CN101886902A - 石英坩埚的检测工具 - Google Patents
石英坩埚的检测工具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101886902A CN101886902A CN 201010216935 CN201010216935A CN101886902A CN 101886902 A CN101886902 A CN 101886902A CN 201010216935 CN201010216935 CN 201010216935 CN 201010216935 A CN201010216935 A CN 201010216935A CN 101886902 A CN101886902 A CN 101886902A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- snap ring
- silica crucible
- crucible
- quartz crucible
- diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Abstract
本发明提供一种石英坩埚的检测工具,包括两个圆环状的外卡环和内卡环,所述外卡环的内径为允许的石英坩埚最大外径加2~5mm,以整数为宜;所述内卡环的最大外径为允许的石英坩埚的最小内径r,也可以稍微小点,r~(r-1)毫米之间为宜。本发明的优点是:结构简单,能够简便的检测石英坩埚尺寸和圆度且不会损坏石英坩埚和造成污染。
Description
技术领域
本发明涉及一种在常规环境下检测石英坩埚尺寸和圆度的工具。
背景技术
硅单晶用的石英坩埚如图1所示:内表面具有光洁的涂层,严禁在拆开包装后再次污染,上半部分为柱体,各处的外圆与壁厚(“各处”代表了圆度)均有特定的尺寸要求;底部为碗状,与石墨坩埚吻合即可。
光伏用的石英坩埚一般由坩埚厂家在洁净度非常高的环境中检测完毕后交付单晶厂家使用,包装拆开后即使用。对于单晶厂家来说对入厂的原辅材料也需要进行必要的检测。18英寸的坩埚外径在450mm左右,20英寸的在500mm左右。使用一般的卡尺对石英坩埚进行检测尺寸和圆度的话,由于卡尺从正上方测试,由于不易确定坩埚的圆心,会造成几个毫米的偏差,且无法测试整个坩埚各处的圆度;由于尺寸限制,无法通过卡坩埚的外径来对坩埚尺寸进行测试。使用卡尺寻找圆心的同时,特别是坩埚的内表面是一个光洁度很高的涂层,会造成新的污染,且不能测试其圆度;卡尺是钢制的,在测试过程中容易因为磕碰造成石英坩埚的裂纹。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种石英坩埚的检测工具,使用简便。
按照本发明提供的技术方案,所述石英坩埚的检测工具包括两个圆环状的外卡环和内卡环,所述外卡环的内径为允许的石英坩埚最大外径加2~5毫米,以整数为宜;所述内卡环的最大外径为允许的石英坩埚的最小内径r,也可以稍微小点,r~(r-1)毫米之间为宜。所述外卡环和内卡环的材质为塑料。
本发明的优点是:结构简单,能够简便的检测石英坩埚尺寸和圆度且不会损坏石英坩埚和造成污染。
附图说明
图1是石英坩埚中心剖视图。
图2是检测外径和圆度的工具示意图。
图3是检测内径和圆度的工具示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。本发明分别针对石英坩埚的外圆和内圆的尺寸做两个塑料材质的圆环薄片。如图2所示为检测石英坩埚外径R和圆度的外卡环4,图3所示为检测石英坩埚的内径r和圆度的内卡环5。
以20英寸的石英坩埚为例,假如石英坩埚的要求为503+2mm,则石英坩埚的外径R不得超过505mm,我们制作一个内径为507mm(507~510mm之间,以整数为宜)的外卡环4,在测试坩埚外圆的时候如果套不下去,则说明石英坩埚尺寸偏大;套的时候通过使坩埚外径与外卡环4的内径相切,使空余部分全部在一侧,观察间隙察宽度即可得知石英坩埚的外径R;使外卡环4的内径与石英坩埚同心,观察间隙相等,即可得知该石英坩埚的圆度。所述石英坩埚具有筒形的壁2和球形的底部3及内腔1。
石英坩埚的内径r从外径R的尺寸中刨去壁2的两边壁厚各10mm,则为483+2mm,制作一个外径为481mm(尺寸上考虑负公差)的圆环状内卡环5(也可以稍微小点,480~481mm之间为宜),塑料材质。使用的时候握住内卡环5的圆心空缺处,使石英坩埚的内径与内卡环5外径相切,即得石英坩埚的内径r;同心后可测圆度。
内卡环5的外圆与石英坩埚的内壁接触的地方要做洁净处理,放置的容器也应干净无尘屑,许久不用需用酒精擦拭待酒精挥发后使用,在石英坩埚的筒体部分沿石英坩埚内壁往下即可检查石英坩埚部分的内圆直径和圆度。碗状部分的底部3目前只能以石英坩埚与石墨坩埚的吻合程度来判断。
Claims (2)
1.石英坩埚的检测工具,其特征是:包括两个圆环状的外卡环和内卡环,所述外卡环的内径为石英坩埚最大外径加2~5毫米,所述内卡环的最大外径为石英坩埚最小内径r~(r-1)毫米。
