线管定位得朝向下板615的右侧离开壳体610下板615的中心线越远，曲线部32的曲率半径越大。也就是说，第十三柔性缆线管LD13的曲线部的曲率半径比第十柔性缆线管LD10的曲线部的曲率半径大，且第十六柔性缆线管LD16的曲线部的曲率半径比第十三柔性缆线管LD13的曲线部的曲率半径大。从壳体610的下板615的上表面到第十柔性缆线管LD10的上直线部33的高度小于从壳体610的下板615的上表面到第十三柔性缆线管LD13的上直线部33的高度。从壳体610的下板615的上表面到第十三柔性缆线管LD13的上直线部33的高度小于从壳体610的下板615的上表面到第十六柔性缆线管LD16的上直线部33的高度。

分别固定地连接到第二组固定支架的第二行中的第九、第十二以及第十五固定支架BB9、BB12以及BB15的第九、第十二以及第十五柔性缆线管LD9、LD12以及LD15，沿竖向彼此交叠。也就是说，第九、第十二以及第十五柔性缆线管LD9、LD12以及LD15的下直线部31彼此交叠。第九、第十二以及第十五柔性缆线管LD9、LD12以及LD15的曲线部32具有不同的曲率半径。柔性缆线管定位得朝向下板615的右侧离开壳体610下板615的中心线越远，曲线部32的曲率半径越大。也就是说，第十二柔性缆线管LD12的曲线部的曲率半径比第九柔性缆线管LD9的曲线部的曲率半径大，且第十五柔性缆线管LD15的曲线部的曲率半径比第十二柔性缆线管LD12的曲线部的曲率半径大。从壳体610的下板615的上表面到第九柔性缆线管LD9的上直线部33的高度小于从壳体610的下板615的上表面到第十二柔性缆线管LD12的上直线部33的高度。从壳体610的下板615的上表面到第十二柔性缆线管LD12的上直线部33的高度小于从壳体610的下板615的上表面到第十五柔性缆线管LD15的上直线部33的高度。

分别固定地连接到第二组固定支架的第三行中的第十一和第十四固定支架BB11和BB14的第十一和第十四柔性缆线管LD11和LD14，沿竖向彼此交叠。也就是说，第十一和第十四柔性缆线管LD11和LD14的下直线部31彼此交叠。第十一和第十四柔性缆线管LD11和LD14的曲线部32具有不同的曲率半径。柔性缆线管定位得朝向下板615的右侧离开壳体610下板615的中心线越远，曲线部32的曲率半径越大。也就是说，第十四柔性缆线管LD14的曲线部的曲率半径比第十一柔性缆线管LD11的曲线部的曲率半径大。从壳体610的下板615的上表面到第十一柔性缆线管LD11的上直线部33的高度小于从壳体610的下板615的上表面到第十四柔性缆线管LD14的上直线部33的高度。

第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七以及第八连接管CD1、CD2、CD3、CD4、CD5、CD6、CD7以及CD8分别与第一组固定支架中的第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七以及第八固定支架BB1、BB2、BB3、BB4、BB5、BB6、BB7以及BB8对应。第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六连接管CD9、CD10、CD11、CD12、CD13、CD14、CD15以及CD16分别与第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六固定支架BB9、BB10、BB11、BB12、BB13、BB14、BB15以及BB16对应。十六个(16个)连接管的前竖向管25具有相等长度。

在确定第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七以及第八连接管CD1、CD2、CD3、CD4、CD5、CD6、CD7以及CD8各自的水平管22的长度时，连接管的水平管26的长度可与从壳体610的前板611到相应的固定支架的距离相等、或比上述距离大一些。

因此，第一、第四以及第七连接管CD1、CD4以及CD7的水平管26具有相等长度。第二、第五以及第八CD2、CD5以及CD8的水平管26具有相等长度。第三和第六连接管CD3和CD6的水平管26具有相等长度。

