CN101877956B - 喷雾冷却散热回收系统 - Google Patents

Abstract

本发明是一种喷雾冷却散热回收系统，至少包含：储液单元，储存冷却液；喷雾舱体，与该储液单元连接；喷液单元，设置于该储液单元与该喷雾舱体之间，且具有一喷嘴片及一致动元件，以致动元件带动喷嘴片而将该冷却液喷出雾化于该喷雾舱体内；保护板件，设置于该喷雾舱体内且与该喷液单元连接；吸热单元，与该喷雾舱体相连接而接收雾化冷却液形成散热，并具有一出口流道排出该冷却液；以及流体输送装置，接收该吸热元件的出口流道所排出冷却液，并具有一致动装置，以该致动装置作动将该该冷却液回收到该储液单元内。

Description

喷雾冷却散热回收系统

技术领域

本发明是关于一种散热回收系统，尤指一种喷雾冷却散热回收系统。

背景技术

近年来电子元件的发热量随着半导体工艺的精进而不断的快速升高；如何提升电子元件的散热能力，维护元件的正常运作，遂成为一项非常重要的工程课题。目前大量使用的直接空气冷却技术已经无法满足许多具有高热通量电子元件散热的需求，而必须寻求其它的解决方案。

其中，喷雾冷却散热系统使用冷却液吸热后产生相变化原理来协助散热。由于液体相变化时的潜热极高，因此十分适合应用在高热量与高热通量的散热系统上。目前喷雾冷却散热系统已经成功应用在航空、军事电子系统，以及高功率激光系统的散热上。为了增加此系统在一般信息与电子产品散热上的应用，必须进一步缩小现有喷雾冷却散热系统的体积与复杂度，并有效降低成本。

请参阅图1，其是美国专利U.S.Pat.No.6,205,799所揭露的喷雾散热循环系统结构示意图，如图所示，喷雾散热循环系统1主要通过泵13的驱动，使冷却液由储液桶15进入到喷雾器11产生喷雾12至发热源10(半导体芯片)上，利用雾滴吸收热能汽化带走热量，蒸气流至一热交换器14上凝结成液体再通过泵13的辅助将液体抽回储液桶15以完成冷却循环。然而此技术所使用的泵13会使散热系统的体积与成本增加。另外，在雾化器的设计方面，该技术提出使用类似喷墨头结构，将流体加热后产生微液滴的专利，但这种设计会消耗较高的电源功率。另外，又如美国专利U.S.Pat.No.5,687,577所揭露的喷雾循环冷却装置也是利用泵作为循环动力的来源，因此该技术会造成散热系统的体积与成本增加。

因此，如何发展一种可改善上述现有技术缺失的，实为目前迫切需要解决的问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种喷雾冷却散热回收系统，以解决现有喷雾散热循环系统使用泵抽吸冷却液会使散热系统的体积与成本增加，以及使用类似喷墨头结构，将流体加热后产生微液滴的方式会消耗较高的电源功率等缺点。

为达上述目的，本发明的一较广义实施态样为提供一种喷雾冷却散热回收系统，用以冷却发热元件，至少包含：一储液单元，储存一冷却液；一喷雾舱体，与该储液单元连接；一喷液单元，设置于该储液单元与该喷雾舱体之间，且具有一喷嘴片及一致动元件，以致动元件带动喷嘴片而将该冷却液喷出雾化于该喷雾舱体内；一保护板件，设置于该喷雾舱体内且与该喷液单元连接；一吸热单元，与该喷雾舱体相连接而接收雾化冷却液形成散热，并具有一出口流道排出该冷却液；以及一流体输送装置，接收该吸热单元的出口流道所排出冷却液，并具有一致动装置，以该致动装置作动将该该冷却液回收到该储液单元内。

