CN101831690A - 拉晶炉初级吸尘储尘箱 - Google Patents
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Abstract
一种拉晶炉初级吸尘储尘箱,包括筒体和筒盖,筒盖密封地设置在筒体的上口,在筒盖上开设真空管接口,筒体的内腔与吸尘管相通连,在筒体内设有第一过滤网板和第二过滤网板,二层过滤网板将筒体内分隔成存尘室、细尘室和真空室。从拉晶炉中吸入废气进入筒体内腔后,依次经过第一过滤网板、第二过滤网板和第三过滤网片的过滤,废气中灰尘颗粒经三层滤网过滤,大幅度减少了废气中灰尘对真空泵的侵害,提高真空泵的使用寿命,有效地解决了现有技术中存在的不足。
Description
【技术领域】
本发明涉及太阳能电池生产设备,尤其涉及拉晶炉的除尘设备。
【背景技术】
随着太阳能电池的不断推广应用,硅棒的需求量越来越大。目前,硅棒通常采用拉晶炉拉制,俗称直拉法。直拉法是拉晶炉在真空的腔室内设有石英坩埚,将经过处理的高纯多晶硅料或次品硅(单晶硅和多晶硅头尾料)装入石英坩埚内,并向拉晶炉内充入保护性气体,加热至1500℃使硅料熔化,然后将子晶夹头中的子晶降下与多晶熔硅充分接触,子晶严格定向,并以一定的速度旋转提升,在晶核诱导下从熔体上被缓缓提拉出来。在拉晶过程中,硅熔液会产生挥发性烟气,主要包括硅氧化物(SiO、少量的SiO2,呈黄色烟尘状)和杂质挥发物。这些气尘粒子必须及时由真空泵抽吸到拉晶炉的初级储尘箱内,否则气体中灰尘粒子就会飘浮在单晶生长界面周围,从而直接影响硅棒的品质。因此生产中必须向拉晶炉中充入氩气,氩气由上至下穿过单晶生长区域,带走气尘杂质。当氩气的流量偏小时,能明显看到硅熔液上方有烟尘翻腾,俗称“冒烟”,此时,SiO粒子可能会被吸附到单晶生长界面上,造成正在生长的单晶的原子晶向发生位错,使单晶生长失败,俗称“断苞”,降低了成晶率。
由于电池的单位成本随着电池尺寸的增加而降低,因此生产大规格的硅棒是必然趋势,这样一次向拉晶炉内投入的硅料量就更大,必须使用更大的石英坩埚。在拉棒过程中产生的气尘杂质必然会更多,也就增加了硅棒产生位错的机率。所以,大直径晶棒需要更迅速地排除气尘杂质。
目前,拉晶炉所配备的初级吸尘储尘箱的结构如图1所示,它为竖直的筒状体,包括筒体1、筒盖2和不锈钢滤网芯3,不锈钢滤网芯3安装在筒体1内,不锈钢滤网芯3将筒体1内分隔成存尘室4和真空室5。拉晶炉与初级吸尘储尘箱和真空泵三者之间连接关系如图2所示,拉晶炉31中的废气通过吸尘管32与初级吸尘储尘箱中的存尘室4相通,真空泵33通过真空管34与真空室5相通连。在拉晶过程中,拉晶炉31的中含有灰尘的废气首先通过吸尘管32被吸入存尘室4中,然后在真空泵33的抽吸作用下,经不锈钢滤网芯3过滤,大颗粒的灰尘则阻挡在真空室5外,而小颗粒的灰尘仍会进入真空室5中,由于进入初级吸尘储尘箱内的废气温度比较高,一般在120℃~150℃,真空泵33长期抽吸含有细小颗粒灰尘的废气,废气中的高温灰尘会直接渗透到真空泵旋转主轴轴承内,导致轴承卡死,因此真空泵的使用寿命很难保证,在实际生产中真空泵的维修次数较多,费用较高,一旦出现故障将直接影响硅棒的品质,严重时导致硅棒报废,迫使拉晶炉停产维修,拉晶炉的生产效率没有得到充分发挥,到目前为止,太阳能电池生产企业还没有理想的解决方法。