在确定第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四、第十五以及第十六连接管CD9、CD10、CD11、CD12、CD13、CD14、CD15以及CD16各自的水平管26的长度时，连接管的水平管26的长度可与从壳体610的前板611到相应的固定支架的距离相等、或比上述距离大一些。

因此，第十、第十三以及第十六连接管CD10、CD13以及CD16的水平管26具有相等长度。第九、第十二以及第十五CD9、CD12以及CD15的水平管26具有相等长度。第十一和第十四连接管CC11和CC14的水平管26具有相等长度。

十六个(16个)连接管的各个水平管26在其下侧面的端部内具有通孔。

朝向左侧离开壳体610的中心线最远的第一连接管CD1以及紧邻第一连接管CD1的第二连接管CD2中的每一个，可在其下侧的端部内不设有通孔。朝向右侧离开壳体610的中心线最远的第十六连接管CD16以及紧邻第十六连接管CD16的第十五连接管CD15中的每一个，可在其下侧的端部内不设有通孔。

十六个(16个)连接管的水平管26位于同一平面内。十六个(16个)柔性缆线管的上直线部33分别全部定位于十六个(16个)连接管的水平管26的下方。十六个(16个)连接管的后连接部件27指向下方。

分别与第一组固定支架中第一行中的第一、第四以及第七固定支架BB1、BB4以及BB7对应的第一、第四以及第七连接管CD1、CD4以及CD7的后连接部件27具有不同长度。也就是说，如图18所示，第一、第四以及第七连接管CD1、CD4以及CD7的后连接部件27的长度为，使得第一、第四以及第七连接管CD1、CD4以及CD7的后连接部件27的下端部分别连接到第一、第四以及第七柔性缆线管LD1、LD4以及LD7的上直线部33的一个端部。第七连接管CD7的后连接部件27的长度比第四连接管CD4的后连接部件27的长度大。第四连接管CD4的后连接部件27的长度比第一连接管CD1的后连接部件27的长度大。

第一、第四以及第七柔性缆线管LD1、LD4以及LD7的上直线部33的端部分别连接到第一、第四以及第七连接管CD1、CD4以及CD7的后连接部件27。

当第一柔性缆线管LD1的上直线部33的高度与第一连接管CD1的水平管26的高度相同或相似时，第一柔性缆线管LD1的上直线部33的端部可连接到第一连接管CD1的水平管26。在这种情况下，第一连接管CD1不需要其后连接部件27。

分别与第一组固定支架中第二行中的第二、第五以及第八固定支架BB2、BB5以及BB8对应的第二、第五以及第八连接管CD2、CD5以及CD8的后连接部件27具有不同长度。也就是说，第二、第五以及第八连接管CD2、CD5以及CD8的后连接部件27的长度为，使得第二、第五以及第八连接管CD2、CD5以及CD8的后连接部件27的下端部分别连接到第二、第五以及第八柔性缆线管LD2、LD5以及LD8的上直线部33的一个端部。第八连接管CD8的后连接部件27的长度比第五连接管CD5的后连接部件27的长度大。第五连接管CD5的后连接部件27的长度比第二连接管CD2的后连接部件27的长度大。

第二、第五以及第八柔性缆线管LD2、LD5以及LD8的上直线部33的端部分别连接到第二、第五以及第八连接管CD2、CD5以及CD8的后连接部件27。

当第二柔性缆线管LD2的上直线部33的高度与第二连接管CD2的水平管26的高度相同或相似时，第二柔性缆线管LD2的上直线部33的端部可连接到第二连接管CD2的水平管26。在这种情况下，第二连接管CD2不需要其后连接部件27。

分别与第一组固定支架中第三行中的第三和第六固定支架BB3和BB6对应的第三和第六连接管CD3和CD6的后连接部件27具有不同长度。也就是说，第三和第六连接管CD3和CD6的后连接部件27的长度为，使得第三和第六连接管CD3和CD6的后连接部件27的下端部分别连接到第三至第六柔性缆线管LD3和LD6的上直线部33的一个端部。第六连接管CD6的后连接部件27的长度比第三连接管CD3的后连接部件27的长度大。