本发明的另一较广义实施样态为提供一种喷雾冷却散热回收系统，用以冷却发热元件，至少包含：一喷雾冷却散热结构，其内部设置有一喷嘴片及一致动元件及一保护板件，该致动元件设置于该喷嘴片与该保护板件之间，并以该喷嘴片区隔出一储液槽体储存冷却液，及以该保护板件区隔出一喷雾舱体，而该致动元件带动喷嘴片将冷却液喷出以该喷雾舱体围绕喷射的冷却液雾化在一发热元件上；以及一流体输送装置，用以将该喷雾舱体内所雾化冷却液回收到该喷雾冷却散热结构内。

附图说明

图1是现有喷雾散热循环系统的结构示意图。

图2是本发明喷雾冷却散热回收系统的立体结构示意图。

图3A是图2所示的喷雾冷却散热结构的立体分解示意图。

图3B是图3A所示的系统本体的背面结构示意图。

图3C是图3A的组装结构示意图。

图3D是图3C的B-B剖面结构示意图。

图4A是图2的A-A剖面结构示意图。

图4B是本发明喷雾冷却散热回收系统的运作结构示意图。

图5A是图2及图4A所示的流体输送装置的结构示意图。

图5B是图5A所示的阀体盖体的背面结构示意图。

图5C是图5A的组装结构示意图。

图6A是本发明流体输送装置未作动状态示意图。

图6B是图6A的压力腔室膨胀状态示意图。

图6C是图6B的压力腔室压缩状态示意图。

具体实施方式

体现本发明特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本发明能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本发明的范围，且其中的说明及图标在本质上是当作说明之用，而非用以限制本发明。

请参阅图2，其是本发明喷雾冷却散热回收系统的立体结构示意图，如图所示，本发明的喷雾冷却散热回收系统4主要由喷雾冷却散热结构3及回收结构这两个部分所组成，其中回收结构是一流体输送装置2，且喷雾冷却散热结构3与流体输送装置2之间通过第一回收管路5及第二回收管路6相连通，可达到吸附一发热元件(未图示)所产生的热能以及回收冷却液再利用的功效。

请参阅图3A及图3D，其中图3A是图2所示的喷雾冷却散热结构的立体分解示意图，图3D是图3C的B-B剖面结构示意图，如图3A所示，本发明的喷雾冷却散热结构3可由系统本体31、储液单元32、喷雾舱体33、喷液单元34、保护板件35以及吸热单元36所组成，储液单元32是由盖体321及储液槽体322所组成，储液槽体322是由系统本体31的部分内部空间所形成(如图3D所示)，主要用来储存冷却液(未图标)，盖体321设置于系统本体31的顶部(如图3C所示)且具有一入口流道3211及一透气孔3212，入口流道3211可与第二回收管路6连通(如图2及图4A所示)，当冷却液经由第二回收管路6传送至喷墨冷却散热结构3时，将可由盖体321的入口流道3211传送至储液槽体322内部，而储液槽体322内部过多的气体将可经由透气孔3212排出，以平衡储液槽体322内部的压力，防止储液槽体322内部的压力过大而影响喷液单元34的喷嘴片341的运作性能，另外，储液槽体322之内部可设置一背压调节机构(未图式)，其是与喷液单元34的喷嘴片341接触以降低喷嘴片341的喷孔3411发生积墨的问题，背压调节机构可为海绵或滤网或气袋，但不以此为限。

请参阅图3B并配合图3D，其中图3B是图3A所示的系统本体的背面结构示意图，如图所示，本发明的系统本体31之内部空间除了形成储液槽体322外还可形成一喷雾舱体33，储液槽体322与喷雾舱体33之间是通过喷液单元34的喷嘴片341来隔离，使得喷嘴片341的一侧设置于储液槽体322中，另一侧则设置于喷雾舱体33中。

于一些实施例中，吸热单元36可为一吸热金属板件，但不以此为限，如图3D所示，吸热单元36的一侧与系统本体31的底部连接(如图3C所示)，以与喷雾舱体33相连通，另一侧则可贴附于一发热元件上，可吸收发热元件所产生的热能。另外，吸热单元36可包含一出口流道361。

