CN101738369A - 相位差检测装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种相位差检测装置，包含：一光源模块，用于产生一单波长光束；一圆偏振光产生模块，由一偏振器以及一第一相位延迟器所组成；当该单波长光束射入圆偏振光产生模块后，会依次通过偏振器以及第一相位延迟器；以及一检测模块，由一第二相位延迟器、一偏振分光镜、一第一影像传感器以及一第二影像传感器所组成；当该圆偏振光通过待测样品然后射入检测模块后，会依次通过第二相位延迟器及偏振分光镜，该偏振分光镜会将椭圆偏振光分成左旋圆偏振光与右旋圆偏振光并分别射入第一影像传感器与第二影像传感器。
Description
技术领域
本发明涉及一种相位差检测装置，尤其是涉及一种可检测待测基板应力值的相位差检测装置。
背景技术
软性电子与显示器相关技术在近几年来开始受到瞩目，由于使用了具有可挠曲特性的材料(如塑料基板等)作为基板，因此，在基板上的应力分布程度则显得相当重要。由于必须在挠曲的状态下使用，显示面板在挠曲时所承受的应力将会造成薄膜或导线的破裂使得元件毁坏而无法正常使用；另一方面，由于使用了软性的塑料基板，在制作过程中产生的应力累积也会使得面板在制作后翘曲，同样也会造成组件的毁坏。因此，监控软性基板于制作时所造成的应力大小以及开发低应力的制作条件便成为软性显示器的重要课题。
传统用来量测薄膜应力的方式为量测玻璃或硅晶圆基板在镀膜前后的曲率变化来计算其应力值，然而使用软性塑料基板时，由于曲率变化量太大，传统曲率法无法量测而且不能实时量测作为制作应力监控之用。而由于软性塑料基板多为高分子材料，具有双折射性(Birefringence)，如聚萘二甲酸乙二醇酯(PET)、聚对苯二甲酸乙二酯(PEN)等，在薄膜制作后产生的应力将会造成其双折射率的改变，产生相位差的变化，因此可以利用偏光检测的方式来量测其相位差变化量，再去计算其应力大小。
传统偏光检测的方式通常都利用旋转偏振组件的方式或使用多组偏振组件来得到不同的偏振态改变量。相关的前案如：美国Stress Photonics公司的美国专利案第6219139号“全域式光弹应力分析”，该案利用两个中性分光镜、两个偏振分光镜、多组偏振组件，以及四组影像感测组件来得到全域式的相位差应力量测装置。此装置架构复杂，虽然可以得到很精确的相位差值，但是结构复杂，成本太高，处理四组影像感测组件的画面也会使用较多的时间。
而美国CRI公司的美国专利第5521705号“偏极光显微检查法”则使用液晶相位补偿器来取代一般的相位补偿器，其通过调整输入的电压来控制补偿器的相位差值来得到不同的偏振态。此方法虽然可以不用旋转任何的偏振元件，但是调制液晶相位补偿器不能实时变化，而且单一组件成本也较高。
此外，通过旋转偏振组件的方式是无法进行实时量测，且会因为旋转元件而对量测造成误差，虽然利用多个偏振元件或是使用液晶相位调制器的方法也开始被提出，然而这些方法不是结构复杂，就是使用元件成本太高。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种相位差检测装置，以提供快速的相位差分布检测功能，能通过选择不同分量(左旋圆偏振光或右旋圆偏振光)来得到较准确的量测结果；此外当得知相位差之值后，还能据以推算出该处基板的应力情况，并且能减少成分，使结构简单化。
为了解决上述技术问题，本发明提供一种相位差检测装置，用于检测一透光的基板样品，依次包含：一光源模块，用于产生一单波长光束；一圆偏振光产生模块，由一偏振器以及一第一相位延迟器所组成；当该单波长光束射入该圆偏振光产生模块后，依次通过偏振器以及第一相位延迟器；以及，一检测模块，由一第二相位延迟器、一偏振分光镜、一第一影像传感器以及一第二影像传感器所组成；当该圆偏振光通过基板样品然后射入检测模块后，依次通过第二相位延迟器及偏振分光镜，该偏振分光镜将椭圆偏振光分成左旋圆偏振光与右旋圆偏振光并分别射入第一影像传感器与第二影像传感器。
上述相位差检测装置，其特点在于，该光源模块包含一多波长光源发射器以及一单波长滤光片，该多波长光源发射器发射多波长光束，该单波长滤光片用于将该多波长光束过滤为单波长光束。
上述相位差检测装置，其特点在于，该多波长光源发射器包含一多波长光源、一准直镜头，以及分别连接该多波长光源及准直镜头的光导。
上述相位差检测装置，其特点在于，该多波长光源发射可见光波长的光线。
上述相位差检测装置，其特点在于，该多波长光源为白炽灯光源。
上述相位差检测装置，其特点在于，该多波长光源为闪光灯光源。
上述相位差检测装置，其特点在于，该多波长光源为多波长雷射。
上述相位差检测装置，其特点在于，该多波长光源为多波长气体灯。
上述相位差检测装置，其特点在于，该多波长光源为多波长发光二极管。
上述相位差检测装置，其特点在于，该多波长光源为多波长荧光灯光源。
上述相位差检测装置，其特点在于，该光源模块发射单波长准直光束。
上述相位差检测装置，其特点在于，该单波长准直光束的波长大于可见光的波长。
上述相位差检测装置，其特点在于，该单波长准直光束为红外光。
上述相位差检测装置，其特点在于，该基板样品可挠。
上述相位差检测装置，其特点在于，该基板样品由塑料所制成。
上述相位差检测装置，其特点在于，该偏振器为棱镜式偏振器。
上述相位差检测装置，其特点在于，该偏振器为薄膜偏振器。
上述相位差检测装置，其特点在于，该第一相位延迟器为晶体式相位板。
上述相位差检测装置，其特点在于，该第一相位延迟器为棱镜式相位板。
上述相位差检测装置，其特点在于，该第二相位延迟器为晶体式相位板。
上述相位差检测装置，其特点在于，该第二相位延迟器为棱镜式相位板。
上述相位差检测装置，其特点在于，该偏振分光镜为晶体式偏振分光镜。