第三和第六柔性连接管LD3和LD6的上直线部33的端部分别连接到第三和第六连接管CD3和CD6的后连接部件27。

当第三柔性缆线管LD3的上直线部33的高度与第三连接管CD3的水平管26的高度相同或相似时，第三柔性缆线管LD3的上直线部33的端部可连接到第三连接管CD3的水平管26。在这种情况下，第三连接管CD3不需要其后连接部件27。

分别与第二组固定支架中第一行中的第十、第十三以及第十六固定支架BB10、BB13、以及BB16对应的第十、第十三以及第十六连接管CD10、CD13以及CD16的后连接部件27具有不同长度。也就是说，第十、第十三以及第十六连接管CD10、CD13以及CD16的后连接部件27的长度为，使得第十、第十三以及第十六连接管CD10、CD13以及CD16的后连接部件27的下端部分别连接到第十、第十三以及第十六柔性缆线管LD10、LD13以及LD16的上直线部33的一个端部。第十连接管CD10的后连接部件27的长度比第十三连接管CD13的后连接部件27的长度大。第十三连接管CD13的后连接部件27的长度比第十六连接管CD16的后连接部件27的长度大。

第十、第十三以及第十六柔性缆线管LD10、LD13以及LD16的上直线部33的端部分别连接到第十、第十三以及第十六连接管CD10、CD13以及CD16的后连接部件27。

当第十六柔性缆线管LD16的上直线部33的高度与第十六连接管CD16的水平管26的高度相同或相似时，第十六柔性缆线管LD16的上直线部33的端部可连接到第十六连接管CD16的水平管26。在这种情况下，第十六连接管CD16不需要其后连接部件27。

分别与第二组固定支架中第二行中的第九、第十二以及第十五固定支架BB9、BB12、以及BB15对应的第九、第十二以及第十五连接管CD9、CD12以及CD15的后连接部件27具有不同长度。也就是说，第九、第十二以及第十五连接管CD9、CD12以及CD15的后连接部件27的长度为，使得第九、第十二以及第十五连接管CD9、CD12以及CD15的后连接部件27的下端部分别连接到第九、第十二以及第十五柔性缆线管LD9、LD12以及LD15的上直线部33的一个端部。第九连接管CD9的后连接部件27的长度比第十二连接管CD12的后连接部件27的长度大。第十二连接管CD12的后连接部件27的长度比第十五连接管CD15的后连接部件27的长度大。

第九、第十二以及第十五柔性缆线管LD9、LD12以及LD15的上直线部33的端部分别连接到第九、第十二以及第十五连接管CD9、CD12以及CD15的后连接部件27。

当第十五柔性缆线管LD15的上直线部33的高度与第十五连接管CD15的水平管26的高度相同或相似时，第十五柔性缆线管LD15的上直线部33的端部可连接到第十五连接管CD15的水平管26。在这种情况下，第十五连接管CD15不需要其后连接部件27。

分别与第二组固定支架中第三行中的第十一第十四固定支架BB11和BB14对应的第十一和第十四连接管CD11和CD14的后连接部件27具有不同长度。也就是说，第十一和第十四连接管CD11和CD14的后连接部件27的长度为，使得第十一和第十四连接管CD11和CD14的后连接部件27的下端部分别连接到第十一和第十四柔性缆线管LD11和LD14的上直线部33的一个端部。第十一连接管CD11的后连接部件27的长度比第十四连接管CD14的后连接部件27的长度大。

第十一和第十四柔性缆线管LD11和LD14的上直线部33的端部分别连接到第十一和第十四连接管CD11和CD14的后连接部件27。

当第十四柔性缆线管LD14的上直线部33的高度与第十四连接管CD14的水平管26的高度相同或相似时，第十四柔性缆线管LD14的上直线部33的端部可连接到第十四连接管CD14的水平管26。在这种情况下，第十四连接管CD14不需要其后连接部件27。