【发明内容】
本发明的目的是提供一种拉晶炉初级吸尘储尘箱。
它不仅能对进入初级吸尘储尘箱中的废气进行多次过滤,提高真空泵的使用寿命,而且更便于对其中的灰尘吸除。
本发明所采用的技术方案是:
所述拉晶炉初级吸尘储尘箱,包括筒体和筒盖,筒盖密封地设置在筒体的上口,在筒盖上开设真空管接口,筒体的内腔与吸尘管相通连,其特征是:在筒体内设有第一过滤网板和第二过滤网板,二层过滤网板将筒体内分隔成存尘室、细尘室和真空室。
进一步,第一过滤网板和第二过滤网板均为不锈钢网板。
进一步,第一过滤网板的目数为30~60目,第二过滤网板的目数为50~100目。
进一步,在筒盖上的真空管接口处设有第三过滤网片。
由于在筒体内增设了二层过滤网板,在筒盖上增设了第三过滤网片,从拉晶炉中吸入废气进入筒体内腔后,依次经过第一过滤网板、第二过滤网板和第三过滤网片的过滤,废气中灰尘颗粒经三层滤网过滤,大幅度减少了废气中灰尘对真空泵的侵害,提高了真空泵的使用寿命,有效地解决了现有技术中存在的不足。
【附图说明】
图1为现有初级吸尘储尘箱的结构示意图;
图2为拉晶炉、现有初级吸尘储尘箱、真空泵三者间的连接示意图;
图中,1-筒体;2-筒盖;3-不锈钢滤网芯;4-存尘室;5-真空室;31-拉晶炉;32-吸尘管;33-真空泵;34-真空管。
图3、图4为本发明结构示意图;
图4为图3中的A-A剖视图;
图中:1-筒体;2-筒盖;4-存尘室;5-真空室;6-第一过滤网板;7-第二过滤网板;8-细尘室;21-真空管接口;22-第三过滤网片。
【具体实施方式】
下面结合附图说明本发明的具体实施方案:
本发明所述拉晶炉初级吸尘储尘箱,如图3、图4所示,它包括筒体1和筒盖2,筒盖2密封地设置在筒体1的上口,在筒盖2上开设真空管接口21,筒体1的内腔与吸尘管32相通连,其特征是:在筒体1内设有第一过滤网板6和第二过滤网板7,第一过滤网板6和第二过滤网板7均为不锈钢网板,第一过滤网板的目数为30~60目,第二过滤网板的目数为50~100目,二层不锈钢滤网板将筒体1内分隔成存尘室4、细尘室8和真空室5,在筒盖2上的真空管接口21处设有第三过滤网片22。
Claims (4)
1.一种拉晶炉初级吸尘储尘箱,其特征是:包括筒体(1)和筒盖(2),筒盖(2)密封地设置在筒体(1)的上口,在筒盖(2)上开设真空管接口(21),筒体(1)的内腔与吸尘管(32)相通连,其特征是:在筒体(1)内设有第一过滤网板(6)和第二过滤网板(7),二层过滤网板将筒体(1)内分隔成存尘室(4)、细尘室(8)和真空室(5)。
2.根据权利要求1所述拉晶炉初级吸尘储尘箱,其特征是:第一过滤网板(6)和第二过滤网板(7)均为不锈钢网板。
3.根据权利要求1所述拉晶炉初级吸尘储尘箱,其特征是:第一过滤网板(6)的目数为30~60目,第二过滤网板(7)的目数为50~100目。
4.根据权利要求1所述拉晶炉初级吸尘储尘箱,其特征是:在筒盖(2)上的真空管接口(21)处设有第三过滤网片(22)。
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
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