CN101813714A - 探针装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种探针装置，包括针头组件，其中针头组件包括多探针、与多探针电连接的第一电路板，以及通过导线与该第一电路板上的焊点电连接的第一圆形DIN连接器；机械臂；将针头组件连接到机械臂上并调整针头组件在机械臂上的高度和松紧度的连接装置；固定在机械臂上的第二电路板，该第二电路板上的焊点与控制端通过导线接驳；第二圆形DIN连接器，与上述第二电路板上的焊点电连接；上述针头组件通过第一圆形DIN连接器与第二圆形DIN连接器旋转电连接，并借助连接装置固定在上述机械臂上。当需要更换针头组件时，只需要旋开圆形DIN连接器的公/母头，使其连同针头组件一并拆下更换即可。从而避免了多针连接器母头断针脚或接触不良而给工程师造成困扰。
Description
技术领域
本发明涉及一种探针装置，尤其涉及一种用于半导体阻值量测仪的探针装置。
背景技术
为了方便测试和了解待测材料的质量，复杂的半导体测试机台上一般都设有探针装置，并且探针装置中的针头组件是可以根据测量材料的不同予以更换的。例如半导体阻值量测仪(半导体制造工艺薄膜中使用的TRS机台)，就使用探针装置通过测量半导体阻值(RS值)大小来判断金属厚度。
如图1所示，通常半导体制造工艺薄膜中使用的TRS机台(型号RS75)上采用的探针装置10包括针头组件100，包括四探针(Four-pointProbe)1001、与四探针1001电连接的电路板(PCB)1002，以及设置在电路板1002上的六针连接器(6PIN connector)母头J1；机械臂200；将针头组件100连接到机械臂200上并调整针头组件100在机械臂200上的高度和松紧度的锁紧螺丝2001；固定在机械臂200上的电路板2002，该电路板2002上的焊点与控制端通过导线接驳；以及设置在电路板2002上的六针连接器公头J2；针头组件100是依靠六针连接器J1、J2插拔电连接，并借助锁紧螺丝固定在机械臂200上。
生产中，由于测量材料的不同，需要频繁地更换针头组件，更换中六针连接器母头常会因插拔受力不均而损坏(如断PIN脚或接触不良)，此时不得不重新安装六针连接器母头，这给测试工作带来很大的不便；并且多次拆焊更换六针连接器母头后，将造成针头组件上的PCB焊盘的损坏，针头组件将因此无法再次使用。
发明内容
为了解决上述传统探针装置所带来的问题和缺陷，本发明提供了一种探针装置，包括针头组件，其中针头组件包括多探针、与多探针电连接的第一电路板，以及通过导线与该第一电路板上的焊点电连接的第一圆形DIN连接器；机械臂；将针头组件连接到机械臂上并调整针头组件在机械臂上的高度和松紧度的连接装置；固定在机械臂上的第二电路板，该第二电路板上的焊点与控制端通过导线接驳；第二圆形DIN连接器，与上述第二电路板上的焊点电连接；上述针头组件通过第一圆形DIN连接器与第二圆形DIN连接器旋转电连接，并借助连接装置固定在上述机械臂上。
本发明还提供了一种探针装置，上述第二电路板上还设有第一多针连接器；上述第二圆形DIN连接器通过导线与第二多针连接器电连接；该第二多针连接器与上述第一多针连接器插拔电连接。
本发明又提供了一种探针装置，上述第二电路板上还设有第一多针连接器；上述第二圆形DIN连接器，绑缚在机械臂上，通过导线与上述第二电路板上的第一多针连接器电连接。
本发明再提供了一种探针装置，上述第二圆形DIN连接器，绑缚在机械臂上，通过导线与该电路板上的焊点直接电连接。
上述连接装置为锁紧螺丝。
上述多探针为四探针。
上述多针连接器为六针连接器。
相较于现有的探针装置，本发明通过将原有的针头组件与机械臂的电连接方式由多针连接器插拔方式变更为DIN连接器旋转电连接方式，当需要更换针头组件时，只需要旋开圆形DIN连接器的公/母头，使针头组件上的DIN连接器的公/母头连同针头组件一并拆下更换即可。从而避免了多针连接器母头断针脚或接触不良而给工程师造成困扰，或因针头组件PCB焊盘损坏而报废整个针头组件，从而节约了生产成本。
附图说明
图1为传统半导体制造工艺薄膜中使用的TRS机台中探针装置的结构示意图。
图2为本发明一具体实施例的用于半导体制造工艺薄膜中使用的TRS机台中的探针装置的结构示意图。
图3为本发明又一具体实施例的用于半导体制造工艺薄膜中使用的TRS机台中的探针装置的结构示意图。
