CN101782517B - 一种基于双激光光源的激光探针微区成分分析仪 - Google Patents

Abstract

本发明属于激光探测技术领域，具体为一种基于双激光光源的激光探针微区成分分析仪。其结构为：固定波长激光器、衰减器、扩束镜、小孔光阑、第一半透半反镜依此位于同一水平光路上，波长可调谐激光器通过第二全反镜反射到第一半透半反镜上后与固定波长激光器的激光束同光路。固定波长激光器和波长可调谐激光器可上下或平行放置，且通过数字延时发生器控制其开启顺序及延时。由光纤探头接收并通过光纤传输到光栅光谱仪后至增强型CCD的等离子体光谱采集时间也由数字延时发生器控制。这种双激光光源激发的激光探针仪探测极限低，元素分析精度高，元素选择性好，更加稳定可靠。可用于各种物质微区的微量、痕量元素的准确定性和精确定量分析。

Description

一种基于双激光光源的激光探针微区成分分析仪

技术领域

本发明涉及一种采用双激光光源的激光探针微区成分分析仪，主要用于物质微区元素成分的定性与精确定量分析。

背景技术

激光诱导击穿光谱(Laser Induced Breakdown Spectroscopy，简称LIBS)技术是一种新型的原子光谱分析技术，它是通过将脉冲激光束聚焦到物质表面烧蚀形成等离子体而发射出光谱，通过采集等离子体光谱来分析其元素的成分及其含量。由于其具有独特的多元素同步实时分析能力，简单的样品预处理要求，特别是能够实现野外、实时在线和高危险环境下的远程检测，因此该技术一出现便受到了极大的关注并被广泛应用于各种对象的定性、定量分析。LIBS技术目前主要显现出以下两个主要方面的发展趋势：一、在宏观探测方面：采用高能量、短脉冲的激光器对宏观物质进行探测，例如采用纳秒激光器，甚至是飞秒激光器，主要是降低LIBS探测极限和提高元素的分析精度。二、将LIBS、摄像头和工作台结合在一起制成类似电子探针式的激光探针微区成分分析仪，使其具备电子探针式的微区探测功能，且在探测精度、实时分析以及激光微区方面都优于电子探针仪。

LIBS技术有着显著的技术优势，同时现有的LIBS技术又存在着以下不足，主要包括：第一，探测极限差；第二，其他元素的干扰、基体效应影响；第三，可靠性不高。中国专利文献《一种激光探针微区成分分析仪》(申请号为200910062846，公开日为2009年11月25日)公开了一种基于微区成分探测分析的激光探针仪，该激光探针仪器主要是由LIBS、工业CCD、工作台和控制系统组成，主要是针对物质微区成分的分析探测，因其采用了机械约束机构，从而有效地降低了LIBS的探测极限；同时采用三维工作台，加上同轴光学系统设计，使其能实现物质微区的原位分析探测。但是此激光探针微区成分分析仪仍然存在以下不足：第一，使用单个脉冲激光器并不能对等离子体进行充分的谐振激发，即其对等离子体的二次激发效果不理想；第二，采用脉冲激光器不能完全有效的抑制和排除其他元素的干扰，即不能很好的克服基体效应和其他元素的干扰，会影响其元素探测的选择性和可靠性。第三，单脉冲激光的使用限制了探测极限的降低和探测精度的进一步提高，会导致其对微量、痕量元素的探测存在较大误差。本发明所中所采用的双激光激发光源能更好的对上述技术方案进行补充和改进，弥补其不足。

发明内容

为了克服现有LIBS技术和基于LIBS技术的针对微区探测的激光探针微区成分分析仪存在的种种缺点，本发明提出了一种基于双激光光源的激光探针微区成分分析仪，该激光探针微区成分分析仪的探测极限低，元素分析精度高，元素选择性好，更加稳定可靠。

本发明提供的一种基于双激光光源的激光探针微区成分分析仪，其特征在于：固定波长激光器的出光口、衰减器，扩束镜，小孔光阑，第一半透半反镜依次位于同一水平光路上；第一全反镜活动安装，当其位于光路时与第一半透半反镜平行；聚焦物镜位于第一全反射镜的反射光路上；第二半透半反镜位于第一全反射镜与聚焦物镜之间，或者第一全反射镜与第一半透半反镜之间；

