CN102009051A - 溶胶-凝胶膜面激光清洗设备及其清洗方法 - Google Patents
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102327885A (zh) * | 2011-11-04 | 2012-01-25 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种用于石质文物的便携式激光清洗机 |
CN102989720A (zh) * | 2012-10-16 | 2013-03-27 | 江苏大学 | 一种激光辅助清除基体表面纳米颗粒的方法和装置 |
CN109570151A (zh) * | 2019-01-25 | 2019-04-05 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置及清洗方法 |
CN111230309A (zh) * | 2020-02-20 | 2020-06-05 | 中国航空制造技术研究院 | 一种新型的涂层清洗方法 |
CN111992543A (zh) * | 2020-08-21 | 2020-11-27 | 厦门理工学院 | 一种激光等离子体光丝清洗法 |
CN112673792A (zh) * | 2020-12-23 | 2021-04-20 | 峡江县飞福科技有限公司 | 菊芋倒刺松动曲面自弹动式块茎撸拽无损传送清洁采收车 |
CN113058935A (zh) * | 2021-04-30 | 2021-07-02 | 浙江工业大学 | 一种水下双束脉冲激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法 |
CN113102390A (zh) * | 2021-04-28 | 2021-07-13 | 浙江工业大学 | 一种磁场约束双束脉冲激光诱导冲击波清洗微纳颗粒方法 |
CN113198801A (zh) * | 2021-04-30 | 2021-08-03 | 浙江工业大学 | 一种空间约束双束激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1048339A (zh) * | 1989-01-17 | 1991-01-09 | 技术开发地区事务所 | 利用能发射短脉冲的脉冲激光器清洁材料表面的方法及装置 |
CN101404242A (zh) * | 2007-10-02 | 2009-04-08 | 细美事有限公司 | 清洗基片的方法与装置 |
CN101528368A (zh) * | 2006-10-19 | 2009-09-09 | 应用材料公司 | 从衬底处理部件去除残余物 |
JP2010167484A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Takei Electric Industries Co Ltd | 薄膜積層ガラス基板の薄膜除去方法及び装置 |
-
2010
- 2010-10-15 CN CN2010105083657A patent/CN102009051B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1048339A (zh) * | 1989-01-17 | 1991-01-09 | 技术开发地区事务所 | 利用能发射短脉冲的脉冲激光器清洁材料表面的方法及装置 |
CN101528368A (zh) * | 2006-10-19 | 2009-09-09 | 应用材料公司 | 从衬底处理部件去除残余物 |
CN101404242A (zh) * | 2007-10-02 | 2009-04-08 | 细美事有限公司 | 清洗基片的方法与装置 |
JP2010167484A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Takei Electric Industries Co Ltd | 薄膜積層ガラス基板の薄膜除去方法及び装置 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102327885B (zh) * | 2011-11-04 | 2013-01-02 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种用于石质文物的便携式激光清洗机 |
CN102327885A (zh) * | 2011-11-04 | 2012-01-25 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种用于石质文物的便携式激光清洗机 |
CN102989720A (zh) * | 2012-10-16 | 2013-03-27 | 江苏大学 | 一种激光辅助清除基体表面纳米颗粒的方法和装置 |
CN109570151A (zh) * | 2019-01-25 | 2019-04-05 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置及清洗方法 |
CN109570151B (zh) * | 2019-01-25 | 2023-12-22 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置及清洗方法 |
CN111230309A (zh) * | 2020-02-20 | 2020-06-05 | 中国航空制造技术研究院 | 一种新型的涂层清洗方法 |
CN111230309B (zh) * | 2020-02-20 | 2022-06-10 | 中国航空制造技术研究院 | 一种新型的涂层清洗方法 |
CN111992543B (zh) * | 2020-08-21 | 2021-10-22 | 厦门理工学院 | 一种激光等离子体光丝清洗法 |
CN111992543A (zh) * | 2020-08-21 | 2020-11-27 | 厦门理工学院 | 一种激光等离子体光丝清洗法 |
CN112673792A (zh) * | 2020-12-23 | 2021-04-20 | 峡江县飞福科技有限公司 | 菊芋倒刺松动曲面自弹动式块茎撸拽无损传送清洁采收车 |
CN113102390A (zh) * | 2021-04-28 | 2021-07-13 | 浙江工业大学 | 一种磁场约束双束脉冲激光诱导冲击波清洗微纳颗粒方法 |
CN113198801A (zh) * | 2021-04-30 | 2021-08-03 | 浙江工业大学 | 一种空间约束双束激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法 |
CN113058935A (zh) * | 2021-04-30 | 2021-07-02 | 浙江工业大学 | 一种水下双束脉冲激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法 |
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