图4为本发明再一具体实施例的用于半导体制造工艺薄膜中使用的TRS机台中的探针装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明的具体实施作进一步的详细说明。对于所属技术领域的技术人员而言，从对本发明的详细说明中，本发明的上述和其他目的、特征和优点将显而易见。
参照图2，为本发明一具体实施例的用于半导体制造工艺薄膜中使用的TRS机台中的探针装置的结构示意图。结合图1、图2可以看到，本发明相对于传统探针装置10采用以下步骤：
a.将传统探针装置10中的针头组件100电路板1002上的六针连接器母头J1拆除，并用导线将电路板1002上的焊点引出，与圆形DIN连接器母头J4电连接；
b.提供圆形DIN连接器公头J3，通过导线与六针连接器母头J5电连接，该六针连接器母头J5与机械臂200电路板2002上的六针连接器公头J2插拔电连接，该圆形DIN连接器公头J3与上述圆形DIN连接器母头J4旋转电连接。
通过上述探针装置的制造方法制作的新型的探针装置10’包括针头组件100’，其中针头组件100’包括四探针1001’、与四探针1001’电连接的电路板1002’，以及通过导线与该电路板1002’上的焊点电连接的圆形DIN连接器母头J4；机械臂200’；将针头组件100’连接到机械臂200’上并调整针头组件100’在机械臂200’上的高度和松紧度的锁紧螺丝2001’；固定在机械臂200’上的电路板2002’，该电路板2002’上的焊点与控制端通过导线接驳；设置在电路板2002上的六针连接器公头J2；圆形DIN连接器公头J3，通过导线与六针连接器母头J5电连接，该六针连接器母头J5与上述六针连接器公头J2插拔电连接；上述针头组件100’通过圆形DIN连接器母头J4与圆形DIN连接器公头J3旋转电连接、六针连接器母头J5与六针连接器公头J2插拔电连接，并借助锁紧螺丝2001’固定在上述机械臂200’上。
相较于传统的针头装置10，本实施例通过改变针头组件100的结构，同时提供圆形DIN连接器；当需要更换针头组件时，只需旋开圆形DIN连接器的公/母头，使圆形DIN连接器的母头J4连同针头组件100’一并拆下更换即可，实现了由受力不好控制的插接变成渐进式旋入，提高了连接的可靠度。
参照图3，为本发明又一具体实施例的用于半导体制造工艺薄膜中使用的TRS机台中的探针装置的结构示意图。结合图2、图3可以看到，本发明通过对图2中披露的探针装置制造方法的步骤b进行改动：
b’.提供圆形DIN连接器公头J3，绑缚在机械臂200上，通过导线与机械臂200电路板2002上的六针连接器公头J2电连接，该圆形DIN连接器公头J3与针头组件100上的圆形DIN连接器母头J4旋转电连接。
通过上述探针装置的制造方法制作的新型的探针装置10”包括针头组件100”，其中针头组件100”包括四探针1001”、与四探针1001”电连接的电路板1002”，以及通过导线与该电路板1002”上的焊点电连接的圆形DIN连接器母头J4；机械臂200”；将针头组件100”连接到机械臂200”上并调整针头组件100”在机械臂200”上的高度和松紧度的锁紧螺丝2001”；固定在机械臂200”上的电路板2002”，该电路板2002”上的焊点与控制端通过导线接驳；设置在电路板2002”上的六针连接器公头J2；圆形DIN连接器公头J3，绑缚在机械臂200”上，通过导线与机械臂200”电路板2002”上的六针连接器公头J2电连接；上述针头组件100”通过圆形DIN连接器母头J4与圆形DIN连接器公头J3旋转电连接，并借助锁紧螺丝2001”固定在上述机械臂200”上。
由于相对于图2所示的探针装置10’，本实施例对圆形DIN连接器公头J3与机械臂200”的连接方式进行了改变，省去了六针连接器母头J5，并将圆形DIN连接器公头J3绑缚在机械臂200”上，如此一来，增加了生产人员更换针头组件时的操作空间，使得针头组件的更换过程更方便、更快捷。
参照图4，为本发明再一具体实施例的用于半导体制造工艺薄膜中使用的TRS机台中的探针装置的结构示意图。结合图1、图4可以看到，本发明相对于传统探针装置10采用以下步骤：
a”.将传统探针装置10中的针头组件100电路板1002上的六针连接器母头J1拆除，并用导线将电路板1002上的焊点引出，与圆形DIN连接器母头J4电连接；