后连接部件的形状类似于“L”形。柔性缆线管LD的上直线部33的端部可固定地连接到连接管CD的后连接部件27的下侧的下表面。穿过柔性缆线管LD的缆线插入连接管的水平管26内的通孔。

柔性缆线管LD的上直线部33的端部可连接到连接管CD的水平管26的横向侧面。因此，穿过柔性缆线管LD的缆线插入连接管的水平管26内的通孔。

如图12所示，第一组固定支架中最低的第一固定支架BB1和第二组固定支架中最低的第十六固定支架BB16可不设置在壳体610的下板615上。在这种情况下，第一和第十六柔性缆线管LD1和LD16分别固定地连接到壳体610的下板615上原本要安装第一和第十六固定支架BB1和BB16的两个位置处。

结果，第一组固定支架中的每个其它固定支架的高度要减小对应于第一固定支架BB1的高度的量，第二组固定支架中的每个其它固定支架的高度要减小对应于第十六固定支架BB16的高度的量。从壳体610的下板615的上表面到柔性缆线管的上直线部33的高度要减小对应于第一或第十六固定支架BB1或BB16的高度的量。

缆线(未示出)插入柔性缆线管LD内、并插入将柔性缆线管LD连接到涂布头单元H的连接管CD内。缆线被紧密地保持在柔性缆线管LD内的合适位置。

柔性缆线管LD和缆线的待保留在柔性缆线管L内部的部分可制成为一体。

如上所述，缆线的一端通过柔性缆线管LD和连接管CD连接到涂布头单元H，而缆线的另一端通过缆线管道连接到控制单元(未示出)。

可在壳体610的下板615上不安装固定支架。在这种情况下，柔性缆线管分别连接到壳体610的下板615上原本要安装固定支架的位置处。

在涂布头单元H的数量为12、10或6的情况下，数量与涂布头单元H的数量相同的固定支架设置成在壳体610下板615两侧(左侧和右侧)中的各侧上排列成一行或两行。柔性缆线管分别各自连接到固定支架。位于同一行中的柔性缆线管彼此交叠。一个柔性缆线管连接到一个涂布头单元H。

在涂布头单元H的数量为12、10或6的情况下，数量与涂布头单元H的数量相同的柔性缆线管设置成在壳体610下板615两侧(左侧和右侧)中的各侧上排列成一行或两行。也就是说，柔性缆线管分别连接到壳体610的下板615上原本要安装固定支架的位置。位于同一行中的柔性缆线管彼此交叠。一个柔性缆线管连接到一个涂布头单元H。

根据本发明的用于支撑随行缆线的装置可应用于具有涂布头单元的半导体制造机、以及具有涂布头单元的密封胶(或密封剂)涂布机中。

现将描述用于支撑随行缆线的装置的操作。

驱动单元D沿导引单元G移动涂布头单元H。同时，连接到涂布头单元H的缆线随行。

固定支架以能够使固定支架成行排列的方式设置在壳体610的下板615的两侧(左侧和右侧)上。因此，位于同一行中的柔性缆线管沿竖向彼此交叠。这种构造具有结构紧凑、以及在无需增加壳体尺寸或安装附加壳体的情况下容许更多的柔性缆线管安装在一个壳体610内部的优点。

具有紧凑构造的壳体610减少了振动，并因此防止了尘粒出现。

由于在不脱离本发明的主旨或本质特征的情况下，本发明可以若干种形式实施，因此可以理解，上述实施方式不局限于前述中的任何细节，除非另有阐明，否则应当被广义地解释为落入所附权利要求限定的其主旨和范围内，因此落入权利要求的边界和界限内或者这些边界和界限的等效范围内的所有变化和修改，意图为所附权利要求所包括。

Claims (16)

