CN101923068A - 一种小型磁偏转质谱计磁分析器 - Google Patents

一种小型磁偏转质谱计磁分析器 Download PDF

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郭美如
李得天
赵以德
肖玉华
郭文瑾
王亮
岳瑞
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Abstract

本发明涉及一种小型磁偏转质谱计磁分析器,包括磁铁、轭铁、极靴和飞行管道;轭铁和极靴均采用软磁性材料,轭铁包括上壁、下壁和外壁,其上壁和下壁为缺口扇形,外壁连接上壁和下壁的弧形边缘,以减小边缘磁场效应;轭铁上壁、下壁的内表面分别粘接一块磁铁,磁铁设置有和上壁、下壁同样的缺口;磁铁的另一面粘接于与磁铁形状相同的极靴上,以提高空气间隙中的磁场均匀度;轭铁、磁铁连同极靴套装于飞行管道外部;飞行管道设有离子偏转半径为90°的两个离子出口。本发明由于采用双通道90°扇形磁分析器,因而极大减小了质谱计的质量与功耗,同时在很大程度上减小了由加速电压大幅度变化引起的质量歧视。

Description

一种小型磁偏转质谱计磁分析器
技术领域
本发明涉及一种小型磁偏转质谱计磁分析器,属于仪器仪表技术领域。
背景技术
磁偏转质谱计主要由离子源、磁分析器、离子接收器和电测系统组成。现有的磁偏转质谱计普遍存在的缺点为功耗高、体积大、质量重,因此不适合便携式气体成分检测以及空间环境的探测。
为满足小型磁偏转质谱计小型化的需求,其磁分析器也需要相应的小型化。而当前磁偏转质谱计的磁分析器普遍体积大、质量重,如果减小磁体体积和重量又会极大地影响磁场的强度,从而削弱其分析性能。
发明内容
本发明解决的技术问题为:克服现有的技术不足之处,提供一种质量轻、体积小、分析性能高的双通道90°扇形磁分析器。
本发明提供了一种小型磁偏转质谱计磁分析器,包括磁铁、轭铁、极靴和飞行管道;轭铁和极靴均采用软磁性材料,轭铁包括上壁、下壁和外壁,其上壁和下壁为缺口扇形,外壁连接上壁和下壁的弧形边缘,以减小边缘磁场效应;轭铁上壁、下壁的内表面分别粘接一块磁铁,磁铁设置有和上壁、下壁同样的缺口;磁铁的另一面粘接于与磁铁形状相同的极靴上,以提高空气间隙中的磁场均匀度;轭铁、磁铁连同极靴套装于飞行管道外部;飞行管道设有离子偏转半径为90°的两个离子出口。
本发明的工作原理为:当离子在垂直于磁场的平面运动时,不同质荷比的离子有不同的偏转半径,从而实现不同质量离子的分离。
有益效果
本发明与现有技术相比的优点在于:本发明由于采用双通道90°扇形磁分析器,因而极大减小了质谱计的质量与功耗,同时在很大程度上减小了由加速电压大幅度变化引起的质量歧视。
附图说明
图1为一个根据本发明实现的小型磁偏转质谱计磁分析器结构示意图。
图2为本发明的扇形磁分析器的离子光学系统示意图。
其中,1为磁铁,2为轭铁,3为极靴,4为飞行管道,5为离子入口,6为离子出口一,7为离子出口二。
具体实施方式
下面结合附图,说明本发明的优选实施方式。
图1为一个根据本发明实现的小型磁偏转质谱计磁分析器,包括磁铁1、轭铁2、极靴3和飞行管道4;轭铁2和极靴3均采用软磁性材料,轭铁2包括上壁、下壁和外壁,其上壁和下壁为缺口扇形,外壁连接上壁和下壁的弧形边缘,以防止漏磁;轭铁上壁、下壁的内表面分别粘接一块磁铁1,磁铁设置有和上壁、下壁同样的缺口;磁铁的另一面粘接于与磁铁形状相同的极靴上,以提高空气间隙中的磁场均匀度;轭铁2、磁铁1连同极靴3套装于飞行管道4外部;飞行管道4设有离子偏转半径为90°的两个离子出口6、7。
飞行管道4设有离子偏转半径为90°的两个离子出口,这有助于减小由加速电压大幅度变化而引起的质量歧视。
飞行管道4采用非磁性不锈钢制成,其缝隙处采用氩弧焊来确保密封性。
该磁分析器的轭铁2采用一块软磁性材料,通过内部掏空一体成型,以提高磁性能的利用率。
该磁分析器在离子出口二7一端的轭铁2其上壁、下壁的外角加工为圆角形状,以减小边缘磁场效应,提高检测的灵敏度。
该磁分析器类似于一个离子光学透镜,其采用永久磁铁产生扇形均匀磁场,利用双通道分别测量不同质量数的离子。对于直射情况,如图2所示,离子源主狭缝到磁铁的距离(物距),即为入口距gm;磁铁到出口缝的距离(像距),即为出口距fm。其中磁分析器偏转角Φm1和Φm2都为90°,如图2所示。
该磁分析器的结构采用离子光学系统优化设计方法进行设计,在保证分析性能的同时大大减小了磁分析器的质量和体积。
该磁分析器的工作原理是:
当带电离子从距磁分析器入口距为gm的距离入射,进入磁分析器,当离子在垂直于磁场的平面运动时,不同质荷比的离子有不同的偏转半径,其中质量数较小的离子从偏转半径较小的通道检测,最终在距离出口距离为fm1的位置聚焦,而质量数较大的离子从偏转半径较大的通道检测,最终在距离出口距离为fm2的位置聚焦。

