CN101746131A - 膜形成方法及膜形成装置 - Google Patents

Abstract

一种膜形成方法及膜形成装置，其包括：膜厚设定工序，设定在被涂敷物上形成的膜的膜厚；试喷出工序，考虑喷墨头的喷出特性，调整喷出液滴量和点间距，并且以任意选择的浓淡等级的灰度图案对膜形成区域试喷出液状材料；浓淡等级分布图生成工序，基于在试喷出工序中形成的膜的厚度，为了以膜厚设定工序中设定的膜厚来形成厚度均匀的膜，对于在被涂敷物上形成膜的膜形成区域，生成按单位面积设定喷出的液状材料的灰度图案的浓淡等级的分布图；膜形成工序，维持在试喷出工序中调整后的喷出液滴量和点间距，同时以基于在浓淡等级分布图生成工序中生成的浓淡等级分布图的浓淡等级的灰度图案，向被涂敷物喷出液状材料，从而在被涂敷物上形成膜。

Description

膜形成方法及膜形成装置

本申请是基于申请号为200580051399.5、发明名称为“喷墨头及其喷出异常检测方法、以及膜成形方法”、申请日为2005年8月24日的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及喷墨头及对喷墨头的喷出异常进行检测的喷墨头的喷出异常检测方法和其装置，以及使用该喷墨头的膜形成方法(膜涂敷方法)和其装置。

背景技术

近年来，利用墨在纸等印刷介质上进行印刷的情况下，在液晶显示器等基板(透明基板)上进行配向膜的形成和UV墨的涂敷的情况下，或在有机EL显示器的基板上涂敷滤色片的情况下，广泛采用使用了喷墨头的所谓喷墨法。

例如，专利第3073493号公开了具备配设有一列的喷嘴的线型喷墨嘴。此外，在该专利中，如图5～图7所示，也公开有考虑线型喷墨嘴的配置，从而使涂敷液状材料的处理的速度提高(专利文献1)。

此外，特开平9-138410号公报公开有如下的喷墨嘴，即：作为形成均匀的膜厚的喷墨头，在规定的区域内多行、多列地配置喷嘴，且使任意的行的喷嘴相对于邻接的行的喷嘴的排列错开半个间距地配置。此外，在该公报中也公开了，锯齿状地移动串联地配设了喷出液状材料的喷嘴的线型喷墨嘴，同时进行涂敷，形成均匀的膜厚(专利文献2)。

此外，作为检测喷墨头的喷出异常的装置，例如特开平5-149769号公报中记载了，将从喷墨头喷出并飞行的液滴的飞行图像在与该飞行方向正交的方向上捕获，并假定液滴相对于飞行方向的中心轴为旋转对称形，相对于液滴的中心轴，对飞行图像进行积分，并计算出液滴的体积(专利文献3)。

此外，特开平11-227172号公报中记载有，设置时间差，多次摄像从喷墨头喷出的液滴，并由被摄像的多个液滴图像的位置差与时间差，测量液滴的滴速(专利文献4)。

此外，特开2001-322295中记载有拍摄时光的照射方法，使光源和摄像机构与散射板相对地配置，并使作为被测定对象的液滴位于光源及摄像机构与散射板之间，由散射板使从光源照射的光发生散射，并利用摄像机构对液滴进行摄像(专利文献5)。

另一方面，作为液晶显示元件的制造工序之一，有在透明基板上形成取向膜的工序。取向膜是用于控制液晶取向的，在基板上涂敷形成聚酰亚胺等取向材料而形成取向膜。

作为该取向膜涂敷形成方法，通常为基于苯胺印刷装置的苯胺印刷法，但近年来，提出了使用打印头在透明基板上形成取向膜的所谓喷墨法的方案(参照专利文献6及专利文献7)。

在苯胺印刷法的情况下，取向膜的图案形成容易且生产率高，但相反的，存在如下的问题：1)在凸版表面附着有灰尘的情况下，取向膜材料未被涂敷在透明基板上的不良重复地产生，2)取向膜材料的使用量多，3)在由于故障而停止了装置的情况下，需要解锁(アニロック)和洗净凸版等，因此复位时间变长，装置的运转率降低，4)对于凹凸大的基板或具有曲面的基板无法涂敷。

喷墨法能够解决这些苯胺印刷法的问题点，可得到稳定的品质。喷墨法使用的喷墨打印机具有移动式的喷墨头单元。喷墨头单元中通常搭载有如图22所示一至六个位(图22中为四个)的喷墨头。喷墨头单元在相对于作为涂敷物的透明基板的行进方向(图22中为右向)90度的方向(图22中为上下方向)上沿透明基板的宽度方向往复移动。并与该往复移动同步，使透明基板沿行进方向(长度方向)断续地移动，从而在透明基板上形成取向膜。

专利文献1：特许3073493号公报(图5～图7)

专利文献2：特开平9-138410号公报(图1、图4、图5)

专利文献3：特开平5-149769号公报

专利文献4：特开平11-227172号公报

专利文献5：特开2001-322295号公报

专利文献6：特开平3-249623号公报

专利文献7：特开平7-92468号公报

然而，为精细地涂敷液状材料，需要将配设于喷墨头中的喷嘴间距变窄。但是，使喷嘴间距变窄存在物理上的界限。因此，在上述的专利文献2中所述的区域型喷墨嘴中，使喷嘴间距变窄存在界限。此外，锯齿状地移动线型喷墨嘴同时进行涂敷的方法，因为喷墨嘴的移动复杂，因此处理速度缓慢。此外，如果使喷墨嘴复杂地移动，则液滴易产生飞行弯曲，难以高精度地控制液滴的弹附位置。

因此，本发明的第一技术课题在于能够尽可能地缩窄喷嘴间距，此外，能够适宜地进行液滴的弹附位置的调整。

另一方面，如上所述，公知有从拍摄液滴后的图像中计算液滴的位置、速度，并检测喷出异常，但在以往难以利用对液滴进行拍摄后的图像，检测喷墨头的喷出异常。

此外，以往，在对从喷墨头的喷嘴喷出液状材料的状态进行拍摄的情况下，使照相机与光源(频闪光源)夹着液状材料相对配置，或使光源的光被液滴反射后的反射光入射到照相机的取景器。但是，在此情况下，入射到照相机的取景器中的光过强，存在产生光晕的情况。

因此，本发明的第二技术课题在于能够容易且确实地进行喷墨头的喷出异常的检测。

此外，在欲使用喷墨头高精度地形成膜厚均匀的膜的情况下，存在以下所示的问题。即，在使用喷墨头形成膜的情况下，即使在均匀地将液状材料涂敷于被涂敷物的情况下，利用喷出液状材料后产生的液滴，液状材料的厚度暂时地大致均匀，但然后，液滴融合后的干燥过程中的膜厚发生变化，膜厚产生差。认为这是由于从涂敷后的液状材料的表面开始干燥的原因。特别在将液状材料均匀地涂敷于被涂敷物的情况下，在膜的中央部液滴的厚度易变得均匀，在膜的周缘部(边缘部或角部)，在液滴融合后的干燥过程中膜厚易产生差。从而，仅单纯地考虑喷墨头的喷出特性，并均匀地涂敷液状材料，难以高精度地形成膜厚均匀的膜。此外，在使用多个喷墨头的情况下，因为各喷墨头的喷出特性也受到影响，难以均匀地形成膜的厚度。

因此，本发明的第三技术问题在于利用喷墨头尽可能地形成均匀的厚度的膜。

除此以外，喷墨法中的重要点在于，稳定地从打印头喷出取向膜材料，和在透明基板上如何将作为无数的点而附着的取向膜材料形成均匀的取向膜。即，如果被涂敷物为如纸或布的易吸收液体(墨)的材料，则在被涂敷物的表面不会产生涂敷液的不附着，但如果被涂敷物为玻璃或薄膜等完全不吸收或非常难以吸收液体(墨)的材料，则在涂敷面形成涂敷液的点膜，因此，在点膜的一部分或者全部重复的情况下，存在产生膜斑(膜厚度不均匀)之虞。因此，打印头的正确的移动控制是理所当然的，还需要涂敷液的粘度调整和打印头内的脱气处理。

典型的膜斑为产生膜的接缝。图24表示涂敷后的膜的接缝B的放大图像。喷墨法中，为消除接缝等膜斑并实现涂敷膜厚的均匀化，有重叠涂敷或部分重叠涂敷的技术。即，如图25(A)，在X方向及Y方向上进行错开间距的重叠涂敷，或如图25(B)所示，进行部分的重叠涂敷。但是，并未达到足够地防止膜的接缝的膜斑的程度，实际上，关于膜品质上的问题仍然被指责。

为消除如以上的喷墨法的膜的接缝中的问题点，需一次涂敷大的涂敷面，考虑在打印头单元中排列多个打印头单元，并使被涂敷物沿与该排列方向正交的方向移动的结构。即，如图23遍及整个涂敷宽度地配置多个打印头，在固定了打印头的状态下使被涂敷物G移动，或者如图18，在固定了被涂敷物70的状态下，使打印头整体同时沿涂敷方向移动。利用此种结构，由打印头及被涂敷物的一次移动完成涂敷，所以能够形成没有膜的接缝及膜斑的高品质的涂膜。

但是，在前者的情况下(图23)，膜涂敷装置的尺寸需要为被涂敷物G的长度的两倍以上。即，在将被涂敷物的长度设为L、打印头的宽度设为P的情况下，装置的长度为2L+P+2α，变为非常大的装置(α为装置的周边宽度)。因此，在被称为第七代的大型的取向膜涂敷装置中，因为透明基板(玻璃基板)的大小例如为1870×2200mm，所以装置也为该长度的两倍以上，相应地被涂敷物G的移动距离也变为长距离，非常难以形成机械的精度。特别由于取向膜涂敷装置的设置场所为洁净室的关系，现实是需要更节省设置空间型。此外，与装置的大小成正比，装置重量也变为大重量，安装时的搬运也变得困难。

另一方面，如图18，在固定被涂敷物70，移动在整个涂敷宽度上设置的打印头73进行涂敷的情况下，装置的长度基本上为L+2P，与图23的装置相比，能够极大地小型化。

但是，在打印头上连接用于向打印头供给涂敷液的涂敷液配管、用于向头的压电元件供给涂敷数据的信号线、及负压泵等。这些配管或配线的总根数与打印头的数量成比例地增多。在如图18所示的装置的情况下，连接于多个打印头的涂敷配管与配线的总根数数量具大，在使打印头单元移动时，构成大的阻抗。如用于液晶显示元件的取向膜形成用涂敷装置，需要打印头的正确的移动控制，此种装置实质上是无法实现的。

如上所述，移动式打印头适于节省空间，但用于实现该移动式打印头的问题点如下。(1)需要在膜涂敷装置与打印头移动侧间的省配管化。(2)需要在膜涂敷装置与打印头移动侧间的省配线化。(3)需要简单化打印头的液供给配管。(4)需要实现防止墨槽液面的摇动。(5)需要在墨槽与打印头间安装脱气机构。(6)需要高精度地控制打印头的弯月面压力。

以下顺序地说明这些问题点。

在膜涂敷装置中，作为连接于从固定侧至移动侧的打印头的有涂敷液配管和向各个打印头输出的电信号线、动力线、向各设备输出的电源线、N₂(氮)排气(purge)配管等。为允许打印头移动，这些多个配管和配线需要收容于共同的线缆护线链中，但因为配管与配线的总数非常大，所以特别地上述(1)的省略配管化和上述(2)的省配线化不可或缺。

除上述以外，如果移动侧的各个打印头配管复杂，则必须将多个液供给控制设备设置于打印头侧，相应地重量也增加，且他们的控制也变得复杂。因此，如上述(3)需要将打印头的液供给配管简单化。

如果将向打印头供给涂敷液的墨槽安装于移动侧打印头，则由于打印头的移动，墨槽内的液面摇动，由此产生气泡，或施加于打印头的弯月面压力变大。从而，需要上述(4)的防止墨槽液面的摇动，和上述(5)的向墨槽与打印头之间安装脱气机构，及上述(6)的打印头的弯月面压力的高精度控制。

因此，本发明的第四技术课题在于实现打印头周围的配管系的简单化，且形成优良的涂敷膜。

发明内容

为解决上述第一技术问题，本发明所述的喷墨头是以将喷嘴的位置相互地错开喷嘴间距的1/n间距的方式，n个并列地配设线型喷墨嘴，该线型喷墨嘴将喷出液状材料的喷嘴一列地配设。

