CN101738250A - 矢量水听器的t形敏感体 - Google Patents
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Abstract
Description
长方体立柱长度(μm) | 1500 | 2000 | 2500 | 3000 |
固有频率(Hz) | 12335.0 | 6929.4 | 4430.9 | 3075.3 |
长方体立柱上最大应力(pa) | 1.723e4 | 2.919e4 | 4.847e4 | 7.007e4 |
横向干扰应力(pa) | 506.787 | 624.807 | 566.854 | 400.997 |
长方体立柱宽度(μm) | 90 | 110 | 130 | 150 |
固有频率(Hz) | 6919.3 | 6924.8 | 6929.4 | 6934.0 |
长方体立柱上最大应力(pa) | 2.926e4 | 2.921e4 | 2.919e4 | 2.899e4 |
横向干扰应力(pa) | 476.098 | 368.169 | 624.807 | 708.371 |
长方体立柱厚度(μm) | 10 | 20 | 30 | 40 |
固有频率(Hz) | 3465.5 | 6929.4 | 10386. | 13846.0 |
长方体立柱厚度(μm) | 10 | 20 | 30 | 40 |
长方体立柱上最大应力(pa) | 1.251e5 | 2.919e4 | 1.367e4 | 0.7472e4 |
横向干扰应力(pa) | 541.824 | 624.807 | 398.705 | 689.038 |
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