上述相位差检测装置，其特点在于，该偏振分光镜为棱镜式偏振分光镜。
上述相位差检测装置，其特点在于，该偏振分光镜为薄膜式偏振分光镜。
上述相位差检测装置，其特点在于，该第一影像传感器为电荷耦合组件式影像传感器。
上述相位差检测装置，其特点在于，该第一影像传感器为互补式金属-氧化层-半导体式影像传感器。
上述相位差检测装置，其特点在于，该第一影像传感器为二维光二极管数组式影像传感器。
上述相位差检测装置，其特点在于，该第一影像传感器为光电倍增管。
上述相位差检测装置，其特点在于，该第二影像传感器为电荷耦合组件式影像传感器。
上述相位差检测装置，其特点在于，该第二影像传感器系为互补式金属-氧化层-半导体式影像传感器。
上述相位差检测装置，其特点在于，该第二影像传感器为二维光二极管数组式影像传感器。
上述相位差检测装置，其特点在于，该第二影像传感器为光电倍增管。
本发明还提供一种相位差检测装置，用于检测一可反射光之基板样品，依次包含：一光源模块，用于产生一单波长光束；一圆偏振光产生模块，由一偏振器以及一第一相位延迟器所组成；当该单波长光束射入圆偏振光产生模块后，会依次通过偏振器以及第一相位延迟器；一中性分光单元，用于将通过该圆偏振光产生模块的圆偏振光导至基板样品；以及一检测模块，由一第二相位延迟器、一偏振分光镜、一第一影像传感器以及一第二影像传感器所组成；当该圆偏振光通过基板样品然后射入检测模块后，会依次通过第二相位延迟器及偏振分光镜，该偏振分光镜会将椭圆偏振光分成左旋圆偏振光与右旋圆偏振光并分别射入第一影像传感器与第二影像传感器。
本发明不但使用的组件简单且成本也低廉，非常适合用来作为相位差或应力的在线检测系统，除了能够提供快速的相位差分布检测功能外，也能通过选择不同分量(左旋圆偏振光或右旋圆偏振光)来得到较准确的量测结果；此外当得知相位差之值后，还能据以推算出该处基板的应力情况，相较于以往技术具有显著的优点与进步。
以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。
附图说明
图1为本发明相位差检测装置的系统配置图；
图2为左旋圆偏振光分量的影像强度-相位差的关系图；以及
图3为本发明相位差检测装置的系统的另一实施例配置图。
其中，附图标记：
1-相位差检测装置
3-相位差检测装置
10-光源模块
12-圆偏振光产生模块
14-检测模块
30-光源模块
32-圆偏振光产生模块
34-检测模块
36-中性分光单元
100-多波长光源发射器
102-单波长滤光片
120-偏振器
122-第一相位延迟器
140-第二相位延迟器
142-偏振分光镜
144-第一影像传感器
146-第二影像传感器
300-多波长光源发射器
302-单波长滤光片
320-偏振器
322-第一相位延迟器
340-第二相位延迟器
342-偏振分光镜
344-第一影像传感器
346-第二影像传感器
1000-多波长光源
1002-光导
1004-准直镜头
3000-多波长光源
3002-光导
3004-准直镜头
B-基板样品
L-左旋圆偏振光
R-右旋圆偏振光
具体实施方式
首先，请参见图1，该图为本发明相位差检测装置的系统配置图。相位差检测装置1包含一光源模块10、一圆偏振光产生模块12以及一检测模块14。
该光源模块10用于产生一单波长光束(较佳地使用准直光束)。当然，也可利用多波长光源加单波长滤光片来达成发射单波长光线的目的，于图1中，光源模块10便是由一多波长光源发射器100以及一单波长滤光片102所组成，该多波长光源发射器100发射多波长准直光束，该单波长滤光片102则用来过滤该多波长准直光束，使其成为单波长准直光束。而该多波长光源发射器100则又由一多波长光源1000、一准直镜头1004，以及分别连接该多波长光源1000及准直镜头1004的光导1002；该多波长光源1000发射出的光线是通过光导1002传至准直镜头1004经准直后再发射，该多波长光源1000是例如可为卤素灯光源、闪光灯光源、多波长雷射或多波长气体灯，且该多波长光源1000发射的光线，例如可为：380纳米至750纳米波长的可见光、或是波长大于750纳米的红外光。
圆偏振光产生模块12是由一偏振器120以及一第一相位延迟器122所组成。当光源模块10发射的单波长准直光束射入圆偏振光产生模块12后，会依次通过偏振器120以及第一相位延迟器122并被转换为圆偏振光。
之后，圆偏振光是通过待测的基板样品B，该基板样品B为可透光的基材，其材质是例如为塑料、玻璃或硅晶圆。由于基板样品B本身在制造时会有应力分布不均或挠曲(若为可挠基板)的问题，因此当圆偏振光通过前述区域后，会因材料的偏光特性改变而转换为椭圆偏振光并产生相位差。
检测模块14是由一第二相位延迟器140、一偏振分光镜142、一第一影像传感器144以及一第二影像传感器146所组成。当通过基板样品B后的椭圆偏振光射入检测模块14后，会依次通过第二相位延迟器140及偏振分光镜142，偏振分光镜142会将椭圆偏振光分成左旋圆偏振光L与右旋圆偏振光R两个分量并分别射入第一影像传感器144与第二影像传感器146，该第一影像传感器144与第二影像传感器146便分别感测左旋圆偏振光L与右旋圆偏振光R的强度。
假设感测到的左旋圆偏振光强度为P，右旋圆偏振光强度为S，则可利用下列关系式进行光强归一化计算：
IP＝P/(P+S)＝sin2(πR/λ)
Is＝S/(P+S)＝cos2(πR/λ)
其中，IP为左旋圆偏振光计算出的光强度，Is为右旋圆偏振光计算出的光强度，λ为通过待测基板样品的单色光波长，R为相位差，图2所示即为左旋圆偏振光分量的影像强度与相位差关系。
一般在计算时，只要用IP即可算出相位差R，但在P光强度弱时可用Is计算，因为此时S光强度强，讯噪比高，计算结果会较准确(反之也相同)。理论上，由IP或IS所计算出的相位差R应该相同，但是因为PBS偏振分光镜所分光的强度实际上可能不是一比一，或是第一影像传感器与第二影像传感器的强度响应也可能不同，因此实际计算出的相位差R可能会不同，此可由系统校正方式来修正(也即量测空气(相位差R值为0)的P光强度与S光强度来修正)。
而当相位差R算出后，便可利用下列公式求出受照射的基板区域的应力σ：
R＝C·σ·d
其中R为相位差、C为应力光学常数(可由查表或另外量测得知)、d为待测基板的厚度。
再请参见图3，该图为本发明相位差检测装置的系统配置图，其显示另一实施例。相位差检测装置3所使用的元件是类似图1的相位差检测装置1，包含一光源模块30、一圆偏振光产生模块32以及一检测模块34，而与图一不同的是由于图3所使用的方法为反射式(图1为穿透式)，所以更增加了一中性分光单元36。
类似于前述实施例，光源模块30是用于产生一单波长光束(较佳地使用准直光束)。当然，也可利用多波长光源加单波长滤光片来达成发射单波长光线的目的，于图3中，光源模块30是由一多波长光源发射器300以及一单波长滤光片302所组成，该多波长光源发射器300发射多波长准直光束，该单波长滤光片302则用来过滤该多波长准直光束，使其成为单波长准直光束。而该多波长光源发射器300则又由一多波长光源3000、一准直镜头3004，以及分别连接该多波长光源3000及准直镜头3004的光导3002；该多波长光源3000发射出的光线是通过光导3002传至准直镜头3004经准直后再发射，该多波长光源3000是例如可为卤素灯光源、闪光灯光源、多波长雷射或多波长气体灯，且该多波长光源3000发射的光线，例如可为：380纳米至750纳米波长的可见光、或是波长大于750纳米的红外光。
圆偏振光产生模块32是由一偏振器320以及一第一相位延迟器322所组成。当光源模块30发射的单波长准直光束射入圆偏振光产生模块32后，会依次通过偏振器320以及第一相位延迟器322并被转换为圆偏振光。
之后，圆偏振光是通过中性分光单元36(例如中性分光镜)而反射到待测的基板样品B，该基板样品B为可反射光线的基材，例如塑料或硅晶圆。由于基板样品B本身在制造时会有应力分布不均或挠曲(若为可挠基板)的问题，因此当圆偏振光通过前述区域后，会因材料的偏光特性改变而转换为椭圆偏振光并产生相位差。之后，椭圆偏振光会由基板样品B反射回中性分光单元36并射入检测模块34。
检测模块34是由一第二相位延迟器340、一偏振分光镜342、一第一影像传感器344以及一第二影像传感器346所组成。当由基板样品B反射回来的椭圆偏振光射入检测模块34后，会依次通过第二相位延迟器340及偏振分光镜342，偏振分光镜342会将椭圆偏振光分成左旋圆偏振光L与右旋圆偏振光R两个分量并分别射入第一影像传感器344与第二影像传感器346，该第一影像传感器344与第二影像传感器346便分别感测左旋圆偏振光L与右旋圆偏振光R的强度。
当获得光强度后，便可利用前述的方法求出相位差R。而对于反射式相位差量测装置，当相位差R算出后，则是利用下列公式求出受照射的基板区域的应力σ：
R＝C·σ·2d
其中R为相位差、C为应力光学常数(可由查表或另外量测得知)、d为待测基板的厚度。
因此，本发明除了能够提供快速的相位差分布检测功能外，也能通过选择不同分量(左旋圆偏振光或右旋圆偏振光)来得到较准确的量测结果；此外当得知相位差的值后，还能据以推算出该处基板的应力情况。
于本发明中，使用的偏振器可为格兰-汤普生(Glan-Thomson)偏振器或薄膜偏振器。该第一相位延迟器与第二相位延迟器可为晶体式相位板或棱镜式相位板。该偏振分光镜可为晶体式、棱镜式或薄膜式偏振分光镜。该第一影像传感器与第二影像传感器可为电荷耦合组件式(CCD)影像传感器、互补式金属-氧化层-半导体式(CMOS)影像传感器、二维光二极管数组式影像传感器或光电倍增管(PMT，photomultiplier tub)。同时，于本发明中所使用的光束并不限于准直光束，其也可使用非准直光束(然而当使用准直光束时的量测效果是较佳)。
如此，本发明不但使用的组件简单且成本也低廉，非常适合用来作为相位差或应力的在线检测系统，除了能够提供快速的相位差分布检测功能外，也能通过选择不同分量(左旋圆偏振光或右旋圆偏振光)来得到较准确的量测结果；此外当得知相位差之值后，还能据以推算出该处基板的应力情况，相较于以往技术具有显著的优点与进步。
当然，本发明还可有其他多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
Claims (65)
1.一种相位差检测装置，用于检测一透光的基板样品，依次包含：
一光源模块，用于产生一单波长光束；
一圆偏振光产生模块，由一偏振器以及一第一相位延迟器所组成；当该单波长光束射入该圆偏振光产生模块后，依次通过偏振器以及第一相位延迟器；以及
一检测模块，由一第二相位延迟器、一偏振分光镜、一第一影像传感器以及一第二影像传感器所组成；当该圆偏振光通过基板样品然后射入检测模块后，依次通过第二相位延迟器及偏振分光镜，该偏振分光镜将椭圆偏振光分成左旋圆偏振光与右旋圆偏振光并分别射入第一影像传感器与第二影像传感器。
2.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该光源模块包含一多波长光源发射器以及一单波长滤光片，该多波长光源发射器发射多波长光束，该单波长滤光片用于将该多波长光束过滤为单波长光束。
3.如权利要求2所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源发射器包含一多波长光源、一准直镜头，以及分别连接该多波长光源及准直镜头的光导。
4.如权利要求3所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源发射可见光波长的光线。
5.如权利要求3所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为白炽灯光源。
6.如权利要求3所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为闪光灯光源。
7.如权利要求3所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为多波长雷射。
8.如权利要求3所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为多波长气体灯。
9.如权利要求3所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为多波长发光二极管。
10.如权利要求3所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为多波长荧光灯光源。
11.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该光源模块发射单波长准直光束。
12.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该单波长准直光束的波长大于可见光的波长。
13.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该单波长准直光束为红外光。
14.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该基板样品可挠。
15.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该基板样品由塑料所制成。
16.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该偏振器为棱镜式偏振器。
17.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该偏振器为薄膜偏振器。
18.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一相位延迟器为晶体式相位板。
19.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一相位延迟器为棱镜式相位板。
20.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第二相位延迟器为晶体式相位板。
21.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第二相位延迟器为棱镜式相位板。
22.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该偏振分光镜为晶体式偏振分光镜。
23.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该偏振分光镜为棱镜式偏振分光镜。
24.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该偏振分光镜为薄膜式偏振分光镜。
25.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一影像传感器为电荷耦合组件式影像传感器。
26.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一影像传感器为互补式金属-氧化层-半导体式影像传感器。
27.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一影像传感器为二维光二极管数组式影像传感器。
28.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一影像传感器为光电倍增管。
29.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第二影像传感器为电荷耦合组件式影像传感器。
30.如权利要求第1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第二影像传感器系为互补式金属-氧化层-半导体式影像传感器。
31.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第二影像传感器为二维光二极管数组式影像传感器。
32.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第二影像传感器为光电倍增管。
33.一种相位差检测装置，用于检测一可反射光的基板样品，依次包含：
一光源模块，用于产生一单波长光束；
一圆偏振光产生模块，由一偏振器以及一第一相位延迟器所组成；当该单波长光束射入圆偏振光产生模块后，会依次通过偏振器以及第一相位延迟器；
一中性分光单元，用于将通过该圆偏振光产生模块的圆偏振光导至基板样品；以及
一检测模块，由一第二相位延迟器、一偏振分光镜、一第一影像传感器以及一第二影像传感器所组成；当该圆偏振光通过基板样品然后射入检测模块后，会依次通过第二相位延迟器及偏振分光镜，该偏振分光镜会将椭圆偏振光分成左旋圆偏振光与右旋圆偏振光并分别射入第一影像传感器与第二影像传感器。
34.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该光源模块包含一多波长光源发射器以及一单波长滤光片，该多波长光源发射器发射多波长光束，该单波长滤光片用于将该多波长光束过滤为单波长光束。
35.如权利要求35所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源发射器包含一多波长光源、一准直镜头，以及分别连接该多波长光源及准直镜头的光导。
36.如权利要求35所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源发射可见光波长的光线。
37.如权利要求35所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为白炽灯光源。
38.如权利要求35所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为闪光灯光源。
39.如权利要求35所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为多波长雷射。
40.如权利要求35所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为多波长气体灯。
41.如权利要求35所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为多波长发光二极管。
42.如权利要求35所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为多波长荧光灯光源。
43.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该光源模块发射单波长准直光束。
44.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该单波长准直光束的波长大于可见光的波长。
45.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该单波长准直光束为红外光。
46.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该基板样品是可挠的。
47.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该基板样品系由塑料所制成。
48.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该偏振器为棱镜式偏振器。
49.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，中该偏振器为薄膜偏振器。
50.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一相位延迟器为晶体式相位板。
51.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一相位延迟器为棱镜式相位板。
52.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该第二相位延迟器为晶体式相位板。
53.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，中该第二相位延迟器为棱镜式相位板。
54.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该偏振分光镜为晶体式偏振分光镜。
55.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该偏振分光镜为棱镜式偏振分光镜。
56.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该偏振分光镜为薄膜式偏振分光镜。
57.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一影像传感器为电荷耦合组件式影像传感器。
58.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一影像传感器为互补式金属-氧化层-半导体式影像传感器。
59.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一影像传感器为二维光二极管数组式影像传感器。
60.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一影像传感器为光电倍增管。
61.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该第二影像传感器为电荷耦合组件式影像传感器。
62.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该第二影像传感器为互补式金属-氧化层-半导体式影像传感器。
63.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该第二影像传感器为二维光二极管数组式影像传感器。
64.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该第二影像传感器为光电倍增管。
65.如权利要求33所述的相位差检测装置，其特征在于，该中性分光单元为中性分光镜。
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