请再参阅图3A及图3D，本发明的喷液单元34除了固设于系统本体31上的喷嘴片341外，还包含一致动元件342，可为一压电板，但不以此为限，致动元件342设置于喷雾舱体33中，且可采用黏贴的方式环绕固设于喷嘴片341的侧边上，喷嘴片341响应致动元件342的带动而使储液槽体322内部的冷却液从喷嘴片341的多个喷孔3411中被雾化喷射至喷雾舱体33中，以降低吸热单元36的温度。

保护板件35设置于喷雾舱体33内且其周围与喷嘴片341连接，保护板件35具有一凹陷部351且于该凹陷部351对应该多个喷孔3411的区域具有一开口352，致动元件342容置于凹陷部351中，用以防止雾化凝结的该冷却液附着于致动元件342上，至于，多个喷孔3411所喷射出的喷雾是通过开口352喷至喷雾舱体33中。

当吸热单元36吸收发热元件所产生的热能后，喷嘴片341将响应致动元件342的带动而使储液槽体322内部的冷却液从喷嘴片341的多个喷孔3411中被雾化喷射至喷雾舱体33中，以降低吸热单元36的温度，此时在喷雾舱体33里会有大量水蒸雾气，会凝结成水珠附着于喷雾舱体33内壁，因水珠为导体如直接附在致动元件342上，会使正负电相交而短路，使致动元件342损坏，因此本发明使用保护板件35可达到防止雾化凝结的该冷却液附着于致动元件342上的功效。

请再参阅图3A、图3B及图3D，系统本体31还具有多个凹槽结构，用以供一密封环设置于其上，以使系统本体31与储液单元32的盖体321、喷液单元34的喷嘴片341以及吸热单元36之间紧密结合，于本实施例中，系统本体31的顶部设置有一凹槽311，以供密封环37设置于其上，以使盖体321与系统本体31之间可紧密结合，另外，如图3B所示，系统本体31内部与喷嘴片341连接处环绕设置凹槽312及313，分别供密封环381、382设置于其上，以使喷嘴片341与系统本体31之间可紧密结合，可达到防止储液槽体322内部的冷却液渗漏到喷雾舱体33中，再则，系统本体31的底部设置有一凹槽314，以供密封环39设置于其上，以使吸热单元36与系统本体31之间可紧密结合。

请参阅图4A，其是图2的A-A剖面结构示意图，如图所示，第一回收管路5的一端与吸热单元36的出口流道361连接，另一端则与流体输送装置2的入口通道211连接，第二回收管路6的一端则与储液单元32的盖体321的入口流道3211连接，另一端则与流体输送装置2的一出口通道212连接。

请参阅图4B，其是本发明喷雾冷却散热回收系统的运作结构示意图，如图所示，当吸热单元36吸收发热元件所产生的热能后，将以一电压驱动喷液单元34的致动元件342运作，喷嘴片341将响应致动元件342的带动而使储液槽体322内部的冷却液从喷嘴片341的多个喷孔3411中被雾化喷射至喷雾舱体33中，可通过喷雾来降低吸热单元36的温度，而被雾化的蒸气将会凝结成水珠而附着于喷雾舱体33内壁，并顺着喷雾舱体33内壁的倾斜设计将水珠集中于吸热单元36的出口流道361中，此时以一电压驱动流体输送装置2的致动器242产生弯曲形变，可通过第一回收管路5把吸热单元36的出口流道361中的凝结冷却液吸取到流体输送装置2的入口通道211中，并响应致动器242的作动使冷却液由入口通道211通过流体输送装置2的内部结构传递至出口通道212，最后通过第二回收管路6将冷却液由盖体321的入口流道3211传送至储液槽体322内部，而储液槽体322内部过多的气体将可通过透气孔3212排出，如此不断的循环即可达到降低吸热单元36的温度以及重复回收利用冷却液的功效，且利用流体输送装置2来回收冷却液可降低整个系统的体积及成本，以及利用致动元件的带动使喷嘴片的喷孔将冷却液雾化喷射至喷雾舱体的方式不会消耗过多的电源功率。

