CN101813411B - 用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉炉体热电偶固定装置 - Google Patents

用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉炉体热电偶固定装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种300mm立式氧化炉炉体热电偶固定装置，其特征在于：设有固定板(5)，该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽，在该凹槽内固定设置一个固定块(3)，热电偶(2)固定在该固定块的中心孔中，固定块的一侧设有一个直边，固定块的一侧固定设有一个挡板(1)，该挡板的内侧边与固定块的直边紧靠在一起将固定块和热电偶卡住，所述固定板通过螺栓(4)固定在立式氧化炉炉体的内壁上；热电偶固定装置设有数个，纵向间隔设置在立式氧化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用耐热材料制成。本发明适用于300mm立式氧化炉炉体热电偶的固定，结构科学、新颖，固定效果好，易于更换热电偶。

Description

用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉炉体热电偶固定装置
技术领域
本发明属于一种用于300mm硅片热处理的氧化炉设备，具体的是一种用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉炉体的热电偶固定装置。 
背景技术
氧化炉是用于硅片进行氧化、退火等热处理工艺的半导体设备，现在的氧化炉，大都是卧式结构，其温度均匀性及控温精度不够理想，操作和控制不够精确灵活，自动化程度低、生产效率和产品质量不够高，不能适应300mm硅片的生产需求。特别是炉体的热电偶固定装置固定方式不够理想，以往卧式炉体热电偶的固定方式为径向固定结构，易弄断热电偶，同时轴向方向几乎没有约束，所以，需要对其结构进行改进。因此，需要提出一种结构改进的立式氧化炉炉体热电偶固定方式。 
发明内容
本发明的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧化炉热电偶固定装置，该装置结构科学、新颖、简单适用，固牢性强，准确地控制热电偶各个方向的位置。 
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：300mm立式氧化炉炉体热电偶固定装置，其特征在于：设有固定板，该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽，在该凹槽内固定设置一个固定块，热电偶固定在该固定块的中心孔中，固定块的旁边设有一个直边，固定块的一侧固定设有一个挡板，该挡板的内侧边与固定块的直边紧靠在一起将固定块和热电偶卡住，所述固定板通过螺栓固定在氧化炉炉体的内壁上；热电偶固定装置设有数个，纵向间隔设置在氧化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用耐热材料制成。 
本发明的炉体热电偶固定装置通过精确的设计计算和合理巧妙的设计，使热电偶能够全方位固定而且易于更换。 
附图说明
图1是本发明的整体结构示意图； 
图2是本发明的侧视结构示意图。 
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明：实施例：参见附图，300mm立式氧化炉炉体热电偶固定装置，设有固定板5，该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽，在该凹槽内固定设置一个固定块3，热电偶2固定在该固定块的中心孔中，固定块的旁边设有一个直边，固定块的一侧固定设有一个挡板1，该挡板的内侧边与固定块的直边紧靠在一起将固定块和热电偶卡住，所述固定板通过螺栓4固定在立式氧化炉炉体的内壁上；热电偶固定装置设有数个，纵向间隔设置在立式氧化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用绝缘、耐热材料制成。 

Claims (1)

1.一种用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉炉体热电偶固定装置，其特征在于：设有固定板(5)，该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽，在该凹槽内固定设置一个固定块(3)，热电偶(2)固定在该固定块的中心孔中，固定块设置有一个直边，固定块的外侧固定设有一个挡板(1)，该挡板的内侧与固定块的外侧紧靠在一起将固定块和热电偶卡住，所述固定板通过螺栓(4)固定在氧化炉炉体的内壁上，所述固定块的直边设置在固定块与螺栓正对且远离螺栓的一端；热电偶固定装置设有数个，纵向间隔设置在氧化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用绝缘、耐热材料制成。
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