2.如权利要求1所述的石英坩埚的检测工具,其特征是所述外卡环和内卡环的材质为塑料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201010216935 CN101886902B (zh) | 2010-06-25 | 2010-06-25 | 石英坩埚的检测工具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201010216935 CN101886902B (zh) | 2010-06-25 | 2010-06-25 | 石英坩埚的检测工具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101886902A true CN101886902A (zh) | 2010-11-17 |
CN101886902B CN101886902B (zh) | 2013-03-06 |
Family
ID=43072914
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 201010216935 Active CN101886902B (zh) | 2010-06-25 | 2010-06-25 | 石英坩埚的检测工具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101886902B (zh) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102175120A (zh) * | 2011-02-23 | 2011-09-07 | 上海华钢不锈钢有限公司 | 测定不锈钢u型管外径圆度的装置 |
CN102288093A (zh) * | 2011-05-12 | 2011-12-21 | 陈久智 | 一种轴径检测工具 |
CN102818503A (zh) * | 2012-09-13 | 2012-12-12 | 上海瑞尔实业有限公司 | 一种圆环形物体的外径测量装置及其测量方法 |
CN104028714A (zh) * | 2014-06-23 | 2014-09-10 | 唐山丞起汽车零部件有限公司 | 一种检测金属铸件消失模的器具 |
CN105180751A (zh) * | 2015-11-05 | 2015-12-23 | 洛阳双瑞特种装备有限公司 | 大直径气瓶外径和圆度的测量装置及测量方法 |
CN105588492A (zh) * | 2016-03-14 | 2016-05-18 | 泰信电机(苏州)有限公司 | 一种外经检测装置 |
CN105588491A (zh) * | 2016-03-14 | 2016-05-18 | 泰信电机(苏州)有限公司 | 一种新型外经检测装置 |
CN105928436A (zh) * | 2016-06-17 | 2016-09-07 | 成都市双流金石机械制造有限公司 | 板锤座检测规 |
CN110285774A (zh) * | 2019-07-26 | 2019-09-27 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置及使用方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4437242A (en) * | 1982-08-30 | 1984-03-20 | United States Pipe And Foundry Company | Flexible gauge for inside dimensions |
CN2254544Y (zh) * | 1995-12-26 | 1997-05-21 | 邹旭 | 农副产品测圆工具 |
CN201355238Y (zh) * | 2008-11-20 | 2009-12-02 | 中国第二冶金建设有限责任公司 | 弯管通球检测仪 |
CN201397105Y (zh) * | 2009-05-07 | 2010-02-03 | 江苏恒力化纤有限公司 | 一种纸管测量工具 |
CN201858942U (zh) * | 2010-06-25 | 2011-06-08 | 高佳太阳能股份有限公司 | 石英坩埚的检测工具 |
-
2010
- 2010-06-25 CN CN 201010216935 patent/CN101886902B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4437242A (en) * | 1982-08-30 | 1984-03-20 | United States Pipe And Foundry Company | Flexible gauge for inside dimensions |
CN2254544Y (zh) * | 1995-12-26 | 1997-05-21 | 邹旭 | 农副产品测圆工具 |
CN201355238Y (zh) * | 2008-11-20 | 2009-12-02 | 中国第二冶金建设有限责任公司 | 弯管通球检测仪 |
CN201397105Y (zh) * | 2009-05-07 | 2010-02-03 | 江苏恒力化纤有限公司 | 一种纸管测量工具 |
CN201858942U (zh) * | 2010-06-25 | 2011-06-08 | 高佳太阳能股份有限公司 | 石英坩埚的检测工具 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