Claims (4)

1.一种小型磁偏转质谱计磁分析器,包括磁铁(1)、轭铁(2)、极靴(3)和飞行管道(4);轭铁(2)和极靴(3)均采用软磁性材料,轭铁(2)包括上壁、下壁和外壁,其上壁和下壁为缺口扇形,外壁连接上壁和下壁的弧形边缘,以防止漏磁;轭铁上壁、下壁的内表面分别粘接一块磁铁(1),磁铁设置有和上壁、下壁同样的缺口;磁铁的另一面粘接于与磁铁形状相同的极靴上,以提高空气间隙中的磁场均匀度;轭铁(2)、磁铁(1)连同极靴(3)套装于飞行管道(4)外部;飞行管道(4)设有离子偏转半径为90°的两个离子出口(6、7)。
2.根据权利要求1所述的一种小型磁偏转质谱计磁分析器,其特征在于,所述的轭铁(2)采用一块软磁性材料,通过内部掏空一体成型。
3.根据权利要求1所述的一种小型磁偏转质谱计磁分析器,其特征在于,所述磁分析器在离子出口二(7)一端的轭铁(2)其上壁、下壁的外角加工为圆角形状。
4.根据权利要求1所述的一种小型磁偏转质谱计磁分析器,其特征在于,所述的飞行管道(4)采用非磁性不锈钢制成,其缝隙处采用氩弧焊来确保密封性。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102446693A (zh) * 2011-11-29 2012-05-09 邱永红 一种带电粒子的加速方法及其应用
CN107946161A (zh) * 2017-11-22 2018-04-20 上海华力微电子有限公司 一种监测离子注入设备性能的方法
CN109462931A (zh) * 2018-12-28 2019-03-12 中国原子能科学研究院 一种带牙口的扫描磁铁
CN112863996A (zh) * 2020-12-30 2021-05-28 四川红华实业有限公司 一种质谱仪电磁铁

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2143779Y (zh) * 1992-12-12 1993-10-13 厦门大学 双轨道磁式扇形质谱计

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2143779Y (zh) * 1992-12-12 1993-10-13 厦门大学 双轨道磁式扇形质谱计

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
《真空与低温》 20100331 郭美如 等 小型磁偏转质谱计磁场的分析计算 第16卷, 第1期 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102446693A (zh) * 2011-11-29 2012-05-09 邱永红 一种带电粒子的加速方法及其应用
CN102446693B (zh) * 2011-11-29 2016-04-06 邱永红 一种带电粒子的加速方法及其应用
CN107946161A (zh) * 2017-11-22 2018-04-20 上海华力微电子有限公司 一种监测离子注入设备性能的方法
CN109462931A (zh) * 2018-12-28 2019-03-12 中国原子能科学研究院 一种带牙口的扫描磁铁
CN112863996A (zh) * 2020-12-30 2021-05-28 四川红华实业有限公司 一种质谱仪电磁铁

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PB01 Publication
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SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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