b”.将传统探针装置10中的机械臂200电路板2002上的六针连接器公头J2拆除，用导线将电路板2002上的焊点引出，与绑缚在机械臂200上的圆形DIN连接器公头J3电连接，该圆形DIN连接器公头J3与上述圆形DIN连接器母头J4旋转电连接。
通过上述探针装置的制造方法制作的新型的探针装置10”’包括针头组件100”’，其中针头组件100”’包括四探针1001”’、与四探针1001”’电连接的电路板1002”’，以及通过导线与该电路板1002”’上的焊点电连接的圆形DIN连接器母头J4；机械臂200”’；将针头组件100”’连接到机械臂200”’上并调整针头组件100”’在机械臂200”’上的高度和松紧度的锁紧螺丝2001”’；固定在机械臂200”’上的电路板2002”’，该电路板2002”’上的焊点与控制端通过导线接驳；圆形DIN连接器公头J3，绑缚在机械臂200”’上，通过导线与电路板2002”’上的焊点直接电连接；上述针头组件100”’通过圆形DIN连接器母头J4与圆形DIN连接器公头J3旋转电连接，并借助锁紧螺丝2001”’固定在上述机械臂200”’上。
相较于传统的针头装置10，本实施例通过改变针头组件100”’和机械臂200”’上的电路板2002”’的结构，给二者同时加上了圆形DIN连接器，同时省去了六针连接器母头J1和六针连接器公头J2，而采用圆形DIN连接器母头J4与针头组件100”’一体、圆形DIN连接器公头J3与电路板2002”’一体的设计，使得生产人员更换针头组件时的操作空间更大，成本更低。
结合以上实施例的描述，本发明提供了一种探针装置及其制造方法，通过重新设计的针头组件和机械臂，同时借助圆形DIN连接器，将传统针头组件和机械臂的多针插接方式替换为渐进式旋入方式，避免了传统针头组件中多针连接器损坏而给工程师造成困扰，同时使针头组件的使用寿命得以延长，生产成本从而降低。
当然，本发明还可有其他实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明做出各种相应的更改和变形，但这些相应的更改和变形都应属于本发明的权利要求的保护范围。
Claims (7)
1.一种探针装置，其特征在于，包括针头组件，包括
多探针、与多探针电连接的第一电路板，以及通过导线与该第一电路板上的焊点电连接的第一圆形DIN连接器；
机械臂；
将针头组件连接到机械臂上并调整针头组件在机械臂上的高度和松紧度的连接装置；
固定在机械臂上的第二电路板，该第二电路板上的焊点与控制端通过导线接驳；
第二圆形DIN连接器，与上述第二电路板上的焊点电连接；
上述针头组件通过第一圆形DIN连接器与第二圆形DIN连接器旋转电连接，并借助连接装置固定在上述机械臂上。
2.根据权利要求1所述的探针装置，其特征在于，上述第二电路板上还设有第一多针连接器；上述第二圆形DIN连接器通过导线与第二多针连接器电连接；该第二多针连接器与上述第一多针连接器插拔电连接。
3.根据权利要求1所述的探针装置，其特征在于，上述第二电路板上还设有第一多针连接器；上述第二圆形DIN连接器，绑缚在机械臂上，通过导线与上述第二电路板上的第一多针连接器电连接。
4.根据权利要求1所述的探针装置，其特征在于，上述第二圆形DIN连接器，绑缚在机械臂上，通过导线与该电路板上的焊点直接电连接。
5.根据权利要求1-4任一项所述的探针装置，其特征在于，上述连接装置为锁紧螺丝。
6.根据权利要求1-4任一项所述的探针装置，其特征在于，上述多探针为四探针。
7.根据权利要求6所述的探针装置，其特征在于，上述多针连接器为六针连接器。
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| CN2540638Y (zh) * | 2002-04-24 | 2003-03-19 | 深圳市安泰信电子有限公司 | 便携式频谱分析仪 |
| US7052315B2 (en) * | 2004-06-16 | 2006-05-30 | Tyco Electronics Corporation | Stacked jack assembly providing multiple configurations |
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