波长可调谐激光器的出射光路上放置有第二全反镜，第二全反镜的反射面与水平光路的夹角为45度，且第一半透半反镜与第二全反镜平行；

工业CCD固定在固定支架的顶部，且位于第一全反射镜的上方，工业CCD通过电缆与计算机连接；固定支架的下方为移动支架，移动支架的底部安装有镜头架转盘，镜头架转盘上带有多个镜头支架，在每个镜头支架上均安装一个聚焦物镜，各聚焦物镜的放大倍率不同；

聚焦物镜头的下方为二维数控机床，二维数控机床置于基台上；

移动支架的侧面安装有丝杆与导轨，丝杆与导轨与电机连接，电机控制丝杆与导轨带动移动支架沿z轴上下运动，与二维数控机床共同构成x-y-z三轴运动系统；

光纤探头位于第二半透半反镜的反射光路上，且通过光纤与光栅光谱仪连接，同时光栅光谱仪与增强型CCD连接后接入计算机；

固定波长激光器、波长可调谐激光器分别与数字延时发生器相连，数字延时发生器与增强型CCD连接。

本发明提供的基于双激光光源的激光探针微区成分分析仪(以下简称“激光探针仪”)，可以达到激光探针微区成分的准确定性或者精确定量分析的目的。具体而言，本发明具有以下技术特点：

(1)本发明采用固定波长脉冲激光器与波长可调谐激光器相结合，形成双激光激发光源。传统的LIBS技术之所以探测极限低，分析精度不高，选择性差，无法排除其他元素的干扰，其最关键因素之一是：单脉冲激光光源激发条件下被分析物质中含量较多的元素等离子体光谱信号将会湮没含量较少的元素光谱信号，因此使得微量或者痕量元素的检测极限偏高，成分分析精度降低，并导致在针对某一种具体元素分析时的选择性变差。造成这一现象的主要原因在于：目前国内外LIBS系统或可用于微区探测的MicroLIBS系统都只是采用单激光光源激发，且使用的激光器波长都是固定的。而激光束激发物质的光谱时，物质中不同的元素受到不同波长激光束照射后所产生的激发程度存在很大的差别，且单一的激光光源无法对等离子体产生二次激发来提高其等离子体光谱信号强度，同时也很难有效的排除其他元素的干扰。

当激光束的光子能量与被探测物质的本征激发所需要的能量相当时，该元素的光谱激发强度远远大于其它元素的激发强度，这样，就可以抑制其它元素的光谱信号强度，提高所设定元素的光谱信号强度，这一激发过程称为谐振激发，它对于排除其他元素的干扰，增强元素探测的选择性，降低元素的探测极限，特别是对于大幅度提高微量或者痕量元素的分析精度具有重要意义。本发明正是利用了物质谐振激发的这一技术特点，在现有LIBS通常只采用单一固定波长激光器基础上，增加波长可调谐激光器作为谐振激发光源组成双激光光源进行激发，从而最大限度激发被分析物质中指定元素的特征光谱，同时将其它元素的特征光谱抑制到最小，相当将被测元素光谱进行了放大。这将大大降低激光探针仪的探测极限，最大可能的排除了其他元素的干扰，提高了元素的分析精度。

(2)在双激光光源的基础上同时结合采用等离子体约束结构技术，固定波长脉冲激光器在物质微区激发出等离子体，波长可调谐激光器在经过理想的延时后再对已激发出的等离子体进行谐振激发，这样可以有效克服背景噪声的影响，同时采用专门设计的等离子体约束机构，可以约束等离子体的运动方向和扩展范围，从而延长等离子体信号的生存寿命，降低元素检测限，提高被分析元素的精度，双激光光源和约束机构的应用将使得LIBS技术的探测极限大大降低，分析精度大大提高。。

(3)采用扩束镜、小孔光阑和聚焦物镜使聚焦激光束的光斑直径更小。同时采用同轴光学观察和分析系统设计完成原位观察和信号采集，在一般LIBS基础上增加增强型电荷耦合检测仪(即增强型CCD)来对光谱信号进行放大处理。

综上所述，与普通LIBS技术和可用于物质微区探测的MicroLIBS技术相比较，该双激光光源的激光探针仪具有如下技术效果：

第一，激光探针仪的探测极限低，分析精度可高达ppm级，其探测极限和分析精度都将远远优于电子探针仪和扫描电镜；

第二，激光探针仪对物质的激发区域最小可达1μm以下，其最小空间分辨率远优于电子探针、扫描电镜和MicroLIBS等；

第三，激光探针仪适合导电和不导电物质的高精度微区成分分析，因此，该设备可以用于包括金属、陶瓷、玻璃、塑料等几乎所有固体物质的成分分析；而电子探针、扫描电镜一般只适合对导电材料的成分分析，且一般分析精度只达百分之几；

第四，激光探针仪不需要真空，物质样品尺寸不受限制，并且对环境要求低，可以搬运到大型零部件的现场进行进行实时在线探测分析；

最后，激光探针仪的扩展空间大，可以发展成为系列专用成分检测仪器，例如便携式的激光探针仪，满足不同目的的检测要求，特别是针对器件的无损探测。因此该双激光束微区成分分析仪可以广泛应用于工业、农业、采矿、安全检测等众多领域。

附图说明

图1为本发明激光探针微区成分分析仪的第一种具体实施方式的结构示意图；

图2为图1中区域A的放大示意图；

图3为本发明激光探针微区成分分析仪的第二种具体实施方式的结构示意图；

图4为双激光光源平行放置的俯视示意图。

具体实施方式

如图1、2所示，本发明激光探针微区成分分析仪的结构为：

固定波长激光器1的出光口、衰减器34，扩束镜2，小孔光阑35，第一半透半反镜3依次位于同一水平光路上，第一半透半反镜3的透射面与基板9的夹角为45度，同时也与水平光路成45度角。全反射镜7活动安装，当其位于光路时与第一半透半反镜3平行。第二半透半反镜13和聚焦物镜17依次位于第一全反射镜7的反射光路上。

波长可调谐激光器32位于固定波长激光器1的上方，其出射光路上放置有第二全反镜33，且第二全反镜33与第一半透半反镜3平行。

工业CCD6固定在固定支架5的顶部，且位于第一全反射镜7的上方，工业CCD6通过电缆20与计算机24连接。固定支架5的下方安装移动支架12，移动支架12的底部安装有镜头架转盘15，镜头架转盘15上带有多个镜头支架，在每个镜头支架上均安装一个聚焦物镜17，各聚焦物镜17的放大倍率不同，通过旋转镜头架转盘15可以进行自由选择。

聚焦物镜头17的下方为二维数控机床19，二维数控机床19置于基台27上。

移动支架12的侧面安装有丝杆与导轨10，丝杆与导轨10和电机11连接。电机11控制丝杆与导轨10带动移动支架12沿Z轴上下运动，与二维数控机床19(即x-y轴)一起，构成x-y-z三维运动系统。

光纤探头14位于第二半透半反镜13的反射光路上，且通过光纤21与光栅光谱仪22连接，同时光栅光谱仪22与增强型CCD23连接后接入计算机24。

固定波长激光器1、波长可调谐激光器32分别与数字延时发生器26相连，数字延时发生器26与增强型CCD23连接。

固定波长激光器1的主要作用是发射高能量的脉冲激光束来激发出物质微区的等离子体，波长可调谐激光器32的作用是与激发出的待探测等离子体进行谐振激发，大大增强其特征等离子体的光谱信号强度，排除其他元素等离子体信号的干扰。

数字延时发生器26主要用于控制固定波长激光器1和波长可调谐激光器32之间的延时时间。同时控制增强型CCD23开启等离子光谱信号采集的延时时间。

衰减器34用于衰减固定波长激光器1激发出的激光束能量，以控制和调节固定波长激光器1输出激光束使其达到理想的能量值。

扩束镜2将固定波长激光器1所输出的激光束直径扩大，以降低激光束的发散角。充分利用聚焦物镜17的数值孔径，聚焦后获得光斑直径更小的激光束斑，从而提高激光探针仪的最小空间分辨精度。

小孔光阑35用于消除固定波长激光束的高阶模式，保留其低阶00模式。使固定波长激光束的能量分布更加均匀。

第二全反镜33用于将水平入射的波长可调谐激光器输出的激光束反射垂直向下到第一半透半反镜3上。第一半透半反镜3由第二旋转电磁铁8所控制，主要用于引入波长可调谐激光器激光束使之与固定波长激光束同光路。

所述工业CCD6的主要作用：和聚焦物镜17一起，构成样品的高倍观察系统，用于样品表面形貌的观察分析。通过改变工业CCD6和聚焦物镜17之间的距离，可以改变显示器25上被观察样品的表面形貌放大倍率。