请参阅图5A，其是图2及图4A所示的流体输送装置的结构示意图，如图所示，本发明的流体输送装置2主要是由阀体座21、阀体盖体22、阀体薄膜23、多个暂存室、致动装置24及盖体25所组成，阀体盖体22及致动装置24之间形成一压力腔室226，主要用来储存冷却液，该流体输送装置2的组装方式是将阀体薄膜23设置于阀体座21及阀体盖体22之间，并使阀体薄膜23与阀体座21及阀体盖体22相互堆叠结合，且在阀体薄膜23与阀体盖体22之间形成一第一暂存室，而在阀体薄膜23与阀体座21之间形成一第二暂存室，并且于阀体盖体22上的相对应位置还设置有致动装置24，致动装置24是由一振动薄膜241以及一致动器242组装而成，用以驱动流体输送装置2的作动，最后，再将盖体25设置于致动装置24的上方，故其是依序将阀体座21、阀体薄膜23、阀体盖体22、致动装置24及盖体25相对应堆叠设置，以完成流体输送装置2的组装(如图5C所示)。

其中，阀体座21及阀体盖体22是本发明流体输送装置2中导引冷却液进出的主要结构，请再参阅图5A并配合图5C，其中图5C是图5A的组装结构示意图，如图5C所示，阀体座21具有一个入口通道211以及一个出口通道212，冷却液是通过入口通道211传送至阀体座21上表面210的一开口213，并且阀体薄膜23及阀体座21之间所形成的第二暂存室即为图中所示的出口暂存腔215，但不以此为限，其是由阀体座21的上表面210于与出口通道212相对应的位置产生部分凹陷而形成，并与出口通道212相连通，该出口暂存腔215用以暂时储存冷却液，并使该冷却液由出口暂存腔215通过一开口214而输送至出口通道212，再流出阀体座21之外。以及，在阀体座21上还具有多个凹槽结构，用以供一密封环26(如图6A所示)设置于其上，阀体座21具有环绕开口213外围的凹槽216、218，及环绕于出口暂存腔215外围的凹槽217，主要通过设置于凹槽217及218内的密封环26使阀体座21与阀体薄膜23之间紧密的贴合，以防止冷却液外泄。

请参阅图5B并配合图5A，其中图5B是图5A所示的阀体盖体的背面结构示意图，如图所示，阀体盖座22具有一上表面220及一下表面228，以及在阀体盖座22上亦具有贯穿上表面220至下表面228的入口阀门通道221及出口阀门通道222，且该入口阀门通道221设置于与阀体座21的开口213相对应的位置，而出口阀门通道222则设置于与阀体座21的出口暂存腔215内的开口214相对应的位置，并且阀体薄膜23及阀体盖体22之间所形成的第一暂存室即为图中所示的入口暂存腔223，且不以此为限，其是由阀体盖体22的下表面228于与入口阀门通道221相对应的位置产生部份凹陷而形成，且其是连通于入口阀门通道221。

请再参阅图5A，阀体盖体22的上表面220是部份凹陷，以形成一压力腔室226，其与致动装置24的致动器242相对应设置，压力腔室226通过入口阀门通道221连通于入口暂存腔223，并同时与出口阀门通道222相连通，因此，当致动器242受电压致动使致动装置24变形，造成压力腔室226的体积膨胀而产生负压差，可使冷却液经入口阀门通道221流至压力腔室226内(如图6B所示)，其后，当施加于致动器242的电场方向改变后，致动器242将使致动装置24变形以使压力腔室226收缩而体积减小，使压力腔室226与外界产生正压力差，促使冷却液由出口阀门通道222流出压力腔室226之外，于此同时，同样有部分冷却液会流入入口阀门通道221及入口暂存室223内，然而由于此时的入口阀门结构231(如图6C所示)是使受压而关闭的状态，故该冷却液不会通过入口阀片2313而产生倒流的现象，至于暂时储存于入口暂存腔223内的冷却液，则于致动器242再受电压致动，重复使致动装置24再上凸变形而增加压力腔室226体积时，再由入口暂存腔223经至入口阀门通道221而流入压力腔室226内，以进行冷却液的输送。

另外如图6A所示，阀体盖体22上同样具有多个凹槽结构，以本实施例为例，在阀体盖体22的上表面220具有环绕压力腔室226而设置的凹槽227，而在下表面228上则具有环绕设置于入口暂存腔223的凹槽224、环绕设置于出口阀门通道222的凹槽229(如图6A所示)，同样地，上述凹槽结构是用以供一密封环27设置于其中，主要通过设置于凹槽224及229内的密封环27使阀体盖体22与阀体薄膜23之间紧密的贴合，以防止冷却液外泄，而设置于凹槽227内的密封环27则用来使致动装置24的致动薄膜241与阀体盖体22之间紧密的贴合，以防止冷却液外泄(如图6A所示)。

请再参阅图5A，阀体薄膜23主要是以传统加工、或平版印刷蚀刻、或激光加工、或电铸加工、或放电加工等方式制出，且为一厚度实质上相同的薄片结构，其上具有多个镂空阀开关，包含第一阀开关以及第二阀开关，于本实施例中，第一阀开关是入口阀门结构231，而第二阀开关是出口阀门结构232，其中，入口阀门结构231具有入口阀片2313以及多个环绕入口阀片2313外围而设置的镂空孔洞2312，另外，在孔洞2312之间还具有与入口阀片2313相连接的延伸部2311，当阀体薄膜23承受一自压力腔室226传递而来的应力时，如图6C所示，入口阀门结构231是整个平贴于阀体座21之上，此时入口阀片2313会紧靠设置于凹槽216内部的密封环26的突出部分，而密封住阀体座21上的开口213，且其外围的镂空孔洞2312及延伸部2311则顺势浮贴于阀体座21之上，故因此入口阀门结构231的关闭作用，使冷却液无法流出。

而当阀体薄膜23受到压力腔室226体积增加而产生的吸力作用下，由于设置于阀体座21的凹槽216内的密封环26已提供入口阀门结构231一预力(Preforce)，因而入口阀片2313可通过延伸部2311的支撑而产生更大的预盖紧效果，以防止逆流，当因压力腔室226的负压而使入口阀门结构231往下产生位移(如图6B所示)，此时，冷却液则可通过镂空的孔2312由阀体座21流至阀体盖体22的入口暂存腔223，并通过入口暂存腔223及入口阀门通道221传送至压力腔室226内，如此一来，入口阀门结构231即可响应压力腔室226产生的正负压力差而迅速的开启或关闭，以控制冷却液的进出，并使冷却液不会回流至阀体座21上。

同样地，位于同一阀体薄膜23上的另一阀门结构则为出口阀门结构232，其中的出口阀片2323、延伸部2321以及孔2322的作动方式均与入口阀门结构231相同，因而不再赘述，惟出口阀门结构232外围的密封环27设置方向是与入口阀门结构231的密封环26反向设置，如图6C所示，当压力腔室226压缩而产生一推力时，设置于阀体盖体22的凹槽225内的密封环27将提供出口阀门结构232一预力，使得出口阀片2323可通过延伸部2321的支撑而产生更大的预盖紧效果，以防止逆流，当因压力腔室226的正压而使出口阀门结构232往上产生位移，此时，冷却液则可通过镂空的孔2322由压力腔室226经阀体盖体22而流至阀体座21的出口暂存腔215内，并可通过开口214及出口通道212排出，如此一来，则可通过出口阀门结构232开启的机制，将冷却液自压力腔室226内泄出，以达到将冷却液输送至出口通道212排出的功效。

