CN101942647A - 镀膜工艺室的结构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种能方便适用于多种膜系真空镀膜玻璃生产线的镀膜工艺室的结构,包括镀膜室及设置在镀膜室内的隔板,隔板上设置有玻璃通道,所述隔板将镀膜室分割成若干个大小相等的腔室,每个腔室上都设置有盖板安装孔,隔板上设置有若干个通气孔。本发明适用于生产真空镀膜玻璃。
Description
技术领域
本发明涉及到生产真空镀膜玻璃用的镀膜工艺室的结构。
背景技术
镀膜工艺室的结构是真空镀膜玻璃生产线中的主工艺室。如图3所示,目前所使用的镀膜工艺室的结构包括镀膜室1及设置在镀膜室中的隔板2,每个隔板2上均设置有玻璃通道3,隔板2将镀膜室1分割成多个腔室4。每个腔室4上都设置有与盖板相配合的盖板安装孔7。按照真空镀膜玻璃的工艺要求,将腔室分为真空泵腔室和靶材腔室,真空泵和靶材通过盖板被分别安装在各自的腔室内,其中靶材腔室的空间大于真空泵腔室的空间。因为不同膜系真空镀膜玻璃生产线对真空泵腔室和靶材腔室的排布要求不同,所以绝大多数不同膜系真空镀膜玻璃不能共用一条生产线。例如:如图1所示,图1为单银Low-E镀银膜系的真空镀膜玻璃生产线中真空泵腔室和靶材腔室的排布示意图。如图2所示,图2为双银Low-E镀银膜系的真空镀膜玻璃生产线中真空泵腔室和靶材腔室的排布示意图。如果企业原来生产单银Low-E镀银膜系的真空镀膜玻璃,而现在需要生产双银Low-E镀银膜系的真空镀膜玻璃时,就需要重新购买所需真空镀膜玻璃生产线,或者将原生产线中镀膜工艺室中的隔板拆除,重新按新生产线工艺要求焊接安装隔板,这就增加了生产成本,降低了生产效率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是:提供一种能方便适用于多种膜系真空镀膜玻璃生产线的镀膜工艺室的结构。
为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:镀膜工艺室的结构,包括镀膜室及设置在镀膜室内的隔板,隔板上设置有玻璃通道,隔板将镀膜室分割成若干个大小相等的腔室,每个腔室上都设置有盖板安装孔,隔板上设置有若干个通气孔。
所述盖板安装孔大小均相等。
本发明的有益效果是:将镀膜室中的腔室大小设置成相等后,可以根据不同膜系的真空镀膜玻璃的生产工艺要求,将两个或多个腔室合并成一个腔室,从而满足新膜系真空镀膜玻璃中真空泵和靶材的排布要求。
附图说明
图1是背景技术中单银Low-E镀银膜系的真空镀膜玻璃生产线中真空泵腔室和靶材腔室的排布示意图;
图2是背景技术中双银Low-E镀银膜系的真空镀膜玻璃生产线中真空泵腔室和靶材腔室的排布示意图;
图3是背景技术中镀膜工艺室的结构的结构示意图;
图4是本发明镀膜工艺室的结构的结构示意图;
图5是图4中左视方向所视隔板的结构图;
图6是本发明中单银Low-E镀银膜系的真空镀膜玻璃生产线中真空泵腔室和靶材腔室的排布示意图;
图7是本发明中双银Low-E镀银膜系的真空镀膜玻璃生产线中真空泵腔室和靶材腔室的排布示意图。
图1至图7中:1、镀膜室,2、隔板,3、玻璃通道,4、腔室,5、通气孔,6、封板,7、盖板安装孔。
具体实施方式
下面结合附图,详细描述本发明的具体实施方案。
如图4、图5所示,本发明所述的镀膜工艺室的结构,包括镀膜室1及设置在镀膜室1内的隔板2,隔板2上设置有玻璃通道3,隔板2将镀膜室1分割成若干个大小相等的腔室4,每个腔室4上都设置有盖板安装孔7,为了便于盖板的统一化生产,每个盖板安装孔7的大小均相等。隔板2上设置有若干个通气孔5。通气孔5的大小和数量可根据实际生产要求设定。
本发明的工作原理为:可方便地将单个或若干个相邻的腔室4合并作为一个真空泵腔室,方便地将单个或若干个相邻的腔室4合并作为一个靶材腔室,具体操作时相邻真空泵腔室与靶材腔室之间的隔板2上的通气孔5用封板6封住。具体各真空泵腔室和靶材腔室占用多少腔室4以及腔室4的大小可根据需要来确定。下面例举一个实施例作详细描述,假设每个真空泵腔室只需一个腔室,每个靶材腔室需要两个腔室,那么图1中单银Low-E镀银膜系的真空镀膜玻璃生产线中的真空泵腔室和靶材腔室在本实施例中的排布为:如图6所示,第一腔室41作为第一真空泵腔室,第二腔室42和第三腔室43合并作为第一靶材腔室,第四腔室44作为第二真空泵腔室,第五腔室45和第六腔室46合并作为第二靶材腔室,即第一腔室41与第二腔室42之间的隔板上的通气孔用封板6封住,第二腔室42和第三腔室43之间的隔板上的通气孔不封,第三腔室43和第四腔室44之间的隔板上的通气孔用封板6封住,第四腔室44和第五腔室45之间的隔板上的通气孔也封住,第五腔室45和第六腔室46之间的隔板上的通气孔不封,依次类推,后面的在此就不再赘述了。当这条单银Low-E镀银膜系的真空镀膜玻璃生产线需要改为图2中双银Low-E镀银膜系的真空镀膜玻璃生产线时,如图7所示,只需要将第一腔室41仍作为第一真空泵腔室,第二腔室42和第三腔室43合并作为第一靶材腔室、第四腔室44和第五腔室45合并作为第二靶材腔室,第六腔室46作为第二真空泵腔室,即第一腔室41与第二腔室42之间的隔板上的通气孔用封板6封住,第二腔室42和第三腔室43之间的隔板上的通气孔不封,第三腔室43和第四腔室44之间的隔板上的通气孔用封板6封住,第四腔室44和第五腔室45之间的隔板上的通气孔不封,第五腔室45和第六腔室46之间的隔板上的通气孔用封板6封住,依次类推,后面的在此不再赘述了,以上封板均可方便拆卸和安装。这样将原真空镀膜玻璃生产线升级为另一种真空镀膜玻璃生产线就方便多了,只需封住或开通对应隔板上的通气孔即可,无需购买新设备或将隔板拆除重新焊接,帮用户节省了大量的人力、财力。
Claims (2)
1.镀膜工艺室的结构,包括镀膜室及设置在镀膜室内的隔板,隔板上设置有玻璃通道,其特征在于:所述隔板将镀膜室分割成若干个大小相等的腔室,每个腔室上都设置有盖板安装孔,隔板上设置有若干个通气孔。
2.根据权利要求1所述的镀膜工艺室的结构,其特征在于:所述盖板安装孔大小均相等。
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