1.一种用于支撑随行缆线的装置，包括：

壳体，所述壳体设置在具有多个涂布头单元的涂布头单元支撑框架上；

多个固定支架，所述多个固定支架固定地设置在所述壳体内部，成一行排列；

多个柔性缆线管，每个所述柔性缆线管连接到一个所述固定支架；以及

多个连接管，每个所述连接管连接在一个所述柔性缆线管与一个所述涂布头单元之间。

2.一种用于支撑随行缆线的装置，包括：

壳体，所述壳体设置在具有多个涂布头单元的涂布头单元支撑框架上；

多个固定支架，所述多个固定支架固定地设置在所述壳体内部，成多行排列；

多个柔性缆线管，每个所述柔性缆线管连接到一个所述固定支架；以及

多个连接管，每个所述连接管连接在一个所述柔性缆线管与一个所述涂布头单元之间。

3.如权利要求2所述的用于支撑随行缆线的装置，其中，所述多个固定支架包括：

成多行排列的第一组固定支架，所述第一组固定支架设置在所述壳体的下板的一侧上；以及

成多行排列的第二组固定支架，所述第二组固定支架设置在所述壳体的下板的相对侧上。

4.如权利要求1或2所述的用于支撑随行缆线的装置，其中，位于同一行内的所述柔性缆线管通过一个柔性缆线管处于另一柔性缆线管上方的方式，沿竖向彼此交叠。

5.如权利要求1或2所述的用于支撑随行缆线的装置，其中，所述柔性缆线管包括：

下直线部；

上直线部；以及

曲线部，曲线部连接在所述下直线部和所述上直线部之间；

其中，所述柔性缆线管的曲线部具有相同的曲率半径。

6.如权利要求1或2所述的用于支撑随行缆线的装置，其中，所述柔性缆线管包括：

下直线部；

上直线部；以及

曲线部，曲线部连接在所述下直线部和所述上直线部之间；

其中，连接到同一行中的所述固定支架的所述柔性缆线管的曲线部具有不同的曲率半径。

7.如权利要求3所述的用于支撑随行缆线的装置，其中，位于所述第一组固定支架中的所述固定支架成多行排列，各行与所述涂布头单元支撑框架的水平部件的沿X方向的长度平行。

8.如权利要求3所述的用于支撑随行缆线的装置，其中，位于所述第二组固定支架中的所述固定支架成多行排列，各行与所述涂布头单元支撑框架的水平部件的沿X方向的长度平行。

9.如权利要求7或8所述的用于支撑随行缆线的装置，其中，位于同一行中的所述固定支架具有不同的高度。

10.如权利要求9所述的用于支撑随行缆线的装置，其中，所述固定支架越接近所述壳体的下板的中心线，所述固定支架的高度越高。

11.如权利要求9所述的用于支撑随行缆线的装置，其中，所述柔性缆线管的厚度决定彼此相邻的两个所述固定支架之间的高度差。

12.如权利要求3所述的用于支撑随行缆线的装置，其中，位于所述第一组固定支架中的固定支架的位置和位于所述第二组固定支架中的固定支架的位置关于所述壳体的下板的中心线对称。

13.如权利要求1或2所述的用于支撑随行缆线的装置，其中，所述连接管包括：

竖向管，竖直管沿竖向竖立地定位；以及

水平管，水平管从所述竖向管水平地延伸。

14.如权利要求1或2所述的用于支撑随行缆线的装置，其中，所述连接管包括：

前竖向管；

水平管，水平管从所述前竖向管水平地延伸；以及

后连接部件，后连接部件从所述水平管向下延伸。

15.一种用于支撑随行缆线的装置，包括：

壳体，所述壳体设置在具有多个涂布头单元的涂布头单元支撑框架上；

多个柔性缆线管，所述多个柔性缆线管固定地设置在所述壳体内部，成多行排列；以及

多个连接管，每个所述连接管连接在一个所述柔性缆线管与一个所述涂布头单元之间。

16.一种用于支撑随行缆线的装置，包括：

壳体，所述壳体设置在具有多个涂布头单元的涂布头单元支撑框架上；

多个柔性缆线管，所述多个柔性缆线管以能够使所述柔性缆线管彼此交叠的方式固定地设置在所述壳体内部，成一行排列；以及

多个连接管，每个所述连接管连接在一个所述柔性缆线管与一个所述涂布头单元之间。