当全反射镜7位于激光光路上时，将激光束水平光路反射向下，第二半透半反镜13可以让固定波长激光束和波长可调谐激光器激光束透过，同时能将等离子体的光信号反射进入光纤探头14。

所述丝杆与导轨10和电机11相连，可以在电机11的驱动下沿Z轴上下移动，根据需要调节聚焦物镜17到被分析样品31之间的距离，使得激光束的焦点总是落在被分析样品31的表面。

所述聚焦物镜17的功能有三个：一、直接观察样品表面光学形貌。二、作为导光系统的一部分，将激光束聚焦后直接照射到被分析样品31的表面。三、采集等离子体信号并沿激光束光路反向传输到第二半透半反镜13后反射进入光纤探头14，以便进行光谱分析。

所述光栅光谱仪22主要将等离子体光分解为各种元素的光谱线，所述增强型CCD23主要将光谱线的信号进行放大，同时控制等离子信号的采集时间。

计算机24可以采用台式计算机或者笔记本电脑通过USB接口或者网线与增强型CCD23的信号采集处理电路进行连接。计算机的软件具有自动扫描、寻找原子光谱峰值、定性识别和定量转化计算等功能。

约束机构30是确保激光探针成分分析精度的另一关键机构。约束机构30所使用的材料可以是磁性或非磁性材料，采用磁性材料可以进一步延长等离子体的寿命。约束机构30既不妨碍激光束的正常输出，也不阻挡激光诱导的等离子体的光信号进入导光系统。同时，由于约束机构30是空间较小的薄壁结构，又非常靠近被分析样品31的表面，因此能够有效限制等离子体的运动方向和速率，延长其生存寿命，提高激光探针仪的分析精度。

双激光光源的激光探针微区成分分析仪能满足物质微区准确的定性分析和精确的定量分析，其工作原理及过程如下：

全反射镜7处于偏离激光束的光路状态，将被分析样品31置于二维数控机床19上。调整二维数控机床19在水平(x-y轴方向)的位置、以及移动支架12上聚焦物镜17的高度(z轴方向)，并适当调整聚焦物镜17和工业CCD6之间的间距，使得被分析样品31表面处于观察系统的焦点上，就可以在显示器25上观察和分析样品材料的表面微观形貌和结构。将三维工作系统和激光束的光路进行精确匹配后对准并锁定所需要分析样品的微区。

当被分析样品31的特征微区对准并锁定后，切换显示器25的观察界面到分析界面。触发第一旋转电磁铁4的开关使第一全反射镜7位于激光束的光路中并与之成45度角。开启固定波长激光器1，使之发出固定波长的脉冲激光束，固定波长脉冲激光束经衰减器34将其脉冲能量衰减到理想值，然后经扩束镜2扩束后由小孔光阑35消除激光束中的高阶模式，再通过第一半透半反镜3后在全反射镜7的反射面发生全反射，接着通过第二半透半反镜13后经聚焦物镜17聚焦到被分析样品31上进行烧蚀，产生等离子体，等离子在约束机构30内快速膨胀扩散。

数字延时发生器26延时到设定的理想时间后，触发波长可调谐激光器32激发出对应待探测元素的等离子波长的激光束，经第二全反镜33反射到第一半透半反镜3的反射面，经第一半透半反镜反射后与固定波长激光束同光路，接着由第一全反镜7反射后通过第二半透半反镜13再经聚焦物镜17聚焦，最后打在约束机构30中的等离子体羽上。等离子体羽一方面和波长可调谐激光器产生的激光束进行谐振激发，大大增强待检测元素的光谱信号；另一方面等离子体羽在约束机构30中的膨胀扩散会产生冲击波，冲击波在约束机构壁上反射回来后挤压等离子羽的扩散，使之产生挤压后进一步产生二次激发，这样一来又增强了等离子的光谱信号同时又延长了等离子的寿命。通过双激光束的谐振激发和约束结构作用，降低了背景噪声，提高了信噪比，排除了其他元素的干扰，大大增强了待检测元素的等离子体光谱信号。

等离子体释放出的光谱信号通过聚焦物镜17后在第二半透半反镜13的下表面进行反射，进入到光纤探头14，然后耦合到光纤21的接收端，通过光纤21将光子光谱输入到光栅光谱仪22，并通过增强型CCD23进行光谱信号放大处理，再将相关信息传输给计算机24，并由显示器25将各种波长的光谱显示出来，同时通过计算机软件自动识别各种元素成分，并计算出其含量。

下面通过借助实施例更加详细地说明本发明，但以下实施例仅是说明性的，本发明的保护范围并不受这些实施例的限制。

固定波长激光器1采用调Q-Nd:YAG激光器，其发射波长为532nm，脉冲持续时间为6ns，脉冲能量约为200mJ。波长可调谐激光器32，其波长调谐范围为215nm-2550nm连续可调，脉冲持续时间为6ns；单脉冲能量在5-200mJ内可调，脉冲重复频率10Hz。数字延时发生器26型号为DG535，其延迟分辨率为5Ps。

固定波长激光器1、衰减器34、扩束镜2、小孔光阑35都通过螺钉连接直接固定在基板9的上面。固定波长激光器1的上方安装波长可调谐激光器32，第一全反射镜7安装在第一旋转电磁铁4上，且第一旋转电磁铁4与固定支架5相连，其中固定支架5固定安装在基板9上。

所述基板9可以优选大理石或花岗岩等材料，以确保其硬度和平整度，并具有很好的减震、抗震性能。

固定支架5的侧面安装第二全反镜33，第二全反镜33的下方是第一半透半反镜3，第一半透半反镜3与第一全反镜7平行，且第一半透半反镜3位于扩束镜2和第一全反镜7之间。

固定支架5的下面安装有移动支架12，移动支架12的下面安装有镜头架转盘15，镜头架转盘15上可以安装多个镜头支架，在每个镜头支架上均安装一个聚集物镜。本实例安装有三个镜头支架，镜头支架内部分别安装有聚焦物镜17。

具体操作步骤如下：

1.设置第一旋转电磁铁4的控制开关使全反射镜7处于偏离激光束的光路状态。

2.将被分析样品31固定在二维数控机床19上，通过工业CCD6、聚焦物镜17观察被分析样品31的表面，调整二维数控机床19和移动支架12中聚焦物镜17的高度，通过观察后对样品的待分析微区进行精确定位并锁定。

3、切换显示器25的观察界面到分析界面，触发第一旋转电磁铁4的开关，使全反射镜7移动到激光束的光路中。

4、开启固定波长激光器1发射波长为532nm的短脉冲、高能量的激光束，固定波长激光束依次通过衰减器34进行能量衰减，扩束镜2扩束，小孔光阑35消除高阶模式，然后经第一半透半反镜3后在全反射镜7处反射通过第二半透半反镜13，最后经聚焦物镜17聚焦到被分析样品31表面对样品微区进行烧蚀产生等离子体，等离子体在约束机构30内扩散。

5.数字延时发生器26外触发波长可调谐激光器32激发出对应待探测元素波长的激光束。激光束通过第二全反镜33反射后由第一半透半反镜3后与固定波长激光束同轴，依次在第一全反镜7上反射经第二半透半反镜13再通过聚焦物镜17聚焦到等离子体羽上产生谐振激发。

6.等离子体经谐振激发和约束机构约束后其对应元素光谱信号将大大增强，其光谱信号在第二半透半反镜13的下表面发生反射后进入光纤探头14，光纤探头14将采集到的光谱信号通过石英光纤21传输至光栅光谱仪22。

7.光栅光谱仪22对激光激发的原子和离子光谱进行探测、分析，将所检测出的光谱信号通过增强型CCD23，增强型CCD23开启其光谱采集开关对光谱信号进行理想的延时信号采集，并把采集到的光谱信号进行放大处理并转化为电信号传输到计算机24。

8.计算机24将采集到的光谱波长与光谱数据库中元素的光谱波长进行对比分析，分析并确定微区元素的成分和含量，并通过显示器25显示出来。

通过上述步骤，就完成了双激光光源的激光探针微区成分分析仪的定点成分的准确定性与精确定量分析。当需要对其他特征微区进行探测时，通过x、y、z三轴联动控制，可使激光探针仪沿着试样表面轮廓移动，完成对样品不同部位的微区成分分析。

样品表面的化学成分进行线扫描和面扫描分析时，首先应该根据试样的表面形貌、所需要定性或者定量分析的微区面积和路径编制程序，在编制程序时应该注意固定波长激光器的激光开启时间，波长可调谐激光器的开启时间以及增强型CCD23开关采集等离子的时间之间必需保持有序协调。同时激光器输出高功率脉冲激光束和工作台的移动、光谱分析过程都必需协调进行，以完成样品表面的线扫描、面扫描成分分析。

本发明还可以采用如图3所示的实施方式，例如可以将第二半透半反镜13移至第一半透半反镜3和第一全反射镜7之间，且第一全反射镜7与第二半透半反镜13平行安装，光纤探头14至于第二半透半反镜13的上方。

同时，固定波长激光器1和波长可调谐激光器32可以平行放置，平行放置时第一半透半反镜3和第二全反镜33均垂直安装在基板9的上表面，第二全反镜33的反射面与水平光路成45度角，此时第一半透半反镜3与第二全反镜33平行安装，其俯视图如图4所示。

对于形状复杂的样品，还可以在二维数控机床上增加一个可以转动的小型工作台，它可以以平行于x轴的A轴或者平行于y轴的B轴作为转动轴转动，并与x-y-z三个轴的运动联动，成为五轴联动系统，因此可使得激光束的入射方向始终垂至于样品的被分析面，确保所采集等离子体光电信号的强度和分析精度。

三维工作系统也可以直接采用三维数控机床。

本发明激光探针微区成分分析仪具有对物质微区进行精密探测功能，其对物质微区的定位对准度高，能对物相的表面形貌、显微结构特征进行微区成分的精确定量分析，满足大型金属零部件、陶瓷零部件、高分子材料零部件的化学成分和物相分析要求。

以上所述为本发明的较佳实施例而已，但本发明不应该局限于该实施例和附图所公开的内容。所以凡是不脱离本发明所公开的精神下完成的等效或修改，都落入本发明保护的范围。

Claims (3)

1.一种基于双激光光源的激光探针微区成分分析仪，其特征在于：固定波长激光器（1）的出光口、衰减器（34），扩束镜（2），小孔光阑（35），第一半透半反镜（3）依次位于同一水平光路上；全反射镜（7）活动安装，当其位于光路时与第一半透半反镜（3）平行；聚焦物镜（17）位于第一全反射镜（7）的反射光路上；第二半透半反镜（13）位于第一全反射镜（7）与聚焦物镜（17）之间，或者第一全反射镜（7）与第一半透半反镜（3）之间；

波长可调谐激光器（32）的出射光路上放置有第二全反镜（33），第二全反镜（33）的反射面与水平光路的夹角为45度，且第一半透半反镜（3）与第二全反镜（33）平行；

工业CCD（6）固定在固定支架（5）的顶部，且位于第一全反射镜（7）的上方，工业CCD（6）通过电缆（20）与计算机（24）连接；固定支架（5）的下方为移动支架（12），移动支架（12）的底部安装有镜头架转盘（15），镜头架转盘（15）上带有多个镜头支架，在每个镜头支架上均安装一个聚焦物镜（17），各聚焦物镜（17）的放大倍率不同； 

聚焦物镜（17）的下方为二维数控机床（19），二维数控机床（19）置于基台（27）上；

移动支架（12）的侧面安装有丝杆与导轨（10），丝杆与导轨（10）与电机（11）连接，电机（11）控制丝杆与导轨（10）带动移动支架（12）沿z轴上下运动，与二维数控机床（19）共同构成x-y-z三轴运动系统；

光纤探头（14）位于第二半透半反镜（13）的反射光路上，且通过光纤与光栅光谱仪（22）连接，同时光栅光谱仪（22）与增强型CCD（23）连接后接入计算机（24）；

固定波长激光器（1）、波长可调谐激光器（32）分别与数字延时发生器（26）相连，数字延时发生器（26）与增强型CCD（23）连接。

2.根据权利要求1所述的基于双激光光源的激光探针微区成分分析仪，其特征在于：

波长可调谐激光器（32）位于固定波长激光器（1）的上方，第一半透半反镜（3）的透射面与基板（9）的上表面的夹角为45度；固定波长激光器（1）、衰减器（34）、扩束镜（2）和小孔光阑（35）都通过螺钉连接直接固定在基板（9）的上面，固定支架（5）固定安装在基板（9）上。

3.根据权利要求1所述的基于双激光光源的激光探针微区成分分析仪，其特征在于：

固定波长激光器（1）和波长可调谐激光器（32）平行放置，平行放置时第一半透半反镜（3）和第二全反镜（33）均垂直安装在基板（9）的上表面，第二全反镜(33)的反射面与水平光路成45度角，此时第一半透半反镜（3）与第二全反镜（33）平行安装。

Images