《工具技术》 20081231 张玉梅等4人 圆度误差检测方法现状与展望 全文 1-2 第42卷, 第11期 * |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102175120A (zh) * | 2011-02-23 | 2011-09-07 | 上海华钢不锈钢有限公司 | 测定不锈钢u型管外径圆度的装置 |
CN102288093A (zh) * | 2011-05-12 | 2011-12-21 | 陈久智 | 一种轴径检测工具 |
CN102288093B (zh) * | 2011-05-12 | 2013-03-13 | 陈久智 | 一种轴径检测工具 |
CN102818503A (zh) * | 2012-09-13 | 2012-12-12 | 上海瑞尔实业有限公司 | 一种圆环形物体的外径测量装置及其测量方法 |
CN102818503B (zh) * | 2012-09-13 | 2014-12-31 | 上海瑞尔实业有限公司 | 一种圆环形物体的外径测量装置及其测量方法 |
CN104028714A (zh) * | 2014-06-23 | 2014-09-10 | 唐山丞起汽车零部件有限公司 | 一种检测金属铸件消失模的器具 |
CN105180751A (zh) * | 2015-11-05 | 2015-12-23 | 洛阳双瑞特种装备有限公司 | 大直径气瓶外径和圆度的测量装置及测量方法 |
CN105588492A (zh) * | 2016-03-14 | 2016-05-18 | 泰信电机(苏州)有限公司 | 一种外经检测装置 |
CN105588491A (zh) * | 2016-03-14 | 2016-05-18 | 泰信电机(苏州)有限公司 | 一种新型外经检测装置 |
CN105928436A (zh) * | 2016-06-17 | 2016-09-07 | 成都市双流金石机械制造有限公司 | 板锤座检测规 |
CN110285774A (zh) * | 2019-07-26 | 2019-09-27 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置及使用方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101886902B (zh) | 2013-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101886902B (zh) | 石英坩埚的检测工具 | |
CN201858942U (zh) | 石英坩埚的检测工具 | |
CN107185849B (zh) | 一种壳体内径与圆度检测机 | |
MX2013003512A (es) | Dispositivo para inspeccionar los anillos y cuellos de contenedores. | |
CN103934216B (zh) | 一种轴承振动噪音分选机 | |
US9027399B2 (en) | Liquid level sensor | |
CN105673968B (zh) | 旋转接头及具有旋转接头的机械密封监视装置 | |
US10677692B2 (en) | Unit for grinding biological samples | |
CN105728335A (zh) | 一种轴承外圈内径流水线检测装置 | |
CN202420401U (zh) | 外球面轴承球面检测器 | |
CN202189003U (zh) | 一种新型室内驱替试验用岩心夹持器 | |
CN203069166U (zh) | 一种缸套内孔检测装置 | |
CN205614579U (zh) | 一种轴承拆卸工具 | |
CN204269096U (zh) | 一种用于检测镜片厚度的厚度治具 | |
CN204255312U (zh) | 一种用于检测镜片偏心量的偏心治具 | |
CN205374375U (zh) | 一种穿过式钢管漏磁探伤气浮探靴 | |
CN207153731U (zh) | 一种水质检测用试管 | |
US7552814B1 (en) | Object to be inspected including small diameter bottle | |
CN201425457Y (zh) | 轴承内环弹道测量仪 | |
CN109596026B (zh) | 轴承保持架兜孔检测方法 | |
CN104459111B (zh) | 放置酶联反应试剂的盒体结构 | |
CN213580736U (zh) | Tima矿物自动识别系统靶台适配器 | |
CN104215172A (zh) | 一种微米级尺寸与外观缺陷综合检测装置 | |
CN213985858U (zh) | 一种工程质检空气试验采样器 | |
CN209412209U (zh) | 一种可以快速测量微生物抑菌圈大小的培养皿 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |