CN101973086A

CN101973086A - 一种切割硅片用夹具

Info

Publication number: CN101973086A
Application number: CN 201010518458
Authority: CN
Inventors: 聂金根
Original assignee: ZHENJIANG GANGNAN ELECTRIC CO Ltd
Current assignee: ZHENJIANG GANGNAN ELECTRIC CO Ltd
Priority date: 2010-10-25
Filing date: 2010-10-25
Publication date: 2011-02-16
Anticipated expiration: 2030-10-25
Also published as: CN101973086B

Abstract

本发明提供了一种切割硅片用夹具，包括安装在工作台上的固定架、设置在所述固定架上的夹紧装置，所述夹紧装置包括固定块、夹紧块、第一夹紧构件、第二夹紧构件，夹紧块可活动的设置在所述固定块内，第一夹紧构件一端纵向穿过固定块一端，并与固定块螺纹连接成一体；第二夹紧构件一端横向插入所述固定块另一端，并与固定块螺纹连接；第二夹紧构件一端的凸缘与所述夹紧块一端的凹槽相配合，且凸缘外周面与凹槽的内周面间隙配合，本夹具使用比较方便，且夹紧由人工操作，夹紧力均匀，避免将硅晶片夹坏；且当单个夹紧装置损坏后，可个别更换，大大降低了成本。

Description

一种切割硅片用夹具

技术领域

本发明涉及一种夹具，特别涉及一种切割硅片用夹具，属于硅片加工工具的技术领域。

背景技术

硅片加工前，要先将硅晶板切割分体成块状。现有的硅片切割设备中，对硅晶板的夹紧方式，普遍采用固定气缸夹紧、移动气缸夹紧或无杆气缸夹紧等方式。上述夹紧方式中，固定夹紧方式应用最为普遍，但其成本高；无杆气缸移动速度慢，且由于是单边夹紧，夹紧力不均匀，容易使硅晶板划损，且出现加工的硅晶块不规范，如切缝与表面不垂直等现象；移动气缸夹紧虽然克服了上述现象，但存在成本高的问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种夹紧力均匀，成本低廉的切割硅处用夹具。

为了解决上述技术问题，本发明一种切割硅片用夹具，包括安装在工作台上的固定架、设置在所述固定架上的夹紧装置，其中，所述夹紧装置包括固定块、夹紧块、第一夹紧构件、第二夹紧构件，所述夹紧块可活动的设置在所述固定块内，所述第一夹紧构件一端纵向穿过所述固定块一端，并与所述固定块螺纹连接成一体；所述第二夹紧构件一端横向插入所述固定块另一端，并与所述固定块螺纹连接；所述第二夹紧构件一端的凸缘与所述夹紧块一端的凹槽相配合，且所述凸缘外周面与所述凹槽的内周面间隙配合。

上述一种切割硅片用夹具，其中，所述凹槽底面与所述凸缘的端面之间设有滚珠。

本发明可实现以下有益效果：

1、由于本夹具包括固定架、设置在所述固定架上的夹紧装置，所述夹紧装置包括固定块、夹紧块、第一夹紧构件、第二夹紧构件，夹紧时，将夹紧装置移到适当位置，将第一夹紧构件拧紧，通过第一夹紧构件的端面压紧在固定架上，将夹紧装置定位；再拧动第二夹紧构件，通过第二夹紧构件推动夹紧块，将硅晶板夹紧；拆卸时，只要将第二夹紧构件反向拧动，将夹紧块向后移动，将硅晶板松开即可，因此，本夹具使用比较方便，且夹紧由人工操作，夹紧力均匀，避免将硅晶片夹坏；且当单个夹紧装置损坏后，可个别更换，大大降低了成本；另外，本发明由少数零部件组成，成本低廉。

2、由于所述凹槽底面与所述凸缘的端面之间设有滚珠，当第二夹紧构件转动时，第二夹紧构件与夹紧块的摩擦为滚动摩擦，摩擦力较小，避免第二夹紧构件及夹紧块的损坏，从而，延长了夹具的使用寿命。

附图说明

图1是本发明的结构示意上。

图2是本发明第二夹紧构件与夹紧块的连接结构示意图。

图3是本发明固定块的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步说明。

如图所示，为了解决上述技术问题，本发明一种切割硅片用夹具，包括安装在工作台上的固定架1、设置在所述固定架1上的夹紧装置2，固定架1为四边形的框架构件，由横边与竖边固定而成，夹紧装置2可活动的设置在横边及竖边上，横边及竖边由型材加工而成，表面光滑度较高。所述夹紧装置2包括固定块21、夹紧块22、第一夹紧构件23、第二夹紧构件24，第一夹紧构件23为杆件，杆件的外周面上设有外螺纹；固定块21为整体构件，固定块21表面上设有第一槽211，该第一槽211与固定架1相连，固定块21一端设有安装夹紧块22的通道212及安装第二夹紧构件24的横向螺纹孔214、通道212与螺纹孔214相通，固定块21的另一端设有安装第一夹紧构件23的纵向通孔213，纵向通孔213的内周面上设有内螺纹；第二夹紧构件24为杆件，该杆件外周面上设有外螺纹，杆件的一端设有凸缘241；夹紧块22为长方形块状构件，夹紧块22的一端设有凹槽221，所述夹紧块22设置在所述固定块21内，夹紧块22与固定块21可活动连接，所述第一夹紧构件23一端穿过所述固定块21一端的纵向通孔213，并与所述固定块21螺纹连接成一体；所述第二夹紧构件24一端插入所述固定块21的螺纹孔内，并与所述固定块螺纹连接；所述第二夹紧构件24一端的凸缘241与所述夹紧块22一端的凹槽221相配合，且所述凸缘241外周面与所述凹槽221的内周面间隙配合。本发明使用比较方便，且夹紧由人工操作，夹紧力均匀，避免将硅晶片夹坏；且当单个夹紧装置损坏后，可个别更换，大大降低了成本；另外，本发明由少数零部件组成，成本低廉。

为了延长本发明的使用寿命，可在所述凹槽221底面与所述凸缘241的端面之间设有滚珠25，由于所述凹槽221底面与所述凸缘241的端面之间设有滚珠25，当第二夹紧构件24转动时，第二夹紧构件24与夹紧块22的摩擦为滚动摩擦，摩擦力较小，避免第二夹紧构件24及夹紧块22的损坏，从而，延长了夹具的使用寿命。

综上所述，本发明具有夹紧力均匀，成本低廉、安装方便、灵活且结构简单的优点。

这里本发明的描述和应用是说明性的，并非想将本发明的范围限制在上述实施例中，因此，本发明不受本实施例的限制，任何采用等效替换取得的技术方案均在本发明保护的范围内。

Claims

1.一种切割硅片用夹具，其特征在于，包括安装在工作台上的固定架、设置在所述固定架上的夹紧装置，所述夹紧装置包括固定块、夹紧块、第一夹紧构件、第二夹紧构件，所述夹紧块可活动的设置在所述固定块内，所述第一夹紧构件一端纵向穿过所述固定块一端，并与所述固定块螺纹连接成一体；所述第二夹紧构件一端横向插入所述固定块另一端，并与所述固定块螺纹连接；所述第二夹紧构件一端的凸缘与所述夹紧块一端的凹槽相配合，且所述凸缘外周面与所述凹槽的内周面间隙配合。

2.如权利要求1所述一种切割硅片用夹具，其特征在于，所述凹槽底面与所述凸缘的端面之间设有滚珠。