请参阅图6A，其是本发明的流体输送装置未作动状态示意图，于本实施例中，所有的凹槽结构216、217、218分别设置密封环26，而凹槽224、225、229内亦分别设置密封环27，其材质是可耐化性佳的橡胶材料，且不以此为限，其中，设置于阀体座21上环绕开口213的凹槽216内的密封环可为一圆环结构，其厚度是大于凹槽216深度，使得设置于凹槽216内的密封环26部分凸出于阀体座21的上表面210构成一微凸结构，因而使得贴合设置于阀体座21上的阀体薄膜23的入口阀门结构231的入口阀片2313因密封环26的微凸结构而形成一向下隆起，而阀体薄膜23的其余部分是与阀体盖体22相抵顶，如此微凸结构对入口阀门231顶推而产生一预力(Preforce)作用，有助于产生更大的预盖紧效果，以防止逆流，且由于密封环26向下隆起的微凸结构是位于阀体薄膜23的入口阀门结构231处，故使入口阀门结构231在未作动时使入口阀片2313与阀体座21的上表面210之间具有一间隙，同样地，当密封环27设置于环绕出口阀门通道222的凹槽225内时，由于其密封环27设置于阀体盖体22的下表面228，因而该密封环27使阀体薄膜23的出口阀门结构向上凸出而形成一向上隆起于阀体盖体22的微凸结构，此微凸结构仅其方向与形成于入口阀门结构231的微凸结构是反向设置，然而其功能均与前述相同，因而不再赘述。至于其余分别设置于凹槽结构217、218及224、229以及227内的密封环26、27及28，主要用来分别使阀体座21与阀体薄膜23、阀体薄膜23与阀体盖体22以及阀体盖体22与致动装置24之间紧密贴合时，防止冷却液外泄。

请同时参阅图6A、图6B、图6C，如图所示，当盖体25、致动装置24、阀体盖体22、阀体薄膜23、密封环26以及阀体座21彼此对应组装设置后，阀体座21上的开口213是与阀体薄膜23上的入口阀门结构231以及阀体盖体22上的入口阀门通道221相对应，且阀体座21上的开口214则与阀体薄膜23上的出口阀片232以及阀体盖体22上的出口阀门通道222相对应，并且，由于密封环26设置于凹槽216内，使得阀体薄膜23的入口阀门结构231微凸起于阀体座21的上表面210，并通过位于凹槽216内的密封环26顶触阀体薄膜23而产生一预力((Preforce)作用，使得入口阀门结构231在未作动时则与阀体座21的上表面210形成一间隙，同样地，出口阀门结构232亦通过将密封环27设至于凹槽225中的相同方式与阀体盖体22的下表面228形成一间隙。

当以一电压驱动致动器242时，致动装置24将产生弯曲变形，如图6B所示，致动装置24是朝箭号a所指的方向向下弯曲变形，使得压力腔室226的体积增加，因而产生一吸力，使阀体薄膜23的入口阀门结构231、出口阀门结构232承受一向下的拉力，并使已具有一预力的入口阀门结构231的入口阀片2313迅速开启(如图6B所示)，使冷却液可大量地自阀体座21上的入口通道211被吸取进来，并流经阀体座21上的开口213、阀体薄膜23上的入口阀门结构231的孔2312、阀体盖体22上的入口暂存腔223、入口阀片通道221而流入压力腔室226之内，此时，由于阀体薄膜23的入口阀门结构231、出口阀门结构232承受该向下拉力，故位于另一端的出口阀门结构232是因该向下拉力使得位于阀体薄膜23上的出口阀片2323密封住出口阀门通道222，而使得出口阀门结构232关闭，因而防止冷却液逆流。

当致动装置24因电场方向改变而如图6C所示的箭号b向上弯曲变形时，则会压缩压力腔室226的体积，使得压力腔室226对内部的冷却液产生一推力，并使阀体薄膜23的入口阀门结构231、出口阀门结构232承受一向上推力，此时，设置于凹槽225内的密封环27上出口阀门结构232的出口阀片2323其可迅速开启(如图6C所示)，并使液体瞬间大量宣泄，由压力腔室226通过阀体盖体22上的出口阀门通道222、阀体薄膜23上的出口阀门结构232的孔2322、阀体座21上的出口暂存腔215、开口214及出口通道212而流出流体输送装置2之外，因而完成冷却液的传输过程，同样地，此时由于入口阀门结构231承受该向上的推力，因而使得入口阀片2313密封住开口213，因而关闭入口阀门结构231，使得冷却液不逆流。

综上所述，本发明的喷雾冷却散热回收系统利用喷液单元将冷却液雾化而于喷雾舱体内产生喷雾以吸收发热元件所产生的热能，且利用流体输送装置来回收冷却液可降低整个系统的体积及成本，以及利用致动元件的带动使喷嘴片的喷孔将冷却液雾化喷射至喷雾舱体的方式不会消耗过多的电源功率。另外，本发明通过于喷雾舱体内设置保护板件，可达到防止雾化凝结的该冷却液附着于致动元件上的功效。

本发明可由熟知此技术的人士在不背离本发明的精神的前提下作出种种等同的改变或替换，然而这些等同的改变或替换皆不脱离如附本申请权利要求所欲保护的范围。

Claims (10)

1.一种喷雾冷却散热回收系统，至少包含：

一储液单元，储存一冷却液；

一喷雾舱体，与该储液单元连接；

一喷液单元，设置于该储液单元与该喷雾舱体之间，且具有一喷嘴片及一致动元件，以该致动元件带动该喷嘴片而将该冷却液喷出雾化于该喷雾舱体内；

一保护板件，设置于该喷雾舱体内且与该喷液单元连接；

一吸热单元，与该喷雾舱体相连接而接收雾化冷却液形成散热，并具有一出口流道排出该冷却液；以及

一流体输送装置，接收该吸热单元的该出口流道所排出该冷却液，并具有一致动装置，以该致动装置作动将该冷却液回收到该储液单元内。

2.根据权利要求1所述的喷雾冷却散热回收系统，其特征在于该吸热单元是一吸热金属板件。

3.根据权利要求1所述的喷雾冷却散热回收系统，其特征在于还包含一第一回收管路及一第二回收管路，该第一回收管路的一端与该吸热单元的该出口流道连接，另一端则连接至该流体输送装置，该第二回收管路的一端与该储液单元连接，另一端则与该流体输送装置连接。

4.根据权利要求3所述的喷雾冷却散热回收系统，其特征在于该储液单元具有一盖体及一储液槽体，该盖体具有一入口流道，供与该第二回收管路连通，该储液槽体用以储存该冷却液。

5.根据权利要求4所述的喷雾冷却散热回收系统，其特征在于该盖体具有一透气孔，用以平衡该储液槽体内部的压力。

6.根据权利要求4所述的喷雾冷却散热回收系统，其特征在于还具有一系统本体，用以形成该储液槽体及该喷雾舱体。

7.根据权利要求1所述的喷雾冷却散热回收系统，其特征在于该喷液单元的该喷嘴片具有多个喷孔，及该喷液单元的该致动元件设置于该喷雾舱体中且环绕固设于该喷嘴片的侧边上，以带动该喷嘴片多个喷孔喷射出该冷却液雾化至该喷雾舱体中。

8.根据权利要求1所述的喷雾冷却散热回收系统，其特征在于该流体输送装置 至少包含：

一阀体座，其具有出口通道及入口通道；

一阀体盖体，其设置于该阀体座上；

一阀体薄膜，其设置于该阀体座及该阀体盖体之间；

多个暂存室，设置于该阀体薄膜与该阀体盖体之间，以及于该阀体薄膜与该阀体座之间；以及

一振动装置，其外围固设于该阀体盖体。

9.一种喷雾冷却散热回收系统，用以冷却一发热元件，至少包含：

一喷雾冷却散热结构，其内部设置有一喷嘴片及一致动元件及一保护板件，该致动元件设置于该喷嘴片与该保护板件之间，并以该喷嘴片区隔出一储液槽体储存冷却液，及以该保护板件区隔出一喷雾舱体，而该致动元件带动喷嘴片将冷却液喷出以该喷雾舱体围绕喷射的冷却液雾化在一发热元件上；以及

一流体输送装置，用以将该喷雾舱体内所雾化冷却液回收到该喷雾冷却散热结构内。

10.根据权利要求9所述的喷雾冷却散热回收系统，其特征在于该喷雾冷却散热结构的该保护板件用以防止雾化凝结的该冷却液附着于该致动元件上。 

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