此种喷墨头的并列地配设的线型喷墨嘴的位置调整方法，例如，基于由照相机对并列地配设的各线型喷墨嘴进行拍摄后的图像，将线型喷墨嘴调整到应被安装的规定位置。

此外，为解决上述的第一技术问题，本发明的其他的喷墨头是以沿配设线型喷墨嘴的喷嘴的方向交错状地、相互不同地错开位置的方式串联地配设喷墨嘴单元，所述喷墨嘴单元以将喷嘴的位置相互地错开喷嘴间距的1/n间距的方式，n个并列地配设所述线型喷墨嘴，且所述线型喷墨嘴将喷出液状材料的喷嘴一列地配设。

此种喷墨头的喷墨嘴单元的位置调整方法例如可与安装轴的基准平面对位地安装各喷墨嘴单元，该安装轴将作为喷墨嘴单元的安装位置的基准的基准平面形成为一直线。

另一方面，为解决上述的第二技术问题，本发明所述的喷墨头的喷出异常检测方法是基于拍摄从喷墨头的喷嘴喷出的液状材料后的图像，在喷嘴的喷出方向的至少两处以上的位置计算液状材料的位置或液幅，从而检测喷嘴的喷出异常。

在此情况下，在拍摄从喷嘴喷出的液状材料时，以相对于从喷嘴喷出的液状材料，在照相机的相反侧与照相机对置，并且，从光源投射的直接光不入射照相机的取景器的方式来配设光源，从光源投射的直接光由从喷嘴喷出的液状材料折射后的折射光被照相机捕捉，从而对液状材料进行拍摄。

而且，喷出异常检测装置的异常检测处理和照相机和光源的控制等可以使用由计算机实现喷出异常检测装置的各种功能的程序、记录所述程序的计算机可读取的记录介质，及装有所述程序和记录介质的计算机等来实现。

进而，为解决上述第三技术问题，本发明的膜形成方法使用喷墨头喷出液状材料，在被涂敷物上形成均匀的膜，其包括：膜厚设定工序，其设定在所述被涂敷物上形成的膜的膜厚；试喷出工序，其考虑所述喷墨头的喷出特性，调整喷出液滴量和点间距，并且以任意选择的浓淡等级的灰度图案对膜形成区域试喷出液状材料；浓淡等级分布图生成工序，其基于在所述试喷出工序中形成的膜的厚度，为了以膜厚设定工序中设定的膜厚来形成厚度均匀的膜，对于在被涂敷物上形成膜的膜形成区域，生成按单位面积设定喷出的液状材料的灰度图案的浓淡等级的分布图；膜形成工序，其维持在所述试喷出工序中调整后的喷出液滴量和点间距，同时以基于在浓淡等级分布图生成工序中生成的规定的浓淡等级分布图的浓淡等级的灰度图案，向被涂敷物喷出液状材料。

此外，为解决上述的第四技术课题，本发明所述的装置是在被涂敷物G表面上利用喷墨打印机形成涂敷液的膜的膜涂敷装置，其特征在于，具备：在所述被涂敷物表面上可沿第一方向移动的打印头单元；对于所述打印头单元，在与所述第一方向正交的方向上，在整个涂敷宽度上，连续地安装多个打印头。

利用该结构，能够将装置长度实质上收敛于(被涂敷物的长度)+2×(打印头的宽度)的范围内，并且，以打印头的一次移动完成涂敷，因此涂敷膜不会产生接缝，没有膜斑。为简单化打印头周围的配管系，并且消减打印头与固定侧之间的配管数，在本发明中，在打印头侧配设墨槽，从该墨槽至多个打印头的附近旋绕共通的送液配管。并且，以单独送液配管连接从该共通送液配管至打印头之间的短距离。此外，在墨槽与固定侧的供给槽之间以一根具有可弯性的供给配管连接。由此，相对于打印头单元，即使打印头的搭载数如何多，供给配管仅需一根即可，可大幅地降低打印头单元的移动阻抗。

此外，伴随打印头单元的移动，在墨槽内有泡产生之虞，但为不使该泡向打印头移动，在本发明中，将进入共通送液配管的泡通过具有可弯性的回收配管，回收到固定侧的回收槽内。该回收配管如果与各打印头单独连接，则根数一直增加，从而构成打印头单元的大的移动阻抗，因而以组合有共通送液配管和回收配管的配管系来脱气(去除泡)是不可或缺的。

在打印头上连接用于从喷嘴喷设涂敷液点的配线。该配线的种类有电源线、高压脉冲线及涂敷数据信号线。如果将这些多根配线按打印头旋绕到固定侧，则具有巨大的根数，其构成大的移动阻抗，从而打印头不可进行正确的移动控制。在本发明中，作为涂敷控制部，例如，将串行输入·并行输出的移位寄存器型中继基板装配在打印头单元中，并以一根传送线将来自固定侧的控制部的电源及信号供给到打印头单元。涂敷数据从中继基板向各打印头配送。与打印头的涂敷速度相比，传送线的串行传送速度具有压倒性的高速度，因此此种结构变得可能。

本发明为简单化打印头周围的配管构造，并且确实地进行混入到涂敷液中的气体的脱气，将分别与多个打印头连通的涂敷液供给用的各单独送液配管连接于与积存一种涂敷液的一个墨槽连通的共通送液配管，并且，将所述共通送液配管和各个单独送液配管的连接部或各打印头或者他们各两者间分别连通的可流通气体的各单独流气配管连接于相对于大气可开放或关闭的共通流气配管。此处，上述的“打印头”具体地意味在打印头的内部与喷出嘴(例如多个喷出嘴)连通的积液部。

根据此种结构，积存于一个墨槽中的涂敷液从共通送液配管通过各单独送液配管分别向各打印头供给，但在该涂敷液被供给的过程中，如果在共通送液配管中存在空气等气体，则该气体可从各单独流气配管，通过共通流气配管向大气中放出。如果详细叙述，即涂敷液从墨槽向共通送液配管开始流动的初始阶段，共通送液配管内存在气体的情况较多，可产生该气体与涂敷液共同流入各单独送液配管，进而流入各打印头的状况。但是，在共通送液配管与各单独送液配管的连接部或各打印头或者他们的各两者之间分别连通有各单独流气配管，这些单独流气配管连接于可相对于大气开放或关闭的共通流气配管。从而，在涂敷液与气体共同从共通送液配管通过各单独送液配管流入各打印头的可能时期，将共通流气配管形成为大气开放状态，上述的气体可从各单独流气配管通过共通流气配管放出到大气中。其结果，避免了气体与涂敷液共同留置于共通送液配管通或打印头的状况，从而可有效地防止由于气体存在导致阻碍从打印头喷出涂敷液。

并且，在涂敷液从共通送液配管流过各单独送液配管到留置于各打印头之间，气体通过各单独流气配管从共通流气配管迅速地排出，因此有效地避免气体对留置于各打印头中的涂敷液带来不良影响。其结果，分别留置于各打印头中的涂敷液在流入后，相互间形成均匀的压力，从各打印头喷出涂敷液不会产生不均匀，并且，在确保了良好的响应性的状态下，可从各打印头喷出涂敷液。

此外，各单独送液配管连接于与一个墨槽连通的共通送液配管，且各单独流气配管连接于可呈大气开放状态的共通流气配管，因此实现涂敷液及气体流通的所有的配管的简单化。除此以外，也能够少数地形成由控制涂敷液从墨槽向各打印头供给及停止的阀机构等构成的控制机构，并且也能够少数地形成由控制气体相对于大气开放或关闭的阀机构等构成的控制机构，从而实现送液装置的结构的简单化及制作成本的低廉化。

在此情况下，优选从所述共通送液配管与最下游端的单独流气配管的连接部或其附近使气体排出到所述共通流气配管的结构。

如此地，流动共通送液配管的气体被确实地排出到共通流气配管，并放出到大气中，因此难以产生气体残留在共通送液配管或从共通送液配管流入到各打印头的状况。

并且，在所述共通送液配管与各单独送液配管的连接部处连接有所述各单独流气配管的情况下，与涂敷液共同从墨槽通过共通送液配管后的气体在流入各单独送液配管之前，从这些单独送液配管与共通送液配管的连接部，通过各单独流气配管及共通流气配管，放出到大气中。而且，已经残存在各打印头内的气体从各打印头的喷出嘴放出到大气中。

此外，在所述各打印头上连接有所述各单独流气配管的情况下，流入到各打印头内的气体及残存在各打印头内的气体通过连接于各打印头的各单独流气配管及共通流气配管，放出到大气中。

此外，在所述各两者间，即所述各连接部与各打印头之间的各单独送液配管的中途连接有所述各单独流气配管的情况下，从墨槽与涂敷液共同通过共通送液配管后的气体即使流入各单独送液配管后，通过各单独流气配管及共通流气配管放出到大气中。而且，在此情况下，已经残存在各打印头内的气体从各打印头的喷出嘴放出到大气中。

在以上的结构中，优选在所述共通流气配管上连接与负压源连通的负压配管。

如此地，使涂敷液流入各打印头后，将共通流气配管形成为相对大气为关闭状态，通过使来自负压源的负压经由负压通路作用于共通流气配管及各单独流气配管以及与他们连通的各打印头，各打印头的涂敷液的内压下降，能够有效地防止从喷出嘴前端的所谓垂液，并且能够在各打印头相互间均匀地降低内压，因而可不产生不均匀地使涂敷液良好地喷出。

在此情况下，所述共通流气配管优选具有与负压配管连通的旁路配管，且在该旁路配管上离开规定间隔地连接所述各单独流气配管。

如此地，来自负压配管的负压经由旁路配管作用于离开规定间隔地排列的各单独流气配管上，因此对于各打印头内的涂敷液可响应性良好、均匀并且稳定地施加负压。

在以上的结构中，优选以将来自气压源的压力气体压送至所述墨槽的内部空间的方式来构成。

如此地，通过使来自气压源的压力空气流入墨槽的内部空间，积存在墨槽中的涂敷液利用压力空气被压流入共通送液配管中，并通过各单独送液配管填充到各打印头中。由此，可以均匀的压力向各打印头供给涂敷液，并且在极短时间内从墨槽向各打印头填充涂敷液，从而实现填充操作的迅捷化及改善其操作效率。

在以上的结构中，优选所述共通流气配管在所述墨槽的液面的上方位置沿水平方向延伸，且所述各单独流气配管从该共通送液配管向下方延伸，同时，所述共通送液配管位于所述共通流气配管的下方位置，并在所述各打印头的上方位置沿水平方向延伸，并且所述各单独送液配管从该共通送液配管向下方延伸。

如此地，即使不设置用于向大气中放出气体的泵，基于气体在涂敷液中向上方浮起这一自然现象，可确实且有效地从共通送液配管或各打印头向大气中放出气体。

发明效果

根据对应于上述第一技术问题的本发明的喷墨头，将一列地配设有喷出液状材料的喷嘴的线型喷墨嘴以喷嘴的位置相互错开喷嘴间距的1/n量的方式并列地配设n个，因此作为喷墨头整体，能够比可缩窄喷嘴间距的物理性界限更进一步地缩窄喷嘴间距。此外，因为组合线型喷墨嘴，所以通过调节各线型喷墨嘴的喷出时刻，能够进行点间距的调整，并能够简单地进行从精细的涂敷到粗涂敷等的调整。此外，根据本发明所述的线型喷墨嘴的位置调整方法，基于由照相机拍摄的并列地配设的各线型喷墨嘴的图像，将各线型喷墨嘴调整到应安装的位置，因此能够精度优良地将线型喷墨嘴调整位置。此外，根据本发明所述的喷墨嘴单元的位置调整方法使用形成有作为喷墨嘴单元的安装位置的基准的基准平面的安装轴，并将各喷墨嘴单元与所述安装轴的基准平面对位地安装。安装轴的基准平面为一平面，确保其直线度、平面度的精度是比较容易的。因此，确保安装喷墨嘴单元的基准面的精度可比较简单地进行，所以能够精度良好地调整喷墨嘴单元的位置，从而进行安装。这些喷墨头能够缩窄喷嘴间距，并且能够简单地进行点间距的调整，因此例如适于取向膜形成装置用的喷墨头。

此外，与上述第二技术问题对应的本发明的喷墨头的喷出异常检测方法，基于拍摄从喷墨头的喷嘴喷出的液状材料后的图像，在喷嘴的喷出方向的至少两处以上的位置计算液状材料的位置或液幅，从而检测喷嘴的喷出异常。在喷嘴存在异常的情况下，液状材料的位置或液幅的特征量中得到显著的差，由此能够容易且可靠地进行喷嘴的喷出异常的检测。此外，以相对于从喷嘴喷出的液状材料，在照相机的相反侧与照相机对置，并且，从光源投射的直接光不入射照相机的取景器的方式来配设光源，并且在通过照相机捕捉从光源投射的直接光经由从喷嘴喷出的液状材料折射后的折射光，对液状材料进行拍摄时，能够抑制光晕等不良状况，从而能够更鲜明地拍摄液状材料。从而，如此地配置光源的喷出异常检测装置适于使用上述的喷出异常检测方法。

进而，与上述第三技术问题对应的本发明的膜形成方法在试喷出工序中，考虑在膜厚设定工序中设定的膜的厚度及喷墨头的喷出特性，以任意选择的浓淡等级的灰度图案被试喷出。该试喷出工序中，因为未考虑液滴融合后的干燥过程中的膜厚变化，因此形成的膜存在厚度变得不均匀的情况。本发明所述的膜形成方法基于在试喷出工序中形成的膜的厚度，为了以膜厚设定工序中设定的膜厚来形成厚度均匀的膜，对于在被涂敷物上形成膜的膜形成区域，生成按单位面积设定喷出的液状材料的灰度图案的浓淡等级的分布图(浓淡等级分布图生成工序)。在该浓淡等级分布图生成工序中生成的浓淡等级分布图根据液滴融合后的干燥过程中的膜厚变化反映影响。从而，基于在浓淡等级分布图生成工序中生成的浓淡等级分布图的规定的浓淡等级的灰度图案，向被涂敷物喷出液状材料，从而在被涂敷物上形成厚度均匀的膜。

除此以外，根据与上述第四技术问题相对应的本发明的装置，是在被涂敷物表面上利用喷墨打印机形成涂敷液的膜的膜涂敷装置，其具备：在所述被涂敷物表面上可沿第一方向移动的打印头单元；和对于所述打印头单元，在与所述第一方向正交的方向上，连续地安装的多个打印头，因此将装置的长度实质上限制于(被涂敷物G的长度)+2×(打印头的宽度)。此外，因为以打印头单元的一次移动，可完成涂敷，因此涂敷膜不产生接缝，且没有膜斑。并且即使在被涂敷膜的整个宽度上，并列地设置多个打印头的情况下，打印头周围的配管系被简单化，能够大幅消减打印头与固定侧之间的配管配线数，因此，将配管与配线收容在共通的线缆护线链内，能够大幅地消减打印头单元的移动阻抗，并可进行正确的移动控制。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式所述的喷墨头的结构的仰视图。

图2是表示安装所述喷墨头的线型喷墨嘴的安装工序的图。

图3是表示变形例所述的喷墨头的喷墨嘴单元的配设位置的俯视图。

图4是表示变形例所述的喷墨头的喷墨嘴单元的安装构造(位置调整)的俯视图。

图5是图4的A-A侧端面图。

图6是表示变形例所述的喷墨头的喷墨嘴单元的安装构造(高度调整)的侧视图。

图7是表示本发明的第二实施方式所述的喷出异常检测装置的结构的平面图。

图8(a)(b)分别是所述喷出异常检测装置的侧视图。

图9是表示所述喷出异常检测装置的照相机和光源的位置关系的俯视图。

图10是表示所述喷出异常检测装置的喷出异常判定方法的侧视图。

图11是表示利用所述喷出异常检测装置拍摄液滴的状态的侧视图。

图12是表示液状材料的照相机的摄影方向的飞行弯曲的俯视图。

图13是表示本发明的第三实施方式所述的模形成装置的结构的图。

图14是表示本发明的第三实施方式所述的喷墨头的点位置的俯视图。

图15是例示浓淡等级100％的灰度图案的点位置的俯视图。

图16是例示浓淡等级50％的灰度图案的点位置的俯视图。

图17(a)是表示试喷出工序中的液状材料的喷出状态的剖面图，(b)是表示由试喷出工序形成的膜的膜厚的图。(c)是表示膜形成工序中的液状材料的喷出状态的剖面图，(d)是表示在膜形成工序中形成的膜的膜厚的图。

图18是本发明的第四实施方式所述的膜涂敷装置的俯视图。

图19是所述膜涂敷装置的配管图。

图20(A)是所述膜涂敷装置的配线图，(B)是所述膜涂敷装置的通常的配线图。

图21(A)是墨槽的主视图，(B)是墨槽的侧视图。

图22是以往的膜涂敷装置的俯视图。

图23是可消除膜接缝，但变得大型而没有实现性的膜涂敷装置的俯视图。

图24是利用图22的膜涂敷装置形成的膜接缝的印象图。

图25(A)是利用图22的膜涂敷装置形成的重叠涂敷的印象图，(B)是相同地部分重叠涂敷的印象图。

图中，1-喷墨头(喷墨嘴单元)；2-线型喷墨嘴；3-壳体；4-喷嘴；5-喷嘴安装面；10-操作空间；11-壳体固定部；12-照相机；13-控制部；14-工作台；15-存储部；16-移动操作部；17-监视器；18-基准位置；20-喷墨头(串联地配设喷墨嘴单元的方式)；21-安装轴；22-基准平面；23-螺孔；24-接合器；24a-接合器纵向延伸的部位；24b-接合器横向延伸的部位；25-槽；26、27-侧面；28-螺孔；29、30-螺孔；31-安装轴的下表面；32、33-螺钉；34-安装轴的侧面(基准平面的相反侧的侧面)；41-接合器横向延伸的部位的下表面；42-接合器横向延伸的部位的侧面；44-安装壁部；45-安装壁部的内侧的侧面；46-壳体的上表面；47、48、49-螺钉；51-被涂敷物；52-基板；53-侧长器；g-间隙；j-喷出区域；P1-喷嘴间距。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

[第一实施方式]

图1～图6例示本发明的第一实施方式。该第一实施方式所述的喷墨头1，如图1所示，由安装两个线型喷墨嘴2a、2b和线型喷墨嘴2a、2b的壳体3构成。

线型喷墨嘴2a、2b以规定的间隔，一列地配设喷出液状材料的喷嘴4。线型喷墨嘴2a、2b在成形时同时地成形喷嘴4，因此能够精度优良地制造各喷嘴4的形状及位置。此外，该线型喷墨嘴2a、2b分别从各自的液状材料供给部(省略图示)向各喷嘴4供给液状材料，且基于控制装置(省略图示)的喷射指令信号，在规定的时刻喷出液状材料。由此，线型喷墨嘴2a、2b能够在相同时刻使各喷嘴4喷出液状材料，也能够使液状材料仅从选择的几个喷嘴4中喷出。

如图1所示，该喷墨头1将两个线型喷墨嘴2a、2b以相互使喷嘴4的位置错开喷嘴间距P1的半个间距(1/2P1)量的方式，两个并列地配设于壳体3。精度优良地调整两个线型喷墨嘴2a、2b的相对位置关系对该喷墨头1极为重要。

在本实施方式中，如图2所示，当在壳体3中安装线型喷墨嘴2a、2b时，在壳体3中，在隔着线型喷墨嘴2与喷嘴安装面5相对的位置处配设CCD照相机12(图像取入装置、照相机)，基于CCD照相机12的图像，使线型喷墨嘴2a、2b的喷嘴4的位置一致。

进行喷墨头1的装配操作的操作空间10，例如，如图2所示，具备：固定壳体3的壳体固定部11、CCD照相机12、和控制CCD照相机12的移动的控制部13。图2中，15是存储部，16是移动操作部，17是显示由CCD照相机12拍摄的图像的监视器。

该壳体固定部11将壳体3的喷嘴安装面5朝向下地固定。CCD照相机12以与固定于壳体固定部11的壳体3的喷嘴安装面5相对的状态，相对于喷嘴安装面5平行地移动的方式来配置。例如，CCD照相机12设置于可精密地调整位置的XY工作台14上，从而能够相对于喷嘴安装面5精度极为良好地调整CCD照相机12的位置。

此外，控制部13以壳体3任意选择的部位为基准位置来设定XY坐标，并具备分别存储各线型喷墨嘴2a、2b的任意选择的部位需要位于的位置坐标(x1，y1)、(x2，y2)、(x3，y3)、(x4，y4)…的存储部15，和根据存储于存储部15的位置坐标使CCD照相机12移动的移动操作部16。CCD照相机12的移动操作可以利用计算机来操作，以使CCD照相机12正确地移动。

在本实施方式中，存储部15以图1的壳体3的右上角18作为壳体3的基准位置(0，0)来设定XY坐标，并分别存储各线型喷墨嘴2a、2b的左右两端的喷嘴4a1、4a2、4b1、4b2的位置坐标(x1，y1)、(x2，y2)、(x3，y3)、(x4，y4)。

接下来，表示利用了上述的进行喷墨头1的装配操作的操作空间10的线型喷墨嘴2a、2b的位置调整的一例。

在线型喷墨嘴2a、2b的位置调整中，首先，在壳体3的喷嘴安装面5的规定的安装位置，设置线型喷墨嘴2a、2b而不进行正确的位置调整。在本实施方式中，壳体3使喷嘴安装面5朝向下地安装于操作空间10，线型喷墨嘴2a、2b以不从喷嘴安装面5掉落，且可对位置进行微调整的状态暂固。

线型喷墨嘴2a、2b的位置调整通过将各线型喷墨嘴2a、2b的左右两端的喷嘴4a1、4a2、4b1、4b2调整到存储于存储部15的位置坐标(x1，y1)、(x2，y2)、(x3，y3)、(x4，y4)来进行。

在本实施方式中，在映出到监视器17的图像中，与CCD照相机12拍摄的图像重叠，在图像的中心显示表示拍摄中心的标识m(例如，十字的标识)。

使CCD照相机12移动到CCD照相机12的拍摄中心与壳体3的基准位置(在本实施方式中，如图1所示，壳体3的右上角18)重叠的位置。并且，在观察拍摄了包含壳体3的基准位置18的区域s1的CCD照相机12的图像的同时，操作XY工作台14使CCD照相机12移动，以使表示CCD照相机12的拍摄中心的标识m与壳体3的基准位置18重叠。而且，壳体3的基准位置18是否与CCD照相机12的拍摄中心一致，例如可通过基于计算机的图像处理，识别壳体3的基准位置18，并由计算机判定壳体3的基准位置18与CCD照相机12的拍摄中心一致。

如此，将CCD照相机12的拍摄中心与壳体3的基准位置重合的位置作为XY工作台14的坐标原点。在本实施方式中，将壳体3的右上角作为壳体3的基准位置18，并以该位置取XY坐标，但壳体3的基准位置18可以设定在壳体3的喷嘴安装面5的任意的位置。

接下来，利用控制部13基于存储于存储部15的线型喷墨嘴2a、2b的喷嘴4的位置坐标移动CCD照相机12。

在本实施方式中，基于存储于存储部15的喷嘴的位置坐标的数据，使CCD照相机12移动到线型喷墨嘴2a的右端的喷嘴4a1应位于的位置(x1，y1)。此时，表示CCD照相机12的拍摄中心的标识m表示了线型喷墨嘴2a的右端的喷嘴4a1应在的位置(x1，y1)。并且，固定如此地移动后的CCD照相机12，并调整线型喷墨嘴2a的位置，以使在其图像中，适宜地设置于壳体3的规定的安装位置的线型喷墨嘴2a的右端的喷嘴4a1被照出，并且线型喷墨嘴2a的右端的喷嘴4a1的中心与表示CCD照相机12的拍摄中心的标识m的中心重合。

在本实施方式中，利用图像识别机构，识别喷嘴4a1的圆形，并计算出喷嘴4a1的中心位置。并且，在观察监视器17的同时，对适当地放置于壳体3的规定的安装位置的线型喷墨嘴2的位置进行微调整，以使喷嘴4a1的中心位置与表示CCD照相机12的拍摄中心的标识m的中心重合。而且，也可计算出以壳体3的基准位置18为基准的XY坐标系中的喷嘴4a1的中心位置的坐标，并使喷嘴4a1的中心位置的坐标显示在监视器17中，在观察显示于监视器17中的坐标值的同时，对线型喷墨嘴2的位置进行微调整，以使喷嘴4a1的中心位置的坐标与喷嘴4a1的中心应在的位置(x1，y1)一致。

由此，能够将线型喷墨嘴2a的右端的喷嘴4a1的中心调整到应在的位置(x1，y1)。线型喷墨嘴2a的左端的喷嘴也同样地调整。

线型喷墨嘴2a也可将左右两端的喷嘴4a1、4a2的位置同时地调整到应在的位置(x1，y1)、(x2，y2)，并固定在壳体3上。因此，例如使用两个CCD照相机12，同时地拍摄线型喷墨嘴2a的左右两端的喷嘴4a1、4a2，从而调整线型喷墨嘴2a的位置。

此外，其他的线型喷墨嘴2b也同样地将左右两端喷嘴4b1、4b2的位置同时地调整到应在的位置(x3，y3)、(x4，y4)，从而精度良好地安装在壳体3的规定位置。

如此地，能够精度良好且相互将喷嘴4的位置错开喷嘴间距P1的半间距(1/2间距)地并列配设两个线型喷墨嘴2a、2b。如此地配设了线型喷墨嘴2的喷墨头1作为整体，与一个线型喷墨嘴2按一半的喷嘴间距(1/2P1)配设喷嘴4的状态相等。从而，在将线型喷墨嘴2的喷嘴间距P1缩窄到界限的情况下，该喷墨头1作为整体能够将喷嘴间距进一步设定到一半。

此外，该喷墨头1能够按各线型喷墨嘴2来调节液状材料的喷出时刻。由此，能够简单地进行精细涂敷和粗涂敷等点间距的调整。例如，如果仅从一个线型喷墨嘴2进行液状材料的喷出，则喷墨头1整体的喷嘴间距变为一个线型喷墨嘴2a的喷嘴间距P1。此外，如果在规定的时刻从两个线型喷墨嘴2a、2b喷出液状材料，则喷墨头1作为整体能够以窄的喷嘴间距(1/2p1)喷出液状材料。

以上，在上述的实施方式中，对将一列地配设有喷出液状材料的喷嘴4的线型喷墨嘴2，以使喷嘴4的位置相互错开喷嘴间距P1的1/2间距量的方式，并列地配设了两个的喷墨头1进行了说明，但并列地配设的线型喷墨嘴2的个数n可以任意地增加。

例如，省略图示，如果以将喷嘴4的位置每隔喷嘴间距P1的1/3间距量地相互错开的方式，并列地配设三个线型喷墨嘴2，则能够将喷墨头整体的喷嘴间距形成为线型喷墨嘴2的喷嘴间距P1的1/3。此外，如果以将喷嘴4的位置每隔喷嘴间距P1的1/4间距量地相互错开的方式，并列地配设四个线型喷墨嘴2，则能够将喷墨头整体的喷嘴间距形成为线型喷墨嘴2的喷嘴间距P1的1/4。同样地，如果以将喷嘴4的位置每隔喷嘴间距P1的1/n间距量地相互错开的方式，并列地配设n个线型喷墨嘴2，则能够将喷墨头整体的喷嘴间距形成为线型喷墨嘴2的喷嘴间距P1的1/n。

越增加如此地并列配设的线型喷墨嘴2的个数n，越能够减小喷墨头整体的喷嘴间距。但是，越增加并列地配设的线型喷墨嘴2的个数n，并列的线型喷墨嘴2的前头的线型喷墨嘴与后方的线型喷墨嘴之间的距离变大。因此，在喷出的液状材料的融合不良成为问题的用途(例如，形成取向膜的用途等)中，调整并列地配设的线型喷墨嘴的个数n，以达到不产生问题的程度。在现状下，认为在这些用途中并列地安装的线型喷墨嘴的个数为4或5个左右以内较适当。

接下来，对如上所述地将线型喷墨嘴2并列地组合后的喷墨头1作为一个喷墨嘴单元，并将其串联装配而构成的喷墨头进行说明。

如图3所示，该喷墨头20是以喷墨嘴单元1的液状材料的喷出区域j的左右两端分别连接于邻接的喷墨嘴单元1的液状材料喷出区域j的方式，串联地配设喷墨嘴单元1。

如图4所示，在本实施方式中，在安装轴21的宽度方向上，在夹着安装轴21的两侧，交错状地、相互不同地配设有喷墨嘴单元1。在安装轴21的一侧的侧面(图4中，上侧的侧面)上形成有基准平面22。该基准平面22为精度优良地配设喷墨嘴单元1，确保了需要的平面度。在本实施方式中，基准平面22在整体上确保±5μm的平面度，进而在局部上确保了±1/160mm的平面度。此外，在安装轴21的下表面，在长度方向上，以规定的间隔形成有安装喷墨嘴单元1(喷墨嘴单元1的后述的T字接合器24)的螺孔23。

如图4、图5所示，喷墨嘴单元1经由上表面具备大致T字的平面形状的接合器24安装于安装轴21。接合器24精度极为优良地成形。喷墨嘴单元1以在T字的接合器24的横向延伸的部位24b之下，沿在T字的接合器24的横向延伸的部位24b配设线型喷墨嘴2的方式来安装。喷墨嘴单元1相对于T字接合器24精度优良地安装于规定的位置。在本实施方式中，将接合器24安装于安装轴21，然后，将喷墨嘴单元安装于接合器24。通常，在卸下喷墨嘴单元时，能够在将接合器24保持在安装于安装轴21的状态下，仅将喷墨嘴单元从接合器24卸下。

如图4、图5所示，接合器24在纵向延伸的部位24a的中央部具备安装安装轴21的槽25。在槽25的纵向的两侧面26、27确保与安装轴21的基准平面22相同程度的平面度。在槽25的底面上，与安装轴21的螺孔23对应地形成有装有螺钉的螺孔28。该螺孔28相对于安装的螺钉的直径形成直径大的孔，以可微小地调节安装轴21与接合器24的相对的位置关系。此外，在槽25的两侧分别设有螺钉孔29、30，其用于安装在纵向上将接合器24的侧面(26或27)压接于基准平面22的螺钉(省略图示)。

将接合器24安装于安装轴21时，如图5所示，将接合器24的槽25嵌入到安装轴21的下表面，在T字的接合器24的纵向延伸的部位24a以相对于安装轴21正交的方式被安装于安装轴21。并且，如图4所示，各接合器24与安装轴21的基准平面22对位地固定于安装轴21。

在本实施方式中，预先将T字的接合器24的槽25的一侧的侧面(26或27)压接于安装轴21的基准平面22，相对于安装轴21精度优良地安装接合器24，进而将喷墨嘴单元1精度优良地安装在接合器24上，从而确保了喷墨嘴单元1相对于安装轴21的安装精度。

接合器24的安装例如将T字的接合器24的槽25安装在安装轴21的下表面31，并在该状态下，从接合器24的下表面安装螺钉32、33，从而将接合器24轻轻地固定在安装轴21上(暂固)。并且，在安装轴21的基准平面22的相反侧的侧面34侧，在槽25的侧面(26或27)的螺孔(29或30)中安装螺钉(省略图示)，使该螺钉螺合，并将螺钉的前端压接于安装轴21的侧面34。由此，在安装轴21的基准平面22侧，使槽25的侧面(27或26)与基准平面22抵接，从而形成T字的接合器24精度良好地与安装轴21正交的状态，并由螺钉32、33将接合器24固定于安装轴21。由此，能够在精度良好地使沿T字的接合器24的纵向延伸的部位24a与安装轴21正交的状态下，将接合器24固定于安装轴21。

更具体地，在如图5所示的接合器24中，槽25的侧面26、27中、在T字的纵向上延伸的部位24a的前端侧的侧面26与安装轴21的基准平面22相对。在此情况下，通过将螺合于图中左侧的基端侧的螺孔30中的螺钉(省略图示)的前端压接于安装轴21的侧面34，使图中右侧的侧面26与安装轴21的基准平面22抵接。

图示虽然省略，但在接合器24的槽25的侧面26、27中、在T字的纵向延伸的部位24a的基段侧的侧面27与安装轴21的基准平面22相对的情况下(图5的左右任意相反的情况下)，也可使螺钉螺合于前端侧的螺孔29，并将螺钉的前端压接于安装轴21的侧面34，从而将接合器24的基端侧的侧面27压接于安装轴21的基准平面22。

如此地，在本实施方式中，在安装轴21一侧的侧面上形成基准平面22，并配合该基准平面22地安装所有的接合器24。如此，如果精度良好地确保安装轴21的基准平面22，则能够精度良好地安装所有的接合器24，所以确保接合器24的安装精度能够容易地进行。

接下来，对将喷墨嘴单元1安装在如此地精度良好地安装于安装轴21的接合器24上的方法进行说明。在将喷墨嘴单元1安装于接合器24的情况下，与上述的接合器24的安装同样地要求确保高度的安装精度。

在本实施方式中，喷墨嘴单元1安装在被安装的接合器24的横向延伸的部位24b的下部，为确保上述的高度的安装精度，精度良好地加工接合器24的横向延伸的部位24b的下表面及侧面42。

具体地，接合器24的横向延伸的部位24b的侧面42以与接合器24的槽25的侧面26、27平行的方式形成，接合器24的横向延伸的部位24b的下表面41以相对于横向延伸的部位24b的侧面42呈直角地延伸的方式，精度优良地形成。而且，接合器24的横向延伸的部位24b的下表面41和侧面42以与安装轴21的基准平面相同程度的平面度来形成。

此外，喷墨嘴单元1的壳体3’，如图5所示，在壳体3’的上部(喷嘴安装面5的相反侧的面)的侧缘部具有垂直地立起的安装壁部44，并分别精度优良地加工安装壁部44的内侧的侧面45和壳体3’的上表面46。

具体地，安装壁部44的内侧的侧面45相对于壳体3’的上表面46呈直角地延伸而形成，安装壁部44的内侧的侧面45和壳体3’的上表面46分别以与基准平面22相同程度的平面度来形成。

在将喷墨嘴单元1安装于接合器24的情况下，首先，如图5所示，首先将喷墨嘴单元1的壳体3’的上表面46及安装壁部44的内侧的侧面45压接于接合器24的横向延伸的部位24b的下表面41及侧面42。接下来，利用安装在接合器24的横向延伸的部位24b上的螺钉47、48轻轻地将喷墨嘴单元1的壳体3’固定于接合器24(暂固)。

接下来，利用从外侧安装到壳体3’的安装壁部44上的螺钉49，以将安装壁部44的侧面45与接合器24的横向延伸的部位24b的侧面42相抵的方式轻轻拧住。并且，调节壳体3’相对于接合器24的水平方向的位置，同时交互地拧紧螺钉47、48、49，从而将喷墨嘴单元1固定于接合器24。如此地，在本实施方式中，通过在将壳体3’的上表面46与接合器24的横向延伸的部位24b的下表面41，及安装壁部44的内侧的侧面45与接合器24的横向延伸的部位24b的侧面42分别压接的状态下，固定喷墨嘴单元1的壳体3’，由此确保了喷墨嘴单元1相对于接合器24的安装精度。

根据本实施方式所述的喷墨嘴单元1的安装方法，通常在卸下喷墨嘴单元1时，能够在接合器24保持安装在安装轴21的状态下，仅将喷墨嘴单元1从接合器24卸下。并且，在将喷墨嘴单元1安装到接合器24的情况下，如上所述地交互地拧紧螺钉47、48、49，从而将喷墨嘴单元1固定在接合器24上，则能够精度优良地安装喷墨嘴单元1。从而，喷墨嘴单元1的安装与卸下能够容易地进行。

接下来，对喷墨嘴单元1与涂敷液状材料的被涂敷物51之间的间隙g(参照图6)的调整进行说明。如果间隙g过大，则易生成飞行弯曲，如果过窄，则积存在喷墨嘴单元1的下面的积液与被涂敷物51发生接触。因此，间隙g的下限设在0.5mm以上(更优选0.7mm以上)，间隙g的上限调整到1.2mm以下(更优选1.0以下)的规定的值。

在本实施方式中，如图6所示，间隙g的调整在被涂敷物51的上表面以端部从被涂敷物51伸出的方式放置基板52(玻璃基板)。此外，与配设有喷墨嘴单元1的喷嘴4的面相对地配设测长器53。在本实施方式中，测长器53为能够正确地进行距离测定，使用光学式的测长器(激光测长器)。并且，利用测长器53，测定测长器53与喷墨嘴单元1的喷嘴面之间的距离L1。接下来，使载置在被涂敷物51之上的基板52进入到测长器53的上方，测定测长器53与基板52的下表面之间的距离L2。线型喷墨嘴2的喷嘴面与被涂敷物51的上表面之间的间隙g作为距离L1与距离L2的差(g＝L1-L2)算出。并且，也可调整安装有喷墨嘴单元1的安装轴21的高度，以使测定的间隙g达到预先设定的间隙值。

由此，能够高精度地调整间隙g，且从喷墨嘴单元1的各喷嘴4喷出的液状材料的弹附位置的控制能够容易地进行，并且能够防止积液附着于被涂敷物。

如以上的说明，根据该喷墨头20，将一列地配设有喷出液状材料的喷嘴4的喷墨嘴2以将喷嘴4的位置相互错开喷嘴间距P1的1/n量的方式，n个并列地配设的喷墨头1作为喷墨嘴单元使用，因此，作为整体能够缩窄线型喷墨嘴2的喷嘴间距。此外，该喷墨头20能够按各喷墨嘴单元1的各线型喷墨嘴2来调节液状材料的喷出时刻。由此，能够进行点间距的调整，并能够简单地进行从精细的涂敷到粗涂敷等的调整。

并且，如上所述，通过将多个喷墨嘴单元1精度优良地安装在安装轴21上，能够确保可一次涂敷液状材料的区域，从而能够使处理的速度提高。

本实施方式所述的喷墨头20在将从喷墨头20喷出的液状材料设为取向膜材料，将涂敷取向膜材料的被涂敷物例如设为液晶元件基板的情况下，能够以将安装轴21的长度确保为与液晶元件基板的宽度相应的长度，且液晶元件基板的宽度整面与喷墨嘴单元1相对的方式来配设喷墨嘴单元1。

由此，在向液晶元件基板涂敷取向膜材料时，能够一次地进行涂敷，从而能够使取向膜材料的膜厚均匀，并且能够使处理的速度提高。如此地，该喷墨头将并列地组合了线型喷墨嘴的喷墨头作为一个喷墨嘴单元，并将其串联地装配而构成，且喷嘴间距及点间距的调整容易，并且，通过将喷墨嘴单元串联地配设规定的长度，能够均匀地涂敷液状材料，处理的速度也提高。因此，特别适于作为需要使被涂敷的液状材料无斑地融合，并确保膜厚的均匀性的取向膜形成装置用的喷墨头。

以上，对本发明的第一实施方式所述的喷墨头进行了说明，但本发明并不限定于上述的实施方式。例如，壳体3、安装轴21、接合器24等各结构部件的形状或各结构部件间的相互的安装构造等可有各种变更。

[第二实施方式]

图7～图11例示本发明的第二实施方式。该第二实施方式所述的喷墨头的喷出异常检测装置1，如图7及图8(a)所示，由对从喷墨头2的喷嘴3喷出的液状材料4进行拍摄的照相机5；照射拍摄需要的光的光源6；处理由照相机5拍摄的图像，从而检测喷出异常的喷出异常检测部7而构成。而且，在本实施方式中，如图7所示，喷墨头2形成将串联地配设有喷嘴3的单一的喷墨头2a在长度方向上交错状地相互不同地错开位置而配设的构造。

照相机5如图7所示，以从与喷墨头2的喷出方向正交的方向，能够对从喷墨头2喷出的液状材料4(参照图8(a))进行拍摄的方式来配设。而且，照相机5的焦点设定为，在液状材料从喷墨头2正常地喷出时，与液状材料4重合。

光源6隔着液状材料4配设在照相机5的相反侧，为不使从光源6照射的光(直接光)直接入射照相机5的取景器5a，不与照相机5正对，从正对照相机5的位置沿横、斜或上下方向稍微错开位置，从而相对于照相机5的拍摄方向，从斜向照射光。由此，从光源6照射的光(直接光)，如图9所示，以液状材料4折射后的光(折射光12)入射照相机5的取景器5a。

利用上述结构，如果从光源6照射光，并以照相机5进行拍摄，则因为液状材料4的液滴喷出的速度快，从而，如图10所示，液状材料4看起来为液柱状。此外，如果从光源6瞬间地照射光，并以照相机5来拍摄，则如图11所示，能够以液滴的状态拍摄液状材料4。

此外，在本实施方式中，如图7所示，具备使照相机5和光源6相对于喷墨头2相对地移动的控制部8。

照相机5的焦点根据照相机5和光源6的相对移动，总是在假定从喷嘴3正常地喷出的情况，照相机5的焦点与液状材料4重合的方式来控制。

在本实施方式中，如图8(b)所示，控制部8控制照相机5与光源6相对于喷嘴3的位置关系，以使相对于照相机5和光源6的相对移动，照相机5的焦点总是在假定从喷嘴3正常地喷出的情况下，与液状材料4重合。即，在本实施方式中，在对从配设于图中右侧的单一的喷墨头2a2喷出的液状材料4进行拍摄时，与对从配设于图中左侧的喷墨头2a1喷出的液状材料4进行拍摄时相比，照相机5和光源6向右移动，在对从配设在图中左侧的单一的喷墨头2a2喷出的液状材料4进行拍摄时，照相机5和光源6相反地向左移动。

而且，图8(a)表示在对从配设于图中左侧的单一的喷墨头2a1喷出的液状材料41进行拍摄时的、照相机5和光源6相对于喷墨头2的位置。另外，图8(b)表示在对从配设于图中右侧的单一的喷墨头2a2喷出的液状材料42进行拍摄时的、照相机5和光源6相对于喷墨头2的位置。

喷出异常检测部7，如图7所示，基于由照相机5拍摄的液状材料4的图像，在喷嘴3的喷出方向的至少两处以上的位置处，计算液状材料4的位置或液幅，并在分别计算液状材料4的位置或液幅的位置处，与从喷嘴3正常地喷出液状材料4时的液状材料4的位置或液幅相比较，从而检测喷嘴3的喷出异常。

在本实施方式中，喷出异常检测部7具备：存储由照相机5拍摄的图像的图像存储部16；在喷嘴3的喷出方向的至少两处以上的位置处，计算液状材料4的位置或液幅的计算部17；存储有从喷嘴3正常地喷出液状材料4时的液状材料4的位置或液幅的正常值的正常值存储部18；判定喷嘴的喷出异常的判定部19。

计算部17基于存储于图像存储部16中的图像，进行提取液状材料4的二值化处理，确定计算液状材料4的位置或液幅的位置，并计算液状材料4的位置或液幅。

二值化处理是着眼于亮度或色彩等图像上的特征，对存储在图像存储部16中的图像的各像素设置阈值，并在计算机可识别的状态下，从存储于图像存储部16的图像中，提取液状材料4的处理。由此，能够提取利用照相机5拍摄成液柱状的液状材料4。在提取了液状材料4的二值化图像中，例如，能够使液状材料4或液状材料4以外的部分的一种显示为白，另外一种显示为黑。

接下来，对液状材料4的位置或液幅进行计算的位置选择从相对于喷嘴3的喷出方向离开的至少两处以上的位置。在本实施方式中，如图10所示，对于喷嘴3的喷出方向S，在接近喷嘴3的位置和远离喷嘴3的位置处，喷嘴3的喷出方向S带有规定的宽度，将相对于喷墨头2的下表面平行地延伸的两个假想的块A、B应用于二值化图像。并且，按各块A、B计算块A、B与液状材料4交叉的四个交叉坐标a～d。并且，由该四个交叉坐标a～d计算在接近喷嘴3的位置和远离喷嘴3的位置处的液状材料4的位置和液幅。

液状材料4的位置例如可按各块A、B，作为块A、B与液状材料4交叉的四个交叉坐标a～d的中心(块A、B与液状材料4交叉而描出的四角形abcd的重心)来计算。此外，液状材料4的液幅例如可作为块A、B与液状材料4交叉而描出的四角形abcd的上边和下边的平均值来计算。

接下来，判定部19基于由计算部17计算的液状材料4的位置和液幅的计算值来判定喷墨头2的喷出异常。

正常值存储部18存储有阈值，该阈值对于利用计算部17计算液状材料4的位置和液幅的喷嘴3的喷出方向S的位置，规定能够分别判断液状材料4从喷墨头2的各喷嘴3正常地喷出的液状材料4的位置和液幅的适当的正常值的范围。而且，阈值可任意地设定为能够判断液状材料4从喷嘴3正常地喷出的合适的值。在本实施方式中，在正常值存储部18中设定有用于在由假想的块A、B确定的接近喷嘴3的位置和远离喷嘴3的位置处，对于液状材料4的位置和液幅，分别地判断液状材料4从喷墨头2的各喷嘴3正常地喷出的阈值。

此外ia，判定部19判定由计算部17计算的计算值是否位于由存储在正常值存储部18中的阈值所规定的正常值的范围内。在本实施方式中，喷出异常的判定是判定由块A、B确定的接近喷嘴3的位置和远离喷嘴3的位置处的各个计算值是否位于存储在正常值存储部18中的阈值的范围内。

由此，判定液状材料4是否从喷墨头2的各喷嘴3正常地喷出，将在各喷嘴3中，在接近喷嘴3的位置A和远离喷嘴3的位置B的两处，液状材料4的位置和液幅的计算值位于正常值的范围内的情况下，喷嘴3的喷出判定为正常地进行。除此以外，液状材料的喷出判定为异常。

例如，如图10所示的喷嘴N1、N2、N4、N7、N9，在液状材料4正常地从喷墨头2的喷嘴3喷出的情况下，在接近喷嘴3的位置A和远离喷嘴3的位置B的两处，液状材料4的位置和液幅收敛于喷出正常情况的范围内，因此，从喷嘴3的喷出可判断为正常。

如喷嘴N3，在液状材料4未被喷出的情况下，在接近喷嘴3的位置A和远离喷嘴3的位置B的两处，液状材料4的位置和液幅未被测定，因而判断为喷出不良。此外，如喷嘴N5或N6，在液滴弯曲飞行的情况下，在远离喷嘴3的位置B处，液状材料4的位置偏离在正常的情况下得到的范围，因此由液状材料4的位置可判断为喷出不良。此外，如图12所示，在，在照相机5的拍摄方向上产生飞行弯曲的情况下，在远离喷嘴3的位置B处，因为照相机5的焦点偏移，所以如虚线f所示，拍摄的液状材料4变大。因此，即使在照相机5的拍摄方向上产生飞行弯曲的情况下，由液状材料4的宽度可判断喷出不良。

此外，如喷嘴N8，在液状材料4被异常广地喷出的情况下，在接近喷嘴3的位置A和远离喷嘴3的位置B的两处，液状材料4被较大地拍摄，因此利用液状材料4的液幅判断为喷出不良。此外，如喷嘴10，在液状材料4的喷出材料少的情况下(液滴小的情况下)，因为液状材料4的液幅被较细地拍摄，因此通过液状材料4的液幅判断为喷出不良。

上述的喷出不良的各判定可在能够判断液状材料4从喷墨头2的各喷嘴3被正常地喷出的合适的范围内设定阈值，并判定计算的液状材料4的位置和液幅是否在该阈值内。

如此，该喷出异常检测装置1基于对从喷墨头2的喷嘴3喷出的液状材料4进行拍摄后的图像，在喷嘴3的喷出方向的至少两个以上的位置处，计算液状材料4的位置和液幅，从而检测喷嘴3的喷出异常。在喷嘴存在喷出异常的情况下，在液状材料的位置或液幅的特征量中得到显著的差。由此，喷嘴的喷出异常的检测能够容易且确实地进行。

此外，该喷出异常检测装置1以如下方式来配设光源6，即：相对于从喷嘴3喷出的液状材料4，在照相机5的相反侧与照相机5对置，并且从光源6投射的直接光11不入射照相机5的取景器5a，从而使由从喷嘴3喷出的液状材料4折射的折射光12入射照相机5的取景器5a来进行拍摄。由此，能够抑制光晕等不良状况，从而能够更鲜明地对液状材料4进行拍摄，并能够更准确地计算液状材料4的位置和液幅，从而能够使喷出异常检测装置1的喷出异常的检测精度提高。

而且，该喷出异常检测装置1如果从光源6瞬间地照射光，并由照相机5拍摄，则如图11所示，能够以液滴的状态拍摄从喷嘴3喷出的液状材料4。并且，如果基于在液滴的状态下拍摄的图像，测定液滴的间隔D，则能够测定喷嘴3的喷出速度。从而，该喷出异常检测装置1能够判定液状材料4是否以正常的喷出速度从喷嘴3喷出。

以上，说明了本发明的一实施方式所述的喷墨头的喷出异常检测装置，但本发明所述的喷墨头的喷出异常检测装置并不限定于上述的实施方式。

例如，在上述的实施方式中，对于拍摄后的液状材料的图像，确定在喷嘴的喷出方向上的至少两处以上的位置的方法并不限定于上述的实施方式，可以采用各种方法。对于计算液状材料的位置和液幅的喷嘴的喷出方向的位置，只要能够判定飞行弯曲等不良状况，也可以适当地选定偏离喷嘴的喷出方向的位置。

[第三实施方式]

图13～图17例示本发明的第三实施方式。该第三实施方式所述的膜形成装置，如图13所示，具备：喷墨头10、膜厚设定部20、膜厚数据存储部30、浓淡等级分布图生成部40、和膜形成部50。

在该实施方式中，喷墨头10是将一列地配设有喷出液状材料的喷嘴11的线型喷墨嘴12形成以喷嘴11的位置相互地错开喷嘴间距Pn的半间距1/2Pn量的方式并列地配设的一个喷墨嘴单元13，且沿配设有线型喷墨嘴12的喷嘴11的方向呈交错状地、相互不同地错开位置，串联地配设该喷墨嘴单元13。

该喷墨头10以将喷嘴11的位置相互错开喷嘴间距的半间距量的方式，并列地配设一列地配设有喷出液状材料的喷嘴11的线型喷墨嘴12。因此，作为喷墨头10整体，与能够缩窄喷嘴间距的物理界限相比，能够进一步缩窄喷嘴间距。进而，通过调节各线型喷墨嘴12的喷出时刻，点间距的调整能够简单地进行，从而能够简单地从精细的涂敷到粗涂敷进行调整。此外，该喷墨头10的喷墨嘴单元13具有可覆盖膜形成区域宽度的宽度，从而可由一次的扫描，在膜形成区域的整个区域内涂敷液状材料。

在本实施方式中，喷墨头10的各线型喷墨嘴12分别从液状材料供给部(省略图示)向各喷嘴供给液状材料，并且基于控制装置(省略图示)产生的喷出指令信号，在规定的时刻喷出液状材料。此外，虽然图示省略，但各喷嘴11采用通过压电振动元件的机械性的振动，从小孔(orifice)喷出液滴的压力控制方式。图13中的15是向喷墨头10的各压电振动元件发送电信号的喷嘴控制部。

而且，在本发明中，喷墨头的构造和喷墨头的各喷嘴的喷出方式并不限定于上述的实施方式。例如，在上述的实施方式中，喷墨头具有并联及串联地配设有多个线型喷墨嘴的构造，但线型喷墨嘴可以为一个，而且即使在使用多个的情况下，也可通过上述以外的配置来配设。

在使用了该喷墨头10的膜形成装置中，膜厚T由喷嘴间距Pn、点间距Pd、喷出液滴量Vj、液状材料的固态成分浓度S、和喷出图案Vp五个要素决定。

膜厚T例如，如下述的数学式(式1)，可通过在单位面积(10mm角)的总喷出液滴量乘以膜厚系数来计算。

T＝(10÷Pn)×(10÷Pd)×Vj×Vp×S×M…(式1)

在上述的式1中，T为膜厚

Pn为喷嘴间距(μm)，Pd为点间距(μm)，Vj为喷出墨滴量(pL)，Vp为喷出图案比例(％)，S为固态成分浓度(％)，M为膜厚系数

其中，喷嘴间距Pn为喷墨头10的喷嘴的间隔。喷嘴间距Pn是根据喷墨头10的机械性的构造的，除交换喷墨头10等情况，不能变更他们。

点间距Pd是喷出到被涂敷物上的液滴的间隔。因为点间距Pd是根据喷出头10的喷出时刻的，因此，能够在与被涂敷物的相对移动方向(行进方向)上变更，但无法在其正交方向(宽度方向)上变更。

喷出液滴量Vj是从喷嘴11喷出的液滴的液量。喷出液滴量Vj由发送给线型喷墨嘴12的喷出指令信号(电信号)的电压和脉冲宽度来确定，但各线型喷墨嘴12在喷出指令信号(电压与脉冲宽度)与喷出液滴量Vj的关系中分别具有固有的喷出特性。因此，即使发送相同的电压与脉冲宽度的喷出指令信号，从各线型喷墨嘴12喷出的液滴量中也有若干不齐。另外，在本实施方式中，将发送给线型喷墨嘴12的喷出指令信号的脉冲宽度总是设为恒定，通过改变电压来调整喷出液滴量Vj。

液状材料的固态成分浓度S是表示液状材料中的固态成分的比例，是表示干燥后作为膜而残留的固态成分的浓度。固态成分浓度S是液状材料的固有的特性，在填充液状材料后，无法容易地将其改变。

喷出图案Vp是从喷墨头10喷出液状材料的点位置的图案。喷出图案Vp能够电控制从喷墨头10喷出液状材料的喷嘴11，变更比较容易。在本实施方式中，喷出图案Vp采用液状材料的喷出位置均匀的灰度图案(greypattern)。关于灰度图案后面详细叙述。

决定膜厚T的五个要素中，喷嘴间距Pn不容易改变，点间距Pd可在某种程度上改变，从而能够改变整体的膜厚T，但无法局部地改变膜厚T。此外，液状材料的固态成分浓度S是一端填充后的液状材料的固有特性，因此难以容易地改变。

本实施方式所述的膜形成装置1首先选择某一喷出图案Vp，因为喷嘴间距Pn与固态成分浓度S固定，将其数值代入数学式1，并将欲形成的膜的厚度代入膜厚T。由此，能够求得将喷出液滴量Vj与点间距Pd相除(Vj/Pd)。由此关系，喷出液滴量Vj与点间距Pd具有比例的关系。并且，当以选择的喷出图案Vp喷出液状材料时，调整喷出液滴量Vj与点间距Pd，以适宜地引起液滴的融合。

即，喷出液滴量Vj与点间距Pd具有比例的关系，如果增大喷出液滴量Vj，则点间距Pd变大。如果过于增大喷出液滴量Vj和点间距Pd，则形成在喷嘴间距方向上产生液滴的融合，但在点间距的方向上不产生液滴的融合的状态。此外，如果过于减小喷出液滴量Vj和点间距Pd，则形成在点间距方向上产生液滴的融合，但在喷嘴间距的方向上不产生液滴的融合的状态。喷出液滴量Vj与点间距Pd的调整以使在点间距的方向和喷嘴间距的方向的两者上产生液滴的融合来调整。

此外，在喷出液滴量Vj与点间距Pd恒定的情况下，如果以更深程度的灰度图案喷出液状材料，则能够增加膜厚，如果以更浅程度的灰度图案喷出液状材料，则能够减小膜厚。该膜形成装置1使用所述的调整方法，按单位面积修正喷出到膜形成区域的液状材料的喷出图案，并按单位面积调整在被涂敷物上形成的膜的厚度，从而在被涂敷物上形成厚度均匀的膜。

为具体实现所述的调整方法，该膜形成装置1具备膜厚设定部20、膜厚数据存储部30、浓淡等级分布图生成部40、和膜形成部50。在本实施方式中，膜厚设定部20、膜厚数据存储部30、浓淡等级分布图生成部40、和膜形成部50分别由计算机和利用计算机实现各个功能的程序来具体实现。

膜厚设定部20设定在被涂敷物上形成的膜的膜厚。在本实施方式中，利用计算机来设定在被涂敷物上形成的膜的膜厚，设定的膜厚存储在计算机的存储部(例如存储器)中。将设定在被涂敷物上形成的膜的膜厚的工序称为膜厚设定工序。

膜厚数据存储部30考虑喷墨头10的喷出特性，调整喷出液滴量与点间距，并且，以任意地选择的浓淡等级的灰度图案，对膜形成区域均匀地试喷出液状材料，并存储由试喷出形成的膜的膜厚。

在本实施方式中，膜厚数据存储部30还包括：喷出特性存储部31、喷出液滴量调整部32、灰度图案存储部33、和试喷出控制部34。

喷出特性存储部31存储有喷墨头10的喷出特性。在本实施方式中，在每个喷墨头10的线型喷墨嘴12中，喷出指令信号的电压和脉冲宽度与喷出液滴量Vj的关系具有固有的特性，但将喷出指令信号的脉冲宽度总是设为恒定，通过改变电压，调整喷出液滴量Vj。因此，喷出特性存储部31存储在所述的脉冲宽度值下的电压与喷出液滴量Vj的关系。

喷出液滴量调整部32具备对喷墨头10的喷出液滴量和点间距进行调整的功能。喷出液滴量的调整首先具备考虑存储在喷出特性存储部31中的喷墨头的喷出特性，并控制喷出指令信号的电压和脉冲宽度，以喷出规定的喷出液滴量Vj的功能。在本实施方式中，将喷出指令信号的脉冲宽度总是设为恒定，通过改变电压，调整喷出液滴量Vj，所以喷出液滴量调整部32基于存储在喷出特性存储部31中的电压与喷出液滴量Vj的关系，控制喷出指令信号的电压，调整喷出液滴量，以使规定的喷出液滴量Vj被喷出。

接下来，喷出液滴量调整部32调整喷出液滴量Vj和点间距Pd，以使在数学式(式1)中，关于喷出图案Vp形成在后述的试喷出工序中选择的灰度图案，且在点间距的方向、喷嘴间距的方向的两方上产生液滴的融合。

灰度图案存储部33按浓淡等级存储喷出单位面积的液状材料的灰度图案。

灰度图案为喷出每单位面积的液滴的图案(液状材料的喷出图案)。例如，从喷墨头10的所有喷嘴11，以全部的点间距喷出液状材料的喷出图案为浓淡等级100％的灰度图案。

例如，如图14所示，以可喷出液状材料的点位置由规定的喷嘴间距Pn1和点间距Pd1格子状地配设的情况(同图中，实线的圆d1和虚线的圆d2分别表示可喷出液状材料的点位置)来说明灰度图案。而且，实线的圆d1在点间距方向的第奇数列中，位于喷嘴间距方向的第奇数号的点位置，在点间距方向的第偶数列中，位于喷嘴间距方向的第偶数号的点位置。此外，虚线的圆d2在点间距方向的第奇数列中，位于喷嘴间距方向的第偶数号的点位置，在点间距方向的第偶数列中，位于喷嘴间距方向的第奇数号的点位置。

在可喷出液状材料的所有的点位置喷出液状材料的喷出图案称为浓淡等级100％。此情况下的浓淡等级100％的灰度图案，如图15所示，是在图14中的实线的圆d1和虚线的圆d2的两者的点位置上喷出了液状材料。而且，此处100％的喷出正确地也可解释为并不包含在“灰度”这一概念中，但在本发明书中，为方便起见，将所述状态的喷出称为浓淡等级100％的灰度图案。

接下来，如图16所示，50％的灰度图案是仅在图14中的实线的圆d1的点位置处喷出了液状材料。其结果，50％的灰度图案与浓淡等级100％的灰度图案相比，是将喷出液状材料的点位置均匀地去掉50％而形成的。

在本实施方式中，如图13所示，使用一个以将喷嘴11的位置相互地错开喷嘴间距的一半间距量的方式，将一列地配设有喷嘴11的线型喷墨嘴12并列地配设的喷墨嘴单元13，因此，关于各喷墨嘴单元13，通过将第一列的线型喷墨嘴12喷出液状材料的时刻和第二列的线型喷墨嘴12喷出的时刻分别错开一个点间距量地喷出液状材料，能够以浓淡等级50％的灰度图案喷出液状材料。

图示虽然省略，但浓淡等级70％的灰度图案同样地与浓淡等级100％的灰度图案相比，是将液状材料被喷出的点位置，在每单位面均匀地去掉30％而形成。此外，浓淡等级30％的灰度图案与浓淡等级100％的灰度图案相比，液状材料被喷出的点位置在每单位面积均匀地去掉70％。

在本实施方式中，灰度图案存储部33分别存储从浓淡等级0％至100％，及同样地将液状材料被喷出的点位置在每单位面积均匀地去掉的、任意浓淡等级的灰度图案。而且，灰度图案存储部33例示了分别存储任意的浓淡等级的灰度图案的存储部，但并不限定于此，例如，对于任意的浓淡等级，也可存储有计算并求得与其相应的灰度图案的功能，具备计算并求得与每次的任意的浓淡等级相对应的灰度图案的功能。

接下来，试喷出控制部34是以由喷出液滴量调整部32调整后的喷墨头10的喷出液滴量Vj与点间距Pd，并以从存储在灰度图案存储部33中的任意的浓淡等级的灰度图案中选择的浓淡等级的灰度图案，控制向膜形成区域均匀地喷出液状材料的试喷出。从试喷出控制部34向喷墨头10的喷嘴控制部15发送喷出指令信号，并控制喷墨头10，从而以规定的灰度图案喷出液状材料。将进行该试喷出的工序称为试喷出工序。

在本实施方式中，在试喷出中，基于由膜厚设定部20设定的膜厚T，利用数学式(式1)，设定喷出液滴量Vj、点间距Pd及喷出图案Vp(灰度图案的浓淡等级)。在本实施方式中，为以浓淡等级50％的灰度图案，且由膜厚设定部20设定的膜厚来形成膜，调整喷出液滴量Vj与点间距Pd，并在试喷出中，以浓淡等级50％的灰度图案喷出液状材料。

在本实施方式中，各喷墨嘴单元13的喷嘴间距微小，喷出液滴量Vj与点间距Pd被调整到在试喷出中以所选择的浓淡等级50％的灰度图案，邻接的被喷出后的墨滴之间可融合的量。

由此，在试喷出工序中，如图17(a)所示，对于膜形成区域能够均匀地喷出液状材料，被喷出后的液滴的融合在所有的膜形成区域m中同样地产生，液状材料的膜厚暂且形成均匀的厚度。并且，保持如图17(a)所示的状态，液状材料如果干燥，则如图17(d)所示，应以由膜厚设定部20设定的膜厚来形成膜。

但是，实际上，由于干燥从液状材料的表面发生，因此在干燥过程中，如图17(b)所示，膜厚发生变化。而且，在膜形成区域m的中央部m1，膜厚不太变化，但在膜形成区域m的周缘部m2(边缘部和角部)，膜厚易变化。此外，液滴的融合及干燥后的膜厚具有如下的倾向，即：如果液滴喷出量Vj、点间距Pd及喷出图案Vp相同，干燥的条件相同，则产生大致相同的液滴的融合及干燥，在膜形成区域m的相同处形成相同的膜厚。在本实施方式中，如图17(b)所示，膜形成区域m的周缘部m2在干燥过程中从膜形成区域m的边缘e向外侧伸出。

膜厚数据存储部30存储利用上述的试喷出形成的膜的膜厚。在本实施方式中，膜厚按与灰度图案的单位面积对应的区域来测定并存储。在此情况下，膜厚数据存储部30的膜厚的数据是由相对于膜形成区域，按喷出液状材料的灰度图案的单位面积记录有膜厚的数据表(data map)而构成。

接下来，对浓淡等级分布图生成部40进行说明。

浓淡等级分布图生成部40考虑在试喷出工序中形成的膜的膜厚，为能够以膜厚设定部设定的膜厚形成均匀的膜，按单位面积修正喷出液状材料的灰度图案的浓淡等级。

具体地，具备基于存储在膜厚数据存储部30中的试喷出工序中的膜厚的数据，对于膜形成区域，按喷出液状材料的灰度图案的单位面积，生成设定了喷出的液状材料的灰度图案的浓淡等级的浓淡等级分布图的功能。在本实施方式中，在生成浓淡等级分布图的浓淡等级分布图生成工序中，考虑在试喷出阶段的灰度图案的浓淡等级，和试喷出工序中的每单位面积的膜厚，变更该单位面积的灰度图案浓淡等级。

例如，如图17(c)所示，在试喷出工序中形成的膜的膜厚厚于由膜厚设定部20设定的膜厚之处q(参照图17(b))将该单位面积的灰度图案的浓淡等级改变为浅的等级。此外在试喷出工序中形成的膜的膜厚薄于由膜厚设定部20设定的膜厚之处r(参照图17(b))，将该单位面积的灰度图案的浓淡等级改变为深的等级。浓淡等级的改变程度通过存储在膜厚数据存储部30中的膜厚与在膜厚设定部20中设定的膜厚的差的程度来调整。所述调整可以通过计算，或者也可根据基于某种程度的经验的数据来调整。将在浓淡等级分布图生成部40中生成浓淡等级分布图的工序称为浓淡等级分布图生成工序。而且，在本实施方式中，如图17(b)所示，膜形成区域m的周缘部m2在干燥过程中从膜形成区域m的边缘e向外侧稍许伸出。因此，在生成浓淡等级分布图的工序中，如图17(c)所示，考虑膜形成区域m的周缘部m2在干燥的过程中从膜形成区域m的边缘e向外侧稍许伸出，从而将喷出液状材料的区域的外缘设定在边缘e的稍内侧。

此外，在本实施方式中，在试喷出工序中，为了以浓淡等级50％的灰度图案来形成由膜厚设定部20设定的膜厚的膜，调整喷出液滴量与点间距，并以浓淡等级50％的灰度图案喷出液状材料，所以在浓淡等级分布图生成工序中，将浓淡等级50％向深方向，也有向浅方向相同的调整区域，浓淡等级的修正容易进行。而且，如此地，在浓淡等级分布图生成工序中，需要将浓淡等级的调整即向深方向也向浅方向调整，因此，试喷出工序一定以比100％的浓淡等级浅的浓淡等级进行液状材料的喷出。

此外，在干躁过程中，特别地与膜形成区域m的中央部m1相比，周缘部m2(边缘部和角部)的膜厚易变化。因此，在试喷出工序中形成的膜，如图17(b)所示，在膜形成区域m的中央部m1的膜厚大致均匀，但在周缘部m2(边缘部和角部)膜厚具有产生差的倾向。在浓淡等级分布图生成工序中，着眼于该倾向，如图17(c)所示，膜形成区域m的e中央部m1均匀地修正灰度图案的浓淡等级，周缘部m2按单位面积修正灰度图案的浓淡等级。由此，能够节省浓淡等级分布图生成工序的操作，并能够实现操作的高效化。

此外，膜形成区域m的周缘部m2由于液滴融合后的干燥过程而在边缘部产生的膜厚的倾向和在角部产生的膜厚的倾向并不限于各自的边缘部和角部，具有大致相同的倾向。在浓淡等级分布图生成工序中，着眼于该倾向，将对某一边缘部按单位面积修正浓淡等级后的结果复制到其他的边缘部，对某一角部按单位面积修正浓淡等级后的结果也复制到其他的边缘部。由此，能够进一步节省浓淡等级分布图生成工序的操作，并能够进一步实现操作的高效化。

接下来，膜形成部50具备基于在所述的浓淡等级分布图生成部40中生成的浓淡等级分布图，向被涂敷物喷出液状材料，从而形成膜的功能。膜形成部50向喷墨头10的喷嘴控制部15送出喷出指令控制信号，并基于由浓淡等级分布图生成部40生成的浓淡等级分布图来控制喷墨头10，以喷出液状材料。

因为在浓淡等级分布图生成部40中，基于试喷出工序的结果，修正喷出到被喷出物的液状材料的灰度图案的浓淡等级，从而以在膜厚设定部20中设定的膜厚来形成厚度均匀的膜，所以膜形成部50如图17(d)所示，能够形成厚度均匀的膜。

以上，如进行的说明，该膜形成装置利用上述的膜厚设定部20、膜厚数据存储部30、浓淡等级分布图生成部40、及膜形成部50，能够形成厚度更均匀的膜。

此外，该膜形成装置1也可如，试喷出工序→浓淡等级分布图生成工序→膜形成工序(第二次的试喷出工序)→浓淡等级分布图生成工序→膜形成工序(第三次的试喷出工序)…，数次地重复浓淡等级分布图生成工序。如此，将在膜形成工序中形成的膜看作是在试喷出工序中形成的膜，再次进行浓淡等级分布图生成工序，并将在膜形成工序中形成的膜看作是在试喷出工序中形成的膜，进一步进行浓淡等级分布图生成工序，从而通过数次地重复浓淡等级分布图生成工序，能够极高精度地形成厚度均匀的膜。

此外，在如洁净室等环境恒定的室内制造膜的情况下，液滴的融合倾向也恒定，干燥机的干燥条件也恒定，因而如果一次地生成高精度调整后的浓淡等级分布图，则在量产阶段可持续地利用该浓淡等级分布图。由此，能够高精度地批量生产厚度均匀的膜。

以上，对本发明的一实施方式中的膜形成方法及膜形成装置进行了说明，但本发明不限于上述实施方式。

还有，在图13中例示的喷墨头10中，喷嘴间距不仅是超越能够使喷嘴间距变窄的物理极限而能够使喷嘴间距变窄的意思，而且向喷嘴间距方向上邻接的点位置喷出的喷嘴的位置在邻接的点位置之间，喷出液态材料的时间差小。因此，适当地进行邻接的点位置之间的液滴的融合。该喷墨头10具有这样的特性，因此是欲使液滴的融合及液滴的融合后的干燥过程中的膜厚变化引起的膜厚差均匀的本发明的膜形成装置中优选采用的方式之一。

[第四实施方式]

图18～图25是例示本发明的第四实施方式的图。该第四实施方式中，将本发明适用于液晶显示装置的透明基板的取向膜涂敷装置。如图18所示，膜涂敷装置具有：将作为被涂敷物的透明基板70水平固定载置的基台71、和沿安装于该基台71上的导轨(省略图示)向箭头A方向移动的打印头单元72。透明基板72利用基台72上的公知的多个夹紧机构(省略图示)水平固定。打印头单元72能够利用任意的驱动机构向箭头A方向移动。作为驱动机构最适合等速稳定性优越，且完全没有齿隙的线性电动机方式。即，设置于基台72的直线导轨上安装打印头单元72，且使打印头单元72滑动自如，利用附设于导轨和打印头的对置面两者的多个磁铁构成线性电动机。作为驱动机构，除此之外，例如，可以使用组合电动机、滑轮及带齿的带的带驱动机构或组合电动机和螺旋杆的螺旋杆驱动机构。就带驱动机构来说，在图18的左右方向上张设环状带齿的带，将该带齿的带缠绕在左右两端的滑轮。将带齿的带的一部分与打印头单元72连结，利用伺服电动机等使任一方的滑轮正转或反转驱动，由此使打印头单元72在左右方向上前进及后退。就螺旋杆驱动机构来说，在图18左右方向上配设螺旋杆，利用导轨可以滑动自如，但将把滑动方向作为中心轴观察的情况下不能围绕中心轴旋转的打印头单元72的一部分螺合于螺旋杆，利用伺服电动机等正转或反转驱动，由此，使打印头单元72在左右方向上前进及后退。

在打印头单元72上搭载有多个打印头73。在图18中，以示意性显示了以交错状仅搭载7个打印头73的状态，但打印头73的个数可以根据透明基板70的宽度增减。例如，在透明基板70的宽度为1500mm的情况下，打印头73的搭载个数通常为40～50个。打印头73的交错状配置是为了避免在邻接的打印头73之间，涂敷液的点膜之间不过于空开。

图19是表示向打印头73的涂敷液的供给配管13或涂敷液的回收配管83等、配管系统的图。在本发明装置中，将供给槽12、供给泵15及回收槽8配置于膜涂敷装置的固定侧低位置。因此，需要对打印头73的供给配管13和回收配管83。若在打印头单元72有空间剩余，则将供给槽12、供给泵15及回收槽8搭载于移动侧、即打印头单元72上，将供给配管13和回收配管83也搭载于打印头单元72也可。由于N₂供给配管80和大气开放配管81不能省略，因此，作为固定侧和移动侧之间的配管系统，以N₂供给配管80和大气开放配管81共计两根作为最低需要。N2供给配管80与固定侧的N₂高压气体容器连接。大气开放配管81与工厂内的溶剂排气处理系统连接。

供给配管13、回收配管83、N₂供给配管80及大气开放配管81四根配管收容于共用的线缆护线链(ケ一ブルベア)82内。线缆护线链82的以圆弧状折曲的一侧朝向打印头单元72的移动方向(前进方向或后退方向)。

供给槽12是上端向大气开放的立式扁平容器，其内部贮存涂敷液。供给配管13的一端浸渍于供给槽12的内部的涂敷液中。在靠近供给槽12的位置，向供给配管13安装供给泵15。用该供给泵15向供给配管13送出涂敷液。在供给泵15的下游侧的靠近供给泵15的位置，向供给配管13安装供给阀14。

墨槽1是密闭式，贮存一种涂敷液。该墨槽1配设于比供给槽12或回收槽8高的位置，安装有检测涂敷液面的电平开关16和内压用压力计17。电平开关16在墨槽1内的涂敷液面得到规定的高度以下的情况下将其检测，使供给泵15运行，将墨槽1内的涂敷液面高度时常保持恒定。内压用压力计17检测墨槽1的压力。

墨槽1与N₂供给配管80和大气开放配管81并列连接。N₂供给配管80向墨槽1内导入氮气等加压用惰性气体，将墨槽1内加压为规定压力，促进向打印头73的涂敷液填充。大气开放配管81在墨槽1内的压力达到规定压力以上的情况下，向大气中放出多余的加压用气体，将墨槽1内维持为规定的压力。N₂供给配管80的上游端位于固定侧，与氮气槽等加压用惰性气体源连接。在N₂供给配管80的上游侧依次配设有放气压力调节器31、放气用压力计32、放气用阀33。放气阀33的下游侧经由垂直压力控制配管29、水平压力可变基配管25的一部分及槽阀26，与墨槽1的内部上方空间连通。压力控制配管29与压力可变基配管25的中间部连接。压力控制配管29的中间部与水平返回配管34和水平分支配管39的各一端连接。返回配管34的另一端与放气压力调节器31的上游侧连接。放气配管34上从放气压力调节器31的上游侧依次安装有大气开放调节器34、大气开放用压力计36及大气开放阀37。大气开放透镜35和大气开放用压力计36的中间的返回配管34与辅助分支配管38连接。该辅助分支配管38以与分支配管39并联状与大气开放配管81连接。在分支配管39上从下游侧依次安装有负压泵41和负压阀42。负压泵41将压力控制配管29内的气体向大气开放配管81中强制排气。压力可变基配管25经由旁通阀27与旁路配管18a的中间部连接。

从墨槽1经由共通送液配管2和个别送液配管3向各打印头73供给涂敷液。个别送液配管3从共通送液配管2以等间隔分支。个别送液配管3的末端经由脱气机构5与打印头73连接。各打印头73和脱气机构5如图所示，作为独立体分离也可，一体化也可。在共通送液配管2的两端、即对于共通送液配管2的最上游位置的个别送液配管3的当前上游侧、和对于共通送液配管2的最下游位置的个别送液配管3的当前下游侧，配设有送液阀7和回收阀10。回收阀10经由回收传感器11与回收配管83连接。

各打印头73与向垂直上方竖立的个别流动气体配管19连接。这些个别流动气体配管19的上端聚齐而延伸至墨槽1的液面上方，与水平旁路配管18a连接。旁路配管18a在比墨槽1的最高液位高的上方位置，沿水平方向延伸。旁通股票18a的一端与最上游的个别流动气体配管19连接，旁路配管18a的下端经由气体放出阀23及共通流气配管18，与回收配管83的上游端、即对于回收配管83的回收传感器11的连接位置连接。

连接于共通送液配管2的最下游端的个别流动气体与送液流动气体配管20的下端连接。该送液流动气体配管20的上端经由液体填充确认传感器21与气体放出阀23的当前上游侧的阀配管18a连接。

本发明如图19所示，对多个打印头73的涂敷液供给用配管系采用共用化的一根共通送液配管2。即，不是向打印头73并联供给涂敷液，而是串联供给，因此，向打印头73供给的配管系和控制设备的数目非常少，结构简单化。这也是使打印头73侧移动的本发明方式能够实现的要因的一个。

在固定侧和移动侧之间从一方向另一方供给液体、气体、电气的机构使用线缆护线链82。该线缆护线链82以汇集挠曲性的配管、配线类的状态被支撑为自然地折曲自如，使作为移动侧的打印头单元72在阻力少的情况下移动。线缆护线链82例如由挠曲性扁平剖面的管构成，在其内部收容多根配管配线类。

但是，如作为本发明的适用对象的一个的液晶显示元件的透明基板70的膜涂敷装置一样，需要高精度的移动控制的装置中，希望收容于线缆护线链的配管配线类的根数尽量少。本发明中使用的线缆护线链82如上所述，固定侧和移动侧之间的配管类总计仅为4根，因此，能够与打印头单元72的高精度移动控制同时实现。

另一方面，对于作为膜涂敷装置的移动侧的打印头73的配线在以往的考虑方法中，通常如图20(B)所示，从具有计算机的涂敷控制部94以电线束95的形式分别对打印头73配置涂敷数据信号线91、高压脉冲线92及电源线93。但是，在这种情况下，需要将对应于打印头73的个数的量的电线束95收容于线缆护线链82内，因此，在透明基板70的整个宽度上排列多个打印头73的情况下，不能向线缆护线链82内收容所有电线束95。

作为该解决机构，如图20(A)所示，在打印头73的附近配置涂敷控制部94，用一根传送线85(例如，传送方式是RS-422差动方式)连接该涂敷控制部94和固定侧的控制部96。涂敷数据或高压脉冲数据通过传送线85被串行传送至涂敷控制部84。在涂敷控制部94设有串口传入·并口传出移位寄存器(serial in parallel out shift register)型中继基板，将涂敷数据或高压脉冲数据经由所述中继基板向各打印头73发送。这样，利用一根传送线85并联发送用于多个打印头73的数据，由此能够大幅度削减线缆护线链82内的配线数目，因此，这也是使打印头73侧移动的本发明方式能够实现的要因之一。

另外，在图20(B)中，使用“电磁阀”的放出阀或作为“检测器”的液体填充确认传感器等利用多心电缆97通过线缆护线链82与涂敷控制部94接线，但在本发明装置中，如图20(A)所示，可以将放出阀33或液体填充确认传感器21经由省略配线系统90(例如，CC连接器或设备网络)与控制部96接线。由此，可以将放出阀33或液体填充确认传感器21的引出配线汇集为一根电缆，能够削减线缆护线链82内的配线根数。CC连接器(Control&Communication Link)或设备网络是同时且高速实现控制和信息的数据处理的场网络系统，容易进行PLC、计算器(PC)、传感器、促动器等控制设备间的相互连接。CC连接器及设备网络均作为通过省略配线降低配线成本的技术而周知。

其他配线、及图19的供给泵15和负压泵41的电源线如图20(A)(B)所示，通过线缆护线链82直接与固定侧接线。

如上所述，比较图20(A)和(B)可知，作为向移动侧供给液体、气体或电气的机构，使用线缆护线链，但为了高精度地控制打印头72的移动，使收容于线缆护线链82内的配线根数为最小限度。在图20(B)中，若打印头73的配设数目增加，则电线束95的根数也正比于此而增加，事实上不能实现膜涂敷装置。对此，在图20(A)中，即使打印头73的配设数目增加，也将电线束95接线至位于移动侧的涂敷控制部94即可，不需要增加收容于线缆护线链82的配线根数。从而，电源关系的多根配线在不共用化的情况下与固定侧直接接线，但根数上绝对多的数据关系的配线可以利用串口传入·并口传出移位寄存器，利用高速传送线汇集为一根。

即使将图19的配管的总根数和图20(A)的电线的总根数加起来，也是能够充分收容于线缆护线链82的总计根数，能够实现具备多个打印头73，且大型、能够高精度移动控制的移动式打印头单元72。

本发明如上所述，通过利用高精度移动控制使在被涂敷物G的整个宽度上排列多个的打印头73，在与所述排列方向正交的方向上移动被涂敷物G的长度的量依次，被涂敷物的整个表面没有膜的间隙，从而能够形成膜厚完全没有不均的均匀压力的良好的涂敷面。

其次，关于墨槽1的液面的摆动防止，如图21所示，将墨槽1的移动方向宽度H制作为薄，并且在墨槽1内以垂直截断涂敷液面的形式相互平行地设置多张缓冲板100。进而，控制打印头单元的移动速度，使墨槽1的液面不大幅度摇摆。具体来说，控制打印头单元在被涂敷物G的长边方向上进行开始移动的起动时的加速度。利用这样的两个对策，使墨槽1的液面不摆动，从而不产生泡，能够以稳定的弯月面(meniscus)压力，从墨槽1向打印头73供给涂敷液。由此，自打印头73的涂敷液喷出稳定，点状涂膜的厚度均匀化。

涂敷液从图19的供给槽12，通过墨槽1向打印头73供给，但如果在墨槽1中液体摆动，则涂敷液的脱气度减低。为了弥补这个，需要将小型的脱气机构5安装于打印头73的附近。

通过向打印头73供给已脱气涂敷液，能够从打印头73喷出稳定的涂敷液。

在图19的墨槽1或打印头73移动的情况下，若作为打印头73的内部压力的弯月面压力不稳定，则自打印头73的涂敷液喷出不稳定。

从而，通过图19的负压泵41高精度地(希望脉动压力+5Pa以下)控制墨槽1和打印头73的弯月面压力，，能够使打印头73的涂敷液喷出稳定。

其次，对从墨槽1至打印头73的涂敷液的供给进行详细说明。关于墨槽1内的涂敷液的贮存量的控制，利用供给泵15的运行，从贮存大容量的涂敷液的供给槽12通过处于开阀状态的供给阀14向墨槽1供给涂敷液。在这种情况下，墨槽1内的涂敷液的液面的高低利用电平开关16控制，因此，将墨槽1内时常维持为贮存规定量的涂敷液的状态。

其次，在从墨槽1向多个打印头73输送涂敷液的情况下，将压力控制配管29上的放出阀33、和压力可变基配管25上的槽阀26以开阀的状态向墨槽1内的液面的上部空间押送氮等气体，使所述内压上升。在这样的状态下，将共通送液配管2上的送液阀7及回收阀10、和旁路配管18a(共通流气配管18)上的气体放出阀23开阀，将墨槽1内的涂敷液通过共通送液配管2及各个个别送液配管3送至各打印头73。此时，与涂敷液一同在共通送液配管2内输送的气体通过回收阀10流入旁路配管18a(共通流气配管18)，放出在大气中，并且各打印头73内的气体通过各个流动气体配管19流入旁路配管18a，通过气体放出阀23放出到大气中。

然后，通过连续输送涂敷液，向各打印头73填充涂敷液，但在该时刻下，由于共通流气配管18的旁路配管18a的存在下，各打印头73的内压被均匀化，因此，涂敷液被均匀地填充于各打印头37中。还有，涂敷液从共通送液配管2通过回收阀10到达回收传感器11的时刻下，将回收阀关闭。进而，液体填充确认传感器21检测出涂敷液在送液流动配管20内上升至规定位置的时刻下，关闭气体放气阀23，并且在填充于各打印头73的涂敷液到达各打印头73的喷嘴而滴落的时刻下，关闭放气阀33和送液阀7，由此结束从墨槽1向各打印头73的送液动作。在这种情况下，墨槽1的液面位置和液体填充确认传感器21的设置位置设定为同一或大致同一高度位置，因此，各个别流动气体配管19内成为涂敷液上升至与液体填充确认传感器21的设置位置同一或大致同一的高度位置。

在该时刻下，各打印头73和墨槽1的内部成为加压状态，因此，首先打开大气开放阀37，使这些内压成为大气压状态。在这种情况下，大气开放调节器35以0.1kPa时常通过辅助分支配管38向大气中放出氮，使大气不逆流，因此，辅助分支配管38处于大致大气压状态，通过大气开放阀37减压为大气压状态。然后，关闭大气开放阀37，并且打开负压阀42、槽阀26、旁通阀27、和送液阀7，由此利用负压泵41的动作，将各打印头73的内压降至规定的负压，由此形成能够从打印头73的喷嘴适当地喷出涂敷液的状态。在该时刻下，各打印头73内的涂敷液受到作用于墨槽1内的液面的上部空间的负压，和作用于旁路配管18a的负压的影响，因而，对于这些各打印头73内的涂敷液，负压均匀且响应性良好并且稳定的作用。

Claims (8)

1.一种膜形成方法，其使用喷墨头喷出液状材料，在被涂敷物上形成均匀的膜，其特征在于，包括：

膜厚设定工序，其设定在所述被涂敷物上形成的膜的膜厚；

试喷出工序，其考虑所述喷墨头的喷出特性，调整喷出液滴量和点间距，并且以任意选择的浓淡等级的灰度图案对膜形成区域试喷出液状材料；

浓淡等级分布图生成工序，其基于在所述试喷出工序中形成的膜的厚度，为了以膜厚设定工序中设定的膜厚来形成厚度均匀的膜，对于在被涂敷物上形成膜的膜形成区域，生成按单位面积设定喷出的液状材料的灰度图案的浓淡等级的分布图；

膜形成工序，其维持在所述试喷出工序中调整后的喷出液滴量和点间距，同时以基于在浓淡等级分布图生成工序中生成的浓淡等级分布图的浓淡等级的灰度图案，向被涂敷物喷出液状材料，从而在被涂敷物上形成膜。

2.根据权利要求1所述的膜形成方法，其特征在于，

在所述试喷出工序中，基于在膜厚设定工序中设定的膜厚，选定喷出液滴量、点间距及灰度图案的浓淡等级。

3.根据权利要求1所述的膜形成方法，其特征在于，

所述浓淡等级分布图生成工序对于在被涂敷物上形成的膜的周缘部，生成按单位面积设定喷出的液状材料的灰度图案的浓淡等级的分布图。

4.根据权利要求1所述的膜形成方法，其特征在于，

在30％以上且不足100％的范围内选择所述试喷出工序中的灰度图案的浓淡等级。

5.根据权利要求1所述的膜形成方法，其特征在于，

在所述试喷出工序中，选择浓淡等级50％的灰度图案。

6.根据权利要求1所述的膜形成方法，其特征在于，

所述浓淡等级分布图生成工序对在被涂敷物上形成的膜的周缘部生成浓淡等级分布图时，对于任意选择的边缘部和角部分别按单位面积生成设定了喷出的液状材料的灰度图案的浓淡等级的分布图，并且分别复制到各边缘部和角部，从而生成浓淡等级分布图。

7.根据权利要求1所述的膜形成方法，其特征在于，

在所述膜形成工序中形成膜后，进而，将在膜形成工序中形成的膜作为在试喷出工序中形成的膜，再次进行浓淡等级分布图生成工序及膜形成工序，并重复一或数次此过程。

8.一种膜形成装置，其使用喷墨头喷出液状材料，在被涂敷物上形成均匀的膜，其特征在于，具备：

膜厚设定部，其设定在所述被涂敷物上形成的膜的膜厚，

膜厚数据存储部，其考虑所述喷墨头的喷出特性，调整喷出液滴量和点间距，并且以任意选择的浓淡等级的灰度图案对膜形成区域试喷出液状材料，并存储由所述试喷出形成的膜的膜厚；

浓淡等级分布图生成部，其基于在所述膜厚数据存储部中存储的膜厚数据，为了以由所述膜厚设定部设定的膜厚来形成厚度均匀的膜，对于在被涂敷物上形成膜的膜形成区域，生成按单位面积设定喷出的液状材料的灰度图案的浓淡等级的分布图；

膜形成部，其维持在所述试喷出时调整后的喷出液滴量和点间距，同时以基于在浓淡等级分布图生成工序中生成的浓淡等级分布图的浓淡等级的灰度图案，向被涂敷物喷出液状材料，从而在被涂敷物上形成膜。

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